非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)一種非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器，該非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器能夠以非接觸狀態(tài)執(zhí)行基板的傳送和翻轉(zhuǎn)。該非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器包括：傳送構(gòu)件，該傳送構(gòu)件沿著導(dǎo)軌移動(dòng)；基板支撐構(gòu)件，該基板支撐構(gòu)件安裝在傳送構(gòu)件處并且通過(guò)阻力和升力非接觸地支撐基板；以及動(dòng)力傳輸構(gòu)件，該動(dòng)力傳輸構(gòu)件將動(dòng)力提供到基板支撐構(gòu)件以使基板支撐構(gòu)件旋轉(zhuǎn)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器
[0001] 相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用
[0002] 本申請(qǐng)要求于2013年4月17日提交的題為"Non-Contact Substrate Transfer Turner (非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器)"的韓國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)序列No. 10-2013-0042382的權(quán)益，通 過(guò)引用的方式將其全部?jī)?nèi)容結(jié)合到本申請(qǐng)中。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0003] 本發(fā)明涉及一種非接觸式基板傳送（transfer,轉(zhuǎn)移）旋轉(zhuǎn)器（turner),并且更特 別地，涉及能夠以非接觸式狀態(tài)進(jìn)行基板的傳送和翻轉(zhuǎn)的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器。

【背景技術(shù)】
[0004] 通常地，主要用于制造基板或者半導(dǎo)體的過(guò)程中的曝光設(shè)備被用于實(shí)現(xiàn)精密電路 圖案、固化阻焊劑等。
[0005] 在使用曝光設(shè)備的過(guò)程期間，因?yàn)榛宓碾娐沸袑捵罱兊酶〔⑶覍?duì)多層基板 的需求增加，所以由于在制造過(guò)程期間由異物所導(dǎo)致的光學(xué)特性干擾使得頻繁產(chǎn)生電路缺 陷。
[0006] 產(chǎn)生這個(gè)問(wèn)題是因?yàn)榛迨且赃@樣狀態(tài)被傳送和翻轉(zhuǎn)：在該狀態(tài)下基板直接接觸 諸如傳送臺(tái)的設(shè)備。
[0007] 也就是說(shuō)，由異物所導(dǎo)致的缺陷表示在傳送基板的時(shí)候異物通過(guò)產(chǎn)品與傳送輸送 機(jī)、傳送輥等之間的摩擦而被吸附到基板的表面上。
[0008] 特別地，因?yàn)榫哂性黾拥幕鍖訅簩訑?shù)的多層基板反復(fù)執(zhí)行數(shù)個(gè)過(guò)程，所以其嚴(yán) 重地受到由異物所導(dǎo)致的污染，并且這個(gè)污染最終導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量改善中的致命問(wèn)題。
[0009] [相關(guān)技術(shù)文獻(xiàn)]
[0010] [專(zhuān)利文獻(xiàn)]
[0011] (專(zhuān)利文獻(xiàn)1)日本專(zhuān)利特開(kāi)公布No. 2008-147291


【發(fā)明內(nèi)容】

[0012] 本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器，該旋轉(zhuǎn)器能夠通過(guò)使基 板的傳送和翻轉(zhuǎn)在基板不接觸傳送臺(tái)的狀態(tài)下被執(zhí)行而使由異物所導(dǎo)致的光學(xué)特性干擾 最小化。
[0013] 此外，本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器，該旋轉(zhuǎn)器能夠 通過(guò)使基板的傳送和翻轉(zhuǎn)被快速執(zhí)行來(lái)預(yù)期提高生產(chǎn)率。
