光纖激光器裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及光纖激光器裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在使用激光來(lái)加工對(duì)象物的情況下，需要進(jìn)行用于決定將激光照射在加工對(duì)象物上的位置的定位。
[0003]在不可見激光中，不能視覺辨識(shí)激光。在過(guò)去，例如專利文獻(xiàn)1、2所示那樣，存在如下技術(shù):使用半透明反射鏡(half mirror)等進(jìn)行調(diào)整，來(lái)使不可見激光的光軸和可見激光的光軸一致，使用可見激光來(lái)進(jìn)行定位的技術(shù)。
[0004]另外，在專利文獻(xiàn)3中公開了如下技術(shù):與將不可見激光波導(dǎo)的光纖平行地配置將可見激光波導(dǎo)的光纖，在出射部用透鏡將從各光纖輸出的激光聚光，在距出射部給定的距離使這些激光聚光在相同位置。
[0005]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)1:JP特開2005-13348號(hào)公報(bào)
[0008]專利文獻(xiàn)2:JP特開平07-116878號(hào)公報(bào)
[0009]專利文獻(xiàn)3:JP特開昭62-008748號(hào)公報(bào)
[0010]實(shí)用新型的概要
[0011]實(shí)用新型要解決的課題
[0012]于是，在專利文獻(xiàn)I?3所公開的技術(shù)中，由于不可見激光和可見激光的波導(dǎo)路徑不同，因此有在加工對(duì)象物上的照射位置中產(chǎn)生偏離的情況。作為其結(jié)果，存在有不能正確進(jìn)行定位的情況這樣的問(wèn)題點(diǎn)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0013]本實(shí)用新型鑒于上述而提出，目的在于，提供針對(duì)激光的照射位置能進(jìn)行更正確的定位的光纖激光器裝置。
[0014]用于解決課題的手段
[0015]為了解決上述的課題，以達(dá)成目的，本實(shí)用新型所涉及的光纖激光器裝置具備:放大用光纖；激勵(lì)光源，其輸出對(duì)所述放大用光纖進(jìn)行光激勵(lì)的激勵(lì)光；光反射器，其配置在所述放大用光纖的兩端側(cè)，構(gòu)成基于由所述放大用光纖所產(chǎn)生的光而使不可見的激光進(jìn)行激光振蕩的光諧振器；輸出光纖，其引導(dǎo)所述激光使其輸出到外部；第I可見光源，其輸出可見光；導(dǎo)入部，其至少具有第I以及第2輸入端子和第I輸出端子，具有使輸入到所述第I輸入端子的所述激光主要從所述第I輸出端子輸出、使輸入到所述第2輸入端子的所述可見光主要從所述第I輸出端子輸出的波長(zhǎng)特性，從所述第2輸入端子輸入所述第I可見光源所輸出的所述可見光，經(jīng)由所述第I輸出端子而導(dǎo)入至所述放大用光纖或所述輸出光纖；光合分波器，其與所述第I可見光源連接，被輸入從所述第I可見光源輸出的所述可見光，與所述導(dǎo)入部的所述第2輸入端子連接，將所述可見光輸出到所述導(dǎo)入部，并且輸出從所述導(dǎo)入部側(cè)輸入的泄漏返回光；和控制部，在進(jìn)行針對(duì)加工對(duì)象的所述激光的照射位置的定位的情況下，驅(qū)動(dòng)所述第I可見光源使所述可見光從所述輸出光纖輸出。
[0016]本實(shí)用新型所涉及的光纖激光器裝置在上述實(shí)用新型基礎(chǔ)上，其特征在于，所述光纖激光器裝置還具備:光檢測(cè)部，其與所述光合分波器連接，被輸入所述泄漏返回光并檢測(cè)該泄漏返回光。
