本實(shí)用新型涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基板的干燥裝置。

背景技術(shù)：

在顯示面板的制作過程中，一般在基板上形成各膜層之前，需要對(duì)基板的表面依次進(jìn)行清洗處理和干燥處理，以避免基板表面的雜質(zhì)影響成膜質(zhì)量，進(jìn)而影響顯示面板的良率。

目前，一般利用干燥裝置噴出氣體來對(duì)基板的表面進(jìn)行干燥處理。現(xiàn)有的干燥裝置由于長時(shí)間使用，噴頭和氣體管路容易受到污染，這樣，會(huì)影響對(duì)基板的干燥效果，從而會(huì)對(duì)后續(xù)在該基板上成膜造成影響，進(jìn)而會(huì)導(dǎo)致制作的顯示面板出現(xiàn)不良。現(xiàn)有的干燥裝置通常采用風(fēng)刀噴頭，清潔難度較大。

因此，如何提供一種容易清潔的干燥裝置，是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟需解決的技術(shù)問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種基板的干燥裝置，用以提供一種容易清潔的干燥裝置。

因此，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種基板的干燥裝置，包括：干燥單元、與所述干燥單元連接的控制單元以及分別與所述控制單元連接的第一處理單元和第二處理單元；其中，

所述干燥單元，用于對(duì)所述基板進(jìn)行干燥處理；

所述控制單元，用于控制所述第一處理單元或所述第二處理單元與所述干燥單元連通；

所述第一處理單元，用于在與所述干燥單元連通時(shí)利用清洗液對(duì)所述干燥單元進(jìn)行清洗；

所述第二處理單元，用于在與所述干燥單元連通時(shí)且在所述第一處理單元對(duì)所述干燥單元進(jìn)行清洗后利用氣體對(duì)所述干燥單元進(jìn)行干燥。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述干燥裝置中，所述第二處理單元，還用于在與所述干燥單元連通時(shí)向所述干燥單元通入用于對(duì)所述基板進(jìn)行干燥處理的氣體。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述干燥裝置中，所述干燥單元，包括：噴頭；

所述噴頭，用于噴出對(duì)所述基板進(jìn)行干燥處理的氣體。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述干燥裝置中，所述噴頭為風(fēng)刀噴頭。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述干燥裝置中，所述控制單元，包括：三通閥；

所述三通閥的輸入端與所述噴頭連接，第一輸出端與所述第一處理單元連接，第二輸出端與所述第二處理單元連接。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述干燥裝置中，所述第一處理單元，包括：容器和與所述容器連通且與所述三通閥的第一輸出端連接的壓力泵；

所述容器，用于容納清洗液；

所述壓力泵，用于將所述容器內(nèi)的清洗液抽取至所述三通閥的第一輸出端。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述干燥裝置中，所述清洗液為水。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述基板的干燥裝置，包括用于對(duì)基板進(jìn)行干燥處理的干燥單元、與干燥單元連接的控制單元以及分別與控制單元連接的第一處理單元和第二處理單元；控制單元用于控制第一處理單元或第二處理單元與干燥單元連通，第一處理單元用于在與干燥單元連通時(shí)對(duì)干燥單元進(jìn)行清洗，第二處理單元用于在與干燥單元連通時(shí)且在第一處理單元對(duì)干燥單元進(jìn)行清洗后對(duì)干燥單元進(jìn)行干燥；這樣，在干燥單元被污染后，可以利用控制單元控制第一處理單元與干燥單元連通，利用第一處理單元對(duì)干燥單元進(jìn)行清洗，之后利用控制單元控制第二處理單元與干燥單元連通，利用第二處理單元對(duì)干燥單元進(jìn)行干燥，從而提供了一種自帶清潔功能的干燥裝置。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的基板的干燥裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的基板的干燥裝置的具體結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例提供的基板的干燥裝置的具體實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)地說明。

附圖中各部件的形狀和尺寸不反映其真實(shí)比例，目的只是示意說明本實(shí)用新型內(nèi)容。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種基板的干燥裝置，如圖1所示，包括：干燥單元1、與干燥單元1連接的控制單元2以及分別與控制單元2連接的第一處理單元3和第二處理單元4；其中，

干燥單元1，用于對(duì)基板進(jìn)行干燥處理；

控制單元2，用于控制第一處理單元3或第二處理單元4與干燥單元1連通；

第一處理單元3，用于在與干燥單元1連通時(shí)利用清洗液對(duì)干燥單元1進(jìn)行清洗；

第二處理單元4，用于在與干燥單元1連通時(shí)且在第一處理單元3對(duì)干燥單元1進(jìn)行清洗后利用氣體對(duì)干燥單元1進(jìn)行干燥。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述干燥裝置，在干燥單元被污染后，可以利用控制單元控制第一處理單元與干燥單元連通，利用第一處理單元對(duì)干燥單元進(jìn)行清洗，之后利用控制單元控制第二處理單元與干燥單元連通，利用第二處理單元對(duì)干燥單元進(jìn)行干燥，即可完成對(duì)干燥單元的清潔，從而提供了一種自帶清潔功能的干燥裝置。利用本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述干燥裝置對(duì)基板的表面進(jìn)行干燥處理，可以避免干燥單元被污染后影響對(duì)基板表面的干燥效果，從而可以保證后續(xù)在基板表面的成膜質(zhì)量。

