一種全自動蝕刻液回收裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及蝕刻裝置，特別是一種全自動蝕刻液回收裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]蝕刻機可以分為化學(xué)蝕刻機及電解蝕刻機兩類。在化學(xué)蝕刻中是使用化學(xué)溶液，經(jīng)由化學(xué)反應(yīng)以達到蝕刻的目的，化學(xué)蝕刻機是將材料用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。如今市場上所見到的自動型化學(xué)蝕刻機是通過高壓噴淋及被蝕刻板直線運動形成連續(xù)不間斷進料狀態(tài)進行對工件腐蝕以提高生產(chǎn)效率，加大了噴淋與被蝕刻金屬板的有效面積和蝕刻均勻程度，無論在蝕刻效果、速度和改善操作者的環(huán)境及方便程度，都優(yōu)于潑濺式蝕刻；經(jīng)反復(fù)實驗噴射壓力在1-2 Kg/cm2的情況下被蝕刻工件上所殘留的蝕刻圬漬能被有效清處掉，使蝕刻速度在傳統(tǒng)蝕刻法上大大提高。但是蝕刻液在噴淋在產(chǎn)品后，還有大量未反應(yīng)的蝕刻液，現(xiàn)有的蝕刻液回收裝置將蝕刻液進行回收，但回收率低，而且蝕刻液中含有雜質(zhì)，無法全部回收。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點，提供一種自動化程度高、回收率高和可不間斷地連續(xù)回收的全自動蝕刻液回收裝置。
[0004]本實用新型的目的通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn):一種全自動蝕刻液回收裝置，它包括蝕刻機柜、傳送裝置、接液盤、接液管和回收池，所述的傳送裝置橫向穿過蝕刻機柜，傳送裝置的上方設(shè)置有蝕刻液噴淋頭，所述的接液盤固定安裝在傳送裝置的下方，接液管的一端與接液盤的底部相連，接液管的另一端并聯(lián)連接有第一支管和第二支管，第一支管的另一端和第二支管的另一端分別與回收池連通，第一支管的管路上設(shè)置有第一閥門和第一過濾器，第二支管的管路上設(shè)置有第二閥門和第二過濾器。
[0005]所述的蝕刻液噴淋頭為多個，且多個蝕刻液噴淋頭沿著傳送裝置的傳送方向間隔均勻地設(shè)置在蝕刻機柜上。
[0006]所述的接液盤的截面呈波浪形結(jié)構(gòu)，接液盤上還設(shè)置有匯集槽，匯集槽沿接液盤的波谷設(shè)置，匯集槽與接液管連通。
[0007]所述的第一閥門和第二閥門均為電磁閥。
[0008]所述的第一過濾器與回收池之間、第二過濾器與回收池之間的管路上分別設(shè)置有流量計。
[0009]本實用新型具有以下優(yōu)點:
[0010]1、本實用新型的蝕刻液在經(jīng)噴淋頭噴射在產(chǎn)品上后，在自身重力作用下，掉入接液盤中，進行殘余蝕刻液回收，在回收過程中經(jīng)過過濾器對帶有雜質(zhì)的蝕刻液進行過濾，整個過程均可自動進行，自動化程度高。
[0011]2、蝕刻液在噴射在產(chǎn)品上后完全進入接液盤，接液盤的截面為波浪形結(jié)構(gòu)，并且在波谷處設(shè)置匯集槽，匯集槽與接液管連通，有利于殘余蝕刻液進入接液管，回收效率大幅度提高。
[0012]3、在接液管與回收池之間分別設(shè)置有并聯(lián)的支路，每個支路上設(shè)置有電磁閥、過濾器和流量計，通過其中一支路的流量計向?qū)?yīng)的電磁閥進行反饋，若流量低于額定值，則關(guān)閉該路電磁閥，同時開啟另一路電磁閥，對流量低于額定值一路的過濾器進行清洗，同時另一路對蝕刻液進行回收，可實現(xiàn)不間斷地連續(xù)回收。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2為接液盤的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖3為圖2中A-A剖視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖中:1_蝕刻機柜，2-蝕刻液噴淋頭，3-傳送裝置，4-接液盤，5-接液管，6-回收池，7-第一支管，8-第一過濾器，9-第一閥門，10-第二支管，11-第二過濾器，12-第二閥門，13-匯集槽。
【具體實施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖對本實用新型做進一步的描述，但本實用新型的保護范圍不局限于以下所述。
