基于amhs系統(tǒng)的輸送車行駛控制方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種基于AMHS系統(tǒng)的輸送車行駛控制方法，其包括獲取目標(biāo)機(jī)臺方位；計(jì)算得到當(dāng)前離目標(biāo)機(jī)臺行駛距離最近的1至5輛輸送車，并判斷它們之中是否存在無任務(wù)輸送車；若存在，則向該無任務(wù)輸送車發(fā)出指令前往該目標(biāo)機(jī)臺執(zhí)行任務(wù)；若不存在，則計(jì)算得到當(dāng)前任務(wù)目標(biāo)離該目標(biāo)機(jī)臺最近的輸送車，并發(fā)出指令在完成當(dāng)前任務(wù)后前往該目標(biāo)機(jī)臺執(zhí)行任務(wù)。本發(fā)明首先尋找距離目標(biāo)機(jī)臺最近的無任務(wù)輸送車，若沒有，接著尋找任務(wù)目標(biāo)距離目標(biāo)機(jī)臺最近的輸送車，通過兩步法選擇最合適的輸送車來執(zhí)行任務(wù)，提高了搬送效率。
【專利說明】基于AMHS系統(tǒng)的輸送車行駛控制方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路物料輸送機(jī)臺【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種基于AMHS系統(tǒng)的輸送車行駛控制方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,300mm娃片已經(jīng)逐步取代200mm娃片成為主流,每盒裝載硅片的硅片盒的重量也由原來的約4公斤變成約9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不僅會降低效率，還存在搬運(yùn)人員人身傷害的可能。同時(shí)，半導(dǎo)體制造對于廠房的利用率以及生產(chǎn)周期的要求越來越嚴(yán)苛，自動化物料傳輸系統(tǒng)(Automated Material HandlingSystems,簡稱AMHS)作為連接各個(gè)制造模塊之間輸送娃片的紐帶的重要性也日益凸顯出來。
[0003]現(xiàn)有的AMHS系統(tǒng)均采用懸掛于天花板上的多條軌道結(jié)構(gòu)與軌道上行駛的OHT輸送車，往返于各個(gè)機(jī)臺之間(tool to tool輸送模式),或往返于機(jī)臺與暫存區(qū)Stocker之間(走道間系統(tǒng)interbay與走道內(nèi)系統(tǒng)intrabay)。如圖1所示的采用走道間、走道內(nèi)的輸送系統(tǒng)，機(jī)臺走道每一邊的每一臺機(jī)臺10安裝有娃片盒堆疊部20 (load port), OHT輸送車70 (overhead hoist transport)能抓起堆疊部20上的娃片盒30,并通過軌道結(jié)構(gòu)60傳送至另一臺機(jī)臺10的堆疊部20上。這種硅片盒30在同一走道內(nèi)的輸送過程稱為走道內(nèi)系統(tǒng)110,而娃片盒30在不同走道之間的輸送過程則稱為走道間系統(tǒng)100。走道內(nèi)系統(tǒng)110的輸送使用OHT輸送車70，走道間系統(tǒng)100的輸送則是先將硅片盒30以輸送車70移至?xí)捍鎱^(qū)50中暫時(shí)儲存，等到需要用到此硅片盒30時(shí)，再同樣以輸送車70搬送到指定機(jī)臺10處。
[0004]一般而言，一個(gè)AMHS系統(tǒng)中有多輛輸送車同時(shí)運(yùn)行執(zhí)行任務(wù)，如何根據(jù)軌道的實(shí)時(shí)交通情況，選擇最合適的輸送車來執(zhí)行搬送任務(wù)是困擾技術(shù)人員的難題之一。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于彌補(bǔ)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種基于AMHS系統(tǒng)的輸送車行駛控制方法。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種基于AMHS系統(tǒng)的輸送車行駛控制方法，其包括以下步驟:
[0007]步驟SOI，獲取目標(biāo)機(jī)臺方位；
[0008]步驟S02，根據(jù)當(dāng)前軌道交通情況，計(jì)算得到當(dāng)前離目標(biāo)機(jī)臺行駛距離最近的I至5輛輸送車，并判斷它們之中是否存在無任務(wù)輸送車；
[0009]步驟S03，若存在，則向該無任務(wù)輸送車發(fā)出指令前往該目標(biāo)機(jī)臺執(zhí)行任務(wù)；若不存在，則根據(jù)當(dāng)前軌道交通情況，計(jì)算得到當(dāng)前任務(wù)目標(biāo)離該目標(biāo)機(jī)臺最近的輸送車，并發(fā)出指令在完成當(dāng)前任務(wù)后前往該目標(biāo)機(jī)臺執(zhí)行任務(wù)；
