專利名稱：一種大口徑石英玻璃基板的復(fù)合磨削方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種復(fù)合磨削方法，本發(fā)明尤其涉及一種基于化學(xué)機械復(fù)合方式的高 表面質(zhì)量、高精度超精密磨削方法。
背景技術(shù)：
近年來，隨著高集成度半導(dǎo)體工藝技術(shù)的發(fā)展，其尖端工藝用光掩模技術(shù)的需求 也越來越迫切。早日開發(fā)能夠適應(yīng)目前芯片制造要求光掩模技術(shù)及裝備也已經(jīng)成為擺在研 究者面前的緊迫課題。其中光掩模所用的石英玻璃基板的加工質(zhì)量直接決定著掩模設(shè)備的 加工能力和性能，因此光掩模用玻璃基板的加工在下一代光掩模技術(shù)中有著至關(guān)重要的作用。目前，光掩模用玻璃基板的加工主要是采用CMP(Chemical-Mechanical-Polishin g，化學(xué)機械拋光)方法。CMP采用游離磨粒和研磨盤通過化學(xué)和機械復(fù)合的去除方式，能夠 獲得具有無變質(zhì)層、低表面粗糙度的表面，很好的滿足了光掩模設(shè)備對玻璃基板的加工質(zhì) 量要求。但是由于游離磨粒加工無法穩(wěn)定實現(xiàn)形狀精度的精密控制，只適合小口徑玻璃基 板的加工，在加工大口徑工件時很難獲得高的形狀精度(如平坦度等)；并且由于CMP需要 多個預(yù)備加工階段，效率比較低并且造成了加工成本偏高；同時使用過的研磨劑的廢棄也 會對環(huán)境造成影響，無法實現(xiàn)可持續(xù)生產(chǎn)。和CMP等游離磨粒方式相比，采用砂輪等固定磨 粒加工的方式由于磨粒被結(jié)合劑所固定，工件的形狀精度可以通過加工設(shè)備的精度進行控 制，加工大口徑工件時更容易獲得高的形狀精度。但是目前常用的傳統(tǒng)固定磨粒磨削方式 和CMP相比，由于材料去除方式是單一的機械去除，存在著表面粗糙度差、易產(chǎn)生加工變質(zhì) 層等缺點，容易造成玻璃基板透光性、折射率等光學(xué)性能變差，影響掩模質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種實現(xiàn)大口徑光學(xué)元件的高效超 精密無損傷加工的一種大口徑石英玻璃基板的復(fù)合磨削方法。一種大口徑石英玻璃基板的復(fù)合磨削方法，它包括以下步驟(1)將專用砂輪安裝在立式端面磨床上對其預(yù)磨進行精密整形直至專用砂輪的面 型精度達到預(yù)定的形狀精度要求；(2)將經(jīng)過粗加工的石英玻璃基板，清洗后安裝在立式端面磨床主軸上；(3)啟動立式端面磨床主軸帶動工件旋轉(zhuǎn)，利用專用磨削液噴射工件表面，使石英 玻璃基板表面和專用磨削液間發(fā)生充分的化學(xué)反應(yīng)；(4)啟動砂輪軸帶動專用砂輪旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動主軸帶動工件進給，同時使砂輪軸作左 右往返運動實現(xiàn)對工件整個表面的均勻磨削，磨削過程中控制工件與專用砂輪間的磨削壓 力，使專用砂輪以恒壓的方式對工件進行材料去除，磨削過程中專用磨削液持續(xù)噴射工件 表面；(5)觀察工件被加工表面，當整個表面都被磨削到以后，再繼續(xù)無進給加工至少5min后，按照工件-專用砂輪-專用磨削液的順序停止加工，將工件卸下來后，重復(fù)步驟 (2) (4)完成工件另一側(cè)表面的加工；(6)將完成兩側(cè)表面加工的工件利用乙醇乙醚混合液清洗后，再放入超聲波清洗 裝置清洗；清洗后的工件放入干燥裝置進行干燥，完成玻璃基板的加工工序。