專利名稱：真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種真空鍍膜系統(tǒng)，尤其涉及一種真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)，。
背景技術(shù)：
隨著經(jīng)濟的不斷發(fā)展、科技的不斷進步和世界能源的日益減少，人們在生產(chǎn)中越 來越重視能源的節(jié)約及利用效率，使得人與自然和諧發(fā)展以滿足中國新型的工業(yè)化道路要 求。例如，在數(shù)碼產(chǎn)品的顯示產(chǎn)業(yè)中，企業(yè)為了節(jié)約能源、降低生產(chǎn)成本，都加大投資 研發(fā)力度，不斷地追求節(jié)能的新產(chǎn)品。其中，OLED顯示屏就是數(shù)碼產(chǎn)品中的一種新產(chǎn)品， OLED即有機發(fā)光二極管(Organic Light-EmittingDiode)，因為具備輕薄、省電等特性，因 此在數(shù)碼產(chǎn)品的顯示屏上得到了廣泛應(yīng)用，并且具有較大的市場潛力，目前世界上對OLED 的應(yīng)用都聚焦在平板顯示器上，因為OLED是唯一在應(yīng)用上能和TFT-LCD相提并論的技術(shù)， 且是目前所有顯示技術(shù)中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率軟屏的顯示技術(shù)，可以做 成和紙張一樣的厚度；但OLED顯示屏(有機發(fā)光顯示屏)與傳統(tǒng)的TFT-IXD顯示屏(液 晶顯示屏)并不同，其無需背光燈，采用非常薄的有機材料涂層和玻璃基片，當(dāng)有電流通過 時，這些有機材料就會發(fā)光，而且OLED顯示屏可以做得更輕更薄，可視角度更大，并且能夠 顯著節(jié)省電能；相應(yīng)地，制造OLED顯示屏的所有設(shè)備必須要保證OLED顯示屏的精度要求。 OLED顯示屏是基于有機材料的一種電流型半導(dǎo)體發(fā)光器件。其典型結(jié)構(gòu)是在ITO玻璃上蒸 鍍一層幾十納米厚的有機發(fā)光材料作發(fā)光層，發(fā)光層上方有一層低功函數(shù)的金屬電極。當(dāng) 電極上加有電壓時，發(fā)光層就產(chǎn)生光輻射。為了使其能夠全彩色顯示裝置，發(fā)光層應(yīng)被圖案化。通常發(fā)光層圖案化是利用精 細金屬掩膜(MASK)貼合在導(dǎo)電玻璃基片上，使蒸發(fā)源中的有機材料在基板上沉積為所要 求的圖案，此時，需要一種掩膜板裝卸裝置將掩膜板從真空鍍膜機中輸入或輸出。然而，現(xiàn) 有的掩膜板裝卸裝置工作時，先將掩膜板從掩膜板存儲設(shè)備輸送到真空鍍膜機中，鍍膜結(jié) 束后，再將掩膜板從真空鍍膜機輸出到掩膜板存儲設(shè)備，這種裝卸方式存在著以下問題一 方面，由于輸入到真空鍍膜機的掩膜板必須是干凈完好的掩膜板，而從真空鍍膜機中輸出 的掩膜板往往需要進行清潔或者維修才能使用不能循環(huán)輸入到真空鍍膜機中，而掩膜板存 儲設(shè)備中的掩膜板數(shù)量是有限的，以至于在真空鍍膜機工作一段時間后，需等到掩膜板存 儲設(shè)備重新裝載新的掩膜板后才可以急需工作，并不能使掩膜板直接完成清洗或者維修然 后直接回到真空鍍膜機中循環(huán)使用。因此，急需一種可進行連續(xù)循環(huán)裝卸掩膜板的真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)。
實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種可進行連續(xù)循環(huán)裝卸掩膜板的真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)。為了實現(xiàn)上有目的，本實用新型公開了一種真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)，包括掩膜板存儲 設(shè)備、真空鍍膜機、掩膜板傳輸設(shè)備和掩膜板處理設(shè)備，所述掩膜板存儲設(shè)備內(nèi)存儲若干掩膜板，所述掩膜板傳輸設(shè)備分別與所述掩膜板存儲設(shè)備、真空鍍膜機和掩膜板處理設(shè)備連 通，所述掩膜板存儲設(shè)備通過所述掩膜板傳輸設(shè)備為所述真空鍍膜機提供鍍膜用掩膜板并 回收完成鍍膜后的掩膜板，所述掩膜板處理設(shè)備對完成鍍膜后的掩膜板進行清洗或維修， 并將清洗或維修完的所述掩膜板通過所述掩膜板傳輸設(shè)備送入所述掩膜板存儲設(shè)備存儲 或真空鍍膜機。