專(zhuān)利名稱(chēng)：拋光液加熱裝置，拋光液溫度控制設(shè)備和拋光液輸送系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種拋光液加熱裝置，包括該拋光液加熱裝置的拋光液溫度控制設(shè)備和拋光液輸送系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
隨著大規(guī)模集成電路布線層數(shù)越來(lái)越多，為保證下一道工序的有效進(jìn)行，需要對(duì)每一層布線進(jìn)行平坦化?；瘜W(xué)機(jī)械拋光(chemical-mechanical polishing，簡(jiǎn)稱(chēng)CMP)是最好的也是唯一的全局平面化技術(shù)。在化學(xué)機(jī)械拋光時(shí)，首先是存在于表面和拋光墊之間的拋光液中的氧化劑、絡(luò)合劑等與銅進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，在銅表面產(chǎn)生一層化學(xué)反應(yīng)薄膜，然后由拋光液中的磨粒和由高分子材料制成的拋光墊通過(guò)機(jī)械作用將這一層化學(xué)反應(yīng)薄膜去除， 使新鮮表面重新裸露出來(lái)，然后再次進(jìn)行上述的化學(xué)反應(yīng)。這樣在化學(xué)作用過(guò)程和機(jī)械作用過(guò)程的交替進(jìn)行中完成表面拋光?；瘜W(xué)機(jī)械拋光技術(shù)是化學(xué)作用和機(jī)械作用相結(jié)合的組合技術(shù)，其過(guò)程相當(dāng)復(fù)雜，影響因素很多。CMP工藝參數(shù)以不同的方式和程度影響最終的拋光效果。其中，拋光液的溫度對(duì)拋光效果有很大的影響，溫度過(guò)低會(huì)導(dǎo)致拋光速率過(guò)低，溫度過(guò)高會(huì)增加布線表面的腐蝕。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題之一。為此，本發(fā)明的一個(gè)目的在于提出一種拋光液加熱裝置。本發(fā)明的另一個(gè)目的在于提出一種可以精確控制拋光液溫度的拋光液溫度控制設(shè)備。本發(fā)明的再一個(gè)目的在于提出一種可以輸送所需溫度的拋光液的拋光液輸送系統(tǒng)。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明第一方面的實(shí)施例提出一種拋光液加熱裝置，所述拋光液加熱裝置包括加熱容器，所述加熱容器內(nèi)限定有容納腔，所述容納腔內(nèi)盛裝有熱交換液體；發(fā)熱元件，所述發(fā)熱元件設(shè)置在所述容納腔內(nèi)用于對(duì)所述熱交換液體加熱；和拋光液換熱管，所述拋光液換熱管具有入口端和出口端，所述拋光液換熱管盤(pán)繞在所述容納腔內(nèi)且所述拋光液換熱管的入口端和出口端分別從所述加熱容器內(nèi)伸出。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光液加熱裝置通過(guò)利用發(fā)熱元件來(lái)加熱熱交換液體、熱交換液體通過(guò)熱交換加熱拋光液換熱管內(nèi)的拋光液，從而實(shí)現(xiàn)了發(fā)熱元件間接地加熱拋光液換熱管內(nèi)的拋光液，有效地避免了因發(fā)熱元件直接設(shè)置在拋光液換熱管上來(lái)加熱拋光液所帶來(lái)的拋光液換熱管破裂、拋光液泄漏等問(wèn)題，延長(zhǎng)了拋光液換熱管的使用壽命。此外，由于拋光液換熱管盤(pán)繞在所述容納腔內(nèi)，因此大大增加了拋光液的加熱時(shí)間，從而獲得更好的加熱效果。另外，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光液加熱裝置可以具有如下附加的技術(shù)特征