[0018]如圖1所示，一種全自動蝕刻液回收裝置，它包括蝕刻機柜1、傳送裝置3、接液盤4、接液管5和回收池6，所述的傳送裝置3橫向穿過蝕刻機柜1，傳送裝置3的上方設(shè)置有蝕刻液噴淋頭2，所述的接液盤4固定安裝在傳送裝置3的下方，接液管5的一端與接液盤4的底部相連，接液管5的另一端并聯(lián)連接有第一支管7和第二支管10，第一支管7的另一端和第二支管10的另一端分別與回收池6連通，第一支管7的管路上設(shè)置有第一閥門9和第一過濾器8，第二支管8的管路上設(shè)置有第二閥門12和第二過濾器11。
[0019]進一步地，所述的蝕刻液噴淋頭2為多個，且多個蝕刻液噴淋頭2沿著傳送裝置3的傳送方向間隔均勻地設(shè)置在蝕刻機柜I上，對產(chǎn)品進行均勻地噴淋，提高產(chǎn)品蝕刻質(zhì)量。
[0020]進一步地，如圖2和圖3所示，所述的接液盤4的截面呈波浪形結(jié)構(gòu)，接液盤4上還設(shè)置有匯集槽13，匯集槽13沿接液盤4的波谷設(shè)置，匯集槽13與接液管5連通。
[0021]所述的第一閥門9和第二閥門12均為電磁閥。
[0022]所述的第一過濾器8與回收池6之間、第二過濾器11與回收池6之間的管路上分別設(shè)置有流量計。
[0023]本實用新型的工作過程如下:產(chǎn)品在傳送裝置3上沿著傳送方向移動，蝕刻液噴淋頭2將蝕刻液噴射在產(chǎn)品表面上，殘余的蝕刻液和雜質(zhì)在自身重力作用下，掉入接液盤4內(nèi)，通過接液盤4波谷處的匯集槽13進行匯集，再通過接液管5回收至回收池6內(nèi)。在接液管5與回收池6之間分別設(shè)置有并聯(lián)的支路，每個支路上設(shè)置有電磁閥、過濾器和流量計，通過其中一支路的流量計向?qū)?yīng)的電磁閥進行反饋，若流量低于額定值，則關(guān)閉該路電磁閥，同時開啟另一路電磁閥，對流量低于額定值一路的過濾器進行清洗，同時另一路對蝕刻液進行回收，可實現(xiàn)不間斷地連續(xù)回收。
【主權(quán)項】
1.一種全自動蝕刻液回收裝置，其特征在于:它包括蝕刻機柜(1)、傳送裝置(3)、接液盤(4)、接液管(5)和回收池(6)，所述的傳送裝置(3)橫向穿過蝕刻機柜(1)，傳送裝置(3)的上方設(shè)置有蝕刻液噴淋頭(2)，所述的接液盤(4)固定安裝在傳送裝置(3)的下方，接液管(5)的一端與接液盤(4)的底部相連，接液管(5)的另一端并聯(lián)連接有第一支管(7)和第二支管(10)，第一支管(7)的另一端和第二支管(10)的另一端分別與回收池(6)連通，第一支管(7 )的管路上設(shè)置有第一閥門(9 )和第一過濾器(8 )，第二支管(10 )的管路上設(shè)置有第二閥門(12)和第二過濾器(11)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動蝕刻液回收裝置，其特征在于:所述的蝕刻液噴淋頭(2)為多個，且多個蝕刻液噴淋頭(2)沿著傳送裝置(3)的傳送方向間隔均勻地設(shè)置在蝕刻機柜(I)上。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動蝕刻液回收裝置，其特征在于:所述的接液盤(4)的截面呈波浪形結(jié)構(gòu)，接液盤(4)上還設(shè)置有匯集槽(13)，匯集槽(13)沿接液盤(4)的波谷設(shè)置，匯集槽(13 )與接液管(5 )連通。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動蝕刻液回收裝置，其特征在于:所述的第一閥門(9)和第二閥門(12)均為電磁閥。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動蝕刻液回收裝置，其特征在于:所述的第一過濾器(8)與回收池(6)之間、第二過濾器(11)與回收池(6)之間的管路上分別設(shè)置有流量計。
【專利摘要】本實用新型涉及一種全自動蝕刻液回收裝置，它包括蝕刻機柜（1）、傳送裝置（3）、接液盤（4）、接液管（5）和回收池（6），傳送裝置（3）的上方設(shè)置有蝕刻液噴淋頭（2），接液盤（4）固定安裝在傳送裝置（3）的下方，接液管（5）的一端與接液盤（4）的底部相連，接液管（5）的另一端并聯(lián)連接有第一支管（7）和第二支管（10），第一支管（7）的另一端和第二支管（10）的另一端分別與回收池（6）連通，第一支管（7）的管路上設(shè)置有第一閥門（9）和第一過濾器（8），第二支管（8）的管路上設(shè)置有第二閥門（12）和第二過濾器（11）。本實用新型的優(yōu)點在于：自動化程度高、回收率高和可不間斷地連續(xù)回收。
【IPC分類】C23F1/08, C23F1/46
【公開號】CN204661828
【申請?zhí)枴緾N201520370765
【發(fā)明人】韋建敏, 趙興文, 張曉蓓, 張小波
【申請人】成都虹華環(huán)保科技股份有限公司
【公開日】2015年9月23日
【申請日】2015年6月2日