一種石墨烯薄膜的成型設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及石墨烯生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種石墨烯薄膜的成型設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]石墨烯是一種由碳原子以sp2雜化軌道組成的六角型晶格單原子層二維晶體。石墨烯有許多獨(dú)特的性質(zhì)，它是零帶隙的半金屬半導(dǎo)體材料，具有超高的費(fèi)米速度(光速的1/300)、載流子迀移率和熱導(dǎo)率，良好的透光特性和優(yōu)異的力學(xué)性能(彈性模量和抗拉強(qiáng)度分別達(dá)到1.1TPa和125GPa)，因此在透明電極、晶體管、傳感器、能源存儲、高強(qiáng)度復(fù)合材料等方面存在廣泛的應(yīng)用前景。
[0003]另一方面，石墨烯具有原子級的平整度、良好的生物兼容性、去局域化的π鍵以及良好的化學(xué)惰性，為研宄表面增強(qiáng)拉曼及其機(jī)理提供了一個(gè)全新的平臺；同時(shí)，它豐富的表面有利于石墨烯一半導(dǎo)體復(fù)合結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)、集成和制備。
[0004]目前，石墨烯主要的制備方法有以下幾種:機(jī)械剝離法、CVD生長法、化學(xué)法、SiC外延生長法等等。
[0005]現(xiàn)有的石墨烯生產(chǎn)設(shè)備中，石墨烯薄膜的成型設(shè)備比較常見。但是，現(xiàn)有的石墨烯薄膜的成型設(shè)備結(jié)構(gòu)比較簡單，尤其是對于加速電場上極板和加速電場下極板之間的距離是固定的，無法進(jìn)行調(diào)整。這也導(dǎo)致現(xiàn)有設(shè)備具有其局限性。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問題在于提供一種石墨烯薄膜的成型設(shè)備，從而解決上述【背景技術(shù)】中的問題。
[0007]本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問題采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn):
[0008]一種石墨烯薄膜的成型設(shè)備，包括設(shè)備本體，所述設(shè)備本體為矩形的盒體，所述盒體的上壁開設(shè)有碳源入口，下壁開設(shè)有殘余氣體出口，所述盒體內(nèi)部自上而下分布有篩選電場上極板、加速電場上極板和加速電場下極板；所述篩選電場上極板固定安裝；所述盒體的前壁和后壁開設(shè)有相互對稱的條形滑槽，所述條形滑槽內(nèi)滑動安裝有夾持座，并利用所述夾持座安裝有上下布置的加速電場上極板和加速電場下極板；所述篩選電場上極板與所述加速電場下極板之間設(shè)置有絕緣陶瓷支撐架，所述絕緣陶瓷支撐架包括中空的內(nèi)螺紋桿和能夠與所述內(nèi)螺紋桿嚙合安裝的外螺紋桿，所述外螺紋桿嚙合安裝于所述內(nèi)螺紋桿的內(nèi)部；所述篩選電場上極板的兩端連接有篩選電場電極，所述加速電場下極板的兩端連接有加速電場電極。
[0009]作為一種改進(jìn)的技術(shù)方案，所述夾持座包括夾持螺栓，所述夾持螺栓插裝于所述條形滑槽內(nèi)，并利用螺母進(jìn)行夾持。
[0010]作為一種改進(jìn)的技術(shù)方案，所述夾持螺栓為絕緣陶瓷螺栓。
[0011]很顯然，本實(shí)用新型還需設(shè)置有加熱板、襯底板等結(jié)構(gòu)，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以通過現(xiàn)有技術(shù)即可得知。
[0012]另外，本實(shí)用新型的條形滑槽在距離調(diào)整結(jié)束后，設(shè)置有遮擋裝置進(jìn)行密封遮擋。
[0013]由于采用了以上技術(shù)方案，本實(shí)用新型具有以下有益效果:
[0014]本實(shí)用新型能夠?qū)铀匐妶錾蠘O板和加速電場下極板之間的距離是進(jìn)行合理的調(diào)整，更加方便應(yīng)用。
【附圖說明】