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述拋光液換熱管在所述容納腔內(nèi)盤(pán)繞成波紋狀或渦旋狀，從而進(jìn)一步增加了加熱時(shí)間、獲得更好的加熱效果。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述拋光液換熱管在所述容納腔內(nèi)盤(pán)繞成多層，從而進(jìn)一步增加了加熱時(shí)間、獲得更好的加熱效果。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述加熱容器為封閉加熱容器，且所述發(fā)熱元件設(shè)置在容納腔的底部，從而促進(jìn)所述熱交換液體流動(dòng)，使所述熱交換液體的溫度更迅速地達(dá)到均一。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述加熱容器為平行六面體形狀，其中所述拋光液換熱管的入口端和出口端從所述加熱容器的相對(duì)兩側(cè)伸出，且所述拋光液換熱管的出口端在上下方向上高于所述拋光液換熱管的入口端。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述熱交換液體為去離子水，從而避免在所述拋光液換熱管上形成水垢。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述拋光液換熱管為四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基醚共聚物管或者聚四氟乙烯管。根據(jù)本發(fā)明第二方面的實(shí)施例提出一種拋光液溫度控制設(shè)備，所述拋光液溫度控制設(shè)備包括拋光液加熱裝置，所述拋光液加熱裝置可以為根據(jù)本發(fā)明第一方面所述的拋光液加熱裝置；溫度檢測(cè)元件，所述溫度檢測(cè)元件設(shè)置在所述拋光液換熱管路的出口端用于檢測(cè)所述拋光液換熱管內(nèi)的拋光液的溫度；和溫度控制器，所述溫度控制器與所述溫度檢測(cè)元件和發(fā)熱元件電連接并根據(jù)所述溫度檢測(cè)元件檢測(cè)的拋光液溫度控制所述發(fā)熱元件以調(diào)節(jié)所述拋光液的溫度。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光液溫度控制設(shè)備的拋光液換熱管盤(pán)繞在加熱容器的容納腔內(nèi)，因此大大增加了加熱時(shí)間，從而可以精確地控制拋光液換熱管內(nèi)的拋光液的溫度。根據(jù)本發(fā)明第三方面的實(shí)施例提出一種拋光液輸送系統(tǒng)，所述拋光液輸送系統(tǒng)包括拋光液儲(chǔ)存容器；拋光液輸送管，所述拋光液輸送管的進(jìn)液端與所述拋光液儲(chǔ)存容器相連以將所述拋光液儲(chǔ)存容器內(nèi)的拋光液從所述拋光液輸送管的出液端排出；和拋光液溫度控制設(shè)備，所述拋光液溫度控制設(shè)備為根據(jù)本發(fā)明第二方面所述的拋光液溫度控制設(shè)備，其中所述拋光液加熱裝置的拋光液換熱管連接在所述拋光液輸送管中。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光液輸送系統(tǒng)的拋光液溫度控制設(shè)備可以精確地控制拋光液換熱管內(nèi)的拋光液的溫度，因此所述拋光液輸送系統(tǒng)可以向化學(xué)機(jī)械拋光工序提高所需溫度的拋光液，從而提高拋光效果。另外，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光液輸送系統(tǒng)可以具有如下附加的技術(shù)特征根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述拋光液溫度控制設(shè)備鄰近所述拋光液輸送管的出液端，從而有效地減少拋光液在輸送過(guò)程中的熱量損耗。本發(fā)明的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過(guò)本發(fā)明的實(shí)踐了解到。


本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從結(jié)合下面附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中
圖1是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光液加熱裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光液溫度控制設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光液溫度控制設(shè)備實(shí)施溫度控制的原理圖；圖4是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光液輸送系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明加熱容器1、容納腔11、發(fā)熱元件2、拋光液換熱管3、溫度檢測(cè)元件4、拋光液儲(chǔ)存容器5、拋光液輸送管6、壓力調(diào)節(jié)裝置7、流量調(diào)節(jié)裝置8、開(kāi)關(guān)9。