較佳地，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述干燥裝置中，為了簡化干燥裝置的結(jié)構(gòu)，可以利用用于對(duì)基板進(jìn)行干燥處理的氣體來對(duì)干燥單元進(jìn)行清洗之后的干燥，也就是將用于對(duì)基板進(jìn)行干燥處理的單元和用于對(duì)干燥單元進(jìn)行清洗之后的干燥的單元集成在一起，如圖1所示，第二處理單元4，還可以用于在與干燥單元1連通時(shí)向干燥單元1通入用于對(duì)基板進(jìn)行干燥處理的氣體。具體地，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述干燥裝置需要清潔干燥單元1時(shí)，第二處理單元4可以在與干燥單元1連通時(shí)且在第一處理單元3對(duì)干燥單元1進(jìn)行清洗后利用氣體對(duì)干燥單元1進(jìn)行干燥；在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述干燥裝置用于對(duì)基板進(jìn)行干燥處理時(shí)，第二處理單元4可以在與干燥單元1連通時(shí)向干燥單元1通入用于對(duì)基板進(jìn)行干燥處理的氣體。

在具體實(shí)施時(shí)，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述干燥裝置中，如圖2所示，干燥單元1，可以包括：噴頭10；噴頭10用于噴出對(duì)基板進(jìn)行干燥處理的氣體。圖2以示出兩個(gè)相對(duì)設(shè)置的噴頭10為例，可以將基板從兩個(gè)噴頭10之間通過，從而可以實(shí)現(xiàn)對(duì)基板的兩個(gè)表面進(jìn)行干燥處理。具體地，噴頭的設(shè)置位置與現(xiàn)有的干燥裝置中噴頭的設(shè)置位置類似，在此不做贅述。

較佳地，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述干燥裝置中，噴頭優(yōu)選風(fēng)刀噴頭，這是由于人工清潔風(fēng)刀噴頭的難度較大，利用本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述干燥裝置可以簡單實(shí)現(xiàn)對(duì)風(fēng)刀噴頭的清潔。

當(dāng)然，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述干燥裝置中，噴頭并非局限于風(fēng)刀噴頭，還可以為其他類型的噴頭，在此不做限定。

在具體實(shí)施時(shí)，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述干燥裝置中，如圖2所示，控制單元2，可以包括：三通閥20；三通閥20的輸入端20a與噴頭10連接，第一輸出端20b與第一處理單元3連接，第二輸出端20c與第二處理單元4連接。具體地，在三通閥20的輸入端20a和第一輸出端20b相通時(shí)，可以控制第一處理單元3與噴頭10連通，從而可以利用第一處理單元3對(duì)噴頭10進(jìn)行清洗；在三通閥20的輸入端20a和第二輸出端20c相通時(shí)，可以控制第二處理單元3與噴頭10連通，從而可以利用第二處理單元3對(duì)噴頭10進(jìn)行干燥。

在具體實(shí)施時(shí)，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述干燥裝置中，如圖2所示，三通閥20的輸入端20a可以通過管道30與噴頭10連接；這樣，在三通閥20控制第一處理單元3與噴頭10連通從而利用第一處理單元3對(duì)噴頭10進(jìn)行清洗的同時(shí)，還可以實(shí)現(xiàn)對(duì)管道30進(jìn)行清洗；在三通閥20控制第二處理單元3與噴頭10連通從而利用第二處理單元3對(duì)噴頭10進(jìn)行干燥的同時(shí)，還可以實(shí)現(xiàn)對(duì)管道30進(jìn)行干燥，從而還可以實(shí)現(xiàn)對(duì)管道30進(jìn)行清潔。

在具體實(shí)施時(shí)，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述干燥裝置中，如圖2所示，第一處理單元3，可以包括：容器31和與容器31連通且與三通閥20的第一輸出端20b連接的壓力泵32；其中，容器31，用于容納清洗液；壓力泵32，用于將容器31內(nèi)的清洗液抽取至三通閥20的第一輸出端20b；這樣，在三通閥20的輸入端20a和第一輸出端20b相通時(shí)，容器31、壓力泵32和噴頭10連通，壓力泵32可以將容器31內(nèi)的清洗液抽取至噴頭10，從而可以實(shí)現(xiàn)對(duì)噴頭10進(jìn)行清洗。

較佳地，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述干燥裝置中，清洗液優(yōu)選水，這是由于水不易殘留，對(duì)噴頭的清潔效果較佳。

當(dāng)然，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述干燥裝置中，清洗液并非局限于水，還可以為具有清潔作用的其他液體，在此不做限定。

在具體實(shí)施時(shí)，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述干燥裝置中，第二處理單元可以為能夠提供氣體的任何結(jié)構(gòu)，在此不做具體限定。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種基板的干燥裝置，包括用于對(duì)基板進(jìn)行干燥處理的干燥單元、與干燥單元連接的控制單元以及分別與控制單元連接的第一處理單元和第二處理單元；控制單元用于控制第一處理單元或第二處理單元與干燥單元連通，第一處理單元用于在與干燥單元連通時(shí)對(duì)干燥單元進(jìn)行清洗，第二處理單元用于在與干燥單元連通時(shí)且在第一處理單元對(duì)干燥單元進(jìn)行清洗后對(duì)干燥單元進(jìn)行干燥；這樣，在干燥單元被污染后，可以利用控制單元控制第一處理單元與干燥單元連通，利用第一處理單元對(duì)干燥單元進(jìn)行清洗，之后利用控制單元控制第二處理單元與干燥單元連通，利用第二處理單元對(duì)干燥單元進(jìn)行干燥，即可完成對(duì)干燥單元的清潔，從而提供了一種自帶清潔功能的干燥裝置。利用本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述干燥裝置對(duì)基板的表面進(jìn)行干燥處理，可以避免干燥單元被污染后影響對(duì)基板表面的干燥效果，從而可以保證后續(xù)在基板表面的成膜質(zhì)量。

顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。