本發(fā)明涉及石英焊接加工,特別涉及一種石英舟側(cè)板op塊焊接設(shè)備。
背景技術(shù):
1、石英舟是硅片進行擴散、氧化等工藝中的承載工具,其生產(chǎn)加工方式,通過是人工根據(jù)產(chǎn)品要求用各種形狀的石英側(cè)板,搭建好外型結(jié)構(gòu)并焊接而成;op塊則是不透明石英材料,其一般焊接在普通材質(zhì)石英側(cè)板同一側(cè)的兩邊角上,進而以此搭建有遮光需求石英舟。
2、目前op塊和普通材質(zhì)石英側(cè)板的焊接工藝,大部分由人工手動焊接,由于op塊體積較小,其和石英側(cè)板之間焊接縫隙非常短窄,因此在實際焊接加工時,不僅非??简灩と撕附蛹夹g(shù),而且op塊和石英側(cè)板受熱極易變形,所以每次焊接過程中,往往需要反復(fù)多次微調(diào)修理op塊和石英側(cè)板的位置,才能生產(chǎn)出滿足要求的產(chǎn)品,進而導(dǎo)致此類型石英舟的生產(chǎn)周期較長,效率低,難以滿足客戶批量訂單的要求。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本發(fā)明的目的是提供一種石英舟側(cè)板op塊焊接設(shè)備,具有縮短生產(chǎn)周期、提高生產(chǎn)效率、焊接精度高的效果。
2、本發(fā)明的上述技術(shù)目的是通過以下技術(shù)方案得以實現(xiàn)的:一種石英舟側(cè)板op塊焊接設(shè)備,包括焊接工作臺、設(shè)置于焊接工作臺頂部且用于固定定位石英舟側(cè)板和op塊的裝夾機構(gòu)、設(shè)置于焊接工作臺上且焊接石英舟側(cè)板和op塊的焊接機構(gòu)、安裝于焊接工作臺上且控制焊接機構(gòu)工作的控制面板;
3、所述裝夾機構(gòu)包括底座、一對移動設(shè)置于底座上的滑座一、調(diào)節(jié)控制兩滑座一相對遠離或靠近移動的調(diào)節(jié)組件一、一對分別豎直固定于兩滑座一上的側(cè)板夾塊一、可移動設(shè)置于底座上且位于兩滑座一之間的滑座二、調(diào)節(jié)控制滑座一移動靠近或遠離兩滑座一中部空隙的調(diào)節(jié)組件二、豎直固定于滑座二上的側(cè)板夾塊二、移動設(shè)置于底座上的長滑板、調(diào)節(jié)控制長滑板靠近或遠離兩滑座一的調(diào)節(jié)組件三、一對移動設(shè)置于長滑板上的短滑板、調(diào)節(jié)控制兩短滑板相對遠離或靠近移動的調(diào)節(jié)組件四、一對分別固定兩短滑板上的l字形支撐塊、固定于l字形支撐塊轉(zhuǎn)角處且水平支撐托起op塊下端面的方形支撐板;
4、兩所述側(cè)板夾塊一頂部分別開設(shè)有支撐且限位石英舟側(cè)板兩側(cè)的直角溝槽一,所述側(cè)板夾塊二的頂部開設(shè)有支撐且限位石英舟側(cè)板遠離op塊一側(cè)的直角溝槽二;所述長滑板和側(cè)板夾塊二相互平行,且分別位于石英舟側(cè)板前后兩側(cè),兩所述短滑板和長滑板的滑動方向相互垂直,且分別位于石英舟側(cè)板左右兩側(cè),所述方形支撐板的長寬均小于op塊的長寬。
5、本發(fā)明的進一步設(shè)置為:所述焊接機構(gòu)包括一對安裝于底座上的滾珠絲桿型直線模組、一對分別固定安裝于兩滾珠絲桿型直線模組滑臺上的焊接支架、一對上下對稱且固定安裝于焊接支架上焊槍和下焊槍,所述上焊槍和下焊槍均呈l字形,且兩者相對的一面均勻設(shè)置有多個噴火口,兩所述滾珠絲桿型直線模組分別對稱位于長滑板的兩側(cè),且分別驅(qū)動兩焊接支架靠近或遠離兩短滑板,所述上焊槍和下焊槍對稱位于l字形支撐塊的上下兩側(cè),且噴火口均勻指向石英舟側(cè)板和op塊的焊接縫隙。
6、本發(fā)明的進一步設(shè)置為:所述焊接工作臺包括一側(cè)相互固定連接的電控柜和氣路箱,所述電控柜控制整個設(shè)備電源,所述控制面板固定安裝于電控柜頂部,所述氣路箱分配供給上焊槍和下焊槍可燃氣體,且氣路箱中氣體輸出口分別和上焊槍、下焊槍之間通過氣管相連通,所述底座固定于氣路箱頂部,所述氣路箱和電控柜底部分別安裝有一對萬向輪;所述焊接支架包括固定于滾珠絲桿型直線模組滑臺上的支柱、固定套設(shè)于支柱上的套筒、螺釘連接套筒一側(cè)的支撐橫板、固定連接支撐橫板一端的支撐豎板、一對上下對稱且螺釘連接支撐豎板上的焊槍支撐板,所述上焊槍和下焊槍分別固定于焊槍支撐板的頭部。