[0010]步驟S04，收到指令的輸送車到達(dá)目標(biāo)機(jī)臺。[0011 ] 進(jìn)一步地，步驟S03中，若存在無任務(wù)輸送車，則向該無任務(wù)輸送車之一或距離該目標(biāo)機(jī)臺最近的無任務(wù)輸送車發(fā)出指令前往該目標(biāo)機(jī)臺執(zhí)行任務(wù)。
[0012]本發(fā)明的基于AMHS系統(tǒng)的輸送車行駛控制方法，首先尋找距離目標(biāo)機(jī)臺最近的無任務(wù)輸送車，若沒有，接著尋找任務(wù)目標(biāo)距離目標(biāo)機(jī)臺最近的輸送車，通過兩步法選擇最合適的輸送車來執(zhí)行任務(wù)，提高了搬送效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]為能更清楚理解本發(fā)明的目的、特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)，以下將結(jié)合附圖對本發(fā)明的較佳實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述，其中:
[0014]圖1本發(fā)明輸送車行駛控制方法第一實(shí)施例的流程示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]第一實(shí)施例
[0016]請參閱圖1，本實(shí)施例中的基于AMHS系統(tǒng)的輸送車行駛控制方法，包括以下步驟:
[0017]步驟S01，獲取目標(biāo)機(jī)臺方位；
[0018]步驟S02，根據(jù)當(dāng)前軌道交通情況，計(jì)算得到當(dāng)前離目標(biāo)機(jī)臺行駛距離最近的3輛輸送車，并判斷它們之中是否存在無任務(wù)輸送車；
[0019]步驟S031，若存在，則向距離該目標(biāo)機(jī)臺最近的無任務(wù)輸送車發(fā)出指令前往該目標(biāo)機(jī)臺執(zhí)行任務(wù)；
[0020]步驟S032若不存在，則根據(jù)當(dāng)前軌道交通情況，計(jì)算得到當(dāng)前任務(wù)目標(biāo)離該目標(biāo)機(jī)臺最近的輸送車，并發(fā)出指令在完成當(dāng)前任務(wù)后前往該目標(biāo)機(jī)臺執(zhí)行任務(wù)；
[0021]步驟S04，收到指令的輸送車到達(dá)目標(biāo)機(jī)臺。
[0022]其中，步驟S03中所述當(dāng)前任務(wù)目標(biāo)離該目標(biāo)機(jī)臺最近的輸送車是指，當(dāng)前有搬送任務(wù)，而該搬送任務(wù)的目標(biāo)機(jī)臺距離步驟SOl中的目標(biāo)機(jī)臺最近。
[0023]在其他實(shí)施例中，步驟S02中可以根據(jù)實(shí)際系統(tǒng)的需要和輸送車數(shù)量，調(diào)整選取輸送車的數(shù)量；步驟S03中也不一定要選擇距離最近的那輛無任務(wù)輸送車。
【權(quán)利要求】
1.一種基于AMHS系統(tǒng)的輸送車行駛控制方法，其特征在于，其包括以下步驟: 步驟SOI，獲取目標(biāo)機(jī)臺方位； 步驟S02，根據(jù)當(dāng)前軌道交通情況，計(jì)算得到當(dāng)前離目標(biāo)機(jī)臺行駛距離最近的I至5輛輸送車，并判斷它們之中是否存在無任務(wù)輸送車； 步驟S03，若存在，則向該無任務(wù)輸送車發(fā)出指令前往該目標(biāo)機(jī)臺執(zhí)行任務(wù)；若不存在，則根據(jù)當(dāng)前軌道交通情況，計(jì)算得到當(dāng)前任務(wù)目標(biāo)離該目標(biāo)機(jī)臺最近的輸送車，并發(fā)出指令在完成當(dāng)前任務(wù)后前往該目標(biāo)機(jī)臺執(zhí)行任務(wù)； 步驟S04，收到指令的輸送車到達(dá)目標(biāo)機(jī)臺。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于AMHS系統(tǒng)的輸送車行駛控制方法，其特征在于:步驟S03中，若存在無任務(wù)輸送車，則向該無任務(wù)輸送車之一或距離該目標(biāo)機(jī)臺最近的無任務(wù)輸送車發(fā)出指令前往該目標(biāo)機(jī)臺執(zhí)行任務(wù)。
【文檔編號】B65G43/00GK103708204SQ201310742871
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年12月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月27日
【發(fā)明者】周穎 申請人:上海集成電路研發(fā)中心有限公司