專利名稱：使薄膜容易控制的方法和夾緊裝置的制作方法
背景技術：
本發(fā)明一般涉及使薄膜容易固定的裝置和方法。此外，本發(fā)明還涉及進一步加工使用的固定薄膜的夾緊裝置。具體而言，本發(fā)明涉及在生產薄膜電子器件過程中固定薄膜使用的所述夾緊裝置。
有機場致發(fā)光器件(“OELD”)和活性基質(active matrix)液晶顯示器(LCD)等光電子器件，能借助于它們簡單的制造技術，提供一種生產成本低面積大的顯示器和照明裝置的途徑。在顯示器的應用中，OELD具有使用能量少顯示色彩范圍寬的潛在能力，因而能提供設計和使用性能方面的優(yōu)點，其中包括更清晰的圖像，更鮮明的圖像輪廓(crispervideo)，和在數(shù)字攝象機、移動電話、和個人數(shù)字輔助裝置等器件中使用的更薄的設計。超過基于真空管的技術等常規(guī)技術的另一些優(yōu)點包括在大多數(shù)照明條件下使清晰度最佳的較高對比度、支持視頻流式傳輸?shù)妮^快響應時間、和使人機工程學更優(yōu)越的廣角視角，使它們對在表面安裝的便攜產品之類的應用更加理想。
常規(guī)的OELD一般是用玻璃基片制造的。最近，人們一直致力于在塑料基片上制造這些器件，因為玻璃基片不適合某些需要撓性的用途。而且，包括大玻璃基片的生產過程，由于玻璃破碎而使產率受到損失，從而提高了生產成本。此外，對于給定厚度，玻璃膜比塑料膜重。因此，使用塑料基片具有明顯的好處。然而，塑料基片的缺點是它們在傳統(tǒng)的生產過程中控制困難。為了對塑料基片進行控制，一直采用粘合劑將塑料膜固定在玻璃基片上。然而，使用粘附在玻璃上的塑料膜不僅不能避免玻璃破碎問題，還引入一些可能引起成品器件損壞的外加控制步驟。
因此，需要有可以用來控制塑料膜的適宜裝置，使它們能夠應用生產光電子器件的傳統(tǒng)生產技術進行可靠的加工。
發(fā)明簡述本發(fā)明提供固定膜的裝置。在一個方面，該裝置包括至少一個內部件和至少一個外部件。內部件配置在被固定膜的外部件限定的空間內。
在本發(fā)明的另一個方面，固定塑料膜的夾緊裝置包括至少一個內部件和至少一個外部件，使它們的形狀能夠固定配置在內部件和外部件之間的膜。
在本發(fā)明的另一個方面，在電子器件生產過程中進一步加工所述被固定的膜。
在本發(fā)明的另一個方面，固定塑料膜的方法包括將膜配置在夾緊裝置的至少一個內部件和至少一個外部件之間，同時移動內部件和外部件固定該膜。
在本發(fā)明的另一個方面，生產一種經(jīng)加工的膜的方法包括將膜配置在夾緊裝置的至少一個內部件和至少一個外部件之間，使內部件移動到在外部件內的空間中，生產被固定的膜，使被固定的膜暴露在至少一個加工步驟中，移開內部件和外部件，釋放一種經(jīng)加工的膜。
在本發(fā)明的另一個方面，提供生產包括膜的經(jīng)加工制品的方法。該方法包括將膜配置在夾緊裝置的至少一個內部件和至少一個外部件之間，使內部件移動到在外部件內的空間中，生產被固定的膜，在被固定的膜上制造經(jīng)加工的制品，移開內部件和外部件，釋放經(jīng)加工的制品。
在本發(fā)明的另一個方面，生產經(jīng)加工膜的生產系統(tǒng)包括膜的配送操作臺、膜的夾緊操作臺、膜的加工操作臺、和膜的松脫操作臺。膜的夾緊操作臺包括至少一個夾緊裝置，其中包括至少一個內部件和至少一個外部件。將膜配置在內部件和外部件之間，使內部和外部件的形狀能夠將膜可靠地固定。