[0017]本實(shí)用新型所涉及的光纖激光器裝置在上述實(shí)用新型的基礎(chǔ)上，其特征在于，所述光檢測(cè)部還具備:光衰減器，其配置在所述光合分波器與所述光檢測(cè)部之間，主要使所述泄漏返回光衰減。
[0018]本實(shí)用新型所涉及的光纖激光器裝置在上述實(shí)用新型的基礎(chǔ)上，其特征在于，所述控制部在所述檢測(cè)的泄漏返回光的強(qiáng)度為第I值以上或者第2值以下的情況下，使所述激勵(lì)光源停止或者使激勵(lì)光輸出降低。
[0019]本實(shí)用新型所涉及的光纖激光器裝置在上述實(shí)用新型的基礎(chǔ)上，其特征在于，所述光檢測(cè)部構(gòu)成為將所述返回光分離為多個(gè)波長(zhǎng)分量并檢測(cè)各波長(zhǎng)分量的光強(qiáng)度。
[0020]本實(shí)用新型所涉及的光纖激光器裝置在上述實(shí)用新型的基礎(chǔ)上，其特征在于，所述控制部在所述檢測(cè)出的各波長(zhǎng)分量的強(qiáng)度比為給定值以上的情況下，使所述激勵(lì)光源停止或使激勵(lì)光輸出降低。
[0021]本實(shí)用新型所涉及的光纖激光器裝置在上述實(shí)用新型的基礎(chǔ)上，其特征在于，所述光合分波器具有使從所述第I可見光源輸出的可見光主要通過(guò)至所述導(dǎo)入部側(cè)、使所述泄漏返回光主要輸出到所述光檢測(cè)部的波長(zhǎng)特性。
[0022]本實(shí)用新型所涉及的光纖激光器裝置在上述實(shí)用新型的基礎(chǔ)上，其特征在于，所述光合分波器具有以給定的分支比將所述泄漏返回光分別輸出到所述第I可見光源以及所述光檢測(cè)部的光分支特性。
[0023]本實(shí)用新型所涉及的光纖激光器裝置在上述實(shí)用新型的基礎(chǔ)上，其特征在于，所述光纖激光器裝置還具備:光濾波器，其配置在所述導(dǎo)入部與所述光合分波器之間，具有主要使所述可見光通過(guò)、主要使所述泄漏返回光衰減的波長(zhǎng)特性。
[0024]本實(shí)用新型所涉及的光纖激光器裝置在上述實(shí)用新型的基礎(chǔ)上，其特征在于，所述光纖激光器裝置具備:光濾波器，其配置在所述光合分波器與所述第I可見光源之間，具有主要使所述可見光通過(guò)、主要使所述泄漏返回光衰減的波長(zhǎng)特性。
[0025]本實(shí)用新型所涉及的光纖激光器裝置在上述實(shí)用新型的基礎(chǔ)上，其特征在于，所述導(dǎo)入部還具有:第2輸出端子，其在被輸入所述可見光的情況下使該可見光主要從所述第I輸入端子輸出，在所述第2輸出端子至少具備第2可見光源和第2光檢測(cè)器的任意一方。
[0026]本實(shí)用新型所涉及的光纖激光器裝置在上述實(shí)用新型的基礎(chǔ)上，其特征在于，所述光纖激光器裝置具備:多個(gè)所述放大用光纖和與該放大用光纖對(duì)應(yīng)的多個(gè)所述激勵(lì)光源以及光反射器；和光合波器，其具有被輸入來(lái)自所述多個(gè)放大用光纖的多個(gè)激光的多個(gè)輸入端子、和將所述多個(gè)激光進(jìn)行合波并輸出到輸出光纖的輸出端子。
[0027]本實(shí)用新型所涉及的光纖激光器裝置在上述實(shí)用新型的基礎(chǔ)上，其特征在于，所述導(dǎo)入部的第I輸出端子與所述光合波器的輸入端子中的未使用的端子連接。
[0028]本實(shí)用新型所涉及的光纖激光器裝置在上述實(shí)用新型的基礎(chǔ)上，其特征在于，所述導(dǎo)入部還具有:第2輸出端子，在被輸入所述可見光的情況下能使該可見光主要從所述第I輸入端子輸出，所述第2輸出端子與所述光合波器的輸入端子中的未使用的端子連接。