具體實(shí)施例方式下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類(lèi)似的標(biāo)號(hào)表示相同或類(lèi)似的元件或具有相同或類(lèi)似功能的元件。下面通過(guò)參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。在本發(fā)明的描述中，術(shù)語(yǔ)“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明而不是要求本發(fā)明必須以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。下面參照?qǐng)D1描述根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光液加熱裝置。如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光液加熱裝置包括加熱容器1、發(fā)熱元件2和拋光液換熱管3。加熱容器1限定有容納腔11，容納腔11內(nèi)盛裝有熱交換液體(未示出)，熱交換液體可以充滿整個(gè)容納腔11，以覆蓋整個(gè)拋光液管3。發(fā)熱元件2設(shè)置在容納腔11內(nèi)，用于加熱所述熱交換液體。發(fā)熱元件2可以與拋光液換熱管3間隔開(kāi)較大的距離，以避免發(fā)熱元件2自身的高溫對(duì)拋光液換熱管3造成破壞。拋光液換熱管3具有入口端和出口端，拋光液換熱管3盤(pán)繞在容納腔11內(nèi)，且拋光液換熱管3的入口端(圖1中的右端)和出口端(圖1中的左端)分別從加熱容器1內(nèi)伸出。在利用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光液加熱裝置對(duì)拋光液進(jìn)行加熱時(shí)，可以預(yù)先開(kāi)啟發(fā)熱元件2對(duì)所述熱交換液體進(jìn)行預(yù)加熱。待所述熱交換液體達(dá)到一定溫度后，利用輸送裝置例如輸送泵使拋光液從拋光液換熱管3的入口端進(jìn)入到拋光液換熱管3中，并在拋光液換熱管3中以盤(pán)繞地方式流動(dòng)，此時(shí)所述熱交換液體和拋光液通過(guò)拋光液換熱管3進(jìn)行熱交換，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)拋光液的加熱。加熱后的拋光液從拋光液換熱管3的出口端離開(kāi)拋光液換熱管3。圖1中的箭頭方向?yàn)樗鰭伖庖旱牧鲃?dòng)方向。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光液加熱裝置通過(guò)利用發(fā)熱元件2來(lái)加熱所述熱交換液體、所述熱交換液體通過(guò)熱交換加熱拋光液換熱管3內(nèi)的拋光液，從而實(shí)現(xiàn)了發(fā)熱元件2間接地加熱拋光液換熱管3內(nèi)的拋光液，有效地避免了因發(fā)熱元件2直接設(shè)置在拋光液換熱管3上來(lái)加熱拋光液所帶來(lái)的拋光液換熱管3破裂、拋光液泄漏等問(wèn)題，延長(zhǎng)了拋光液換熱管3的使用壽命。此外，由于拋光液換熱管3盤(pán)繞在容納腔11內(nèi)，因此大大增加了拋光液在熱交換液體內(nèi)流動(dòng)和被加熱的時(shí)間，從而獲得更好的加熱效果。在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，拋光液換熱管3在容納腔11內(nèi)盤(pán)繞成波紋狀或渦旋狀。盤(pán)繞成波紋狀或渦旋狀的拋光液換熱管3可以大大地延長(zhǎng)拋光液通過(guò)拋光液加熱裝置的路徑和時(shí)間，即進(jìn)一步增加了拋光液的加熱時(shí)間，從而獲得更好的加熱效果。