[0014] 根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式，提供一種非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器，該旋轉(zhuǎn)器包 括：傳送構(gòu)件，該傳送構(gòu)件沿著導(dǎo)軌移動(dòng)；基板支撐構(gòu)件，該基板支撐構(gòu)件安裝在傳送構(gòu)件 處并且通過(guò)阻力（drag force,抗力，曳力）和升力（lift force)非接觸地支撐基板；以及 動(dòng)力傳輸構(gòu)件，該動(dòng)力傳輸構(gòu)件將動(dòng)力提供到基板支撐構(gòu)件以使基板支撐構(gòu)件旋轉(zhuǎn)。
[0015] 導(dǎo)軌可以設(shè)置有限制傳送構(gòu)件的移動(dòng)距離的限位開(kāi)關(guān)
[0016] 基板支撐構(gòu)件可以包括：框架；空氣抽吸部，該空氣抽吸部安裝在框架處并且抽 吸吸附在基板上的異物；以及空氣排放部，該空氣排放部安裝在框架處并且通過(guò)空氣排放 而以非接觸狀態(tài)支撐基板。
[0017] 空氣抽吸部和空氣排放部可以分別交替地安裝，并且空氣排放部可以包括形成為 以預(yù)定角度傾斜的空氣排放孔。
[0018] 可以在傳送構(gòu)件的上側(cè)處設(shè)置一對(duì)基板支撐構(gòu)件，并且基板支撐構(gòu)件可以分別在 順時(shí)針?lè)较蚝湍鏁r(shí)針?lè)较蛏闲D(zhuǎn)。
[0019] 這對(duì)基板支撐構(gòu)件可以構(gòu)造成翻轉(zhuǎn)供應(yīng)部和翻轉(zhuǎn)接收部，該翻轉(zhuǎn)供應(yīng)部非接觸地 傳送基板，該翻轉(zhuǎn)接收部接收通過(guò)翻轉(zhuǎn)供應(yīng)部所供應(yīng)的基板。
[0020] 動(dòng)力傳輸構(gòu)件可以包括：馬達(dá)，該馬達(dá)提供動(dòng)力以根據(jù)旋轉(zhuǎn)方向使基板支撐構(gòu)件 上升和下降；減速器，該減速器減慢馬達(dá)的轉(zhuǎn)數(shù)；以及旋轉(zhuǎn)式旋轉(zhuǎn)馬達(dá)，該旋轉(zhuǎn)式旋轉(zhuǎn)馬達(dá) 使基板支撐構(gòu)件旋轉(zhuǎn)。
[0021] 傳送構(gòu)件可以通過(guò)使用線性馬達(dá)、螺桿（screw，螺紋件)、帶、以及鏈條中的任一者 而構(gòu)造。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0022] 圖1是示出了根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器的透視圖；
[0023] 圖2是根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器的平面圖；
[0024] 圖3是根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器的側(cè)視圖；
[0025] 圖4是根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器的側(cè)視圖；
[0026] 圖5是僅示出了根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器的部件 的非接觸式傳送模塊的透視圖；
[0027] 圖6是示出了根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器的基板傳 送構(gòu)件的分解透視圖；
[0028] 圖7是根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器的基板傳送構(gòu)件 的橫截面視圖；
[0029] 圖8是示出了通過(guò)根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器來(lái)翻 轉(zhuǎn)基板的過(guò)程的側(cè)視圖；以及
[0030] 圖9是示出了通過(guò)根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器來(lái)翻 轉(zhuǎn)基板的狀態(tài)的透視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0031] 在下文中，將參照附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的示例性實(shí)施方式。
