碲鎵銀單晶體的制備方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于1-1I1-VI2族半導(dǎo)體材料制備領(lǐng)域,特別是涉及一種碲鎵銀單晶體的制備方法。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體核輻射探測器在安檢、工業(yè)探傷、醫(yī)學(xué)診斷、天體X射線望遠鏡、基礎(chǔ)學(xué)科研究等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。
[0003]文南犬I “Alan Owens,A.Peacock,Compound Semiconductor Radiat1n Detectors[J].Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A 2004,531,18-37”報道了硅用于核輻射探測器,但碲鎵銀與硅相比,平均原子序數(shù)高,對射線有更高的阻止本領(lǐng),株測效率1? O
[0004]文南犬2“Gmelin’s Handbuch der anorganischen Chemie,Verlag Chemie GmbHWeinheim.Bergstrasse,5nd Edit1n.Silber,TeiI B3,1973”報道了Ag〗Te具有很高的電子迀移率,所以推測碲鎵銀也具有很高的電子迀移率,能夠提高探測器的能量分辨率;與高純Ge相比,碲鎵銀具有較大的禁帶寬度,根據(jù)文獻“Aravinth KjAnandha Babu GjRamasamyP.SiIver gallium telluride(AgGaTe2)single crystal: Synthesis,acceleratedcrucible rotat1n—Bridgman growth and characterizat1n.Materials Science inSemiconductor Processing.2014,24,44-49”報道碲鎵銀的禁帶寬度在1.8ev,保證探測器在室溫下工作時,具有較高的電阻率和較低的漏電流;同GaTe等半導(dǎo)體相比,碲鎵銀具有易切削加工等特點,確保了器件性能的穩(wěn)定性。
[0005]文南犬3“Aravinth KjAnandha Babu GjRamasamy P.Silver gallium telluride(AgGaTe2)single crystal: Synthesis,accelerated crucible rotat1n-Bridgmangrowth and characterizat1n.Materials Science in Semi conductorProcessing.2014,24,44-49”公開了一種AgGaTe2的制備方法,該方法采用在500°C到745°C之間反復(fù)加熱合料的方法制備多晶料,生長單晶時加熱到745°C,之后在3°C/cm的溫場處以5_/day的速度生長晶體,具體的結(jié)晶溫度和保溫時間等未給出詳細介紹。
[0006]文獻4“A.Burger,J.-0.Ndap,Y.Cui,U.Roy,S.Morgan,K.Chattopadhyay,X.Ma,K.Faris,S.Thibaud,R.Miles,H.Mateen,J.T.Goldstein,C.J.Rawn,Preparat1n andthermophysical properties of AgGaTe2crystals,Journal of Crystal Growth,2001,225(2-4),505-511”采用籽晶法生長AgGaTe2單晶,設(shè)定2-3°C/cm的溫場,但籽晶法較為繁瑣。
