一種新型外延爐石英件清洗機的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及石英件清洗機，特別是涉及一種新型外延爐石英件清洗機。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體行業(yè)中，用于硅晶圓片和碳化硅晶圓片批量生產(chǎn)的外延爐的內(nèi)腔因為耐高溫、透光、無物質(zhì)沾污的需求，基本使用高純度石英材料制作，除了石英鐘罩作為密閉腔體內(nèi)用途外，為了保證晶體表面生長的氣流均勻性和溫度一致性，另外還會在腔體內(nèi)放置各種形狀的石英件。石英件的表面在一定次數(shù)的外延過程后，表面會沉積多種殘留物質(zhì)。這些殘留物質(zhì)在設(shè)備維護保養(yǎng)過程中定期清洗，否則會嚴重影響硅晶圓片和碳化硅晶圓片的外延層生長質(zhì)量。
[0003]以往的石英件清洗方式一般使用一種酸液或多種酸液混合，通過浸泡或沖淋的方式進行清洗。但是這兩種清洗方式均無法根據(jù)殘留物沉積程度進行酸液的控制，對石英件的表面會造成一定的腐蝕(特別是石英件表面殘留物較少的地方），在多次清洗后，由于表面腐蝕嚴重，導(dǎo)致石英件和石英鐘罩的厚度變薄，透明度下降，無法繼續(xù)使用而報廢。另外在清洗過程中，會消耗大量的酸液，并散發(fā)出含多種化學(xué)物質(zhì)的廢氣和酸霧，對外界環(huán)境和生產(chǎn)所需的超凈化環(huán)境產(chǎn)生污染。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]實用新型目的:本實用新型的目的是提供一種能夠根據(jù)殘留物沉積程度進行酸液控制的封閉式的新型外延爐石英件清洗機。
[0005]技術(shù)方案:為達到此目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案：
[0006]本實用新型所述的新型外延爐石英件清洗機，包括機體，機體前部設(shè)有正門，機體后部封閉，機體側(cè)部設(shè)有第一側(cè)門和第二側(cè)門，正門、第一側(cè)門和第二側(cè)門均采用耐酸透明材質(zhì)，第一側(cè)門上設(shè)有可供人的手臂伸入的孔，孔上朝機體內(nèi)部的方向套設(shè)有防酸橡膠手套，機體內(nèi)部設(shè)有噴淋裝置和可前后抽拉的托盤，托盤上設(shè)有防滑凹槽，機體內(nèi)部還設(shè)有用于控制噴淋裝置的電氣控制裝置，機體頂部設(shè)有照明裝置，機體底部設(shè)有用于存儲酸液的存儲箱和用于輸送酸液的栗，第二側(cè)門的位置與存儲箱的位置相對應(yīng)，機體前部正門上方還設(shè)有操作按鈕和觸摸屏，操作按鈕用于啟動或者關(guān)閉電氣控制裝置和照明裝置，觸摸屏用于對噴淋裝置和栗進行操作。
[0007]為使清洗機在不進行人工噴灑時達到封閉的效果，在所述孔外設(shè)有孔蓋，孔蓋能夠相對于第一側(cè)門轉(zhuǎn)動，以打開和蓋合孔。
[0008]進一步，所述孔蓋能夠相對于第一側(cè)門水平轉(zhuǎn)動，以打開和蓋合孔。
[0009]進一步，所述孔蓋為圓形薄蓋，其尺寸大于孔的尺寸，孔蓋上設(shè)有與孔的尺寸相適配的窗口，孔蓋相對于第一側(cè)門水平轉(zhuǎn)動的過程中能夠?qū)⒋翱谂c孔對準，也能夠?qū)⒋翱谂c孔完全錯開ο
[0010]進一步，所述孔蓋能夠相對于第一側(cè)門垂直轉(zhuǎn)動。
[0011]進一步，所述孔蓋通過設(shè)置在第一側(cè)門上的水平轉(zhuǎn)軸與第一側(cè)門連接，孔蓋能以水平轉(zhuǎn)軸為軸相對于第一側(cè)門垂直轉(zhuǎn)動翻開，從而打開和蓋合孔。
[0012]進一步，所述第一側(cè)門包括左側(cè)門和右側(cè)門，左側(cè)門和右側(cè)門上均設(shè)有孔。
[0013]進一步，所述噴淋裝置包括酸液噴槍、純水噴槍和氮氣噴槍。
[0014]為保證圓形石英鐘罩在清洗過程中能夠輕松旋轉(zhuǎn)且不會掉落，在所述托盤上還設(shè)有支撐滾輪。
[0015]進一步，所述機體上還設(shè)有排風(fēng)裝置，排風(fēng)裝置包括設(shè)于機體后部的廢氣收集箱和與廢氣收集箱相連的廢氣排放管。
[0016]有益效果:本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有如下的有益效果：
[0017](I)本實用新型的清洗機第一側(cè)門上設(shè)有孔，操作者可將手臂穿過孔伸入清洗機內(nèi)部的防酸橡膠手套中，根據(jù)石英件表面殘留物的沉積程度對噴淋裝置進行控制，從而有效改善了石英件表面腐蝕的問題，大大縮短了清洗時間，提高了生產(chǎn)效率；
