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一種低耗能的晶體生長熱場裝置的制造方法

文檔序號:10791742閱讀:468來源:國知局
一種低耗能的晶體生長熱場裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種低耗能的晶體生長熱場裝置,包括熱場爐本體、熱電控制裝置、觀察鏡、加熱棒、塞頭和盛放裝置,熱場爐本體由外層的鎢鉬材料層和內(nèi)層的氧化鋯纖維磚層組成,并在氧化鋯纖維磚層內(nèi)均勻分布若干組加熱棒,且熱場爐本體內(nèi)為鏤空結(jié)構(gòu),塞頭設(shè)置在鏤空結(jié)構(gòu)的開口方向,并在鏤空結(jié)構(gòu)的底部設(shè)置有一組滑槽結(jié)構(gòu),滑槽上設(shè)置有盛放裝置,盛放裝置上方設(shè)置有熱電控制裝置,熱電控制裝置由石英管筒和設(shè)置在石英管筒內(nèi)的熱電偶組成,觀察鏡設(shè)置在盛放裝置上方。通過裝置上設(shè)計的鎢鉬材料層和內(nèi)層的氧化鋯纖維磚層,以及加熱棒的加熱功能,還有熱電控制裝置的配合使用,達到有效實現(xiàn)裝置的節(jié)能,裝置使用操作簡單,可被進一步推廣應(yīng)用。
【專利說明】
一種低耗能的晶體生長熱場裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及晶體生長裝置領(lǐng)域,具體涉及一種低耗能的晶體生長熱場裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]晶體生長是指物質(zhì)在一定溫度、壓力、濃度、介質(zhì)、pH等條件下由氣相、液相、固相轉(zhuǎn)化,形成特定線度尺寸晶體的過程。原理是基于物種晶相化學(xué)勢與該物種在相關(guān)物相中化學(xué)勢間準平衡關(guān)系的合理維持。
[0003]在現(xiàn)在的晶體生長方法是多樣的,如水熱法生長人工水晶,區(qū)域熔融法生長硅、鍺單晶、氫氧焰熔融法生長軸承用寶石,航天失重法培養(yǎng)晶體以及升華法;同質(zhì)或異質(zhì)外延生長法等。晶體生成的一般過程是先生成晶核,而后再逐漸長大。一般認為晶體從液相或氣相中的生長有三個階段:①介質(zhì)達到過飽和、過冷卻階段;②成核階段;②生長階段。
[0004]然而在實際晶體生長過程中,需要較多的設(shè)備儀器,對溫度、壓力、濃度、介質(zhì)、pH等多個條件進行控制,對能源的消耗較大,同時也對環(huán)境帶來了一定的影響,給企業(yè)的生產(chǎn)成本帶來壓力,不便于進一步工業(yè)化的生產(chǎn)加工。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實用新型提供了一種低耗能的晶體生長熱場裝置,能夠有效實現(xiàn)裝置的節(jié)能,使用操作簡單,可被進一步推廣應(yīng)用。
[0006]為實現(xiàn)以上目的,本實用新型通過以下技術(shù)方案予以實現(xiàn):
[0007]—種低耗能的晶體生長熱場裝置,包括熱場爐本體、熱電控制裝置、觀察鏡、加熱棒、塞頭和盛放裝置,所述的熱場爐本體由外層的鎢鉬材料層和內(nèi)層的氧化鋯纖維磚層組成,并在氧化鋯纖維磚層內(nèi)均勻分布若干組加熱棒,且所述的熱場爐本體內(nèi)為鏤空結(jié)構(gòu),塞頭設(shè)置在鏤空結(jié)構(gòu)的開口方向,并在鏤空結(jié)構(gòu)的底部設(shè)置有一組滑槽結(jié)構(gòu),所述的滑槽上設(shè)置有盛放裝置,盛放裝置上方設(shè)置有熱電控制裝置,所述的熱電控制裝置由石英管筒和設(shè)置在石英管筒內(nèi)的熱電偶組成,觀察鏡設(shè)置在盛放裝置上方。
[0008]優(yōu)選地,所述的加熱棒為SiC加熱棒。
[0009]優(yōu)選地,所述的熱場爐本體鏤空結(jié)構(gòu)開口方向為側(cè)面。
[0010]優(yōu)選地,所述的盛放裝置為坩禍。
[0011]優(yōu)選地,所述的熱場爐本體上設(shè)置有與塞頭相配合的耳扣結(jié)構(gòu)。
[0012]本實用新型提供了一種低耗能的晶體生長熱場裝置,通過鎢鉬材料層和內(nèi)層的氧化鋯纖維磚層兩層保溫裝置,不僅能提高結(jié)構(gòu)強度,適應(yīng)晶體生長時的高壓環(huán)境,還能有效保證了 SiC加熱棒在進行加熱時,溫度有效提升,大大節(jié)省了加熱加壓時,減少能耗,鏤空結(jié)構(gòu)的底部設(shè)置有一組滑槽結(jié)構(gòu),方便放置,拿取盛放裝置上的晶體原料,熱電控制裝置能進行有效熱電偶操作,準確有效,且觀察鏡能方便使用者實時觀察熱場爐本體內(nèi)的生長狀況。整個裝置操作簡,使用方便,可被進一步推廣應(yīng)用。