較佳地，所述掩膜板傳輸設(shè)備包括真空腔室、上軌道、下軌道、夾持機構(gòu)、處理傳 輸裝置和真空裝置，所述真空腔室的腔壁上開設(shè)有裝載通道、處理通道、鍍膜通道以及通氣 孔，所述鍍膜通道上安裝有與真空鍍膜機相連的鍍膜間閥，所述裝載通道上安裝有與掩膜 板存儲設(shè)備相連的裝載間閥，所述處理通道上安裝有與掩膜板處理設(shè)備相連的處理閘閥； 所述上軌道位于所述真空腔室內(nèi)且一端與所述掩膜板存儲設(shè)備的輸出軌道相連，另一端與 所述真空鍍膜機的輸入軌道相連；所述下軌道位于所述真空腔室內(nèi)且一端與所述掩膜板存 儲設(shè)備的輸入軌道相連，另一端與所述真空鍍膜機的輸出軌道相連，所述下軌道位于所述 上軌道下方；所述夾持機構(gòu)用于夾取和釋放掩膜板，且所述夾持機構(gòu)可在所述上軌道和下 軌道上移動；所述處理傳輸裝置包括接收機構(gòu)和滾輪傳輸機構(gòu)，所述接收機構(gòu)包括接收臺 和升降驅(qū)動機構(gòu)，所述接收臺位于所述上軌道和下軌道的下方，所述升降驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動所 述接收臺做升降運動；所述滾輪傳輸機構(gòu)位于所述接收臺兩側(cè)且所述滾輪傳輸機構(gòu)的一端 與所述處理通道的一端相連，所述處理通道的另一端與所述掩膜板處理設(shè)備連通。所述真 空裝置包括真空抽放氣裝置和真空檢測裝置，所述真空抽放氣裝置包括充氣裝置、抽氣裝 置，所述充氣裝置及抽氣裝置分別與所述通氣孔連通，所述真空檢測裝置內(nèi)置于所述真空 腔室內(nèi)并與所述充氣裝置及抽氣裝置電連接。較佳地，所述夾持機構(gòu)包括夾持板、頂輪機構(gòu)和夾持驅(qū)動裝置，所述夾持板可在所 述上軌道和下軌道上移動且該夾持板上具有若干夾子，所述頂輪機構(gòu)位于所述夾子的上 方，所述夾持驅(qū)動裝置驅(qū)動所述頂輪機構(gòu)做升降動作，所述頂輪機構(gòu)觸壓所述夾子的頂部 并控制所述夾子打開或者關(guān)閉。所述頂輪機構(gòu)上具有若干頂輪，且每個頂輪均位于與之相 對應(yīng)的夾子的正上方，打開夾子時，只需控制所述頂輪機構(gòu)下降，直至頂輪機構(gòu)上的頂輪機 構(gòu)觸壓夾子的頂部，使得夾子打開。具體地，所述夾子包括抓持部、固定座、扭轉(zhuǎn)彈簧和彈簧軸，所述抓持部包括夾子 主體、沿所述夾子主體兩端向內(nèi)側(cè)延伸的夾子上部和夾子下部，所述固定座包括左側(cè)部、右 側(cè)部、以及連接所述左側(cè)部和右側(cè)部的底座，所述左側(cè)部和右側(cè)部固定在所述夾持板上；所 述彈簧軸的兩端安裝在所述左側(cè)部和右側(cè)部上，所述夾子主體位于所述左側(cè)部和右側(cè)部之 間，且所述夾子主體穿過所述彈簧軸并與所述固定座樞接，所述夾子上部與所述底座之間 形成彈簧抵觸區(qū)，所述扭轉(zhuǎn)彈簧穿過所述彈簧軸，且所述扭轉(zhuǎn)彈簧的上支撐點與所述夾子 上部抵觸，所述扭轉(zhuǎn)彈簧的下支撐點與所述底座抵觸。 較佳地，所述滾輪傳輸機構(gòu)包括滾輪驅(qū)動機構(gòu)、滾輪機構(gòu)和擋輪機構(gòu)，所述滾輪機 構(gòu)位于所述接收臺的兩側(cè)，且所述滾輪機構(gòu)的一端與所述處理通道相連，所述擋輪機構(gòu)位 于所述滾輪機構(gòu)的另一端，所述滾輪驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動所述滾輪機構(gòu)轉(zhuǎn)動。 具體地，所述滾輪機構(gòu)包括滾輪架、滾輪軸、擋輪和滾輪，所述擋輪和滾輪呈階梯 狀安裝在所述滾輪軸上，且所述擋輪的直徑大于所述滾輪的直徑。更具體地，所述滾輪外包 覆有橡膠層。滾輪機構(gòu)輸送掩膜板時，掩膜板的下表面與所述滾輪的橡膠層直接接觸，不但