[0015]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2為本實(shí)用新型的夾持座結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]為了使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。
[0018]參見圖1，一種石墨烯薄膜的成型設(shè)備，包括設(shè)備本體1，所述設(shè)備本體I為矩形的盒體，所述盒體的上壁開設(shè)有碳源入口 2，下壁開設(shè)有殘余氣體出口 3，所述盒體內(nèi)部自上而下分布有篩選電場上極板4、加速電場上極板5和加速電場下極板6 ;所述篩選電場上極板4固定安裝；所述盒體的前壁和后壁開設(shè)有相互對稱的條形滑槽7，所述條形滑槽7內(nèi)滑動安裝有夾持座8，并利用所述夾持座8安裝有上下布置的加速電場上極板5和加速電場下極板6 ;所述篩選電場上極板4與所述加速電場下極板6之間設(shè)置有絕緣陶瓷支撐架9，所述絕緣陶瓷支撐架9包括中空的內(nèi)螺紋桿91和能夠與所述內(nèi)螺紋桿91嚙合安裝的外螺紋桿92，所述外螺紋桿92嚙合安裝于所述內(nèi)螺紋桿91的內(nèi)部；所述篩選電場上極板4的兩端連接有篩選電場電極(圖中未示出)，所述加速電場下極板6的兩端連接有加速電場電極(圖中未示出)。
[0019]參見圖2，本實(shí)施例中，所述夾持座8包括夾持螺栓81，所述夾持螺栓81插裝于所述條形滑槽7內(nèi)，一端與加速電場上極板5或加速電場下極板6絕緣連接，并利用螺母82進(jìn)行夾持。所述夾持螺栓為絕緣陶瓷螺栓。
[0020]以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還會有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種石墨烯薄膜的成型設(shè)備，包括設(shè)備本體，其特征在于:所述設(shè)備本體為矩形的盒體，所述盒體的上壁開設(shè)有碳源入口，下壁開設(shè)有殘余氣體出口，所述盒體內(nèi)部自上而下分布有篩選電場上極板、加速電場上極板和加速電場下極板；所述篩選電場上極板固定安裝；所述盒體的前壁和后壁開設(shè)有相互對稱的條形滑槽，所述條形滑槽內(nèi)滑動安裝有夾持座，并利用所述夾持座安裝有上下布置的加速電場上極板和加速電場下極板；所述篩選電場上極板與所述加速電場下極板之間設(shè)置有絕緣陶瓷支撐架，所述絕緣陶瓷支撐架包括中空的內(nèi)螺紋桿和能夠與所述內(nèi)螺紋桿嚙合安裝的外螺紋桿，所述外螺紋桿嚙合安裝于所述內(nèi)螺紋桿的內(nèi)部；所述篩選電場上極板的兩端連接有篩選電場電極，所述加速電場下極板的兩端連接有加速電場電極。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石墨烯薄膜的成型設(shè)備，其特征在于:所述夾持座包括夾持螺栓，所述夾持螺栓插裝于所述條形滑槽內(nèi)，并利用螺母進(jìn)行夾持。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石墨烯薄膜的成型設(shè)備，其特征在于:所述夾持螺栓為絕緣陶瓷螺栓。
【專利摘要】一種石墨烯薄膜的成型設(shè)備，包括設(shè)備本體，設(shè)備本體為矩形的盒體，盒體的上壁開設(shè)有碳源入口，下壁開設(shè)有殘余氣體出口，盒體內(nèi)部自上而下分布有篩選電場上極板、加速電場上極板和加速電場下極板；篩選電場上極板固定安裝；盒體的前壁和后壁開設(shè)有相互對稱的條形滑槽，條形滑槽內(nèi)滑動安裝有夾持座，并利用夾持座安裝有上下布置的加速電場上極板和加速電場下極板；篩選電場上極板與加速電場下極板之間設(shè)置有絕緣陶瓷支撐架，絕緣陶瓷支撐架包括中空的內(nèi)螺紋桿和能夠與內(nèi)螺紋桿嚙合安裝的外螺紋桿，外螺紋桿嚙合安裝于內(nèi)螺紋桿的內(nèi)部。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)極板的距離調(diào)整，提高其應(yīng)用的方便性。
【IPC分類】C01B31-04
【公開號】CN204281326
【申請?zhí)枴緾N201420720796
【發(fā)明人】鄧凌峰, 劉小花, 劉永正, 王鐘民, 張遠(yuǎn)和, 文建民
【申請人】湖南東博墨烯科技有限公司
【公開日】2015年4月22日
【申請日】2014年11月27日