【附圖說明】
[0013]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0014]圖1本實用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖;
[0015]其中:1、熱場爐本體;2、熱電控制裝置;3、觀察鏡;4、加熱棒;5、塞頭;6、滑槽;7、盛放裝置;101、鎢鉬材料層;102、氧化鋯纖維磚層;201、石英管筒;202、熱電偶;501、耳扣。
【具體實施方式】
[0016]為使本實用新型實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚,下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述。基于本實用新型中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。
[0017]如圖1所示,本實施例提供一種低耗能的晶體生長熱場裝置,包括熱場爐本體1、熱電控制裝置2、觀察鏡3、加熱棒4、塞頭5和盛放裝置7,熱場爐本體I由外層的鎢鉬材料層101和內(nèi)層的氧化鋯纖維磚層102組成,并在氧化鋯纖維磚層102內(nèi)均勻分布若干組加熱棒4,且熱場爐本體I內(nèi)為鏤空結(jié)構(gòu),塞頭5設(shè)置在鏤空結(jié)構(gòu)的開口方向,并在鏤空結(jié)構(gòu)的底部設(shè)置有一組滑槽6結(jié)構(gòu),滑槽7上設(shè)置有盛放裝置7,用于在高溫狀況下,方便拿去盛放裝置7上的晶體原料,盛放裝置7上方設(shè)置有熱電控制裝置2,熱電控制裝置2由石英管筒201和設(shè)置在石英管筒內(nèi)的熱電偶202組成,能準確有效用熱電偶202對盛放裝置7上放置的晶體原料進行有效操作,節(jié)省能耗操作,觀察鏡設(shè)置在盛放裝置上方,方便觀察晶體生長狀況。
[0018]加熱棒4為SiC加熱棒。熱場爐本體I鏤空結(jié)構(gòu)開口方向為側(cè)面。盛放裝置7為坩禍,減少成本制作。熱場爐本體I上設(shè)置有與塞頭5相配合的耳扣501結(jié)構(gòu),有效起到密閉塞頭5的作用。整個裝置操作簡單,使用方便,可進行進一步推廣應(yīng)用。
[0019]以上實施例僅用以說明本實用新型的技術(shù)方案,而非對其限制;盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當理解:其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改,或者對其中部分技術(shù)特征進行等同替換;而這些修改或者替換,并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實用新型各實施例技術(shù)方案的精神和范圍。
【主權(quán)項】
1.一種低耗能的晶體生長熱場裝置,包括熱場爐本體、熱電控制裝置、觀察鏡、加熱棒、塞頭和盛放裝置,其特征在于,所述的熱場爐本體由外層的鎢鉬材料層和內(nèi)層的氧化鋯纖維磚層組成,并在氧化鋯纖維磚層內(nèi)均勻分布若干組加熱棒,且所述的熱場爐本體內(nèi)為鏤空結(jié)構(gòu),塞頭設(shè)置在鏤空結(jié)構(gòu)的開口方向,并在鏤空結(jié)構(gòu)的底部設(shè)置有一組滑槽結(jié)構(gòu),所述的滑槽上設(shè)置有盛放裝置,盛放裝置上方設(shè)置有熱電控制裝置,所述的熱電控制裝置由石英管筒和設(shè)置在石英管筒內(nèi)的熱電偶組成,觀察鏡設(shè)置在盛放裝置上方。2.如權(quán)利要求1所述的低耗能的晶體生長熱場裝置,其特征在于,所述的加熱棒為SiC加熱棒。3.如權(quán)利要求1所述的低耗能的晶體生長熱場裝置,其特征在于,所述的熱場爐本體鏤空結(jié)構(gòu)開口方向為側(cè)面。4.如權(quán)利要求1所述的低耗能的晶體生長熱場裝置,其特征在于,所述的盛放裝置為坩禍。5.如權(quán)利要求1所述的低耗能的晶體生長熱場裝置,其特征在于,所述的熱場爐本體上設(shè)置有與塞頭相配合的耳扣結(jié)構(gòu)。
【文檔編號】C30B35/00GK205474116SQ201620292778
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年4月8日
【發(fā)明人】張新峰
【申請人】張新峰
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