[0018](2)孔蓋的設(shè)置使清洗機在不進行人工噴灑時達到了封閉的效果；
[0019](3)正門、第一側(cè)門和第二側(cè)門均采用耐酸透明材質(zhì)，能夠透過各個門觀察到清洗機內(nèi)部的情形，從而實現(xiàn)對清洗過程的實時監(jiān)控；
[0020](4)托盤上設(shè)置的支撐滾輪保證了圓形石英鐘罩在清洗過程中能夠輕松旋轉(zhuǎn)且不會掉落；
[0021](5)與現(xiàn)有技術(shù)中的酸液浸泡方式相比較，酸液消耗量僅為其1/5—1/10，有效降低了成本，具有顯著的經(jīng)濟效益。
【附圖說明】
[0022]圖I為本實用新型清洗方形石英鐘罩時的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖2為本實用新型清洗圓形石英鐘罩時的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0024]下面結(jié)合附圖，對本實用新型的技術(shù)方案做進一步的闡述。
[0025]本實用新型提供了一種新型外延爐石英件清洗機，圖I是本實用新型清洗方形石英鐘罩11時的結(jié)構(gòu)示意圖，它包括機體I，機體I前部設(shè)有正門，機體I后部封閉，機體I側(cè)部設(shè)有第一側(cè)門和第二側(cè)門18，正門、第一側(cè)門和第二側(cè)門18均采用耐酸透明材質(zhì)，第一側(cè)門包括左側(cè)門121和右側(cè)門122，左側(cè)門121和右側(cè)門122上均設(shè)有可供人的手臂伸入的孔13，孔13上朝機體I內(nèi)部的方向套設(shè)有防酸橡膠手套，機體I內(nèi)部設(shè)有噴淋裝置和可前后抽拉的托盤19，托盤19上設(shè)有防滑凹槽，機體I內(nèi)部還設(shè)有用于控制噴淋裝置的電氣控制裝置，機體I頂部設(shè)有照明裝置113，機體I底部設(shè)有用于存儲酸液的存儲箱和用于輸送酸液的栗，第二側(cè)門18的位置與存儲箱的位置相對應(yīng)，機體I前部正門上方還設(shè)有操作按鈕16和觸摸屏17，操作按鈕16用于啟動或者關(guān)閉電氣控制裝置和照明裝置113，觸摸屏17用于對噴淋裝置和栗進行操作。噴淋裝置包括酸液噴槍、純水噴槍和氮氣噴槍。機體I上還設(shè)有排風(fēng)裝置，排風(fēng)裝置包括設(shè)于機體I后部的廢氣收集箱112和與廢氣收集箱112相連的廢氣排放管111。
[0026]為使清洗機在不進行人工噴灑時達到封閉的效果，在孔13外設(shè)有一個孔蓋14，孔蓋14通過設(shè)置在第一側(cè)門上的水平轉(zhuǎn)軸15與第一側(cè)門連接，孔蓋14能以水平轉(zhuǎn)軸15為軸相對于第一側(cè)門垂直轉(zhuǎn)動翻開，從而打開和蓋合孔13。
[0027]由于圓形石英鐘罩12在清洗過程中需要人工旋轉(zhuǎn)至不同角度進行清洗，為了保證圓形石英鐘罩12在清洗過程中能夠輕松旋轉(zhuǎn)且不會掉落，在托盤19上還設(shè)有支撐滾輪110，如圖2所示。
[0028]下面介紹一下使用本實用新型清洗石英件的過程：
[0029]首先，打開位于清洗機前部的正門，拉出托盤19，將待清洗的石英鐘罩放置于托盤19上，托盤19上的防滑凹槽能夠固定鐘罩防止其滑動，將鐘罩放置好后，緩慢推動托盤19進入清洗機內(nèi)，關(guān)閉正門。然后，按下操作按鈕16啟動電氣控制裝置和照明裝置113，操作觸摸屏17將正門鎖死，電氣控制裝置控制氮氣噴槍向清洗機內(nèi)部噴灑高純度氮氣。接著，操作觸摸屏17開啟栗，操作人員將雙手從機體I一側(cè)的孔13處伸入機內(nèi)，套上防酸橡膠手套，使用酸液噴槍將配比好的酸液噴灑在石英鐘罩表面，噴灑的時間、次數(shù)、位置可根據(jù)石英鐘罩表面殘留物的沉積量進行調(diào)節(jié)。之后，使用純水噴槍和氮氣噴槍對石英鐘罩進行純水沖洗與干燥工作。在整個清洗過程中，排風(fēng)裝置一直產(chǎn)生負壓，吸走產(chǎn)生的廢氣與酸霧。清洗結(jié)束前，再對正門、第一側(cè)門進行一段時間的純水與氮氣沖洗，保證門內(nèi)側(cè)無酸液殘留，然后將門打開，取走清洗完成的石英鐘罩。
【主權(quán)項】
