波長1140nm的波長分量的光(拉曼散射光)相對于波長1080nm的波長分量的光(輸出激光L2的返回光)的比值。由此能監(jiān)視拉曼散射光相對于輸出激光L2的返回光的比值。
[0164]另外，CPU將算出的比值和保存在ROM的數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，若比值為某設(shè)定值以上，則能為了防止拉曼散射光引起的光纖激光器裝置100M的損壞而停止激勵用LD13的驅(qū)動，或者使激勵用LD13的驅(qū)動電流降低來降低激勵光輸出。
[0165](變形例14)
[0166]圖16是說明本實(shí)用新型的實(shí)施方式I的變形例14所涉及的光纖激光器裝置的主要部分的示意圖。該光纖激光器裝置100N具有將圖15所示的光纖激光器裝置100M的發(fā)光/受光部20M置換為發(fā)光/受光部20N的構(gòu)成。
[0167]發(fā)光/受光部20N具有從發(fā)光/受光部20M去除光濾波器32b的構(gòu)成。
[0168]在該光纖激光器裝置100N中，以光檢測部33a所接受的波長1140nm的波長分量的光L8的強(qiáng)度、和光檢測部33b所接受的包含輸出激光L2的返回光在內(nèi)的光L9的強(qiáng)度為基礎(chǔ)，來算出拉曼散射光相對于輸出激光L2的返回光的比值。由此能監(jiān)視拉曼散射光相對于輸出激光L2的返回光的比值。
[0169]另外，作為發(fā)光/受光部20N的變形例，也可以是從發(fā)光/受光部20M去除光濾波器32a的構(gòu)成。
[0170](實(shí)施方式2)
[0171]圖17是本實(shí)用新型的實(shí)施方式2所涉及的光纖激光器裝置的示意圖。該光纖激光器裝置200具有如下構(gòu)成:在圖1所示的光纖激光器裝置100中，在光纖I與激勵光合波器2之間移動地配置波分復(fù)用光合分波器10以及光纖11，將作為輸出光纖的光纖9和光輸出部12連接。
[0172]如該光纖激光器裝置200那樣，波分復(fù)用光合分波器10的配置位置并不限于放大用光纖5的輸出側(cè)，即便配置在輸入側(cè)也能得到與光纖激光器裝置100的情況同樣的效果。另外，從可見光LD17輸出的可見光由于與光纖激光器裝置100的情況相比，在從光輸出部12輸出之前受到較多的光損耗，因此優(yōu)選設(shè)為在照射到加工對象的情況下能視覺辨識程度的更高的光強(qiáng)度。
[0173]另外，能將光纖激光器裝置200中的發(fā)光/受光部20適當(dāng)置換為圖3?圖16所示的發(fā)光/受光部20A?20N。
[0174](實(shí)施方式3)
[0175]圖18是本實(shí)用新型的實(shí)施方式3所涉及的光纖激光器裝置的示意圖。該光纖激光器裝置300具備如下構(gòu)成:在圖17所示的光纖激光器裝置200中，在光纖7與包層模除去部8之間進(jìn)一步插入激勵光合波器35、以及放大用光纖36，進(jìn)而在激勵光合波器35依次連接激勵用LD37、激勵用LD驅(qū)動電源38。激勵光合波器35、放大用光纖36、激勵用LD37、激勵用LD驅(qū)動電源38具有與分別對應(yīng)的激勵光合波器2、放大用光纖5、激勵用LD13、激勵用LD驅(qū)動電源14同樣的構(gòu)成。
[0176]該光纖激光器裝置300 具有 MOPA(Master Oscillator and Power Amplifier，主控振蕩器的功率放大器)結(jié)構(gòu)，通過具備放大用光纖36以及用于使其激勵的激勵用LD37，能從光輸出部12輸出更高強(qiáng)度的輸出激光L2。
[0177](實(shí)施方式4)
[0178]圖19是本實(shí)用新型的實(shí)施方式4所涉及的光纖激光器裝置的示意圖。該光纖激光器裝置300A具備如下構(gòu)成:在圖18所示的光纖激光器裝置300中，在光纖7與激勵光合波器35之間移動地配置波分復(fù)用光合分波器10以及光纖11。如此，也可以將波分復(fù)用光合分波器10配置在2個放大用光纖5、36之間。