[0032] 圖1是示出了根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器的透視圖， 圖2是根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器的平面圖，圖3是根據(jù)本發(fā) 明示例性實(shí)施方式的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器的側(cè)視圖，圖4是根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方 式的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器的側(cè)視圖，圖5是僅示出了根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的非 接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器的部件的非接觸式傳送模塊的透視圖，圖6是示出了根據(jù)本發(fā)明示 例性實(shí)施方式的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器的基板傳送構(gòu)件的分解透視圖，圖7是根據(jù)本發(fā) 明示例性實(shí)施方式的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器的基板傳送構(gòu)件的橫截面視圖，圖8是示出 了通過(guò)根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器來(lái)翻轉(zhuǎn)基板的過(guò)程的側(cè)視 圖，以及圖9是示出了通過(guò)根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器來(lái)翻轉(zhuǎn) 基板的狀態(tài)的透視圖。
[0033] 如圖1到圖5所示，根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器100 被構(gòu)造為使由異物所導(dǎo)致的污染最小化并且被構(gòu)造為通過(guò)以非接觸式狀態(tài)傳送和翻轉(zhuǎn)基 板來(lái)快速地供應(yīng)基板。
[0034] 在根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器100中，線性馬達(dá)10被 設(shè)置為傳送基板并且傳送構(gòu)件20沿著安裝在線性馬達(dá)10中的導(dǎo)軌(未示出）移動(dòng)，使得基 板被供應(yīng)至下一個(gè)過(guò)程。
[0035] 可以根據(jù)旋轉(zhuǎn)器100的設(shè)計(jì)規(guī)格設(shè)置一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)軌。在這種情況下，導(dǎo)軌可以 安裝有限位開(kāi)關(guān)(未示出）以便限制傳送構(gòu)件20的移動(dòng)距離，其中限位開(kāi)關(guān)可以安裝在傳送 構(gòu)件20處而不是導(dǎo)軌處。
[0036] 傳送構(gòu)件20在沿著導(dǎo)軌移動(dòng)的時(shí)候通過(guò)線性馬達(dá)、螺桿、帶、鏈條等中的任一者 接收動(dòng)力。
[0037] 在這些之中，因?yàn)榫€性馬達(dá)10是最廣泛地用于沿著導(dǎo)軌移動(dòng)的設(shè)備，所以本發(fā)明 還示出了使用線性馬達(dá)10的情形。
[0038] 傳送構(gòu)件20具有安裝在其上側(cè)處的基板支撐構(gòu)件30,使得基板可以以非接觸式 狀態(tài)被傳送和翻轉(zhuǎn)。
[0039] -對(duì)基板支撐構(gòu)件30可以被構(gòu)造成以能旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)位于傳送構(gòu)件的上部處?；?板支撐構(gòu)件30包括翻轉(zhuǎn)供應(yīng)部31和接收通過(guò)翻轉(zhuǎn)供應(yīng)部31所供應(yīng)的基板的翻轉(zhuǎn)接收部 35,以便在傳送基板的過(guò)程中保持非接觸式狀態(tài)。