所述的專用砂輪以體積百分比計由以下組分組成磨料20 35%，結(jié)合劑40 50%，氣孔15 40%，結(jié)合劑采用添加了質(zhì)量百分比為2 10%碳酸鹽的酚醛樹脂或改性 環(huán)氧樹脂，磨料采用氧化鈰。所述的專用磨削液的組分以重量百分比計由0.5 1.5%的磷酸鈉、0.5 2%的 三乙醇胺、0.5 1.5%的丙三醇，5 10%的硝酸鋅和85 93. 5%的純凈水組成。采用本發(fā)明方法的有益效果是采用本發(fā)明方法加工克服了目前國際上通用的玻璃基板加工方法加工面型精度 低、無法制造大口徑基板及加工廢棄物嚴重影響環(huán)境的的缺點，通過利用專用固結(jié)磨料磨 具(砂輪)定壓磨削的方法提高大口徑光學(xué)基板的面型精度和加工效率，并利用促進砂輪 (結(jié)合劑、磨粒)與工件、磨削液與工件之間的化學(xué)反應(yīng)弱化工件分子之間的結(jié)合強度，實 現(xiàn)砂輪對工件材料的塑性去除，避免了原有的脆性去除方式導(dǎo)致的工件表面崩碎及亞表面 損傷，提高了工件表面質(zhì)量。同時，磨削過程中的磨削液等能夠循環(huán)利用，解決了加工廢棄 物污染環(huán)境的問題。與傳統(tǒng)的磨削和機械化學(xué)拋光方法相比，本發(fā)明方法的主要優(yōu)點有在保證了固 結(jié)磨料磨削對工件材料的高效、高精度的去除加工的同時，通過改變磨料的類型，砂輪結(jié)合 劑和磨削液的成分等手段，促進磨削過程中的化學(xué)反應(yīng)的發(fā)生，并使磨料對工件的機械去 除作用和化學(xué)反應(yīng)形成動態(tài)平衡狀態(tài)，從而避免了由脆性材料去除方式造成的材料崩碎及 亞表面損傷，能夠?qū)崿F(xiàn)大口徑玻璃基板的高效高精度加工。同時固結(jié)磨料磨具(砂輪)的磨 損率極低，而且磨削液可以循環(huán)利用，因此不會產(chǎn)生加工廢棄物，避免了對環(huán)境造成污染。


圖1是大口徑石英玻璃基板復(fù)合加工裝置示意圖；圖2是石英玻璃基板加工過程示意圖；圖3是石英玻璃基板復(fù)合加工原理示意圖；圖4是采用本發(fā)明方法加工獲得的石英玻璃基板的表面微觀形態(tài)照片(采用白光 干涉儀測量)。放大倍數(shù)=10, Ra = 0. 79nm ；附圖標記1定壓進給電機；2定壓裝置；3主軸；4工件；5專用砂輪；6專用磨削液；7主軸電機；8砂輪軸；9硅膠層；10磨粒(CeO2) ；11結(jié)合劑
具體實施例方式下面結(jié)合具體的實施例，并參照附圖，對本發(fā)明做進一步的說明本發(fā)明的工作原理如下本發(fā)明采用石英玻璃化學(xué)機械復(fù)合磨削的加工方法，在 固結(jié)磨料磨削過程中通過選用磨料類型，改變砂輪結(jié)合劑和磨削液的成分等措施主動增強 化學(xué)反應(yīng)(磨粒與工件、結(jié)合劑與工件、磨削液與工件等)，弱化石英玻璃材料分子間的結(jié) 合勢能，保證能夠以很小的去除力打破材料分子結(jié)合，并使其與磨料對工件材料的機械去除作用達到動態(tài)平衡，消除因脆性去除而造成的表面損傷等，從而實現(xiàn)大口徑光學(xué)工件的 無損傷石英玻璃表面加工，獲得高精度、高表面質(zhì)量的大口徑光學(xué)表面。