5保證了滾輪與掩膜板之間的傳輸力，也使得掩膜板在滾輪機構(gòu)上的傳輸平穩(wěn)。較佳地，所述上軌道和下軌道均包括軌道部和驅(qū)動部，所述驅(qū)動部驅(qū)動夾持機構(gòu) 在所述軌道部上移動。所述上軌道用于將夾持機構(gòu)從掩膜板存儲設(shè)備的輸出軌道輸送到真 空鍍膜機的輸入軌道中，當(dāng)夾持板位于上軌道的軌道部上時，上軌道的驅(qū)動部驅(qū)動夾持板 從裝載通道向鍍膜通道方向移動；所述下軌道用于將夾持機構(gòu)從真空鍍膜機的輸出軌道輸 送到掩膜板存儲設(shè)備的輸入軌道中，當(dāng)夾持板位于下軌道的軌道部上時，下軌道的驅(qū)動部 驅(qū)動夾持板從裝載通道向鍍膜通道方向移動。本實用新型真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)包括掩膜板存儲設(shè)備、真空鍍膜機、掩膜板傳輸設(shè) 備和掩膜板處理設(shè)備，且所述掩膜板傳輸設(shè)備分別與所述掩膜板存儲設(shè)備、真空鍍膜機和 掩膜板處理設(shè)備連通，所述掩膜板存儲設(shè)備通過所述掩膜板傳輸設(shè)備為所述真空鍍膜機提 供鍍膜用掩膜板并回收完成鍍膜后的掩膜板，所述掩膜板處理設(shè)備對完成鍍膜后的掩膜板 進行清洗或維修，并將清洗或維修完的所述掩膜板通過所述掩膜板傳輸設(shè)備送入所述掩膜 板存儲設(shè)備存儲或真空鍍膜機。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的掩膜板傳輸設(shè)備分別與所 述掩膜板存儲設(shè)備、真空鍍膜機和掩膜板處理設(shè)備連通，鍍膜時，完成鍍膜的掩膜板可以輸 送至掩膜板處理設(shè)備處理后，再輸入掩膜板存儲設(shè)備存放待用，或者處理后直接通過掩膜 板傳輸設(shè)備輸送至真空鍍膜機使用，使得掩膜板可以在連續(xù)高速的鍍膜工作中循環(huán)使用， 提高了掩膜板的裝卸速度，保證了鍍膜的工作效率。使用上述真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)進行連續(xù)裝卸掩膜板時，掩膜板具有以下兩種循環(huán) 方式，第一種方式是先將鍍膜板從掩膜板存儲設(shè)備輸送到真空鍍膜機中進行鍍膜，鍍膜完 成后再將真空鍍膜機中的掩膜板輸送到掩膜板處理設(shè)備中進行清洗或維修，最后再將處理 (清洗或維修)好的掩膜板從掩膜板處理設(shè)備輸送到掩膜板存儲設(shè)備中存儲，即掩膜板的 裝卸路徑是掩膜板存儲設(shè)備一真空鍍膜機一掩膜板處理設(shè)備一掩膜板存儲設(shè)備，按照上 述路徑不斷循環(huán)，從而對真空鍍膜提供連續(xù)的可循環(huán)利用的掩膜板。第二種方式是先將鍍 膜板從掩膜板存儲設(shè)備輸送到真空鍍膜機中進行鍍膜，鍍膜完成后再將真空鍍膜機中的掩 膜板輸送到掩膜板處理設(shè)備中進行清洗或維修，最后再將清洗或維修好的掩膜板從掩膜板 處理設(shè)備輸送到真空鍍膜機，即掩膜板的裝卸路徑是掩膜板存儲設(shè)備一真空鍍膜機一掩 膜板處理設(shè)備一真空鍍膜機，接下來掩膜板沿“真空鍍膜機一掩膜板處理設(shè)備”這一路徑不 斷循環(huán)，從而對真空鍍膜提供連續(xù)的可循環(huán)利用的掩膜板。當(dāng)然，有時候為了方便，可以將 上述兩種方式交叉使用，從而更加快速的為真空鍍膜提供連續(xù)的可循環(huán)利用的掩膜板。

圖1是本實用新型真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)從真空鍍膜機輸出掩膜板的示意圖。圖2是本實用新型真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)向掩膜板處理設(shè)備輸送掩膜板的示意圖。圖3是本實用新型真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)處理后的掩膜板輸送至掩膜板傳輸設(shè)備的 示意圖。圖4是本實用新型真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)對真空鍍膜機輸入掩膜板的示意圖。圖5是本實用新型所述夾持板的結(jié)構(gòu)示意圖。圖6是本實用新型所述夾持板的另一結(jié)構(gòu)示意圖。圖7是本實用新型所述夾子的結(jié)構(gòu)示意圖。[0023]圖8是本實用新型所述夾子的另一結(jié)構(gòu)示意圖。圖9是本實用新型所述夾子的剖面圖。
具體實施方式