[0040] 也就是說(shuō)，基板支撐構(gòu)件30被構(gòu)造成翻轉(zhuǎn)供應(yīng)部31和翻轉(zhuǎn)接收部35,其中翻轉(zhuǎn)供 應(yīng)部31和翻轉(zhuǎn)接收部35根據(jù)它們安裝在傳送構(gòu)件20處的位置可具有相同的結(jié)構(gòu)。
[0041] 基板支撐構(gòu)件30被構(gòu)造為在傳送和翻轉(zhuǎn)基板的時(shí)候利用由空氣產(chǎn)生的阻力和升 力而保持基板不接觸的狀態(tài)。
[0042] 上面提及的基板支撐構(gòu)件30包括：框架32 ;空氣抽吸部33,該空氣抽吸部安裝在 框架32處并且通過(guò)空氣抽吸風(fēng)扇33a抽吸吸附在基板P上的異物；空氣排放部38,該空氣 排放部安裝在框架32處并且通過(guò)排放空氣而以非接觸狀態(tài)支撐基板P ;以及殼體39,將它 們?nèi)菁{于其中。
[0043] 空氣抽吸風(fēng)扇33a和空氣排放部38可以交替地安裝在框架32處。
[0044] 此外，空氣排放部38朝向基板P傾斜地排放空氣以提供升力和阻力，從而使基板P 處于非接觸狀態(tài)下，并且空氣抽吸風(fēng)扇33a可以通過(guò)從基板P抽吸空氣而去除基板P的表 面上的異物。
[0045] 在這種情況下，空氣排放部38具有空氣排放孔38a，該空氣排放孔具有以預(yù)定角 度傾斜的形狀，而不是處于堅(jiān)直方向，使得朝向基板P的表面產(chǎn)生升力。
[0046] 在空氣排放部38的情形中，當(dāng)空氣排放孔38a被構(gòu)造為以預(yù)定角度傾斜并且通過(guò) 空氣排放孔38a的空氣的流速增加時(shí)，基板P和空氣排放部38之間同時(shí)產(chǎn)生阻力和升力。
[0047] 如上所述產(chǎn)生的阻力和升力可以通過(guò)與由空氣抽吸風(fēng)扇33a抽吸基板P的抽吸力 相平衡，而以非接觸狀態(tài)支撐基板P。
[0048] 如上所述的能夠以非接觸狀態(tài)支撐基板P的原理是可行的，這是因?yàn)锽eroulli的 定理已應(yīng)用于基板支撐構(gòu)件。
[0049] 也就是說(shuō)，當(dāng)空氣以高速噴射時(shí)，基板P的上部空間具有低氣壓并且基板的下部 空間具有比較高的氣壓，使得在基于基板P的上部部分與下部部分之間產(chǎn)生壓力差并且產(chǎn) 生與所產(chǎn)生的壓力差一樣多的向上升力。
[0050] 如上所述產(chǎn)生的升力使基板P漂浮，使得基板P不會(huì)緊密附著于框架32。
[0051 ] 此外，從空氣排放部所排放的空氣是通過(guò)相對(duì)于基板P近似在對(duì)角方向上形成的 空氣排放孔38a排放的。在這個(gè)過(guò)程中，阻力是由沿著基板P的表面的氣流的升力和摩擦 力的總和產(chǎn)生的。
[0052] 因此，通過(guò)由空氣排放部38產(chǎn)生的阻力和升力與由空氣抽吸風(fēng)扇33a產(chǎn)生的抽吸 力的平衡，可以使基板P保持在基板P不接觸框架32的狀態(tài)下。
[0053] 此外，基板支撐構(gòu)件30可以在安裝在傳送構(gòu)件20上側(cè)之后分別在順時(shí)針?lè)较蚝?逆時(shí)針?lè)较蛏闲D(zhuǎn)180° ,但是本發(fā)明示例性實(shí)施方式示出的是旋轉(zhuǎn)90°。
[0054] 例如，翻轉(zhuǎn)供應(yīng)部31可以在順時(shí)針?lè)较蛏闲D(zhuǎn)90°，另一方面，翻轉(zhuǎn)接收部35可 以在逆時(shí)針?lè)较蛏闲D(zhuǎn)90°。
[0055] 當(dāng)從動(dòng)力傳輸構(gòu)件40提供動(dòng)力時(shí)，形成基板支撐構(gòu)件30的旋轉(zhuǎn)角。動(dòng)力傳輸構(gòu) 件40可以包括：馬達(dá)42,提供動(dòng)力以根據(jù)旋轉(zhuǎn)方向使基板支撐構(gòu)件30上升和下降；減速器 25,減慢馬達(dá)42的旋轉(zhuǎn)次數(shù)；以及旋轉(zhuǎn)式旋轉(zhuǎn)馬達(dá)22,使基板支撐構(gòu)件30以任何旋轉(zhuǎn)角范 圍旋轉(zhuǎn)。