根據(jù)下面對本發(fā)明的詳細說明和附圖，本發(fā)明的其它特性和優(yōu)點是顯而易見的，圖中相同的數(shù)字系指相同的部件。
附圖簡述

圖1是膜加工系統(tǒng)的分解透視圖；圖2是圖1的膜加工系統(tǒng)的組裝透視圖；圖3是膜加工系統(tǒng)的一部分沿圖2 3-3線剖開的截面圖；圖4是第一個可供選擇的膜加工系統(tǒng)的橫截面圖；圖5是第二個可供選擇的膜加工系統(tǒng)的橫截面圖；圖6是第三個可供選擇的膜加工系統(tǒng)的橫截面圖，其中包括起支撐作用的內部件；圖7是第四個可供選擇的膜加工系統(tǒng)的局部橫截面圖8是第五個可供選擇的膜加工系統(tǒng)的局部橫截面圖；圖9是用于玻璃基片的常規(guī)器件加工系統(tǒng)使用的膜加工系統(tǒng)的分解透視圖；圖10是包括多個夾緊裝置的膜加工系統(tǒng)的分解透視圖；圖11是說明采用在前面一些圖中所示的膜加工系統(tǒng)加工膜的典型步驟的流程圖。
發(fā)明詳述在本申請中的術語“內部件”和“外部件”分別系指一個或多個內部件和一個或多個外部件。術語“夾緊裝置”系指至少一個內部件和至少一個外部件的組合。應當理解，本公開內容的附圖不是按比例繪制的。術語“松脫”系指使內部和外部件彼此分離釋放一種經(jīng)加工的膜的方法。
本發(fā)明提供固定塑料薄膜等膜的裝置。此外，本發(fā)明還適合使包括所述塑料薄膜的電子器件的生產變得容易。在本發(fā)明的一個方面，該裝置包括膜和夾緊裝置，夾緊裝置包括至少一個內部件和至少一個外部件，其中該膜被可靠地固定在所述的部件之間。圖1示出本發(fā)明的第一個實施方案。該裝置是膜的加工系統(tǒng)10，其中包括配置在包括內部件14和外部件16的夾緊裝置之間的膜12。內部件14比外部件16具有較小的直徑。在其它一個實施方案中，夾緊裝置可以采取與本申請所公開的圓形形狀不同的形狀，只要內部件與被外部件限定的空間相配合。應該使包括內部和外部件的夾緊裝置具有這樣的形狀，在將膜配置在它們之間后，能使內部件移動到被外部件限定的空間內，將膜固定。圖2示出膜加工系統(tǒng)10的組裝透視圖，其中內部件14和外部件16是同軸組裝在一起的。其作用是將膜12固定。圖3示出膜加工系統(tǒng)10的一部分沿圖2 3-3線剖開的截面圖。如此生產的被固定的膜被夾緊裝置牢固地固定在內部件14的外表面20和外部件16的內表面22之間的位置上。這種技術能使人們在被固定的膜表面上產生的加工區(qū)域18上實施各種進一步的加工方案，因而進一步擴大了夾緊裝置和設備的實用性。
在一個實施方案中，膜加工系統(tǒng)10使用的膜，厚度一般為約2×10-5m-約8×10-4m。該膜包括的材料選自熱塑性聚合物和熱固性聚合物。該膜可以包括單層或多層(例如不同聚合物膜的層壓層等)不同的熱固性或熱塑性的均聚物、共聚物、混合物、或它們的衍生物。熱塑性聚合物的非限制性實例包括選自下列的聚合物聚碳酸酯、聚酯、聚酯碳酸酯、聚酰胺、聚酰亞胺、聚烯烴、聚苯醚、聚酰胺酰亞胺、聚醚砜、聚丙烯酸酯、苯乙烯聚合物、硅氧烷、環(huán)氧樹脂、硅氧烷官能化的環(huán)氧樹脂、和它們的共聚物、衍生物、和混合物。