為詳細說明本實用新型的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征、所實現(xiàn)目的及效果，以下結(jié)合實施 方式并配合附圖詳予說明。本實用新型真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)，用于真空連續(xù)鍍膜裝卸掩膜板設(shè)備的開發(fā)，所述 真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)包括掩膜板存儲設(shè)備、真空鍍膜機、掩膜板傳輸設(shè)備100和掩膜板處理 設(shè)備，所述掩膜板存儲設(shè)備內(nèi)存儲若干掩膜板70，所述掩膜板傳輸設(shè)備100分別與所述掩 膜板存儲設(shè)備、真空鍍膜機和掩膜板處理設(shè)備連通，所述掩膜板存儲設(shè)備通過所述掩膜板 傳輸設(shè)備100為所述真空鍍膜機提供鍍膜用掩膜板70并回收完成鍍膜后的掩膜板70，所述 掩膜板處理設(shè)備對完成鍍膜后的掩膜板70進行清洗或維修，并將清洗或維修完的所述掩 膜板70通過所述掩膜板傳輸設(shè)備100送入所述掩膜板存儲設(shè)備存儲或真空鍍膜機。具體 地，所述掩膜板傳輸設(shè)備100包括真空腔室10、上軌道21、下軌道22、夾持機構(gòu)30以及掩膜 板傳輸機構(gòu)，參考圖1-圖9，詳細說明真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)及其工作原理。參考圖1-圖4，所述真空腔室10的腔壁上開設(shè)有裝載通道11、處理通道13、鍍膜 通道12以及通氣孔14，所述鍍膜通道12與所述裝載通道11位置相對；所述鍍膜通道12上 安裝有與真空鍍膜機相連的鍍膜間閥121，所述裝載通道11上安裝有與掩膜板存儲設(shè)備相 連的裝載閘閥111，所述處理通道13上安裝有與掩膜板處理設(shè)備相連的處理閘閥131。參考圖1-圖4，所述掩膜板傳輸設(shè)備100包括真空裝置，該真空裝置包括真空抽放 氣裝置和真空檢測裝置143，所述真空抽放氣裝置包括充氣裝置142、抽氣裝置141，所述充 氣裝置142及抽氣裝置141分別與所述通氣孔14連通，所述真空檢測裝置143內(nèi)置于所述 真空腔室10內(nèi)并與所述充氣裝置142及抽氣裝置141電連接。參考圖2和圖3，所述上軌道21位于真空腔室10內(nèi)且其一端與所述掩膜板存儲設(shè) 備的輸出軌道相連通，所述上軌道21的另一端與所述真空鍍膜機的輸入軌道相連通；所述 下軌道22位于所述上軌道21下方且其一端與所述掩膜板存儲設(shè)備的輸入軌道相連通，另 一端與所述真空鍍膜機的輸出軌道相連通。具體地，所述上軌道21和下軌道22均包括軌 道部和驅(qū)動部，所述夾持機構(gòu)31在所述軌道部上移動，工作時所述驅(qū)動部驅(qū)動所述軌道部 上的夾持機構(gòu)30沿所述軌道部移動。從圖中可以看出，上軌道21和下軌道22均位于裝載 通道11與鍍膜通道12之間，當(dāng)夾持機構(gòu)30從掩膜板存儲設(shè)備的輸出軌道輸出時，打開裝 載閘閥111和鍍膜閘閥121，夾持機構(gòu)30穿過裝載通道11進入上軌道21的軌道部，上軌道 21的驅(qū)動部驅(qū)動該軌道部上的夾持機構(gòu)30向鍍膜通道12方向移動，直至夾持機構(gòu)30穿過 鍍膜通道12進入真空鍍膜機的輸入軌道上；當(dāng)夾持機構(gòu)30從真空鍍膜機的輸出軌道輸出 時，打開鍍膜間閥，夾持機構(gòu)30穿過鍍膜通道12進入下軌道22的軌道部，下軌道22的驅(qū) 動部驅(qū)動該軌道部上的夾持機構(gòu)30向裝載通道11方向移動，直至夾持機構(gòu)30穿過裝載通 道11進入掩膜板存儲設(shè)備的輸入軌道上。參考圖5-圖9，描述夾持機構(gòu)30的結(jié)構(gòu)，所述夾持機構(gòu)30用于夾取和釋放掩膜 板70，所述夾持機構(gòu)可在所述上軌道21和下軌道22上移動。具體地，參考圖1、圖5和圖 6，所述夾持機構(gòu)30包括夾持板31、頂輪機構(gòu)33和夾持驅(qū)動裝置(圖中未示)，所述夾持板31上具有若干夾子32，所述頂輪機構(gòu)33上具有若干頂輪，上述頂輪與所述夾子32 —一對 應(yīng)且位于所述夾子32的正上方，所述夾持驅(qū)動裝置驅(qū)動所述頂輪機構(gòu)33做升降動作，使所 述頂輪機構(gòu)33觸壓所述夾子32的頂部并控制夾持板31上的夾子32打開或者關(guān)閉，所述 夾持板31可在所述上軌道21和下軌道22上移動。