1.一種新型外延爐石英件清洗機，其特征在于:包括機體（I)，機體（I)前部設(shè)有正門，機體(I)后部封閉，機體(I)側(cè)部設(shè)有第一側(cè)門和第二側(cè)門（18)，正門、第一側(cè)門和第二側(cè)門(18)均采用耐酸透明材質(zhì)，第一側(cè)門上設(shè)有可供人的手臂伸入的孔（13)，孔（13)上朝機體(I)內(nèi)部的方向套設(shè)有防酸橡膠手套，機體（I)內(nèi)部設(shè)有噴淋裝置和可前后抽拉的托盤(19)，托盤（19)上設(shè)有防滑凹槽，機體（I)內(nèi)部還設(shè)有用于控制噴淋裝置的電氣控制裝置，機體（I)頂部設(shè)有照明裝置（113)，機體（I)底部設(shè)有用于存儲酸液的存儲箱和用于輸送酸液的栗，第二側(cè)門（18)的位置與存儲箱的位置相對應(yīng)，機體（I)前部正門上方還設(shè)有操作按鈕（16)和觸摸屏（17)，操作按鈕（16)用于啟動或者關(guān)閉電氣控制裝置和照明裝置（113)，觸摸屏（17)用于對噴淋裝置和栗進行操作。2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的新型外延爐石英件清洗機，其特征在于:所述孔(13)外設(shè)有孔蓋(14)，孔蓋(14)能夠相對于第一側(cè)門轉(zhuǎn)動，以打開和蓋合孔(13)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的新型外延爐石英件清洗機，其特征在于:所述孔蓋（14)能夠相對于第一側(cè)門水平轉(zhuǎn)動，以打開和蓋合孔(13)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的新型外延爐石英件清洗機，其特征在于:所述孔蓋（14)為圓形薄蓋，其尺寸大于孔（13)的尺寸，孔蓋（14)上設(shè)有與孔（13)的尺寸相適配的窗口，孔蓋（14)相對于第一側(cè)門水平轉(zhuǎn)動的過程中能夠?qū)⒋翱谂c孔(13)對準，也能夠?qū)⒋翱谂c孔(13)完全錯開。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的新型外延爐石英件清洗機，其特征在于:所述孔蓋（14)能夠相對于第一側(cè)門垂直轉(zhuǎn)動。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的新型外延爐石英件清洗機，其特征在于:所述孔蓋（14)通過設(shè)置在第一側(cè)門上的水平轉(zhuǎn)軸（15)與第一側(cè)門連接，孔蓋(14)能以水平轉(zhuǎn)軸（15)為軸相對于第一側(cè)門垂直轉(zhuǎn)動翻開，從而打開和蓋合孔(13)。7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的新型外延爐石英件清洗機，其特征在于:所述第一側(cè)門包括左側(cè)門（121)和右側(cè)門（122)，左側(cè)門（121)和右側(cè)門（122)上均設(shè)有孔(13)。8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的新型外延爐石英件清洗機，其特征在于:所述噴淋裝置包括酸液噴槍、純水噴槍和氮氣噴槍。9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的新型外延爐石英件清洗機，其特征在于:所述托盤（19)上還設(shè)有支撐滾輪(110)。10.根據(jù)權(quán)利要求I所述的新型外延爐石英件清洗機，其特征在于:所述機體（I)上還設(shè)有排風(fēng)裝置，排風(fēng)裝置包括設(shè)于機體（I)后部的廢氣收集箱（112)和與廢氣收集箱（112)相連的廢氣排放管（111)。
【專利摘要】本實用新型公開了一種新型外延爐石英件清洗機，包括機體，機體前部設(shè)有正門，機體后部封閉，機體側(cè)部設(shè)有第一側(cè)門和第二側(cè)門，正門、第一側(cè)門和第二側(cè)門均采用耐酸透明材質(zhì)，第一側(cè)門上設(shè)有可供人的手臂伸入的孔，孔上朝機體內(nèi)部的方向套設(shè)有防酸橡膠手套，機體內(nèi)部設(shè)有噴淋裝置和可前后抽拉的托盤，托盤上設(shè)有防滑凹槽，機體內(nèi)部還設(shè)有用于控制噴淋裝置的電氣控制裝置，機體頂部設(shè)有照明裝置，機體底部設(shè)有用于存儲酸液的存儲箱和用于輸送酸液的泵，第二側(cè)門的位置與存儲箱的位置相對應(yīng)，機體前部正門上方還設(shè)有操作按鈕和觸摸屏，操作按鈕用于啟動或者關(guān)閉電氣控制裝置和照明裝置，觸摸屏用于對噴淋裝置和泵進行操作。
【IPC分類】B08B3/02, B08B3/08, F26B21/00
【公開號】CN205146772
【申請?zhí)枴緾N201520922410
【發(fā)明人】黃政, 施國政, 馬利行
【申請人】南京國盛電子有限公司
【公開日】2016年4月13日
【申請日】2015年11月18日