本發(fā)明方法采用的帶有定壓裝置2的立式端面磨床如圖1所示。該設(shè)備目前在市場有售(如日本的NAGASE公司生產(chǎn)的型號為KTC-I的產(chǎn)品等)。其具體結(jié)構(gòu)包括在電機驅(qū) 動下可以轉(zhuǎn)動的砂輪軸8，砂輪安裝在砂輪軸8上，同時砂輪軸可以沿底部導(dǎo)軌左右移動； 工件4安裝在主軸3上，主軸電機7通過帶傳動方式帶動主軸3及工件4旋轉(zhuǎn)，主軸及工件 的進給通過定壓進給電機1實現(xiàn)。定壓進給電機1的輸出軸與定壓裝置2相連，定壓裝置 2上裝有傳感器?；谏鲜龉ぷ髟聿⒉捎蒙鲜鲈O(shè)備，本發(fā)明方法包括以下步驟(1)將專用砂輪5 安裝在立式端面磨床上對其預(yù)磨進行精密整形直至專用砂輪的面型精度達到預(yù)定的形狀 精度要求，所述的專用砂輪以體積百分比計由以下組分組成磨料20 35%，結(jié)合劑40 50%，氣孔15 40%。所述的結(jié)合劑11采用添加了質(zhì)量百分比為2 10%碳酸鹽的酚醛 樹脂或改性環(huán)氧樹脂，磨料10采用氧化鈰。碳酸鹽可以為碳酸鈉和碳酸鉀等。所述的專用 砂輪的制備方法如下將以體積百分比計的磨料20 35%，結(jié)合劑40 50%充分混合后 在180 200°C條件下采用熱壓成型方法制成。(2)將經(jīng)過粗加工的石英玻璃基板，清洗后 安裝在立式端面磨床主軸上。(3)啟動立式端面磨床主軸帶動工件旋轉(zhuǎn)，利用專用磨削液噴 射工件表面，使石英玻璃基板表面和專用磨削液間發(fā)生充分的化學(xué)反應(yīng)；所述的專用磨削 液6的組分以重量百分比計由0. 5 1. 5%的磷酸鈉、0. 5 2%的三乙醇胺、0. 5 1. 5% 的丙三醇，5 10%的硝酸鋅和85 93. 5%的純凈水組成。所述的專用磨削液的制備方法 如下將以重量百分比計為0. 5 1. 5%的磷酸鈉、0. 5 2%的三乙醇胺、0. 5 1. 5%的 丙三醇，5 10%的硝酸鋅和85 93. 5%的純凈水中均勻攪拌充分溶解后即可制成專用磨 削液。加工前通常控制石英玻璃基板表面和專用磨削液間化學(xué)反應(yīng)時間在3-10分鐘。(4) 啟動砂輪軸8帶動專用砂輪旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動主軸3帶動工件進給，同時使砂輪軸作左右往返運動 實現(xiàn)對工件整個表面的均勻磨削，磨削過程中根據(jù)磨削效率和表面質(zhì)量要求控制工件與砂 輪間的磨削壓力通常穩(wěn)定在30-120kPa，使砂輪以恒壓的方式對工件進行材料去除；磨削 過程中專用磨削液6持續(xù)噴射工件表面，噴射流量可以根據(jù)需要達到的去除效率及工件表 面粗糙度調(diào)節(jié)，噴射流量選擇原則如下需要高質(zhì)量表面時盡量選擇大流量的噴射，以提高 水解反應(yīng)的質(zhì)量，需要高效率加工時盡量選擇偏低的流量，以提高水解反應(yīng)和機械去除的 速度。噴射流量通?？梢赃x擇50 500ml/min。