具體地，參考圖7-圖9，所述夾子32包括抓持部321、固定座322、扭轉(zhuǎn)彈簧323和 彈簧軸324，所述抓持部321包括夾子主體3211、沿所述夾子主體3211兩端向內(nèi)側(cè)延伸的 夾子上部3212和夾子下部3213，所述固定座322包括左側(cè)部3221、右側(cè)部3222、以及連接 所述左側(cè)部3221和右側(cè)部3222的底座3223，所述左側(cè)部3221和右側(cè)部3222固定在所述 夾持板31上；所述彈簧軸324的兩端與所述左側(cè)部3221和右側(cè)部3222相連，所述夾子主 體3211貫穿所述彈簧軸324并與所述固定座322樞接，所述夾子32上部與所述底座3223 之間形成彈簧抵觸區(qū)325，所述夾子32下部與所述底座之間形成抓持區(qū)326 ；所述扭轉(zhuǎn)彈簧 323貫穿所述彈簧軸324，且所述扭轉(zhuǎn)彈簧323的上支撐點3231與所述夾子32上部抵觸， 所述扭轉(zhuǎn)彈簧323的下支撐點3232與所述底座3223抵觸。參考圖1-圖4，所述處理傳輸裝置包括接收機構(gòu)和滾輪傳輸機構(gòu)60，所述接收機 構(gòu)包括接收臺41和升降驅(qū)動機構(gòu)，所述接收臺41位于所述上軌道21和下軌道22的下方， 所述升降驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動所述接收臺41做升降運動；所述滾輪傳輸機構(gòu)60位于所述接收臺 41兩側(cè)，所述滾輪傳輸機構(gòu)60的一端與所述處理通道13相連。其中，接收臺41用于將掩 膜板70從夾持機構(gòu)31上輸送至滾輪傳輸機構(gòu)60上，或者將滾輪傳輸機構(gòu)60上的掩膜板 70輸送至夾持機構(gòu)31上。滾輪傳輸機構(gòu)60用于將從接收臺41輸送過來的掩膜板70經(jīng)過 處理通道13中輸送至掩膜板處理設(shè)備中(參考圖2)，或者將從掩膜板處理設(shè)備輸入進來的 掩膜板70輸送至接收臺41的正上方(參考圖3)。具體地，參考圖2和圖3，所述滾輪傳輸機構(gòu)60包括滾輪驅(qū)動機構(gòu)、滾輪機構(gòu)50和 擋輪機構(gòu)61，所述滾輪機構(gòu)50位于所述接收臺41的兩側(cè)，所述滾輪驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動所述滾輪 機構(gòu)50旋轉(zhuǎn)，所述滾輪機構(gòu)50的一端與所述處理通道13相連通，所述擋輪機構(gòu)61位于所 述滾輪機構(gòu)50遠離所述處理通道13的一端。更具體地，參考圖1和圖4，所述滾輪機構(gòu)50 包括滾輪架51、滾輪軸53、擋輪52和滾輪54，所述擋輪52和滾輪54呈階梯狀安裝所述滾 輪軸53，且所述擋輪52的直徑大于所述滾輪54的直徑，滾輪驅(qū)動機構(gòu)動作時，滾輪54繞滾 輪軸53旋轉(zhuǎn)并帶動其上是掩膜板70移動。更具體地，所述滾輪54外包覆有橡膠層。參考圖1和圖2，將需要清洗或者維修的掩膜板70從真空鍍膜機輸出到掩膜板處 理設(shè)備時，先通過下軌道22將夾持有掩膜板70的夾持機構(gòu)沿箭頭A(見圖1)方向輸送到 接收臺41的正上方，升降驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動接收臺41上升，頂輪機構(gòu)33的頂輪沿箭頭方向(見 圖6)下壓，完成鍍膜的掩膜板70被釋放，掩膜板70與夾持機構(gòu)30分離，接收臺41下降， 直至將掩膜板70釋放在滾輪機構(gòu)50上，滾輪機構(gòu)50帶動所述掩膜板70沿箭頭B (見圖2) 方向穿過處理通道13輸送至掩膜板處理設(shè)備中；參考圖3-圖4，將清洗或維修后的掩膜板 70從掩膜板處理設(shè)備輸入到真空鍍膜機時，掩膜板70通過處理通道13沿箭頭C (見圖3) 方向進入滾輪機構(gòu)50的滾輪54上，直至行至擋輪機構(gòu)61的阻擋輪時，滾輪機構(gòu)50的滾輪 54停止轉(zhuǎn)動，未裝掩膜板70的夾持板31沿上軌道21行至接收臺41的正上方，頂輪機構(gòu) 33的頂柱下壓，夾持板31的夾子32被打開，升降驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動接收臺41上升，直至將掩膜 板70托起到夾持板31的夾子32的位置，頂輪機構(gòu)33的頂輪上升，夾子32關(guān)閉，掩膜板70
