技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種磨粒的評(píng)價(jià)方法及硅晶圓的制造方法。本發(fā)明的磨粒的評(píng)價(jià)方法是用于晶錠切割用漿料的磨粒的評(píng)價(jià)方法，所述磨粒的評(píng)價(jià)方法中，進(jìn)行如下工序：評(píng)價(jià)溶液制作工序（S1），將包含研磨磨粒及雜質(zhì)的磨粒溶于溶劑而制作評(píng)價(jià)溶液；沉淀工序（S3），靜置裝有評(píng)價(jià)溶液的容器使研磨磨粒沉淀；測(cè)量工序（S5），使用測(cè)量設(shè)備測(cè)量評(píng)價(jià)溶液的上清液的濁度；以及推斷工序（S6），根據(jù)上清液的濁度的測(cè)量結(jié)果推斷雜質(zhì)的量。

技術(shù)研發(fā)人員：南畑祐司
受保護(hù)的技術(shù)使用者：勝高股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.10.09
技術(shù)公布日：2017.08.29