在一個實施方案中，熱塑性聚合物選自聚對苯二酸丁二醇酯；聚對苯二酸乙二酯；苯乙烯-丙烯腈共聚物；苯乙烯-甲基丙烯腈共聚物；丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物；丙烯腈-α-甲基苯乙烯-丁二烯共聚物；包括從間苯二酸、對苯二酸、間苯二酚、和雙酚A衍生的重復單元的多芳基化合物共聚物；和包括從雙酚A、1，3-雙(4-羥苯基)-1-甲基-4-異丙基環(huán)己烷、和2，8-雙(4-羥苯基)-1-甲基-4-異丙基環(huán)己烷中至少之一衍生的重復單元的聚碳酸酯；和前述聚合物的混合物。在一個實施方案中，膜的折射率一般為約1.05-約2.5。
根據(jù)膜的性質，內部件和外部件可以保持在選自低于環(huán)境溫度、環(huán)境溫度、和高于環(huán)境溫度的溫度下。在某些情況下，當在升高的溫度下采用被加熱的金屬制的內部件14和外部件16固定膜12時，被固定的膜可能凹陷，由于凹陷的結果，進一步加工可能成為問題。這個問題可能隨溫度的升高而加劇。這種凹陷的原因之一是膜和內部/外部件的熱膨脹系數(shù)(“CTE”)不匹配。解決這個問題的一個可能的辦法，是使用由玻璃轉化溫度適當高的聚合物材料制造的內部件14和外部件16。在一個實施方案中，膜和內部和外部件14和16分別包括相同的聚合物材料。在另一個實施方案中，膜和內部和外部件14和16分別具有基本上相同的熱性質，例如CTE。術語“基本上相同的熱性質”，系指在聚合膜內不產生過大的應力，過大的應力會使隨后在聚合膜上附著涂層或器件失敗。在一個實施方案中，膜和內部和外部件14和16分別具有基本上相同的熱膨脹系數(shù)--每開氏度絕對溫度約百萬分之5至約百萬分之150。包括內部件14和外部件16的夾緊裝置構成本申請公開的裝置的核心。內部件14和外部件16一般可以是任何形狀。在一個實施方案中，它們具有基本上相同的形狀。形狀的非限制性實例包括圓形、矩形、正方形、卵形、橢圓形、和具有弧形邊緣的多角形。為了控制膜，特別是控制厚度達到8×10-4m的薄膜，不希望有尖銳的邊緣，因為當膜用所述的夾緊裝置固定時，膜可能會撕裂或刺穿。在一個實施方案中，接觸外部件內側和內部件外側的膜具有圖3所示的圓角。內部件的橫截面尺寸一般小于外部件的橫截面尺寸。內部和外部件橫截面尺寸的差值主要根據(jù)膜的厚度進行選擇。內部和外部件橫截面尺寸的差值更一般地應該是這樣，當將膜配置在內部和外部件之間時，這些部件應將膜固定牢固。例如對于包括圓形的內部和外部件的夾緊裝置，對于給定的膜厚度，內部和外部件之間的直徑差越小，被固定的膜在夾緊裝置中就固定得越緊。
包括內部件14和外部件16的夾緊裝置，可以由任何類型的材料制造。在一個實施方案中，該材料任選自聚合物、金屬、和纖維增強材料。材料的非限制性實例包括金屬和金屬基的合金，例如鐵、鋁、鎳、銅、不銹鋼、蒙乃爾合金、和因科鎳合金、玻璃、和陶瓷。聚合物選自熱塑性聚合物和熱固性聚合物?？梢允褂玫臒崴苄跃酆衔锇ㄟx自下列的聚合物聚碳酸酯、聚酯、聚酯碳酸酯、聚酰胺、聚酰亞胺、聚烯烴、聚苯醚、聚酰胺酰亞胺、聚醚砜、聚丙烯酸酯、苯乙烯聚合物、硅氧烷、環(huán)氧樹脂、硅氧烷官能化的環(huán)氧樹脂、和它們的共聚物、衍生物、和混合物。在一個實施方案中，包括熱塑性聚合物的內部和外部件選自聚對苯二酸丁二醇酯；聚對苯二酸乙二酯；苯乙烯-丙烯腈共聚物；苯乙烯-甲基丙烯腈共聚物；丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物；丙烯腈-α-甲基苯乙烯-丁二烯共聚物；包括從間苯二酸、對苯二酸、間苯二酚、和雙酚A衍生的重復單元的多芳基化合物共聚物；和包括從雙酚A、1，3-雙(4-羥苯基)-1-甲基-4-異丙基環(huán)己烷、和2，8-雙(4-羥苯基)-1-甲基-4-異丙基環(huán)己烷中至少之一衍生的重復單元的聚碳酸酯；和前述聚合物的混合物。
