1.一種碳銅復(fù)合靶材的制備方法,該方法包括如下步驟:
(1)制備靶材
將碳材料水溶液進(jìn)行超高速剪切力分散,再向碳材料水溶液中分別加入銅鹽、分散劑和穩(wěn)定劑,加熱到75~85℃,持溫30-60min,得到反應(yīng)液,反應(yīng)液中的銅離子均勻析出在碳材料的表面;所述的分散劑為聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯醇、聚甲基乙烯醚、聚丙烯酸中的任意一種,或任意一種非離子型界面活性劑,或任意一種螯合劑;所述的穩(wěn)定劑為聚乙烯亞胺、檸檬酸鈉、葡萄醣、十二烷基硫酸鈉、聚乙烯吡咯烷酮中的任意一種,或任意一種樹枝狀高分子;
對反應(yīng)液進(jìn)行冷凍干燥,去除溶劑,獲得表面吸附有納米銅顆粒的碳材料粉末;
選用原料銅,在真空熔煉設(shè)備中熔融成高溫熔融液體銅漿;
將表面吸附有納米銅顆粒的碳材料粉末投入銅漿中,得到高溫混合漿料,以表面吸附有納米銅顆粒的碳材料粉末與原料銅的質(zhì)量總和為100%計,表面吸附有納米銅顆粒的碳材料粉末、原料銅的百分含量分別為:15~35%、65~85%;
將高溫混合漿料倒進(jìn)750~900℃的模具內(nèi)持溫5~7小時進(jìn)行均質(zhì)化熱處理,之后,冷卻獲得鑄錠,并對鑄錠進(jìn)行冷軋延和退火熱處理,退火熱處理的參數(shù)條件為:溫度為550~650℃,時間為2~3h,最終機(jī)床加工,即可獲得碳-銅復(fù)合靶材;
(2)噴砂處理
提供所述碳銅合金靶材,所述靶材包括待噴砂區(qū)域以及不需要噴砂的保留區(qū)域;
至少在所述保留區(qū)域靠近待噴砂區(qū)域的部分,以及部分待噴砂區(qū)域粘貼保護(hù)層;
去除位于待噴砂區(qū)域的保護(hù)層,以完全露出靶材的待噴砂區(qū)域;
對靶材的待噴砂區(qū)域進(jìn)行噴砂處理;
在噴砂處理的步驟之后,去除靶材上剩余的保護(hù)層。
2.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,在所述步驟(2)中,提供所述碳銅合金靶材的步驟包括:去除位于待噴砂區(qū)域的保護(hù)層的步驟包括:采用銑削的方式去除所述待噴砂區(qū)域的保護(hù)層;
其中,去除位于待噴砂區(qū)域的保護(hù)層的步驟包括:在車刀與粘貼有保護(hù)層的靶材表面之間設(shè)置不大于保護(hù)層厚度的間隙,使所述間隙在0.02mm~0.04mm的范圍內(nèi);
去除位于待噴砂區(qū)域的保護(hù)層的步驟之后,進(jìn)行噴砂處理的步驟之前,所述靶材加工方法還包括:采用刀片對于靶材待噴砂區(qū)域表面進(jìn)行去膠處理;
粘貼保護(hù)層的步驟之后,進(jìn)行噴砂處理的步驟之前,所述靶材加工方法還包括:采用蓋板對保留區(qū)域未粘貼保護(hù)層的部分進(jìn)行遮擋。