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一種電子束多晶硅提純用鑄錠坩堝的制作方法

文檔序號:3445032閱讀:205來源:國知局
專利名稱:一種電子束多晶硅提純用鑄錠坩堝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及ー種坩堝,特別是涉及ー種電子束提純制取太陽能級多晶硅鑄錠用的坩堝。
背景技術(shù)
在信息產(chǎn)業(yè)和光伏產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展的背景下,太陽能級多晶硅供應(yīng)嚴(yán)重短缺,這極大的限制了我國光伏產(chǎn)業(yè)進一歩的發(fā)展。相較于改良西門子法等化學(xué)方法,采用冶金法制備太陽能級多晶硅具有成本低、環(huán)境友好等諸多優(yōu)點,而利用電子束熔煉爐進行提純是冶金法生產(chǎn)多晶硅的重要方法。鑄錠坩堝是電子束熔煉爐熔鑄金屬的重要部件,其工作條件惡劣,在工作中要承受2000°C多度的高溫,要有足夠的散熱能力,保證坩堝不被燒壞,同時要有足夠的機械強度,不易破裂與粘堝。另現(xiàn)有鑄錠坩堝一般是由坩堝外殼、坩堝體和中間夾置的隔水套一體構(gòu)成的整體部件,如有哪部份的部件損壞,大多時候是一起報廢,單修也及其不便。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種電子束多晶硅提純用鑄錠坩堝。為實現(xiàn)上述目的,本實用新型采取以下設(shè)計方案—種電子束多晶硅提純用鑄錠坩堝,由坩堝外殼及位于其內(nèi)的坩堝體組合構(gòu)成,在兩者之間夾置有隔水套;在坩堝體上套有螺旋槽水套,該螺旋槽水套緊夾置于坩堝體和隔水套之間。所述電子束多晶硅提純用鑄錠坩堝中,所述隔水套及螺旋槽水套均位于鑄錠坩堝的上部分。所述電子束多晶硅提純用鑄錠坩堝中,所述螺旋槽水套冷卻水的入水ロ設(shè)在螺旋槽水套下腔位置。所述的電子束多晶硅提純用鑄錠坩堝中,所述的坩堝體為紫銅材質(zhì)體;所述的螺旋槽水套為銅質(zhì)體。所述的坩堝外殼、隔水套、螺旋槽水套和坩堝體各為獨立的部件。本實用新型的優(yōu)點是本電子束多晶硅提純用鑄錠坩堝在工作中能經(jīng)受2000°C多度的高溫,有足夠的機械強度,不易破裂和粘堝,冷卻效率高,壽命長,易于更換和使用。坩堝的結(jié)構(gòu)簡潔合理,易損件少,且水套形狀簡單,易于加工制造。

圖I為本實用新型電子束多晶硅提純用鑄錠坩堝結(jié)構(gòu)示意圖。
以下結(jié)合附圖及具體實施例對本實用新型做進ー步詳細(xì)說明。
具體實施方式
參閱圖I所示,本實用新型電子束多晶硅提純用鑄錠坩堝主要包括坩堝外殼I、坩堝體2 (紫銅制)、隔水套3及螺旋槽水套4。所述坩堝外殼I、坩堝體2和隔水套3都是基于現(xiàn)有技術(shù)上加以實現(xiàn),此處不贅述。本實用新型的創(chuàng)新點在于在坩堝體和隔水套之間增設(shè)有ー組螺旋槽水套,該組(可以是ー個,可以是多個并進盤設(shè))螺旋槽水套緊套在坩堝體上。該螺旋槽水套銅質(zhì)制作,銅質(zhì)螺旋水套與坩堝體內(nèi)表面接觸,且螺旋水套位于坩堝內(nèi)的上部為佳,將坩堝內(nèi)部分為了上、下兩部分,入水ロ設(shè)在螺旋水套的下腔處,冷卻水由下腔進入螺旋水套中,螺旋水套相當(dāng)于坩堝體的散熱翅片,加大了坩堝體與冷卻水的接觸散熱面積 ,使坩堝體可以把熔化金屬的熱量迅速傳給冷卻水,提高了坩堝的散熱能力,使坩堝在工作中不被燒壞。另所述的坩堝外売、隔水套、螺旋槽水套和坩堝體各為獨立的部件,相互組裝而成,方便維修和更換。同時,只有坩堝體因與熔化物料接觸是易損件,螺旋槽和隔水套是非易損件。因此坩堝的結(jié)構(gòu)簡潔合理,易損件少,且水套形狀簡單,易于加工制造。經(jīng)過實際使用,證明坩堝冷卻效率高,壽命長,易于更換和使用,是實現(xiàn)低成本、高品質(zhì)的冶金物理法制備太陽能級多晶硅的有效設(shè)備。上述各實施例可在不脫離本實用新型的范圍下加以若干變化,故以上的說明所包含及附圖中所示的結(jié)構(gòu)應(yīng)視為例示性,而非用以限制本實用新型申請專利的保護范圍。
權(quán)利要求1.一種電子束多晶硅提純用鑄錠坩堝,由坩堝外殼及位于其內(nèi)的坩堝體組合構(gòu)成,在兩者之間夾置有隔水套;其特征在于在坩堝體上套有螺旋槽水套組,該螺旋槽水套組緊夾置于坩堝體和隔水套之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的電子束多晶硅提純用鑄錠坩堝,其特征在于所述隔水套及螺旋槽水套均位于鑄錠坩堝的上部分。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的電子束多晶硅提純用鑄錠坩堝,其特征在于所述螺旋槽水套冷卻水的入水ロ設(shè)在螺旋槽水套下腔位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的電子束多晶硅提純用鑄錠坩堝,其特征在于所述的坩堝體為紫銅材質(zhì)體;所述的螺旋槽水套為銅質(zhì)體。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的電子束多晶硅提純用鑄錠坩堝,其特征在于所述的坩堝外 殼、隔水套、螺旋槽水套和坩堝體各為獨立的部件。
專利摘要本實用新型公開了一種電子束多晶硅提純用鑄錠坩堝,由坩堝外殼及位于其內(nèi)的坩堝體組合構(gòu)成,在兩者之間夾置有隔水套;在坩堝體上套有螺旋槽水套,該螺旋槽水套緊夾置于坩堝體和隔水套之間。其冷卻效率高,壽命長,易于更換和使用,是實現(xiàn)低成本、高品質(zhì)的冶金物理法制備太陽能級多晶硅的有效設(shè)備。
文檔編號C01B33/037GK202400854SQ201120566740
公開日2012年8月29日 申請日期2011年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月30日
發(fā)明者劉應(yīng)寬, 劉振遠(yuǎn), 尹中榮, 李全旺, 盛之林 申請人:北京有色金屬研究總院
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