本申請上面所述固定膜的裝置也可以進行適當?shù)母倪M，以便在被固定的膜上實施各種掩蔽技術，在其上制造薄膜電子器件。在幾個一個實施方案中，內部件或外部件或這二種部件，包括一個或多個掩蔽部分和開孔部分。在一個實施方案中，掩蔽是掩蔽輻射。在圖4和5中示出所述改進裝置的二個一個實施方案。圖4示出第一個可供選擇的膜加工系統(tǒng)的橫截面圖，其中繪出配置在外部件16和內部掩蔽部件30之間的膜12，內部掩蔽部件30具有掩蔽部分32和開孔部分34。因此采用所述膜加工系統(tǒng)固定的膜加工區(qū)域18會具有一些開孔(或薄露區(qū)域)34，開孔34從加工區(qū)域18的上側暴露于進行進一步加工的不同類型的涂層和輻射源。圖5示出第二個可供選擇的膜加工系統(tǒng)的橫截面圖，其中繪出配置在外部件40和內部件30之間的膜12。內部和外部件二者都具有掩蔽部分36和開孔(或暴露區(qū)域)38。在把膜固定在內部件30和外部件40之間之后，被固定的膜可從加工區(qū)域18的底部，或通過開孔38從加工區(qū)域的頂部暴露于采用光刻法制作布線圖案(下面進一步敘述)等技術進行進一步加工的不同涂層、蝕刻、磨蝕、和輻射源，借此可以將掩蔽物上的幾何形狀，轉移到被固定的聚合物膜的表面上。此外，內部件也可以具有不同的網(wǎng)格狀工作圖案(patterns of grid work)，它們也會起掩蔽器件的作用。
光刻法是給例如在傳感器和微電子機械系統(tǒng)等各種應用中使用的半導體和其它元件制作布線圖案普遍使用的技術?？梢允褂脴藴使饪谭ɑ驘o掩蔽光刻法這二種技術。標準光刻法一般是采用四個工藝步驟進行的。例如，首先給被固定的未涂或涂有附加層的塑料膜涂覆負性或正性光致抗蝕劑材料。負性光致抗蝕劑材料的適宜實例，是具有適宜光聚合基團的可溶性聚酰胺酸(例如通過肼與雙酐(dianhydride)反應制備的)，當暴露于光時它會產生不溶解的聚酰亞胺材料。其次，使光致抗蝕劑暴露于透過適宜光掩蔽物的光，使預定的光致抗蝕劑涂層區(qū)域選擇性地聚合成聚酰亞胺。在有時被稱作顯像步驟的下一個步驟，采用適宜的溶劑進行洗滌，除掉未聚合的可溶性的光致抗蝕劑部分，從而產生被光聚合區(qū)域限定的圖案。在有時也被稱作固化步驟的最終步驟中，在烘箱中或在電熱板上烘烤包括帶圖案區(qū)域的被固定的塑料膜，在被固定的塑料膜上生成帶圖案的交聯(lián)的聚酰亞胺結構。在被固定的塑料膜上生成這種交聯(lián)的聚酰亞胺結構之后，進行蝕刻、磨蝕、或沉積等附加加工步驟，在被固定的塑料膜上進一步形成功能器件。