8被夾持機構(gòu)15夾持并沿箭頭D (見圖4)方向順著上軌道21帶回到真空鍍膜機的輸入軌道 內(nèi)。參考圖1至圖4，詳細描述使用本實用新型所述真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)進行連續(xù)裝卸 掩膜板的方法，主要分為三大部分第一部分，將掩膜板存儲設(shè)備中的掩膜板70輸送至真空鍍膜機中進行鍍膜，具體 包括以下步驟(1)開啟真空抽放氣裝置，直至真空檢測裝置143檢測到所述真空腔室10內(nèi)的氣 壓與相鄰的真空鍍膜機和掩膜板處理設(shè)備的氣壓相近；(2)打開裝載閘閥111和鍍膜閘閥 121，夾持有掩膜板70的夾持板31從掩膜板存儲設(shè)備的輸出軌道進入本實用新型的上軌道 21，上軌道21的驅(qū)動部動作，使得夾持板31沿箭頭D (見圖4)方向順著上軌道21的軌道 部進入到真空鍍膜機的輸入軌道，關(guān)閉鍍膜閘閥121和裝載閘閥111，裝有掩膜板70的夾持 板31從真空鍍膜機的輸入軌道進入真空鍍膜機中進行鍍膜工作。第二部分，將完成鍍膜的掩膜板70從真空鍍膜機中輸出，并輸送至掩膜板處理設(shè) 備中進行清洗或維修等處理，具體包括以下步驟(3)完成鍍膜后，開啟真空抽放氣裝置，直至所述真空腔室10內(nèi)的氣壓與真空鍍 膜機和掩膜板處理設(shè)備內(nèi)的氣壓相同；(4)打開鍍膜閘閥121，裝有掩膜板70的夾持板31 沿箭頭A方向(見圖1)從真空鍍膜機的輸出軌道輸出，并進入本實用新型的下軌道22，夾 持板31在下軌道22上移動，直至夾持板31行至所述接收臺41正上方時，下軌道22的驅(qū) 動部停止運行，關(guān)閉鍍膜閘閥121 ； (5)升降驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動所述接收臺41上升，直至接收臺 41接觸(或接近)所述掩膜板70下表面；頂輪機構(gòu)33的頂輪沿箭頭方向(見圖6)下壓， 夾子32被打開，掩膜板70與夾持機構(gòu)30分離，完成鍍膜的掩膜板70被釋放到接收臺41 上；升降驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動所述接收臺41下降，直至所述掩膜板70承載于滾輪機構(gòu)50的滾輪 54上；(6)打開處理閘閥131，滾輪驅(qū)動機構(gòu)帶動滾輪機構(gòu)50轉(zhuǎn)動，隨著滾輪機構(gòu)50的轉(zhuǎn) 動，位于滾輪機構(gòu)50上的掩膜板70沿箭頭B (見圖2)方向穿過處理通道13進入掩膜板處 理設(shè)備中，進行相應(yīng)的清洗或維護操作，關(guān)閉處理閘閥131。第三部分，掩膜板70清洗或維修好后，根據(jù)實際需要選擇將處理后的掩膜板70輸 入到掩膜板存儲設(shè)備中存儲或者重新輸送至真空鍍膜機中鍍膜，具體如下若選擇將處理好的掩膜板70從掩膜板處理設(shè)備輸送至掩膜板存儲設(shè)備中等待裝 載使用時，包括以下步驟(7)掩膜板70處理完成后，打開處理閘閥131，處理后的掩膜板70沿箭頭C(見圖 3)方向從掩膜板處理設(shè)備穿過處理間閥131進入所述滾輪機構(gòu)50的滾輪54上，關(guān)閉處理 閘閥131 ； (8)滾輪驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動滾輪54旋轉(zhuǎn)，直至掩膜板70當(dāng)行至擋輪機構(gòu)61的阻擋輪 時，滾輪驅(qū)動機構(gòu)停止運行，此時掩膜板70位于接收臺41的正上方；(9)頂輪機構(gòu)33的頂 柱下壓，夾持板31的夾子32被打開；升降驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動接收臺41上升，直至將掩膜板70 托起到夾持板31的夾子32的位置；頂輪機構(gòu)33的頂輪上升，夾子32關(guān)閉，所述夾持機構(gòu) 30夾持所述掩膜板70 ； (10)打開裝載閘閥111，上軌道21的驅(qū)動部運動，直至將夾持機構(gòu) 15上的掩膜板70沿箭頭D(見圖4)方向順著上軌道21進入真空鍍膜機的輸入軌道，關(guān)閉 裝載間閥111，掩膜板沿上述輸入軌道進入掩膜板存儲設(shè)備中以待裝載。若選擇將處理好的掩膜板70從掩膜板處理設(shè)備輸直接送至真空鍍膜機中進行鍍膜，包括以下步驟(7、)掩膜板處理后，打開處理閘閥131，清洗或維修完成后的掩膜板70沿箭頭 C(見圖3)方向從掩膜板處理設(shè)備穿過處理間閥131進入所述滾輪機構(gòu)50的滾輪54上，關(guān) 閉處理閘閥；(8、)滾輪驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動滾輪54旋轉(zhuǎn)，直至掩膜板70當(dāng)行至擋輪機構(gòu)61的 阻擋輪時，滾輪驅(qū)動機構(gòu)停止運行，此時掩膜板70位于接收臺41的正上方；(9、)打開裝 載閘閥111，未裝有掩膜板70的夾持板31從沿下軌道進入掩膜板存儲設(shè)備的輸入軌道，再 