[0056] 也就是說(shuō)，當(dāng)通過(guò)馬達(dá)22產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)力時(shí)，減速器25調(diào)整馬達(dá)22的旋轉(zhuǎn)次數(shù)并且 將所調(diào)整的旋轉(zhuǎn)力供應(yīng)到旋轉(zhuǎn)式旋轉(zhuǎn)馬達(dá)22,使得基板支撐構(gòu)件30的角度可以在任何旋 轉(zhuǎn)角范圍內(nèi)進(jìn)行調(diào)整。
[0057] 此處，在動(dòng)力傳輸構(gòu)件40的情形中，馬達(dá)、減速器、以及旋轉(zhuǎn)式旋轉(zhuǎn)馬達(dá)22作為示 例性實(shí)施方式進(jìn)行描述，但是允許基板支撐構(gòu)件30的位置在90°范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)或者在任何 設(shè)置角度內(nèi)旋轉(zhuǎn)的任何構(gòu)造形式也是可應(yīng)用的并且用作動(dòng)力傳輸構(gòu)件40。
[0058] 在下文中，將描述根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器的操作 過(guò)程。
[0059] 參照?qǐng)D8和圖9,當(dāng)基板P向翻轉(zhuǎn)供應(yīng)部31上偵彳移動(dòng)以便在基板P的表面上執(zhí)行 精密電路圖案或者阻焊劑的固化時(shí)，空氣抽吸風(fēng)扇33a和空氣排放部38抽吸和噴射空氣， 使得基板P不會(huì)直接附著于框架32,從而同時(shí)生成阻力和升力。
[0060] 在通過(guò)空氣抽吸風(fēng)扇33a和空氣排放部38將基板P支撐于框架32的上側(cè)的情形 中，傳送構(gòu)件20沿著導(dǎo)軌移動(dòng)。
[0061] 當(dāng)傳送構(gòu)件20的移動(dòng)完成時(shí)，翻轉(zhuǎn)供應(yīng)部31通過(guò)旋轉(zhuǎn)式旋轉(zhuǎn)馬達(dá)22和減速器25 的操作旋轉(zhuǎn)90°以便呈堅(jiān)直狀態(tài)。
[0062] 同時(shí)，翻轉(zhuǎn)接收部35同樣通過(guò)旋轉(zhuǎn)式旋轉(zhuǎn)馬達(dá)22和減速器25的操作旋轉(zhuǎn)90°以 便呈堅(jiān)直狀態(tài)。
[0063] 因此，處于堅(jiān)直狀態(tài)下的彼此面對(duì)的翻轉(zhuǎn)供應(yīng)部31和翻轉(zhuǎn)接收部35同時(shí)支撐基 板P，使得基板P不會(huì)堅(jiān)直下落并且處于保持狀態(tài)下。
[0064] 在這種情況下，翻轉(zhuǎn)供應(yīng)部31和翻轉(zhuǎn)接收部35保持同時(shí)供應(yīng)空氣的狀態(tài)下，并且 當(dāng)來(lái)自翻轉(zhuǎn)供應(yīng)部31的空氣被阻斷時(shí)，基板P以非接觸狀態(tài)被傳送到翻轉(zhuǎn)接收部35。
[0065] 然后，翻轉(zhuǎn)供應(yīng)部31通過(guò)旋轉(zhuǎn)馬達(dá)22和減速器25的操作返回到初始位置。
[0066] 在翻轉(zhuǎn)供應(yīng)部31返回到初始位置的情形中，翻轉(zhuǎn)接收部35同樣返回到初始位置 并且繼續(xù)在返回的位置處以非接觸狀態(tài)支撐基板P。
[0067] 在這種情況下，盡管附圖中未示出，但是在自動(dòng)機(jī)械繼續(xù)以非接觸狀態(tài)接收基板 之后通過(guò)翻轉(zhuǎn)接收部35以非接觸狀態(tài)支撐的基板P被傳送以便進(jìn)入下一個(gè)過(guò)程。
[0068] 因此，根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器100可以以非接觸 狀態(tài)保持基板P的傳送，可以通過(guò)翻轉(zhuǎn)供應(yīng)部31和翻轉(zhuǎn)接收部35翻轉(zhuǎn)基板P的位置，并且 可以在翻轉(zhuǎn)過(guò)程中保持基板P處于非接觸狀態(tài)，從而可以使由異物所導(dǎo)致的污染最小化。 [0069] 在上文，盡管已經(jīng)描述了根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn) 器，但是本發(fā)明不限于此，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以進(jìn)行各種修改和改變。