內部件14和外部件16可以具有各種其它結構特性，以便對如此獲得的被固定的膜進一步進行定制加工。在一個實施方案中，內部件14包括橫截面表面，其中一般包括與內部件相同的材料。此外，橫截面表面可以包括許多開孔，使熱或輻射等能量密切接觸被固定的膜。圖6示出第三個可供選擇的膜加工系統(tǒng)的橫截面圖，其中包括起支撐作用的內部件42。起支撐作用的內部件是在橫截面面積包括固體表面時的內部件。所述的固體表面不僅提供對被固定的膜的牢固支撐，而且還允許在被固定的膜適當暴露的表面上進行各種與其密切接觸的操作。在一個實施方案中，起支撐作用的內部件包括一個或多個孔或開孔。當起支撐作用的內部件由于內部和外部件彼此相對擠壓而擠壓膜時，這些孔或開孔用于排除產生的壓縮空氣。
為了能夠對膜進行良好的固定和夾緊，采用其它改進功能的夾緊裝置也是可行的。在一個實施方案中，內部和外部件至少之一包括線狀物(liner)，使線狀物的形狀能夠將配置在內部和外部件之間的膜夾得更緊。在許多一個實施方案中，所述線狀物可以由任何類型的金屬或聚合物制造。由于聚合物一般比金屬軟，所以由適宜的聚合物材料制成的線狀物還能加強對被固定薄膜的保護，防止劃痕或其它形式的損傷。對線狀物的幾種不同的機械設計都是可行的。在一個實施方案中，線狀物的設計選自正圓筒型、凹型、凸型、舌榫結合型、和壓入配合型設計。
在另一個實施方案中，裝置的內部和外部件也可以具有與配置在內部和外部件之間的接口部件相配合的各種形狀。在圖7所示的一個實施方案中，可以采用邊緣形狀相配合的內部件44以及適宜的邊緣形狀相配合的管狀外部件48，和配置在邊緣形狀相配合的內部件和邊緣形狀相配合的外部件之間形狀相配合的適宜的接口部件46。當膜配置在所述的內部和外部件之間時，使內部和外部件彼此相對移動，接口部件46有助于可靠地固定膜12。邊緣形狀相配合的外部件的實例是具有凹槽和O形環(huán)的圓形外部件，O形環(huán)由能產生彈性變形的材料制造，沿著凹槽的周邊跨在凹槽上，起接口部件的作用。當相對適宜的邊緣形狀相配合的內部件移動時，所述的外部件能有效地固定放在內部和外部件之間的膜。在控制易損壞的膜時，O形環(huán)也是有效的，它能減少或消除膜在固定過程中的撕裂。在圖8所示的另一個實施方案中，內部件14的外邊緣和外部件16的內邊緣可以用制成接口部件47的其它材料連接，這有利于控制易損壞的膜，特別是厚度小于約8×10-4m的膜。接口部件47可以使用的所述材料的實例包括各種聚合物，例如上面所述的聚合物。在一個實施方案中，包括能與外部件16的內邊緣和內部件14的外邊緣連接的接口部件47的材料可以相同或不同?？梢愿鶕?jù)它們的熱性質，例如玻璃轉化溫度、熱膨脹系數(shù)、以及其它物理性質，例如摩擦系數(shù)、硬度、和其它適宜的性質選擇它們。
也可以將上述的技術和概念與常規(guī)器件加工系統(tǒng)例如使用玻璃基片的系統(tǒng)一起使用。上部部件一般可以是具有第一尺寸和第二尺寸的任何形狀。使內部件的形狀與外部件相配合，當使內部和外部件彼此相對移動時，使膜能被均勻地固定。圖9示出所述配合的一個實施方案，其中使加工系統(tǒng)采用的具有第一尺寸52和第二尺寸54的外部件50開孔56的形狀與起支撐作用的內部件46的形狀相配合。使上部和下部部件彼此相對移動，可以固定配置在所述上部(此后有時也稱作“外部”)部件和下部(此后有時也稱作“內部”)部件之間的膜12。上述布置的幾種變化方式也是可行的，取決于配合使用的加工玻璃基片的系統(tǒng)等常規(guī)加工系統(tǒng)的性質。在一個實施方案中，上部部件可以是夾緊系統(tǒng)的一部分，可以使可移動的內部件擠壓上部部件。