沿掩膜板存儲設(shè)備的輸出軌道穿過裝載通道11進入上軌道21，關(guān)閉裝載間閥111，夾持板 31在上軌道21上沿箭頭D (見圖4)方向移動，當(dāng)夾持板31行至接收臺41正上方時停止移 動；( ο υ頂輪機構(gòu)33的頂柱下壓，夾持板31的夾子32被打開，升降驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動接收 臺41上升，直至將掩膜板70托起到夾持板31的夾子32的位置，頂輪機構(gòu)33的頂輪上升， 夾子32關(guān)閉，所述夾持機構(gòu)30夾持所述掩膜板70 ；(11、)開啟真空抽放氣裝置，直至所 述真空腔室10內(nèi)的氣壓與真空鍍膜機的氣壓相同，打開鍍膜閘閥121，上軌道21的驅(qū)動部 運動，直至將夾持機構(gòu)15上的掩膜板70沿箭頭D (見圖4)方向順著上軌道21帶回到真空 鍍膜機的輸入軌道內(nèi)，關(guān)閉鍍膜間閥121，掩膜板70沿真空鍍膜機的輸入軌道進入真空鍍 膜機內(nèi)完成鍍膜。其中，步驟(9、)可在完成步驟(7、)和步驟(8、)的同時完成。其中，上軌道21和下軌道22的運行方向和位置關(guān)系均可以調(diào)換，真空鍍膜機，掩 膜板存儲設(shè)備和掩膜板處理設(shè)備的安裝位置也可以調(diào)換。另，文中涉及的各種驅(qū)動機構(gòu)或 者驅(qū)動部即可由電機組成，也可由氣缸、油缸等動力源組成。其中，本實用新型是通過鍍膜控制系統(tǒng)控制的，該鍍膜控制系統(tǒng)與本實用新型真 空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)電連接，通過鍍膜控制系統(tǒng)可以控制真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)中各部件的動作， 這個鍍膜控制系統(tǒng)可以根據(jù)本實用新型的操作方法由本領(lǐng)域技術(shù)人員自行完成。以上所揭露的僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，當(dāng)然不能以此來限定本實用新 型之權(quán)利范圍，因此依本實用新型申請專利范圍所作的等同變化，仍屬本實用新型所涵蓋 的范圍。
權(quán)利要求一種真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)，包括掩膜板存儲設(shè)備、真空鍍膜機及掩膜板傳輸設(shè)備，所述掩膜板存儲設(shè)備內(nèi)存儲若干掩膜板，所述掩膜板傳輸設(shè)備分別與所述掩膜板存儲設(shè)備及所述真空鍍膜機連通，所述掩膜板存儲設(shè)備通過所述掩膜板傳輸設(shè)備為所述真空鍍膜機提供鍍膜用掩膜板并回收完成鍍膜后的掩膜板，其特征在于還包括與所述掩膜板傳輸設(shè)備連通的掩膜板處理設(shè)備，所述掩膜板處理設(shè)備對完成鍍膜后的掩膜板進行清洗或維修，并將清洗或維修完的掩膜板通過所述掩膜板傳輸設(shè)備送入所述掩膜板存儲設(shè)備存儲或真空鍍膜機。
2.如權(quán)利要求1所述的真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)，其特征在于所述掩膜板傳輸設(shè)備包括 真空腔室，所述真空腔室的腔壁上開設(shè)有裝載通道、處理通道、鍍膜通道以及通氣孔，所述鍍膜通道上安裝有與真空鍍膜機相連的鍍膜間閥，所述裝載通道上安裝有與掩膜板存 儲設(shè)備相連的裝載間閥，所述處理通道上安裝有與掩膜板處理設(shè)備相連的處理閘閥；上軌道，所述上軌道位于所述真空腔室內(nèi)且一端與所述掩膜板存儲設(shè)備的輸出軌道相 連，另一端與所述真空鍍膜機的輸入軌道相連；下軌道，所述下軌道位于所述真空腔室內(nèi)且一端與所述掩膜板存儲設(shè)備的輸入軌道相 連，另一端與所述真空鍍膜機的輸出軌道相連，所述下軌道位于所述上軌道下方；夾持機構(gòu)，所述夾持機構(gòu)用于夾取和釋放掩膜板，且所述夾持機構(gòu)可在所述上軌道和 下軌道上移動；處理傳輸裝置，所述處理傳輸裝置包括接收機構(gòu)和滾輪傳輸機構(gòu)，所述接收機構(gòu)包括 接收臺和升降驅(qū)動機構(gòu)，所述接收臺位于所述上軌道和下軌道的下方，所述升降驅(qū)動機構(gòu) 驅(qū)動所述接收臺做升降運動；所述滾輪傳輸機構(gòu)位于所述接收臺兩側(cè)且所述滾輪傳輸機構(gòu) 的一端與所述處理通道的一端相連，所述處理通道的另一端與所述掩膜板處理設(shè)備連通；真空裝置，所述真空裝置包括真空抽放氣裝置和真空檢測裝置，所述真空抽放氣裝置 包括充氣裝置、抽氣裝置，所述充氣裝置及抽氣裝置分別與所述通氣孔連通，所述真空檢測 裝置內(nèi)置于所述真空腔室內(nèi)并與所述充氣裝置及抽氣裝置電連接。