在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，拋光液換熱管3在容納腔11內(nèi)盤(pán)繞成多層。在本發(fā)明的一個(gè)示例中，拋光液換熱管3在容納腔11內(nèi)可以在水平方向上盤(pán)繞成多層。在本發(fā)明的另一個(gè)示例中，拋光液換熱管3在容納腔11內(nèi)可以在豎直方向上盤(pán)繞成多層，如圖1所示， 拋光液換熱管3從容納腔11的右側(cè)延伸至容納腔11的左側(cè)，然后向上延伸，再?gòu)娜菁{腔11 的左側(cè)延伸至容納腔11的右側(cè)，依次類(lèi)推，從而使拋光液換熱管3在容納腔11內(nèi)在豎直方向盤(pán)繞成多層?？蛇x地，拋光液換熱管3在容納腔11內(nèi)可以先在水平方向上盤(pán)繞成多層， 然后在豎直方向上盤(pán)繞成多層。在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，拋光液換熱管3在容納腔11內(nèi)盤(pán)繞成多層，其中每一層的拋光液換熱管3均可以盤(pán)繞成波紋狀或渦旋狀。在本發(fā)明的一個(gè)示例中，加熱容器1可以為封閉加熱容器，且發(fā)熱元件2設(shè)置在容納腔11的內(nèi)底部。由于受到加熱的熱交換液體會(huì)向上流動(dòng)，因此將發(fā)熱元件2設(shè)置在容納腔11的底部可以促進(jìn)所述熱交換液體流動(dòng)，使所述熱交換液體的溫度更迅速地達(dá)到均一。 發(fā)熱元件2可以是任何合適的加熱裝置。在本發(fā)明的一個(gè)具體示例中，發(fā)熱元件2可以為電阻絲。加熱容器1優(yōu)選由絕熱的材料制成，例如陶瓷，以防止熱量散失到環(huán)境中。在本發(fā)明的一個(gè)示例中，加熱容器1可以為平行六面體形狀，例如長(zhǎng)方體或者立方體。拋光液換熱管3的入口端和出口端從加熱容器1的相對(duì)兩側(cè)伸出，且拋光液換熱管 3的出口端在上下方向上高于拋光液換熱管3的入口端。這樣可以進(jìn)一步延長(zhǎng)拋光液通過(guò)根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光液加熱裝置的路徑和時(shí)間，即進(jìn)一步增加了拋光液的加熱時(shí)間， 從而獲得更好的加熱效果。例如，如圖1所示，拋光液換熱管3的入口端從加熱容器1的右側(cè)下部伸出，拋光液換熱管3的出口端從加熱容器1的左側(cè)上部伸出。在本發(fā)明的一個(gè)具體示例中，所述熱交換液體可以為去離子水。使用去離子水作為所述熱交換液體可以避免在拋光液換熱管3上形成水垢，因此在長(zhǎng)時(shí)間使用后也不會(huì)影響加熱效果。在本發(fā)明的另一個(gè)具體示例中，拋光液換熱管3為四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基醚共聚物管或者聚四氟乙烯管。四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基醚共聚物管或者聚四氟乙烯管具有良好的物理性能和化學(xué)穩(wěn)定性，因此具有使用壽命長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)。下面參照?qǐng)D2描述根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光液溫度控制設(shè)備。如圖2所示，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光液溫度控制設(shè)備包括拋光液加熱裝置、溫度檢測(cè)元件4和溫度控制器。 拋光液加熱裝置為上述的拋光液加熱裝置。溫度檢測(cè)元件4設(shè)置在拋光液換熱管路3的出口端用于檢測(cè)拋光液換熱管3內(nèi)的拋光液的溫度。溫度控制器(未示出)與溫度檢測(cè)元件 4和發(fā)熱元件2電連接并根據(jù)溫度檢測(cè)元件4檢測(cè)的拋光液的溫度控制發(fā)熱元件2以調(diào)節(jié)所述拋光液的溫度，也就是說(shuō)，所述溫度控制器根據(jù)溫度檢測(cè)元件4所反饋的信號(hào)來(lái)控制發(fā)熱元件2以調(diào)節(jié)所述拋光液的溫度。如圖2和圖3所示，在利用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光液溫度控制設(shè)備對(duì)拋光液進(jìn)行溫度控制時(shí)，可以提前開(kāi)啟發(fā)熱元件2對(duì)所述熱交換液體進(jìn)行預(yù)加熱。