[0070] 根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式，該非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器可以通過(guò)使基板的傳送 和翻轉(zhuǎn)在基板不接觸傳送臺(tái)的狀態(tài)下被執(zhí)行而使由異物所導(dǎo)致的光學(xué)特性干擾最小化，由 此可預(yù)期改善產(chǎn)品特征。
[0071] 此外，根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施方式的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器可以快速執(zhí)行基板 的傳送和翻轉(zhuǎn)，使得可預(yù)期提高生產(chǎn)率
【權(quán)利要求】
1. 一種非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器，包括： 傳送構(gòu)件，所述傳送構(gòu)件沿著導(dǎo)軌移動(dòng)； 基板支撐構(gòu)件，所述基板支撐構(gòu)件安裝在所述傳送構(gòu)件處并且通過(guò)阻力和升力非接觸 地支撐基板；以及 動(dòng)力傳輸構(gòu)件，所述動(dòng)力傳輸構(gòu)件將動(dòng)力提供到所述基板支撐構(gòu)件以使所述基板支撐 構(gòu)件旋轉(zhuǎn)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器，其中，所述導(dǎo)軌設(shè)置有限制所述 傳送構(gòu)件的移動(dòng)距離的限位開(kāi)關(guān)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器，其中，所述基板支撐構(gòu)件包括：框 架；空氣抽吸部，所述空氣抽吸部安裝在所述框架處并且抽吸吸附在基板上的異物；以及 空氣排放部，所述空氣排放部安裝在所述框架處并且通過(guò)空氣排放而以非接觸狀態(tài)支撐所 述基板。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器，其中，所述空氣抽吸部和所述空 氣排放部分別交替地安裝。
5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器，其中，所述空氣排放部包括形成 為以預(yù)定角度傾斜的空氣排放孔。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器，其中，在所述傳送構(gòu)件的上側(cè)處 設(shè)置有一對(duì)基板支撐構(gòu)件，并且所述基板支撐構(gòu)件分別在順時(shí)針?lè)较蚝湍鏁r(shí)針?lè)较蛏闲?轉(zhuǎn)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器，其中，所述一對(duì)基板支撐構(gòu)件被 構(gòu)造成翻轉(zhuǎn)供應(yīng)部和翻轉(zhuǎn)接收部，所述翻轉(zhuǎn)供應(yīng)部非接觸地傳送所述基板，所述翻轉(zhuǎn)接收 部接收通過(guò)所述翻轉(zhuǎn)供應(yīng)部供應(yīng)的所述基板。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器，其中，所述動(dòng)力傳輸構(gòu)件包 括：馬達(dá)，所述馬達(dá)提供動(dòng)力以根據(jù)旋轉(zhuǎn)方向使所述基板支撐構(gòu)件上升和下降；減速器，所 述減速器減慢所述馬達(dá)的轉(zhuǎn)數(shù)；以及旋轉(zhuǎn)式旋轉(zhuǎn)馬達(dá)，所述旋轉(zhuǎn)式旋轉(zhuǎn)馬達(dá)使所述基板支 撐構(gòu)件旋轉(zhuǎn)。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸式基板傳送旋轉(zhuǎn)器，其中，所述傳送構(gòu)件通過(guò)使用線 性馬達(dá)、螺桿、帶、以及鏈條中的任一者而構(gòu)造。
【文檔編號(hào)】B65G47/252GK104108590SQ201310608683
【公開(kāi)日】2014年10月22日 申請(qǐng)日期:2013年11月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月17日
【發(fā)明者】李庸寬, 金善, 金賢洙 申請(qǐng)人:三星電機(jī)株式會(huì)社