(5)觀察工件被加工表面，當整個表面都 被磨削到以后，再繼續(xù)無進給加工至少5min后，按照工件-砂輪-磨削液的順序停止加工， 將工件卸下來后，重復(fù)步驟(2) (4)完成工件另一側(cè)表面的加工。(6)將完成兩側(cè)表面加 工的工件利用乙醇乙醚混合液清洗后，再放入超聲波清洗裝置清洗；清洗后的工件放入干 燥裝置進行干燥，完成玻璃基板的加工工序。在本發(fā)明方法中(a)加工過程中采用添加了各種添加劑(如潤滑劑，防腐劑等)的水基磨削液。 磨削液中的水分子可以和光學(xué)玻璃發(fā)生水解反應(yīng)，形成膠體硅酸吸附在玻璃表面上，當該 硅膠層達到一定程度后，能夠阻止水解反應(yīng)的繼續(xù)進行。同時添加到磨削液中的Zn2+可以 和砂輪結(jié)合劑中釋放出來的碳酸鹽發(fā)生反應(yīng)，產(chǎn)生可以調(diào)節(jié)磨削液中OH-濃度的兩性化合 物，保證水解反應(yīng)順利進行；
(b)磨具(砂輪)的結(jié)合劑選用添加了碳酸鹽的樹脂；一方面樹脂中的羥基團能 夠參與水解過程，促進水解的進行；另一方面碳酸鹽可以釋放到磨削液中和Zn2+發(fā)生反應(yīng)， 調(diào)節(jié)水解過程中磨削液的OH濃度；(c)固結(jié)磨具(砂輪)的磨料10選用氧化鈰顆粒；一方面利用氧化鈰顆粒的堅硬 特性刮削由于水解作用吸附在玻璃表面的硅膠層9 ；另一方面利用氧化鈰顆粒的吸附特性 吸附去除玻璃表面的硅膠層，使玻璃表面保持和水基磨削液接觸，繼續(xù)進行水解反應(yīng)；(d)石英玻璃基板加工過程中，采用定壓端面磨削的方法，使加工過程中能夠使整 個被加工表面均勻去除，保證(a) (b)和(c)形成一個動態(tài)平衡，實現(xiàn)無損傷石英玻璃表面 加工。上述大口徑石英玻璃基板的制造方法可在能夠?qū)崿F(xiàn)定壓磨削的立式端面磨床上 進行。工件的面型精度由磨床工作臺的精度，主軸進給精度(壓力控制精度)以及工件的 裝夾精度來決定。而工件的表面加工質(zhì)量由砂輪對工件的機械去除效果，砂輪(結(jié)合劑、磨 粒)與工件及磨削液與工件的化學(xué)反應(yīng)效果所決定。該方法適用于使用石英玻璃、光學(xué)玻 璃等材料進行高精度、高表面質(zhì)量的大口徑基板的生產(chǎn)加工。在采用本方法進行基板加工 前，可以采用普通磨削進行前期的預(yù)加工(粗加工)，以提高整個基板生產(chǎn)的效率。實施例1(1)將專用砂輪安裝在立式端面磨床上對其預(yù)磨進行精密整形直至專用砂輪的面 型精度達到預(yù)定的形狀精度要求，所述的專用砂輪以體積百分比計由以下組分組成磨料 20%，結(jié)合劑40%，氣孔40%，所述的結(jié)合劑采用添加了質(zhì)量百分比為2%碳酸鈉的酚醛樹 月旨，磨料采用氧化鈰；(2)將經(jīng)過粗加工的石英玻璃基板，清洗后安裝在立式端面磨床主軸上；(3)啟動立式端面磨床主軸帶動工件旋轉(zhuǎn)，利用專用磨削液噴射工件表面，使石英 玻璃表面和專用磨削液間發(fā)生充分的化學(xué)反應(yīng)3分鐘。所述的專用磨削液的組分以重量百 分比計由0. 5%的磷酸鈉、的三乙醇胺、的丙三醇、5. 5%的硝酸鋅和92%的純凈水 組成；(4)啟動砂輪軸帶動專用砂輪旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動主軸帶動工件進給，同時使砂輪軸作左右 往返運動實現(xiàn)對工件整個表面的均勻磨削，磨削過程中控制工件與砂輪間的磨削壓力恒定 為30kPa，使砂輪以恒壓的方式對工件進行材料去除，磨削過程中專用磨削液持續(xù)噴射工件 表面；專用磨削液的噴射流量為lOOml/min。