7、本發(fā)明的進一步設(shè)置為:所述調(diào)節(jié)組件一包括兩對固定于底座上的導(dǎo)軌一、兩對分別固定于兩滑座一底部且分別滑動連接兩對導(dǎo)軌一的滑塊一、轉(zhuǎn)動設(shè)置于底座上且水平位于一對導(dǎo)軌一之間的轉(zhuǎn)動軸、開設(shè)于轉(zhuǎn)動軸上且旋向相反的兩段螺紋、一對分別固定于兩滑座一的底部且分別螺紋連接兩段螺紋的螺母一,所述轉(zhuǎn)動軸位于兩滑座一的下方,且轉(zhuǎn)動軸的一端固定連接有旋轉(zhuǎn)手柄。
8、本發(fā)明的進一步設(shè)置為:所述調(diào)節(jié)組件二包括一對固定于底座上的導(dǎo)軌二、一對固定于兩滑座二底部且分別滑動兩導(dǎo)軌的滑塊二、轉(zhuǎn)動設(shè)置于底座上且水平位于兩導(dǎo)軌之間的絲桿一、固定于滑座二底部且螺紋連接絲桿一的螺母二,所述絲桿位于滑座二的下方,且絲桿的一端固定連接有旋鈕。
9、本發(fā)明的進一步設(shè)置為:所述調(diào)節(jié)組件三包括固定于底座上的倒u字形支撐板、固定于倒u字形支撐板頂部的導(dǎo)軌三、滑動于導(dǎo)軌三上的滑塊三、固定連接滑塊三和長滑板底部的倒t字形支撐件、固定安裝倒u字形支撐板頂部的步進電機、滑動穿過倒t字形支撐件且一端固定連接步進電機輸出端的絲桿二、固定于倒t字形支撐件上且螺紋連接絲桿二的螺母三。
10、本發(fā)明的進一步設(shè)置為:所述調(diào)節(jié)組件四包括一對固定于長滑板底部的導(dǎo)軌四、固定于短滑板頂部且滑動連接導(dǎo)軌四的滑塊四、固定于短滑板底部的導(dǎo)軌五、滑動于導(dǎo)軌五上的滑塊五、固定連接滑塊五和底座的工字形支撐件,兩所述導(dǎo)軌四對稱位于倒t字形支撐件的兩側(cè),且和導(dǎo)軌三相互垂直,兩所述導(dǎo)軌五相互呈八字形,且對稱于導(dǎo)軌三兩側(cè),兩所述導(dǎo)軌五靠近側(cè)板夾塊一的一端的間距小于兩導(dǎo)軌五另一端的間距。
11、本發(fā)明的進一步設(shè)置為:所述l字形支撐塊上還設(shè)置有壓緊op塊上端面的壓緊組件,所述壓緊組件包括設(shè)置于l字形支撐塊內(nèi)部的空腔、豎直固定空腔底部的螺紋桿、轉(zhuǎn)動設(shè)置于l字形支撐塊上且穿進空腔內(nèi)部螺紋連接螺紋桿的螺紋筒、固定連接螺紋筒的下端且活動套設(shè)螺紋桿的壓緊環(huán)盤、固定連接螺紋筒上端的旋轉(zhuǎn)把手,所述空腔位于方形支撐板的上方,所述l字形支撐塊轉(zhuǎn)角處開設(shè)有連通空腔的開口一,所述壓緊環(huán)盤的一部分從開口一伸出空腔外,且壓緊op塊上端面的一角。
12、本發(fā)明的進一步設(shè)置為:所述壓緊環(huán)盤上開設(shè)有弧形的長條孔,所述空腔內(nèi)固定設(shè)置有滑動穿過長條孔的限位柱,所述壓緊環(huán)盤上開設(shè)有直角缺口,且限位柱位于長條孔的一端時,該壓緊環(huán)盤除直角缺口其他的部分均位于空腔內(nèi)部。
13、本發(fā)明的進一步設(shè)置為:所述壓緊環(huán)盤部分輪廓上均勻設(shè)置有多個棘齒,所述空腔內(nèi)鉸接設(shè)置有棘爪,所述空腔內(nèi)一角落和棘爪一側(cè)共同連接有彈簧,且彈簧彈力作用于棘爪的爪鉤卡進相鄰棘齒的縫隙,所述l字形支撐塊遠離方形支撐板的一側(cè)開設(shè)有連通空腔的開口二,所述棘爪的一端從開口二伸出空腔,且棘爪旋轉(zhuǎn)中心位于彈簧和開口二中間,所述長滑板上固定設(shè)置有一對限位板,兩所述短滑板間距最大時,兩限位板一側(cè)分別蓋住兩l字形支撐塊上的開口二,且棘爪伸出空腔的一端被限位板壓回空腔內(nèi)、棘爪另一端的爪鉤退出棘齒的縫隙。
14、本發(fā)明的有益效果是:
15、1、通過采用上述裝夾機構(gòu)中能滑動滑座和側(cè)板夾塊,不僅能夠自動裝夾固定石英舟側(cè)板,而且配合長滑板、短滑板和l字形支撐塊等結(jié)構(gòu),還能將兩op塊支撐托起,并拼合固定于石英舟側(cè)板兩邊缺角處,進而在焊接加工中,保障op塊穩(wěn)定保持在石英舟側(cè)板兩邊缺角內(nèi),以克服op塊受溫度等外界因素影響,而頻繁調(diào)整焊接位置的缺陷,從而有效縮短該石英舟側(cè)板和op塊組合產(chǎn)品的生產(chǎn)周期。
16、2、通過采用上述焊接機構(gòu),不僅能夠自動配合裝夾機構(gòu),對op塊和石英舟側(cè)板之間焊接縫隙精準焊接,而且四個焊槍分別對兩op塊和石英舟側(cè)板各處的焊接縫隙,同時進行焊接加工,因此焊接精度和焊接效率均有著顯著的提高。