待所述熱交換液體達(dá)到一定溫度后，利用輸送裝置例如輸送泵使拋光液從拋光液換熱管3的入口端進(jìn)入到拋光液換熱管3中，并在拋光液換熱管3中流動(dòng)，此時(shí)所述熱交換液體和拋光液通過(guò)拋光液換熱管3進(jìn)行熱交換，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)拋光液的加熱。加熱后的拋光液從拋光液換熱管3的出口端離開(kāi)拋光液換熱管3。圖2中的箭頭方向?yàn)樗鰭伖庖旱牧鲃?dòng)方向。設(shè)置在拋光液換熱管3的出口端的溫度檢測(cè)元件4檢測(cè)離開(kāi)拋光液換熱管3的拋光液的溫度，并將所檢測(cè)到的溫度信號(hào)反饋給所述溫度控制器。如果檢測(cè)到的拋光液的溫度高于預(yù)先設(shè)定的溫度(即獲得良好的拋光效果所需要的溫度)，所述溫度控制器關(guān)閉發(fā)熱元件2，停止對(duì)所述拋光液的間接加熱，以使所述拋光液的溫度回落到預(yù)先設(shè)定的溫度。如果所檢測(cè)到的拋光液的溫度高于預(yù)先設(shè)定的溫度， 所述溫度控制器開(kāi)啟發(fā)熱元件2，對(duì)所述拋光液進(jìn)行間接加熱，以使所述拋光液的溫度上升到預(yù)先設(shè)定的溫度。由于拋光液換熱管3是盤(pán)繞在容納腔11內(nèi)的，因此大大地提高了對(duì)所述拋光液進(jìn)行加熱的時(shí)間，這樣就實(shí)現(xiàn)了對(duì)所述拋光液的溫度的精確控制。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光液溫度控制設(shè)備的拋光液換熱管3盤(pán)繞在加熱容器1的容納腔11內(nèi)，因此大大增加了加熱時(shí)間，從而可以精確地控制拋光液換熱管3內(nèi)的拋光液的溫度。這樣就可以向化學(xué)機(jī)械拋光工序提高所需溫度的拋光液，從而提高拋光效果。在本發(fā)明的一個(gè)示例中，溫度檢測(cè)元件4例如可以為熱電偶，但本發(fā)明并不限于此。下面參照?qǐng)D4描述根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光液輸送系統(tǒng)。如圖4所示，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光液輸送系統(tǒng)包括拋光液儲(chǔ)存容器5、拋光液輸送管6和拋光液溫度控制設(shè)備。拋光液輸送管6的進(jìn)液端與拋光液儲(chǔ)存容器5相連以將拋光液儲(chǔ)存容器5內(nèi)的拋光液從拋光液輸送管6的出液端排出。也就是說(shuō)，利用輸送裝置例如輸送泵將拋光液儲(chǔ)存容器5內(nèi)的拋光液從拋光液輸送管6的進(jìn)液端進(jìn)入到拋光液輸送管6中，并在拋光液輸送管6中流動(dòng)，然后所述拋光液從拋光液輸送管6的出液端離開(kāi)拋光液輸送管6。圖4中的箭頭方向?yàn)樗鰭伖庖旱牧鲃?dòng)方向。拋光液溫度控制設(shè)備為上述拋光液溫度控制設(shè)備。所述拋光液溫度控制設(shè)備設(shè)置在拋光液輸送管6上，具體地說(shuō)，所述拋光液溫度控制設(shè)備的拋光液加熱裝置的拋光液換熱管3連接在拋光液輸送管6中。在本發(fā)明的一個(gè)示例中，拋光液換熱管3的入口端和出口端分別與拋光液輸送管6相連。利用輸送裝置使拋光液儲(chǔ)存容器5內(nèi)的拋光液從拋光液輸送管6的進(jìn)液端進(jìn)入到拋光液輸送管6中，并在拋光液輸送管6中流動(dòng)。由于拋光液換熱管3的入口端與拋光液輸送管6相連，所述拋光液從拋光液換熱管3的入口端進(jìn)入到拋光液換熱管3中，并在拋光液換熱管3中流動(dòng)，然后從拋光液換熱管3的出口端離開(kāi)拋光液換熱管3。所述拋光液在拋光液換熱管3中被加熱到所需溫度。由于拋光液換熱管3的出口端也與拋光液輸送管6相連，離開(kāi)拋光液換熱管3的拋光液再次進(jìn)入拋光液輸送管6中，并從拋光液輸送管6的出液端進(jìn)入到化學(xué)機(jī)械拋光工序中。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光液輸送系統(tǒng)的拋光液溫度控制設(shè)備可以精確地控制拋光液換熱管3內(nèi)的拋光液的溫度，因此所述拋光液輸送系統(tǒng)可以向化學(xué)機(jī)械拋光工序提高所需溫度的拋光液，從而提高拋光效果。