在另一個實施方案中，內部件可以是夾緊系統(tǒng)的一部分，可以使可移動的外部件擠壓內部件。在這二種情況下，都可以均勻地固定配置在內部和外部件之間的膜。本申請上面所述的技術，對采用各種規(guī)模的低成本常規(guī)玻璃膜加工系統(tǒng)固定本申請公開的塑料膜并產生任何形狀的加工區(qū)域特別有利。人們可以將上述的概念推廣到另一種配合的技術上，在其中可以產生許多夾緊裝置，以便在給定的膜上產生許多加工區(qū)域。圖10用實例說明這個一個實施方案，該實例示出，具有第一尺寸66和第二尺寸68的多工件上部部件62具有四個圓形的開孔64，多工件底部(或下部)部件58具有四個圓形的起支撐作用的內部件60，它們能夠支撐膜12。這種布置在被固定的膜上為進一步加工產生四個加工區(qū)域18。
采用至少包括注射成型、膜沖、機械加工、擠壓、和切割夾緊裝置材料之一的方法，制備包括上述內部和外部件的夾緊裝置。所采用的方法的類型和順序，取決于制造內部和外部件的夾緊裝置材料(是由熱穩(wěn)定性和加工性能等因素確定的)的性質。
固定上述塑料膜的技術適合生產一種經(jīng)加工的膜。一種經(jīng)加工的膜是采用本發(fā)明的夾緊裝置固定后的膜，在從夾緊裝置中釋放之前，再進行一個或多個加工步驟(如在下面詳細討論的)。然后可以使用一種經(jīng)加工的膜制造各種器件。
可以采用選自涂覆、制作布線圖案、熱處理、和輻射處理的方法，對被固定的膜進行加工?？梢圆捎贸练e技術、粉末涂覆、旋涂、采用網(wǎng)版噴墨打印機打印、刮涂、和噴涂等各種技術進行涂覆過程。沉積技術的非限制性實例包括等離子體增強的化學氣相沉積、射頻等離子體增強的化學氣相沉積、擴展熱等離子體化學氣相沉積、活性濺射、電子回旋共振等離子體增強的化學氣相沉積、和感應耦合等離子體增強的化學氣相沉積。輻射處理包括采用選自電子束、離子束、紫外光、可見光、和紅外光的輻射照射被固定的膜。限定被固定的膜暴露于輻射的區(qū)域可以使用的掩蔽物，可以具有各種形狀、尺寸、和不同度數(shù)的灰度色標。除了上述的加工方案以外，也可以采用其它類型的加工步驟，例如使用或不使用各種掩蔽技術的活性離子蝕刻。也可以采用前述加工步驟任何適宜的組合。
施加超高阻擋層涂層，例如采用分級的組合物(graded composition)的多層阻擋層涂層或混合無機/有機阻擋層涂層，也可以在被固定膜的表面上。使用超高阻擋層涂降低活性材料在氧和水蒸氣等環(huán)境中的擴散速率。具有所述阻擋層涂層的塑料膜，非常適合用作生產使用壽命長的OELD的撓性基片。也可以通過沉積有機的場致發(fā)光層和至少二個電極層--其中至少一層是基本上透明的--直接在被固定的涂覆阻擋層的塑料基片的頂上形成活性的OELD。在OELD結構中也可以包括附加的有機電子層，例如空穴遷移層或電子遷移層。
可以將生產經(jīng)加工膜的方法，進一步推廣到生產微電子和光電子制品等經(jīng)加工制品的方法中。首先采用包括內部和外部件的夾緊裝置固定按上述方法制備的經(jīng)加工膜，提供被固定的經(jīng)加工膜。然后將制品安裝在被固定的經(jīng)加工膜上，生產經(jīng)加工的制品，然后移開夾緊裝置的內部和外部件，釋放經(jīng)加工的制品?？梢圆捎眠@種技術制備的經(jīng)加工制品的非限制性實例，包括液晶顯示器、電致變色裝置、光電池、和其它微電子器件，例如薄膜晶體管、薄膜電容器、和微電子開關。