3.如權(quán)利要求2所述的真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)，其特征在于所述夾持機構(gòu)包括夾持板、頂 輪機構(gòu)和夾持驅(qū)動裝置，所述夾持板可在所述上軌道和下軌道上移動，所述夾持板上具有 若干夾子，所述頂輪機構(gòu)位于所述夾子的上方，所述夾持驅(qū)動裝置驅(qū)動所述頂輪機構(gòu)做升 降動作，所述頂輪機構(gòu)觸壓所述夾子的頂部并控制所述夾子打開或者關(guān)閉。
4.如權(quán)利要求3所述的真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)，其特征在于所述夾子包括抓持部、固定 座、扭轉(zhuǎn)彈簧和彈簧軸，所述抓持部包括夾子主體、沿所述夾子主體兩端向內(nèi)側(cè)延伸的夾子 上部和夾子下部，所述固定座包括左側(cè)部、右側(cè)部、以及連接所述左側(cè)部和右側(cè)部的底座， 所述左側(cè)部和右側(cè)部固定在所述夾持板上；所述彈簧軸的兩端安裝在所述左側(cè)部和右側(cè)部 上，所述夾子主體位于所述左側(cè)部和右側(cè)部之間，且所述夾子主體穿過所述彈簧軸并與所 述固定座樞接，所述夾子上部與所述底座之間形成彈簧抵觸區(qū)，所述扭轉(zhuǎn)彈簧穿過所述彈 簧軸，且所述扭轉(zhuǎn)彈簧的上支撐點與所述夾子上部抵觸，所述扭轉(zhuǎn)彈簧的下支撐點與所述 底座抵觸。
5.如權(quán)利要求2所述的真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)，其特征在于所述滾輪傳輸機構(gòu)包括滾輪 驅(qū)動機構(gòu)、滾輪機構(gòu)和擋輪機構(gòu)，所述滾輪機構(gòu)位于所述接收臺的兩側(cè)，且所述滾輪機構(gòu)的 一端與所述處理通道相連，所述擋輪機構(gòu)位于所述滾輪機構(gòu)的另一端，所述滾輪驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動所述滾輪機構(gòu)轉(zhuǎn)動。
6.如權(quán)利要求5所述的真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)，其特征在于所述滾輪機構(gòu)包括滾輪架、滾 輪軸、擋輪和滾輪，所述擋輪和滾輪呈階梯狀安裝在所述滾輪軸上，且所述擋輪的直徑大于 所述滾輪的直徑。
7.如權(quán)利要求2所述的真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)，其特征在于所述上軌道和下軌道均包括 軌道部和驅(qū)動部，所述驅(qū)動部驅(qū)動夾持機構(gòu)在所述軌道部上移動。
專利摘要本實用新型公開了一種真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)，該真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)包括掩膜板存儲設(shè)備、真空鍍膜機及掩膜板傳輸設(shè)備，所述掩膜板存儲設(shè)備內(nèi)存儲若干掩膜板，所述掩膜板傳輸設(shè)備分別與所述掩膜板存儲設(shè)備及所述真空鍍膜機連通，所述掩膜板存儲設(shè)備通過所述掩膜板傳輸設(shè)備為所述真空鍍膜機提供鍍膜用掩膜板并回收完成鍍膜后的掩膜板，其中，還包括與所述掩膜板傳輸設(shè)備連通的掩膜板處理設(shè)備，所述掩膜板處理設(shè)備對完成鍍膜后的掩膜板進行清洗或維修，并將清洗或維修完的所述掩膜板通過所述掩膜板傳輸設(shè)備送入所述掩膜板存儲設(shè)備存儲或真空鍍膜機。使用本實用新型可在真空環(huán)境下進行連續(xù)裝卸掩膜板。
文檔編號C23C14/24GK201713575SQ20102021081
公開日2011年1月19日 申請日期2010年5月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月25日
發(fā)明者劉惠森, 楊明生, 王勇, 王曼媛, 王銀果, 范繼良 申請人:東莞宏威數(shù)碼機械有限公司