在本發(fā)明的一個(gè)示例中，所述拋光液溫度控制設(shè)備鄰近拋光液輸送管6的出液端，這樣可以有效地減少拋光液在輸送過(guò)程中的熱量損耗，從而使化學(xué)機(jī)械拋光工序中所使用的拋光液的溫度更加接近預(yù)定溫度。在本發(fā)明的一個(gè)具體示例中，拋光液換熱管3的入口端與拋光液輸送管6的出液端相連，這樣離開(kāi)拋光液換熱管3的出口端的拋光液直接進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光工序，從而將拋光液在輸送過(guò)程中的熱量損耗降至最小。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，如圖4所示，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光液輸送系統(tǒng)還包括壓力調(diào)節(jié)裝置7和流量調(diào)節(jié)裝置8，壓力調(diào)節(jié)裝置7和流量調(diào)節(jié)裝置8設(shè)置在拋光液輸送管6上，用于調(diào)節(jié)所述拋光液的壓力和流量。壓力調(diào)節(jié)裝置7和流量調(diào)節(jié)裝置8可以已知的用于調(diào)節(jié)液體壓力和流量的裝置，這里不再詳細(xì)描述。此外，還可以在拋光液輸送管6上設(shè)置開(kāi)關(guān)9，以控制拋光液輸送管6的開(kāi)通和關(guān)閉。因此，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光液加熱裝置，拋光液溫度控制設(shè)備和拋光液輸送系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了發(fā)熱元件間接地加熱拋光液換熱管內(nèi)的拋光液，有效地避免了因發(fā)熱元件直接設(shè)置在拋光液換熱管上來(lái)加熱拋光液所帶來(lái)的拋光液換熱管破裂、拋光液泄漏等問(wèn)題， 延長(zhǎng)了拋光液換熱管的使用壽命。此外，由于拋光液換熱管盤(pán)繞在所述容納腔內(nèi)，因此大大增加了拋光液的加熱時(shí)間，從而獲得更好的加熱效果，并且可以精確地控制拋光液換熱管內(nèi)的拋光液的溫度，由此提高拋光效果。在本發(fā)明的描述中，除非另有規(guī)定和限定，需要說(shuō)明的是，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、 “連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是機(jī)械連接或電連接，也可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通，可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，設(shè)備上相鄰的兩個(gè)裝置之間通過(guò)加工媒介之間的聯(lián)系也稱(chēng)之為“相連”或“連接”。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)的具體含義。在本說(shuō)明書(shū)的描述中，參考術(shù)語(yǔ)“一個(gè)實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說(shuō)明書(shū)中，對(duì)上述術(shù)語(yǔ)的示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任何的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解在不脫離本發(fā)明的原理和宗旨的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本發(fā)明的范圍由權(quán)利要求及其等同物限定。
權(quán)利要求
