本實用新型涉及半導體技術領域，特別是一種晶圓清洗裝置。

背景技術：

隨著集成電路工藝的快速發(fā)展，器件尺寸越來越小，對晶圓表面的潔凈程度要求也越來越高，機臺清洗能力要求進一步提升。以單片式濕法機臺為例，無論是單片式清洗、單片式刻蝕、還是單片式電鍍機臺，由于機臺清洗設備的內腔空間有限，清洗裝置都會選擇一種固定方式，導致清洗液噴灑在晶圓上比較固定的空間范圍內，容易造成晶圓仍有化學品殘留，不能夠完全徹底清洗干凈，導致隨后的工藝結果達不到技術要求。

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型需要解決的技術問題是提供一種用于清洗半導體晶圓的清洗裝置，以提高清洗效率。

為解決上述技術問題，本實用新型所采取的技術方案如下。

晶圓清洗裝置，包括盛裝待清洗晶圓以及清洗液廢水的殼體，殼體上設置有帶動待清洗晶圓水平旋轉的可轉動晶圓夾具，可轉動晶圓夾具的底端伸入殼體內垂直夾持待清洗晶圓；位于待清洗晶圓下方的殼體內腔側壁上設置有用于向待清洗晶圓噴灑清洗液的清洗機構，所述清洗機構包括調節(jié)機構和噴嘴，噴嘴設置在位于腔體內的調節(jié)機構末端；所述殼體上還設置有控制可轉動晶圓夾具和清洗機構協(xié)調動作的控制機構。

上述晶圓清洗裝置，所述調節(jié)機構包括用于調節(jié)噴嘴距離待清洗晶圓距離的長度調節(jié)機構、用于調節(jié)噴嘴的噴灑方向與殼體側壁之間夾角的角度調節(jié)機構以及用于調節(jié)噴嘴擺動幅度的擺幅調節(jié)機構，所述控制機構的輸出端分別與長度調節(jié)機構、角度調節(jié)機構、擺幅調節(jié)機構以及噴嘴的受控端連接；其中，擺幅調節(jié)機構安裝在殼體側壁上，長度調節(jié)機構安裝在擺幅調節(jié)機構上，角度調節(jié)機構的一端連接側壁，另一端連接長度調節(jié)機構，所述噴嘴固定安裝在長度調節(jié)機構的內頂端。

上述晶圓清洗裝置，所述殼體的底部設置有排液口。

由于采用了以上技術方案，本實用新型所取得技術進步如下。

本實用新型結構簡單、使用方便，通過分別對晶圓和清洗機構進行自由調節(jié)轉動，并通過控制機構使兩者動作相協(xié)調，從而不僅能夠使晶圓的表面都被清洗液完全覆蓋，而且還可使清洗液在晶圓表面噴灑的更加均勻，大大提高了清洗效率。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型的控制原理框圖。

其中：1.殼體，2.待清洗晶圓，3.可轉動晶圓夾具，4.清洗機構，41.長度調節(jié)機構，42.角度調節(jié)機構，43.擺幅調節(jié)機構，5.控制機構。

具體實施方式

下面將結合附圖和具體實施例對本實用新型進行進一步詳細說明。

一種晶圓清洗裝置，其機構如圖1所示，包括殼體1，殼體內盛裝有待清洗晶圓和清洗液廢水，殼體的底部設置有排液口。

本實用新型中，殼體1上設置有可轉動晶圓夾具3，用于夾持待清洗晶圓；位于待清洗晶圓下方的殼體內腔側壁上設置有清洗機構4，用于向待清洗晶圓噴灑清洗液；殼體上還設置有控制機構5，用于協(xié)調控制可轉動晶圓夾具3和清洗機構4動作，從而將清洗液均勻的噴灑在待清洗晶圓上，提高清洗效率。

上述可轉動晶圓夾具的底端伸入殼體內，用于垂直夾持待清洗晶圓2；可轉動晶圓夾具的頂端伸出殼體位于殼體上方，殼體上方還設置有驅動夾具在水平方向上旋轉的驅動機構；控制機構的輸出端連接驅動機構的受控端，如圖2所示。

清洗機構4包括調節(jié)機構和噴嘴，調節(jié)機構包括長度調節(jié)機構、角度調節(jié)機構以及擺幅調節(jié)機構，擺幅調節(jié)機構安裝在殼體側壁上，長度調節(jié)機構安裝在擺幅調節(jié)機構上，角度調節(jié)機構的一端連接側壁，另一端連接長度調節(jié)機構，所述噴嘴固定安裝在長度調節(jié)機構的內頂端。其中，長度調節(jié)機構41用于調節(jié)噴嘴距離待清洗晶圓之間的距離，角度調節(jié)機構42用于調節(jié)噴嘴的噴灑方向與殼體側壁之間的夾角，擺幅調節(jié)機構43用于的調節(jié)噴嘴擺動幅度，噴嘴用于控制噴灑量；本實施例中，長度調節(jié)機構和角度調節(jié)機構均采用氣缸，擺幅調節(jié)機構采用齒輪組和電機組合實現(xiàn)。

上述長度調節(jié)機構、角度調節(jié)機構、擺幅調節(jié)機構以及噴嘴的受控端分別與控制機構的輸出端連接，如圖2所示。即，清洗機構在控制機構的調節(jié)下，清洗液的噴灑距離、方向以及噴灑角度是可變化的，再結合可轉動晶圓夾具的旋轉使去清洗液能夠更有效均勻的覆蓋整個晶圓表面，從而達到完全整面去除化學液殘留的目的。當然，調節(jié)機構中的長度調節(jié)機構、角度調節(jié)機構、擺幅調節(jié)機構也可以單獨設置，獨立設置的調節(jié)機構結合可轉動晶圓夾具的旋轉可使清洗液有效覆蓋晶圓的表面。