[0179]另外，也可以在光纖激光器裝置300A中，在光纖9與光輸出部12之間移動地配置波分復(fù)用光合分波器10以及光纖11。另外，能將光纖激光器裝置200、300、300A中的發(fā)光/受光部20適當(dāng)置換為圖3?圖16所示的發(fā)光/受光部20A?20N。另外，也可以在光纖激光器裝置300、300A中進(jìn)一步追加激勵光合波器35、放大用光纖36、激勵用LD37、以及激勵用LD驅(qū)動電源38，從而構(gòu)成為多級結(jié)構(gòu)的光纖激光器裝置。
[0180](實(shí)施方式5)
[0181]圖20是實(shí)施方式5所涉及的光纖激光器裝置的示意圖。該光纖激光器裝置1000具有將光纖激光器部400-1?400-n(n為2以上的整數(shù))、多個光纖41、光合波器42、光纖43、包層模除去部44、作為輸出光纖的光纖45、和光輸出部46依次連接的構(gòu)成。
[0182]光纖激光器部400-1?400-n具有從圖1所示的實(shí)施方式I所涉及的光纖激光器裝置100去除了波分復(fù)用光合分波器10、發(fā)光/受光部20、以及控制部19的構(gòu)成。其中，光纖激光器部400-m(m為大于l、n以下的整數(shù))如圖20所示，具有從光纖激光器裝置100中去除了控制部19的構(gòu)成。S卩，光纖激光器部400-m具備波分復(fù)用光合分波器10以及發(fā)光/受光部20。
[0183]控制部40是與光纖激光器部400-1?400_n的各激勵用LD驅(qū)動電源14以及光纖激光器部400-m的可見光LD17以及光檢測部18連接的公共的控制部。
[0184]光合波器42例如由TFB (Tapered Fiber Bundle，錐形光纖束)等構(gòu)成。多個光纖41是將從光纖激光器部400-1?400-n的各光輸出部12輸出的激光引導(dǎo)向光合波器42的多個輸入端子的各個端子的光纖。各光纖41與放大用光纖5相匹配地，由單模光纖或多模光纖構(gòu)成。光合波器42將從光纖激光器部400-1?400-n分別輸出的激光合波，從輸出端子輸出到光纖43。
[0185]光纖43是與光合波器42的輸出端子連接的多模光纖。包層模除去部44具有除去在光纖43的內(nèi)側(cè)包層傳播的光的功能，能設(shè)為與圖1所示的包層模除去部8同樣的構(gòu)成。
[0186]光纖45由多模光纖構(gòu)成。光輸出部46例如由光連接器構(gòu)成。光輸出部46將由光合波器42進(jìn)行合波的來自各光纖激光器部400-1?400-n的激光作為輸出激光LlO輸出。
[0187]接下來說明光纖激光器裝置1000的動作。首先，在對加工對象物進(jìn)行加工前的階段，控制部40將可見光LD17以及光纖激光器部400-1?400_n的各激勵用LD13兩者的動作設(shè)為停止的狀態(tài)。若在這樣的狀態(tài)下將加工對象物載置到未圖示的加工臺，進(jìn)行用于決定照射可見光LI的位置(進(jìn)行定位)的操作，則控制部40的CPU經(jīng)由I/F檢測該操作。(PU基于保存在ROM中的程序來執(zhí)行用于進(jìn)行定位的處理。具體地，CPU基于程序，從數(shù)據(jù)中取得控制數(shù)據(jù)，在由I/F進(jìn)行D/A變換后，提供給可見光LD17。其結(jié)果，可見光LD17輸出可見光LI?？梢姽釲I通過波分復(fù)用光合分波器16、光濾波器15、波分復(fù)用光合分波器10、光纖11、光輸出部12、光纖41、光合波器42、光纖43、包層模除去部44、光纖45而從光輸出部46輸出，進(jìn)而照射到加工對象物的加工位置(照射可見光LI的位置)。由此進(jìn)行照射輸出激光LlO的位置的定位。
[0188]在定位完成時，控制部40停止可見光LD17的照射。由此停止向加工對象物的可見激光的照射。若接下來進(jìn)行了加工開始的指示，則CPU從保存在ROM中的數(shù)據(jù)中取得與照射強(qiáng)度相應(yīng)的各激勵用LD13的驅(qū)動用數(shù)據(jù)，提供給I/F。I/F對提供的驅(qū)動用數(shù)據(jù)進(jìn)行D/A變換，提供給各激勵用LD驅(qū)動電源14。各激勵用LD驅(qū)動電源14按照從I/F提供的指示值來驅(qū)動各激勵用LD13。由此，各光纖激光器部400-1?400-n開始激光振蕩，最終將輸出激光LlO照射到加工對象物。
