重?fù)脚鸸鑶尉О舻睦品椒?br>【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種重?fù)脚鸸鑶尉О舻睦品椒ā?br>【背景技術(shù)】
[0002]重?fù)脚鸸鑶尉且环N應(yīng)用范圍很廣的硅片。衡量重?fù)脚鸸鑶尉阅艿囊环N重要指標(biāo)是氧含量。氧含量過高會(huì)導(dǎo)致晶片在做成器件后不良率較高，漏電現(xiàn)象較多。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種氧含量低的重?fù)脚鸸鑶尉О舻睦品椒ā?br>[0004]為實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
[0005]重?fù)脚鸸鑶尉О舻睦品椒?，其特征在于，使用封閉熱場拉制硅單晶棒，封閉熱場內(nèi)設(shè)置有石英坩堝，所述石英坩堝尺寸為14寸，每次拉制投料量為22kg-27kg ;封閉熱場內(nèi)氬氣流量為50-60L/min ;爐內(nèi)壓力為10_15Torr ;坩堝轉(zhuǎn)速為5_15rpm。
[0006]優(yōu)選地是，使用封閉熱場拉制硅單晶棒，封閉熱場內(nèi)設(shè)置有石英坩堝，所述石英坩堝尺寸為14寸，每次拉制投料量為24kg-26kg ;封閉熱場內(nèi)氬氣流量為54-56L/min ;爐內(nèi)壓力為12-13Torr ;坩堝轉(zhuǎn)速為8_12rpm。
[0007]本發(fā)明中的重?fù)脚鸸鑶尉О舻睦品椒?，晶棒頭部的氧含量低于26pma ;尾部氧含量低于23.9ppma。
【具體實(shí)施方式】
[0008]下面對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的描述:
[0009]實(shí)施例1
[0010]重?fù)脚鸸鑶尉О舻睦品椒ǎ褂梅忾]熱場拉制硅單晶棒，封閉熱場內(nèi)設(shè)置有石英坩堝，所述石英坩堝尺寸為14寸，每次拉制投料量為22kg ;封閉熱場內(nèi)氬氣流量為50L/min ;爐內(nèi)壓力為14Torr ;i甘禍轉(zhuǎn)速為lOrpm。
[0011]實(shí)施例2
[0012]重?fù)脚鸸鑶尉О舻睦品椒?，使用封閉熱場拉制硅單晶棒，封閉熱場內(nèi)設(shè)置有石英坩堝，所述石英坩堝尺寸為14寸，每次拉制投料量為25kg ;封閉熱場內(nèi)氬氣流量為54L/min ;爐內(nèi)壓力為12Torr ;i甘禍轉(zhuǎn)速為p8rpm。
[0013]實(shí)施例3
[0014]重?fù)脚鸸鑶尉О舻睦品椒?，其特征在于，使用封閉熱場拉制硅單晶棒，封閉熱場內(nèi)設(shè)置有石英坩堝，所述石英坩堝尺寸為14寸，每次拉制投料量為23kg ;封閉熱場內(nèi)氬氣流量為52L/min ;爐內(nèi)壓力為13Torr ;坩堝轉(zhuǎn)速為plOrpm。
[0015]實(shí)施例4
[0016]重?fù)脚鸸鑶尉О舻睦品椒?，其特征在于，使用封閉熱場拉制硅單晶棒，封閉熱場內(nèi)設(shè)置有石英坩堝，所述石英坩堝尺寸為14寸，每次拉制投料量為26kg ;封閉熱場內(nèi)氬氣流量為55L/min ;爐內(nèi)壓力為12Torr ;坩堝轉(zhuǎn)速為p8rpm。
[0017]實(shí)施例5
[0018]重?fù)脚鸸鑶尉О舻睦品椒?，其特征在于，使用封閉熱場拉制硅單晶棒，封閉熱場內(nèi)設(shè)置有石英坩堝，所述石英坩堝尺寸為14寸，每次拉制投料量為26kg ;封閉熱場內(nèi)氬氣流量為60L/min ;爐內(nèi)壓力為1Torr ;i甘禍轉(zhuǎn)速為p5rpm。
[0019]實(shí)施例1-5拉制的重?fù)脚鸸鑶尉О?，晶棒頭部的氧含量最高為26ppma ;尾部氧含量最高為23.9ppma。生產(chǎn)的晶片符合后道使用要求。制成的器件不良率下降20%，漏電現(xiàn)象減少。
[0020]本發(fā)明中的實(shí)施例僅用于對本發(fā)明進(jìn)行說明，并不構(gòu)成對權(quán)利要求范圍的限制，本領(lǐng)域內(nèi)技術(shù)人員可以想到的其他實(shí)質(zhì)上等同的替代，均在本發(fā)明保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.重?fù)脚鸸鑶尉О舻睦品椒?，其特征在于，使用封閉熱場拉制硅單晶棒，封閉熱場內(nèi)設(shè)置有石英坩堝，所述石英坩堝尺寸為14寸，每次拉制投料量為22kg-27kg ;封閉熱場內(nèi)氬氣流量為50-60L/min ;爐內(nèi)壓力為10_15Torr ;坩堝轉(zhuǎn)速為5_15rpm。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的重?fù)脚鸸鑶尉О舻睦品椒?，其特征在于，使用封閉熱場拉制硅單晶棒，封閉熱場內(nèi)設(shè)置有石英坩堝，所述石英坩堝尺寸為14寸，每次拉制投料量為24kg-26kg ;封閉熱場內(nèi)氬氣流量為54-56L/min ;爐內(nèi)壓力為12_13Torr ;坩堝轉(zhuǎn)速為8-12rpm。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種重?fù)脚鸸鑶尉О舻睦品椒?，其特征在于，使用封閉熱場拉制硅單晶棒，封閉熱場內(nèi)設(shè)置有石英坩堝，所述石英坩堝尺寸為14寸，每次拉制投料量為22kg-27kg；封閉熱場內(nèi)氬氣流量為50-60L/min；爐內(nèi)壓力為10-15Torr；坩堝轉(zhuǎn)速為5-15rpm。本發(fā)明中的重?fù)脚鸸鑶尉О舻睦品椒?，晶棒頭部的氧含量低于26ppma；尾部氧含量低于23.9ppma。
【IPC分類】C30B15-00, C30B29-06
【公開號(hào)】CN104746138
【申請?zhí)枴緾N201310753695
【發(fā)明人】沈楊宇, 韓建超, 陳建綱, 劉蘇生
【申請人】上海合晶硅材料有限公司
【公開日】2015年7月1日
【申請日】2013年12月31日