專利名稱：雙面研磨精密磨削設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于研磨光學(xué)級藍(lán)寶石晶體基片的雙面研磨精密磨削設(shè)備。
背景技術(shù)：
以GaN為基的半導(dǎo)體材料用于制作發(fā)光二極管具有巨大的市場應(yīng)用空間，由于沒有與GaN晶格匹配的襯底材料，通常采用藍(lán)寶石為襯底。目前國內(nèi)光學(xué)級藍(lán)寶石基片研制的一個主要問題是基片的加工，因?yàn)檫@種基片的外徑和厚度之比是100∶0.5以下，正常常規(guī)之比是100∶10，尺寸是φ2″以上(φ2″≈φ50.80mm×0.43mm)，對設(shè)備和工藝的要求很高?，F(xiàn)有的研磨光學(xué)級藍(lán)寶石基片的設(shè)備絕大多數(shù)采用臥式結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)較復(fù)雜；特別是如果采用進(jìn)口設(shè)備加工，由于設(shè)備本身價格高，必然會帶來生產(chǎn)成本上升，而且設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜不利維護(hù)。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種用于研磨光學(xué)級藍(lán)寶石晶體基片的雙面研磨精密磨削設(shè)備，它不僅可以滿足藍(lán)寶石晶體基片的加工要求，而且結(jié)構(gòu)簡單、價格低，有效降低加工成本。
為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型所述的雙面研磨精密磨削設(shè)備包括床身，在床身上安置的操縱控制站和氣動裝置，在床身的端面上安裝的作相反方向轉(zhuǎn)動的上、下研磨盤，以及附設(shè)的電氣控制系統(tǒng)和研磨液泵，它還包括安裝在床身端面其下端與安裝在床身內(nèi)的主軸變速箱連接的主軸，主軸的上端頭安裝一齒輪；在主軸外圈分兩層分別設(shè)有與主軸同軸旋轉(zhuǎn)的下研磨盤以及內(nèi)齒圈；在下研磨盤上可設(shè)置一與主軸上端頭齒輪和內(nèi)齒圈嚙合的既公轉(zhuǎn)又自轉(zhuǎn)的游星輪；在床身端面上位于操縱控制站附近安裝一Г型懸臂，所述上研磨盤通過一滑桿且受氣動裝置控制可上下移動的與懸臂一側(cè)端相樞設(shè)；在操縱控制站上設(shè)有用于控制研磨量和工件承載壓力的數(shù)字顯示設(shè)定開關(guān)；所述研磨液泵通過連接管與上研磨盤相通。
本實(shí)用新型的雙面研磨精密磨削設(shè)備，上下研磨盤作相反方向轉(zhuǎn)動、工件安裝在游星輪內(nèi)，因此工件在載體內(nèi)既公轉(zhuǎn)又自轉(zhuǎn)的游星運(yùn)動，磨削阻力小、不傷工件，而且兩面均勻的磨削，生產(chǎn)效率高(一次可加工25片)。游星輪損傷小，損耗量較一般研磨機(jī)減少三分之二。游星輪自轉(zhuǎn)方向可變更，從而實(shí)現(xiàn)自動修正上下研磨盤平面度誤差。
本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡單，整機(jī)造價低，既可降低加工成本又便于維護(hù)。
圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1不包括上研磨盤和操縱控制站部分的俯視圖。
具體實(shí)施方式
參看圖1、2，一種雙面研磨精密磨削設(shè)備，它包括床身1，在床身1上安置的操縱控制站2和氣動裝置3，在床身1的端面上安裝的作相反方向轉(zhuǎn)動的上、下研磨盤4、5，以及附設(shè)的電氣控制系統(tǒng)(圖中未示)和研磨液泵6。
本實(shí)用新型還包括安裝在床身1端面其下端與安裝在床身1內(nèi)的主軸變速箱7連接的主軸8。所述主軸8的上端頭安裝一齒輪9，在主軸8外圈分兩層分別設(shè)有與主軸8同軸旋轉(zhuǎn)的下研磨盤5以及內(nèi)齒圈10，在下研磨盤5上可設(shè)置一與主軸8上端頭齒輪9和內(nèi)齒圈10嚙合的既公轉(zhuǎn)又自轉(zhuǎn)的游星輪11。游星輪11的端面設(shè)有多個與工件相配的孔，工件安裝在游星輪11上的孔內(nèi)，因此工件在載體內(nèi)既公轉(zhuǎn)又自轉(zhuǎn)的游星運(yùn)動，磨削阻力小、不傷工件，而且兩面均勻的磨削，生產(chǎn)效率高(一次可加工25片)。游星輪11損傷小，損耗量較一般研磨機(jī)減少三分之二。游星輪11自轉(zhuǎn)方向可變更，從而實(shí)現(xiàn)自動修正上下研磨盤4、5平面度誤差。