可以方便地采用上述的概念和技術，設計商業(yè)規(guī)模的膜加工系統(tǒng)生產光電子器件。圖11示出所述的膜加工系統(tǒng)一個實施方案的流程圖。加工方法70包括膜的配送操作臺72，它將膜送給展開/調整操作臺74，然后將膜的連續(xù)部分或不連續(xù)部分送給夾緊操作臺76。在一個實施方案中，膜的配送操作臺包括膜的切割裝置、膜的交錯裝置(interleaving device)、膜的圓角裝置、膜的縱切裝置(slitting device)、沖切裝置、打孔裝置、和壓染裝置(padding device)至少之一。使用膜的縱切裝置適當縱切較厚的膜或片，制備適宜厚度的膜。夾緊操作臺76，通過將膜配置在夾緊裝置的內部和外部件之間把膜固定，然后使被固定的膜去加工操作臺78，膜在該操作臺進行一個或多個加工步驟，例如掩蔽、沉積、涂覆、和將制品安裝在被固定的一種經(jīng)加工的膜上等。當將制品安裝在被固定的一種經(jīng)加工的膜上以后，就按前述的方法生產出經(jīng)加工的制品。接著使一種經(jīng)加工的膜或經(jīng)加工的制品去松脫操作臺80，在該操作臺一般使夾緊裝置的內部和外部件彼此移開，釋放一種經(jīng)加工的膜或經(jīng)加工的制品，視情況而定。
在一個實施方案中，可以采用加工方法70對膜進行適宜的分批式加工或連續(xù)加工。在分批式操作中，在夾緊操作臺76固定膜的夾緊步驟，是采用來自展開或調整操作臺74的單片塑料膜以分批方式進行的。然后按照前述的方法加工和松脫被固定的膜。在連續(xù)操作的一個實施方案中，夾緊步驟和隨后的加工步驟以及松脫步驟，可以在塑料膜的連續(xù)移動床上依次進行。
上述夾緊塑料膜的技術對固定和應用聚合物薄膜，特別是對固定和應用放在玻璃表面等表面上的厚度達約8×10-4m的聚合物薄膜，隨后加工生產微電子器件或光電子器件是有價值的。對于加工塑料膜，不需改進生產LCD和OELD使用的現(xiàn)有加工工具，例如在加工玻璃基片的常規(guī)設備中使用的清潔基片表面、涂覆、制作布線圖案、和加工的工具。因此節(jié)約了成本，提高了生產塑料基光電子器件和其它顯示器件的速度。
雖然前面公開了本發(fā)明具體的優(yōu)選一個實施方案，但本領域的技術人員應當理解，在不超出在所附的權利要求中規(guī)定的本發(fā)明的內容和范圍的情況下，可以對其進行改進、變換、或調整。
權利要求
1.一種裝置(10)，其中包括膜(12)；和夾緊裝置，其中包括至少一個內部件(14)和至少一個外部件(16)，其中使所述至少一個內部件(14)和所述至少一個外部件(16)的形狀能夠將所述的膜(12)固定在它們之間。
2.權利要求1的裝置(10)，其中所述的膜(12)和所述至少一個內部件(14)和所述至少一個外部件(16)，具有基本上相同的熱性質。
3.權利要求1的裝置(10)，其中所述至少一個內部件(14)和所述至少一個外部件(16)的至少之一包括至少一個掩蔽部分(32)和至少一個開孔部分(34)之中之一。
4.固定膜(12)的夾緊裝置(10)，所述的夾緊裝置(10)包括至少一個內部件(14)；和至少一個外部件(16)，其中使所述至少一個內部件(14)的形狀與所述至少一個外部件(16)的相配合，使所述至少一個內部件(14)和所述至少一個外部件(16)能夠一起將所述的膜(12)固定在它們之間。