[0189]在此，可見光LI以及輸出激光LlO通過同一光纖45而從光輸出部46輸出。因此，照射輸出激光LlO的位置與照射可見光LI的位置大致相同。由此，光纖激光器裝置1000能由輸出激光LlO對利用可見光LI正確定位的位置正確地進(jìn)行加工。
[0190]輸出激光LlO的一部分在加工對象物反射或散射而返回來的返回光Lll到達(dá)波分復(fù)用光合分波器10，但與實(shí)施方式I的情況同樣地，在波分復(fù)用光合分波器10中其一部分泄漏到光濾波器15側(cè)。泄漏返回光的一部分被用于由發(fā)光/受光部20進(jìn)行的返回光Lll的監(jiān)視。
[0191]在本實(shí)施方式5中，也利用從波分復(fù)用光合分波器10泄漏的返回光來監(jiān)視返回光Lll的光強(qiáng)度，其中波分復(fù)用光合分波器10用于使可見光LI光輸出部12輸出。其結(jié)果，能防止因?yàn)榱吮O(jiān)視用而設(shè)置光學(xué)部件的光損耗而使加工用的輸出激光LlO的強(qiáng)度無謂衰減。
[0192]如以上說明那樣，在本實(shí)施方式5所涉及的光纖激光器裝置1000中，針對激光的照射位置能進(jìn)行更正確的定位，且能抑制加工用的激光的強(qiáng)度的衰減的同時監(jiān)視返回光。
[0193]另外，在本實(shí)施方式5中，具備波分復(fù)用光合分波器10以及發(fā)光/受光部20的光纖激光器部是光纖激光器部400-1?400-n中的一個光纖激光器部400_m，但也可以是多個或全部光纖激光器部具備波分復(fù)用光合分波器10以及發(fā)光/受光部20。
[0194]進(jìn)而，圖21是實(shí)施方式5的變形例所涉及的光纖激光器裝置的示意圖。該光纖激光器裝置1000A具有如下構(gòu)成:在圖20所示的光纖激光器裝置1000中，以光纖48連接波分復(fù)用光合分波器10的端子T4(參考圖2)、和光合波器42的輸入端子中的未連接光纖激光器部400-1?400-n的未使用的輸入端子。光纖48能具有與光纖41同樣的構(gòu)成。
[0195]在該光纖激光器裝置1000A中，光纖48將波分復(fù)用光合分波器10從端子T4輸出的激光L6輸入到光合波器42的空的輸入端子，光合波器42將從光纖激光器部400-1?400-n輸出的激光進(jìn)行合波，最終作為輸出激光LlO而輸出。其結(jié)果，能有效率地利用從端子T4輸出、過去未使用的激光，且能使輸出激光LlO成為更高強(qiáng)度。
[0196]另外，在本變形例中，具備波分復(fù)用光合分波器10以及發(fā)光/受光部20的光纖激光器部是光纖激光器部400-1?400-n中的一個光纖激光器部400_m，但也可以是多個或全部光纖激光器部具備波分復(fù)用光合分波器10以及發(fā)光/受光部20。這種情況下，也可以構(gòu)成為將從各波分復(fù)用光合分波器10的端子T4輸出的激光輸入到光合波器42的未使用的各輸入端子。
[0197](實(shí)施方式6)
[0198]圖22是實(shí)施方式6所涉及的光纖激光器裝置的示意圖。在該光纖激光器裝置2000中，在光合波器42的輸入端子之中的未與光纖激光器部400-1?400-n連接的未使用的輸入端子，連接波分復(fù)用光合分波器10以及發(fā)光/受光部20。
[0199]包含輸出激光LlO的一部分從加工對象物的反射光或散射光、或者拉曼散射光的返回光，因波分復(fù)用光合分波器10而其一部分作為泄漏返回光L12輸出到光濾波器15側(cè)。輸出的泄漏返回光L12被用于由發(fā)光/受光部20進(jìn)行的返回光的監(jiān)視。
[0200]另外，在該光纖激光器裝置2000中，也可以是光纖激光器部400-1?4