[0007]上述文獻公開的溫場均較小難以生長出單晶,且缺少關(guān)鍵信息。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0008]為了克服現(xiàn)有碲鎵銀晶體的方法實用性差的不足,本發(fā)明提供一種碲鎵銀單晶體的制備方法。該方法首先將高純原料碲鎵銀加熱到銀的熔點,使碲鎵銀三種原料充分熔化反應(yīng),轉(zhuǎn)動爐體使反應(yīng)充分進行,之后以一定的速率降溫到凝固點,斷開爐體開關(guān),以爐冷速率降溫到室溫。然后將合成的多晶料放入布里奇曼法生長爐中,以一定的加熱,并過熱保溫一段時間后,在溫場為10-15°C/cm,結(jié)晶溫度為712°C處開始生長,生長完成后在670-680°C停留一段時間,進行原位退火,之后以5°C/h的冷卻速率降到室溫。由于在制備多晶料時,采用加熱到銀的熔點溫度來實現(xiàn)晶體的合成,轉(zhuǎn)動爐體促進反應(yīng)合成,從而降低反應(yīng)時間;生長單晶時采用10-15°C/cm的溫場,成分過冷促進了碲鎵銀單晶的生長。
[0009]本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種碲鎵銀單晶體的制備方法,其特點是包括以下步驟:
[0010]步驟一、按照摩爾比1:1: 2分別將純度為99.9999%的銀、鎵和碲單質(zhì)原材料裝入到干燥潔凈的石英坩禍中,輕搖石英坩禍,使銀、鎵和碲單質(zhì)原材料分布均勻。
[0011]步驟二、對裝料的石英坩禍抽真空,石英坩禍真空度達到4X10—5Pa時封接。
[0012]步驟三、將封接后的石英坩禍放入高溫搖擺合料爐中,在400?450°C的低溫區(qū),采用70?100°C/h的加熱速率,加熱到450°C時保溫3?5小時,在450?960°C的中溫區(qū),采用40?50 °C/h的加熱速率,加熱到960 °C時保溫,開啟合料爐轉(zhuǎn)動開關(guān),以3rpm速率勻速轉(zhuǎn)動3?5小時,之后保溫3?5小時后降溫。
[0013]步驟四、降溫時,采用40?50°C/h的速率,達到凝固溫度712°C直接斷電,讓晶體隨爐冷卻到室溫,得到多晶料。
[0014]步驟五、將步驟四得到的多晶料加工成小塊顆粒,裝入干燥潔凈的石英坩禍中,使顆粒均勻分布在石英坩禍中。
[0015]步驟六、對裝好多晶料的石英坩禍抽真空,石英坩禍真空度達到4X 10—5Pa時封接。
[0016]步驟七、將封接的石英坩禍裝入晶體爐中預(yù)設(shè)位置,之后加熱兩段爐,上爐預(yù)設(shè)溫度750°C,下爐預(yù)設(shè)溫度7000C,加熱速率80?100°C/h,達到過熱溫度745°C后保溫10?15小時。
[0017]步驟八、以石英坩禍下降速率0.4?0.5mm/h,在溫場為10?15°C/cm,結(jié)晶溫度為712°C處開始生長,生長240小時后,將上下爐溫度設(shè)為一致,均為670?680°C,使晶體在此溫度退火20h,之后以5°C/h的速率降溫到室溫,得到碲鎵銀單晶體。
[0018]本發(fā)明的有益效果是:該方法首先將高純原料碲鎵銀加熱到銀的熔點,使碲鎵銀三種原料充分熔化反應(yīng),轉(zhuǎn)動爐體使反應(yīng)充分進行,之后以一定的速率降溫到凝固點,斷開爐體開關(guān),以爐冷速率降溫到室溫。然后將合成的多晶料放入布里奇曼法生長爐中,以一定的加熱,并過熱保溫一段時間后,在溫場為10-15°C/cm,結(jié)晶溫度為712°C處開始生長,生長完成后在670-6800C停留一段時間,進行原位退火,之后以5°C/h的冷卻速率降到室溫。由于在制備多晶料時,采用加熱到銀的熔點溫度來實現(xiàn)晶體的合成,轉(zhuǎn)動爐體促進反應(yīng)合成,從而降低反應(yīng)時間;生長單晶時采用10-15°C/cm的溫場,成分過冷促進了碲鎵銀單晶的生長。
[0019]下面結(jié)合【具體實施方式】對本發(fā)明作詳細說明。
【具體實施方式】
[0020]實施例1:
[0021]步驟一、按照摩爾比1:1: 2分別將純度為99.9999%的銀、鎵和碲單質(zhì)原材料裝入到干燥潔凈的石英坩禍中,輕搖石英坩禍,使銀、鎵和碲單質(zhì)原材料分布均勻。
[0022]步驟二、對裝料的石英坩禍抽真空,石英坩禍真空度達到4X10—5Pa時封接。