(5)觀察工件被加工表面，當整個表面都被磨削到以后，再繼續(xù)無進給加工至少 5min后，按照工件-砂輪-磨削液的順序停止加工，將工件卸下來后，重復(fù)步驟(2) (4) 完成工件另一側(cè)表面的加工。(6)將完成兩側(cè)表面加工的工件利用乙醇乙醚混合液清洗后，再放入超聲波清洗 裝置清洗；清洗后的工件放入干燥裝置進行干燥，完成玻璃基板的加工工序。其中步驟⑴中的專用砂輪采用氧化鈰磨料，添加了碳酸鹽的結(jié)合劑，利用氣流 攪拌裝置充分混合后在180-200°C條件下采用熱壓成型方法制得。(以下實施例相同)步驟(3)中的專用磨削液制備方法如下將以重量百分比計的磷酸鈉、三乙醇胺、 硝酸鋅在純凈水中按預(yù)定比例均勻攪拌充分溶解后即可制成專用磨削液。(以下實施例相 同)
對加工的工件進行檢測，檢測結(jié)果為表面粗糙度RaO. 69nm，透射率大于93%。實施例2(1)將專用砂輪安裝在立式端面磨床上對其預(yù)磨進行精密整形直至專用砂輪的面型精度達到預(yù)定的形狀精度要求，所述的專用砂輪以體積百分比計由以下組分組成磨料 25%，結(jié)合劑45%，氣孔30%，所述的結(jié)合劑采用添加了質(zhì)量百分比為8%碳酸鈉的酚醛樹 月旨，磨料采用氧化鈰；(2)將經(jīng)過粗加工的石英玻璃基板，清洗后安裝在立式端面磨床主軸上；(3)啟動立式端面磨床主軸帶動工件旋轉(zhuǎn)，利用專用磨削液噴射工件表面，使石英玻璃表面和專用磨削液間發(fā)生充分的化學(xué)反應(yīng)5分鐘；所述的專用磨削液的組分以重量百 分比計由1. 5%的磷酸鈉、2%的三乙醇胺、1. 5%的丙三醇、10%的硝酸鋅和85%的純凈水 組成；(4)啟動砂輪軸帶動專用砂輪旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動主軸帶動工件進給，同時使砂輪軸作左右往返運動實現(xiàn)對工件整個表面的均勻磨削，磨削過程中控制工件與砂輪間的磨削壓力 50kpa，使砂輪以恒壓的方式對工件進行材料去除，磨削過程中專用磨削液持續(xù)噴射工件表 面；專用磨削液的噴射流量為lOOml/min。(5)觀察工件被加工表面，當整個表面都被磨削到以后，再繼續(xù)無進給加工至少5min后，按照工件-砂輪-磨削液的順序停止加工，將工件卸下來后，重復(fù)步驟(2) (4) 完成工件另一側(cè)表面的加工。(6)將完成兩側(cè)表面加工的工件利用乙醇乙醚混合液清洗后，再放入超聲波清洗裝置清洗；清洗后的工件放入干燥裝置進行干燥，完成玻璃基板的加工工序。對加工的工件進行檢測，檢測結(jié)果為表面粗糙速度Ral. 115nm，透射率大于90%。實施例3(1)將專用砂輪安裝在立式端面磨床上對其預(yù)磨進行精密整形直至專用砂輪的面 型精度達到預(yù)定的形狀精度要求，所述的專用砂輪以體積百分比計由以下組分組成磨料 35%，結(jié)合劑50%，氣孔15%，所述的結(jié)合劑采用添加了質(zhì)量百分比為5%碳酸鈉的改性環(huán) 氧樹脂，磨料采用氧化鈰；(2)將經(jīng)過粗加工的石英玻璃基板，清洗后安裝在立式端面磨床主軸上；(3)啟動立式端面磨床主軸帶動工件旋轉(zhuǎn)，利用專用磨削液噴射工件表面，使石英玻璃表面和專用磨削液間發(fā)生充分的化學(xué)反應(yīng)10分鐘；所述的專用磨削液的組分以重量 百分比計由的磷酸鈉、0. 