1.一種拋光液加熱裝置，其特征在于，包括加熱容器，所述加熱容器內(nèi)限定有容納腔，所述容納腔內(nèi)盛裝有熱交換液體；發(fā)熱元件，所述發(fā)熱元件設(shè)置在所述容納腔內(nèi)用于對(duì)所述熱交換液體加熱；和拋光液換熱管，所述拋光液換熱管具有入口端和出口端，所述拋光液換熱管盤(pán)繞在所述容納腔內(nèi)且所述拋光液換熱管的入口端和出口端分別從所述加熱容器內(nèi)伸出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液加熱裝置，其特征在于，所述拋光液換熱管在所述容納腔內(nèi)盤(pán)繞成波紋狀或渦旋狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液加熱裝置，其特征在于，所述拋光液換熱管在所述容納腔內(nèi)盤(pán)繞成多層。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液加熱裝置，其特征在于，所述加熱容器為封閉加熱容器，且所述發(fā)熱元件設(shè)置在容納腔的底部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的拋光液加熱裝置，其特征在于，所述加熱容器為平行六面體形狀，其中所述拋光液換熱管的入口端和出口端從所述加熱容器的相對(duì)兩側(cè)伸出，且所述拋光液換熱管的出口端在上下方向上高于所述拋光液換熱管的入口端。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液加熱裝置，其特征在于，所述熱交換液體為去離子水。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液加熱裝置，其特征在于，所述拋光液換熱管為四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基醚共聚物管或者聚四氟乙烯管。
8.一種拋光液溫度控制設(shè)備，其特征在于，包括拋光液加熱裝置，所述拋光液加熱裝置為根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的拋光液加熱裝置；溫度檢測(cè)元件，所述溫度檢測(cè)元件設(shè)置在所述拋光液換熱管路的出口端用于檢測(cè)所述拋光液換熱管內(nèi)的拋光液的溫度；和溫度控制器，所述溫度控制器與所述溫度檢測(cè)元件和發(fā)熱元件電連接并根據(jù)所述溫度檢測(cè)元件檢測(cè)的拋光液溫度控制所述發(fā)熱元件以調(diào)節(jié)所述拋光液的溫度。
9.一種拋光液輸送系統(tǒng)，其特征在于，包括拋光液儲(chǔ)存容器；拋光液輸送管，所述拋光液輸送管的進(jìn)液端與所述拋光液儲(chǔ)存容器相連以將所述拋光液儲(chǔ)存容器內(nèi)的拋光液從所述拋光液輸送管的出液端排出；和拋光液溫度控制設(shè)備，所述拋光液溫度控制設(shè)備為根據(jù)權(quán)利要求8所述的拋光液溫度控制設(shè)備，其中所述拋光液加熱裝置的拋光液換熱管連接在所述拋光液輸送管中。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的拋光液輸送系統(tǒng)，其特征在于，所述拋光液溫度控制設(shè)備鄰近所述拋光液輸送管的出液端。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種拋光液加熱裝置，所述拋光液加熱裝置包括加熱容器，所述加熱容器內(nèi)限定有容納腔，所述容納腔內(nèi)盛裝有熱交換液體；發(fā)熱元件，所述發(fā)熱元件設(shè)置在所述容納腔內(nèi)用于對(duì)所述熱交換液體加熱；和拋光液換熱管，所述拋光液換熱管具有入口端和出口端，所述拋光液換熱管盤(pán)繞在所述容納腔內(nèi)且所述拋光液換熱管的入口端和出口端分別從所述加熱容器內(nèi)伸出。本發(fā)明還公開(kāi)了包括所述拋光液加熱裝置的拋光液溫度控制設(shè)備和拋光液輸送系統(tǒng)。通過(guò)利用包括本發(fā)明的拋光液加熱裝置的拋光液溫度控制設(shè)備和拋光液輸送系統(tǒng)，可以向化學(xué)機(jī)械拋光工序提供所需溫度的拋光液，從而提高拋光效果。
文檔編號(hào)F24H9/20GK102175064SQ20101059426
公開(kāi)日2011年9月7日 申請(qǐng)日期2010年12月17日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月17日
發(fā)明者何永勇, 沈攀, 潘燕, 路新春 申請(qǐng)人:清華大學(xué)