在床身1端面上位于操縱控制站2附近安裝一Г型懸臂12，上研磨盤4通過一滑桿13且受氣動裝置3控制可上下移動的與懸臂12的短臂端17相樞設(shè)。
在操縱控制站2上設(shè)有用于控制研磨量和工件承載壓力的數(shù)字顯示設(shè)定開關(guān)，控制工件承載壓力的數(shù)字顯示設(shè)定開關(guān)可分為輕壓、中壓、上研磨盤自重三種選擇，根據(jù)研磨時工藝要求進(jìn)行不同的設(shè)定。
所述下研磨盤5與安裝在床身1內(nèi)主軸變速箱7上端的可使其上下升降的升降機(jī)構(gòu)(圖中未示)連接。這樣工件加工完時，可將下研磨盤5升起，將游星輪11卸開，拆掉工件十分方便。該升降機(jī)構(gòu)可采用機(jī)械控制，也可采用氣動控制。
所述上研磨盤4的上下兩端面間設(shè)有多個貫通的孔，所述研磨液泵6通過連接管與上研磨盤4相通。當(dāng)然也可在上研磨盤4的上端設(shè)置一承接研磨液的水盤14，該水盤14與所述上研磨盤4的孔通過連接管相通。
在床身1內(nèi)安裝一交流變頻電機(jī)15，該變頻電機(jī)15通過皮帶拖動主軸變速箱7，實(shí)現(xiàn)電氣無級調(diào)速。在床身1的側(cè)端設(shè)有與主軸變速箱7連接的可實(shí)現(xiàn)二檔機(jī)械變速的控制手柄16，這樣機(jī)械與電氣配合可實(shí)現(xiàn)工件加工需要的主軸8和下研磨盤5轉(zhuǎn)速范圍。
權(quán)利要求1.一種雙面研磨精密磨削設(shè)備，它包括床身，在床身上安置的操縱控制站和氣動裝置，在床身的端面上安裝的作相反方向轉(zhuǎn)動的上、下研磨盤，以及附設(shè)的電氣控制系統(tǒng)和研磨液泵，其特征在于它還包括安裝在床身端面其下端與安裝在床身內(nèi)的主軸變速箱連接的主軸，所述主軸的上端頭安裝一齒輪，在主軸外圈分兩層分別設(shè)有與主軸同軸旋轉(zhuǎn)的下研磨盤以及內(nèi)齒圈；在下研磨盤上可設(shè)置一與主軸上端頭齒輪和內(nèi)齒圈嚙合的既公轉(zhuǎn)又自轉(zhuǎn)的游星輪；在床身端面上位于操縱控制站附近安裝一Γ型懸臂，上研磨盤通過一滑桿且受氣動裝置控制可上下移動的與懸臂一側(cè)端相樞設(shè)；在操縱控制站上設(shè)有用于控制研磨量和工件承載壓力的數(shù)字顯示設(shè)定開關(guān)；所述研磨液泵通過連接管與上研磨盤相通。
2.如權(quán)利要求1所述的雙面研磨精密磨削設(shè)備，其特征在于所述下研磨盤與安裝在床身內(nèi)主軸變速箱上端的可使其上下升降的升降機(jī)構(gòu)連接。
3.如權(quán)利要求1所述的雙面研磨精密磨削設(shè)備，其特征在于所述上研磨盤的上下兩端面間設(shè)有多個貫通的孔，上研磨盤的上端還設(shè)有一承接研磨液的水盤，該水盤與所述上研磨盤的孔通過連接管相通。
4.如權(quán)利要求1所述的雙面研磨精密磨削設(shè)備，其特征在于在床身的側(cè)端設(shè)有與主軸變速箱連接的可實(shí)現(xiàn)二檔機(jī)械變速的控制手柄。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種雙面研磨精密磨削設(shè)備，它包括床身、操縱控制站、氣動裝置、研磨液泵、電氣控制系統(tǒng)，它還包括安裝在床身端面其下端與安裝在床身內(nèi)的主軸變速箱連接的主軸，所述主軸的上端頭安裝一齒輪，在主軸外圈分兩層分別設(shè)有與主軸同軸旋轉(zhuǎn)的下研磨盤以及內(nèi)齒圈；在下研磨盤上可設(shè)置一與主軸上端頭齒輪和內(nèi)齒圈嚙合的既公轉(zhuǎn)又自轉(zhuǎn)的游星輪；上研磨盤通過一滑桿且受氣動裝置控制可上下移動的與安裝在床身上一懸臂的一側(cè)端相樞設(shè)。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單、價格低，既便于維護(hù)又可降低加工成本，可用于研磨光學(xué)級藍(lán)寶石晶體基片。
文檔編號B24B37/04GK2640700SQ03255659
公開日2004年9月15日 申請日期2003年7月16日 優(yōu)先權(quán)日2003年7月16日
發(fā)明者汪開慶 申請人:上海新華霞實(shí)業(yè)有限公司