5.權利要求4的夾緊裝置(10)，其中所述至少一個內部件(14)和所述至少一個外部件(16)包括一種線狀物，所述線狀物的形狀能夠將在所述至少一個內部件(14)和所述至少一個外部件(16)之間的所述膜(12)夾緊；所述的線狀物配置在選自所述至少一個外部件(16)的內側和所述至少一個內部件(14)的外側的位置上。
6.一種固定塑料膜(12)的方法，所述的方法包括將所述的膜(12)配置在夾緊裝置(10)的至少一個內部件(14)和至少一個外部件(16)之間；和使所述至少一個內部件(14)和所述至少一個外部件(16)至少之一向另一個部件移動，將所述的膜(12)固定在它們之間。
7.生產一種經(jīng)加工的膜(12)的方法，所述的方法包括將膜(12)配置在夾緊裝置(10)的至少一個內部件(14)和至少一個外部件(16)之間；使所述至少一個內部件(14)和所述至少一個外部件(16)至少之一向另一個部件移動，將所述的膜(12)固定在它們之間，生產被固定的膜(12)；使所述被固定的膜(12)暴露在至少一個加工步驟中，生產一種經(jīng)加工的膜；和使所述至少一個內部件(14)和所述至少一個外部件(16)移開，從所述的夾緊裝置中釋放所述經(jīng)加工的膜。
8.權利要求7的方法，其中所述的加工選自化學氣相沉積、物理氣相沉積、粉末涂覆、旋涂、和噴涂。
9.生產包括一種經(jīng)加工的膜(12)的經(jīng)加工的制品的方法，所述的方法包括將所述一種經(jīng)加工的膜(12)配置在夾緊裝置(10)的至少一個內部件(14)和至少一個外部件(16)之間；使所述至少一個內部件(14)和所述至少一個外部件(16)至少之一向另一個部件移動，將所述的膜(12)固定在它們之間，生產被固定的一種經(jīng)加工的膜；將制品配置在所述被固定的一種經(jīng)加工的膜上，生產經(jīng)加工的制品；和使所述至少一個內部件(14)和所述至少一個外部件(16)移開，釋放所述經(jīng)加工的制品。
10.生產一種經(jīng)加工的膜的生產系統(tǒng)(70)，所述的系統(tǒng)包括膜的配送操作臺(72)；膜的夾緊操作臺(76)；膜的加工操作臺(78)；和膜的松脫操作臺(80)；其中所述的膜夾緊操作臺(76)包括至少一個夾緊裝置(10)，其中包括至少一個內部件(14)和至少一個外部件(16)，使所述至少一個內部件(14)和所述至少一個外部件(16)的形狀能夠將膜(12)可靠地固定在它們之間。
全文摘要
裝置(10)包括夾緊裝置，其中包括至少一個內部件(14)和至少一個外部件(16)。使夾緊裝置(10)的形狀能夠將膜(12)固定在至少一個內部件(14)和至少一個外部件(16)之間。可以進一步加工被固定的膜(12)，獲得一種經(jīng)加工的膜。被固定在夾緊裝置(10)中的一種經(jīng)加工的膜，可以進一步進行附加的生產步驟，生產經(jīng)加工的制品。本申請所述的裝置(10)和方法適合生產各種制品，例如微電子器件和光電子器件。
文檔編號C08J7/00GK1599520SQ200410054980
公開日2005年3月23日 申請日期2004年7月26日 優(yōu)先權日2003年7月24日
發(fā)明者A·R·杜加爾, P·A·麥康奈利, M·謝普肯斯, 嚴旻 申請人:通用電氣公司