5%的三乙醇胺、的丙三醇、8%的硝酸鋅和89. 5%的純凈 水組成；(4)啟動砂輪軸帶動專用砂輪旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動主軸帶動工件進給，同時使砂輪軸作左 右往返運動實現(xiàn)對工件整個表面的均勻磨削，磨削過程中控制工件與砂輪間的磨削壓力 120kPa，使砂輪以恒壓的方式對工件進行材料去除，磨削過程中專用磨削液持續(xù)噴射工件 表面；專用磨削液的噴射流量為500ml/min。(5)觀察工件被加工表面，當整個表面都被磨削到以后，再繼續(xù)無進給加工至少 5min后，按照工件-砂輪-磨削液的順序停止加工，將工件卸下來后，重復(fù)步驟(2) (4) 完成工件另一側(cè)表面的加工。
(6)將完成兩側(cè)表面加工的工件利用乙醇乙醚混合液清洗后，再放入超聲波清洗裝置清洗；清洗后的工件放入干燥裝置進行干燥，完成玻璃基板的加工工序。對加工的工件進行檢測，檢測結(jié)果為表面粗糙度RaO. 795nm,透射率大于93%。實施例4(1)將專用砂輪安裝在立式端面磨床上對其預(yù)磨進行精密整形直至專用砂輪的面型精度達到預(yù)定的形狀精度要求，所述的專用砂輪以體積百分比計由以下組分組成磨料28%，結(jié)合劑42%，氣孔30%，所述的結(jié)合劑采用添加了質(zhì)量百分比為10%碳酸鉀的改性環(huán)氧樹脂，磨料采用氧化鈰；(2)將經(jīng)過粗加工的石英玻璃基板，清洗后安裝在立式端面磨床主軸上；(3)啟動立式端面磨床主軸帶動工件旋轉(zhuǎn)，利用專用磨削液噴射工件表面，使石英玻璃表面和專用磨削液間發(fā)生充分的化學(xué)反應(yīng)12分鐘；所述的專用磨削液的組分以重量百分比計由0. 5%的磷酸鈉、0. 5%的三乙醇胺、0. 5%的丙三醇、5%的硝酸鋅和93. 5%的純凈水組成；(4)啟動砂輪軸帶動專用砂輪旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動主軸帶動工件進給，同時使砂輪軸作左右往返運動實現(xiàn)對工件整個表面的均勻磨削，磨削過程中控制工件與砂輪間的磨削壓力為130kpa，使砂輪以恒壓的方式對工件進行材料去除，磨削過程中專用磨削液持續(xù)噴射工件表面；專用磨削液的噴射流量為500ml/min。(5)觀察工件被加工表面，當整個表面都被磨削到以后，再繼續(xù)無進給加工至少5min后，按照工件-砂輪-磨削液的順序停止加工，將工件卸下來后，重復(fù)步驟(2) (4)完成工件另一側(cè)表面的加工。(6)將完成兩側(cè)表面加工的工件利用乙醇乙醚混合液清洗后，再放入超聲波清洗裝置清洗；清洗后的工件放入干燥裝置進行干燥，完成玻璃基板的加工工序。對加工的工件進行檢測，檢測結(jié)果為表面粗糙度Ral. 573nm，透射率大于90%。
權(quán)利要求
一種大口徑石英玻璃基板的復(fù)合磨削方法，其特征在于它包括以下步驟(1)將專用砂輪安裝在立式端面磨床上對其預(yù)磨進行精密整形直至專用砂輪的面型精度達到預(yù)定的形狀精度要求；(2)將經(jīng)過粗加工的石英玻璃基板，清洗后安裝在立式端面磨床主軸上；(3)啟動立式端面磨床主軸帶動工件旋轉(zhuǎn)，利用專用磨削液噴射工件表面，使石英玻璃基板表面和專用磨削液間發(fā)生充分的化學(xué)反應(yīng)；(4)啟動砂輪軸帶動專用砂輪旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動主軸帶動工件進給，同時使砂輪軸作左右往返運動實現(xiàn)對工件整個表面的均勻磨削，磨削過程中控制工件與專用砂輪間的磨削壓力，使專用砂輪以恒壓的方式對工件進行材料去除，磨削過程中專用磨削液持續(xù)噴射工件表面；(5)觀察工件被加工表面，當整個表面都被磨削到以后，再繼續(xù)無進給加工至少5min后，按照工件-專用砂輪-專用磨削液的順序停止加工，將工件卸下來后，重復(fù)步驟(2)～(4)完成工件另一側(cè)表面的加工；(6)將完成兩側(cè)表面加工的工件利用乙醇乙醚混合液清洗后，再放入超聲波清洗裝置清洗；清洗后的工件放入干燥裝置進行干燥，完成玻璃基板的加工工序。所述的專用砂輪以體積百分比計由以下組分組成磨料20～35％，結(jié)合劑40～50％，氣孔15～40％，結(jié)合劑采用添加了質(zhì)量百分比為2～10％碳酸鹽的酚醛樹脂或改性環(huán)氧樹脂，磨料采用氧化鈰。所述的專用磨削液的組分以重量百分比計由0.5～1.5％的磷酸鈉、0.5～2％的三乙醇胺、0.5～1.5％的丙三醇，5～10％的硝酸鋅和85～93.5％的純凈水組成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大口徑石英玻璃基板的復(fù)合磨削方法，其特征在于所述的 步驟(4)中以恒壓的方式對玻璃基板進行加工，壓力的范圍控制在30-120kPa。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大口徑石英玻璃基板的復(fù)合磨削方法，其特征在于在所述 的步驟(3)中加工前石英玻璃基板表面和專用磨削液間化學(xué)反應(yīng)時間控制在3-10分鐘。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種大口徑石英玻璃基板的復(fù)合磨削方法，它包括以下步驟(1)將專用砂輪安裝在磨床上對其預(yù)磨；(2)將經(jīng)過粗加工的基板清洗后安裝在磨床主軸上；(3)啟動磨床主軸帶動工件旋轉(zhuǎn)，利用專用磨削液噴射工件表面；(4)啟動砂輪軸帶動專用砂輪旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動主軸帶動工件進給，同時使砂輪軸作左右往返運動實現(xiàn)對工件整個表面的均勻磨削，磨削過程中保持恒壓并用專用磨削液持續(xù)噴射工件表面；(5)當整個表面都被磨削到以后，再繼續(xù)無進給加工后停止加工，然后完成工件另一側(cè)表面的加工；(6)將完成兩側(cè)表面加工的工件清洗后進行干燥。采用本方法避免了材料崩碎及亞表面損傷，能夠?qū)崿F(xiàn)大口徑玻璃基板的高效高精度加工。
文檔編號B24B1/00GK101797709SQ20101014441
公開日2010年8月11日 申請日期2010年4月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月12日
發(fā)明者仇中軍, 房豐洲, 李晗哲 申請人:天津大學(xué)