[0029]本實(shí)用新型所涉及的光纖激光器裝置在上述實(shí)用新型的基礎(chǔ)上，其特征在于，所述導(dǎo)入部是光纖熔融型或研磨型。
[0030]本實(shí)用新型所涉及的光纖激光器裝置在上述實(shí)用新型的基礎(chǔ)上，其特征在于，所述可見光的波長(zhǎng)具有與紅色或綠色對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)。
[0031]實(shí)用新型的效果
[0032]根據(jù)本實(shí)用新型，起到能夠針對(duì)激光的照射位置進(jìn)行更正確的定位的這種效果。
【附圖說(shuō)明】
[0033]圖1是實(shí)施方式I所涉及的光纖激光器裝置的示意圖。
[0034]圖2是說(shuō)明波分復(fù)用光合分波器的構(gòu)成的圖。
[0035]圖3是說(shuō)明實(shí)施方式I的變形例I所涉及的光纖激光器裝置的主要部分的示意圖。
[0036]圖4是說(shuō)明實(shí)施方式I的變形例2所涉及的光纖激光器裝置的主要部分的示意圖。
[0037]圖5是說(shuō)明實(shí)施方式I的變形例3所涉及的光纖激光器裝置的主要部分的示意圖。
[0038]圖6是說(shuō)明實(shí)施方式I的變形例4所涉及的光纖激光器裝置的主要部分的示意圖。
[0039]圖7是說(shuō)明實(shí)施方式I的變形例5所涉及的光纖激光器裝置的主要部分的示意圖。
[0040]圖8是說(shuō)明實(shí)施方式I的變形例6所涉及的光纖激光器裝置的主要部分的示意圖。
[0041]圖9是說(shuō)明實(shí)施方式I的變形例7所涉及的光纖激光器裝置的主要部分的示意圖。
[0042]圖10是說(shuō)明實(shí)施方式I的變形例8所涉及的光纖激光器裝置的主要部分的示意圖。
[0043]圖11是說(shuō)明實(shí)施方式I的變形例9所涉及的光纖激光器裝置的主要部分的示意圖。
[0044]圖12是說(shuō)明實(shí)施方式I的變形例10所涉及的光纖激光器裝置的主要部分的示意圖。
[0045]圖13是說(shuō)明實(shí)施方式I的變形例11所涉及的光纖激光器裝置的主要部分的示意圖。
[0046]圖14是說(shuō)明實(shí)施方式I的變形例12所涉及的光纖激光器裝置的主要部分的示意圖。
[0047]圖15是說(shuō)明實(shí)施方式I的變形例13所涉及的光纖激光器裝置的主要部分的示意圖。
[0048]圖16是說(shuō)明實(shí)施方式I的變形例14所涉及的光纖激光器裝置的主要部分的示意圖。
[0049]圖17是實(shí)施方式2所涉及的光纖激光器裝置的示意圖。
[0050]圖18是實(shí)施方式3所涉及的光纖激光器裝置的示意圖。
[0051]圖19是實(shí)施方式4所涉及的光纖激光器裝置的示意圖。
[0052]圖20是實(shí)施方式5所涉及的光纖激光器裝置的示意圖。
[0053]圖21是實(shí)施方式5的變形例所涉及的光纖激光器裝置的示意圖。
[0054]圖22是實(shí)施方式6所涉及的光纖激光器裝置的示意圖。
[0055]圖23是實(shí)施方式7所涉及的光纖激光器裝置的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0056]以下參考附圖來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型所涉及的光纖激光器裝置的實(shí)施方式。另夕卜，并不通過(guò)本實(shí)施方式來(lái)限定本實(shí)用新型。另外，在各附圖中，對(duì)同一或?qū)?yīng)的要素適當(dāng)標(biāo)注同一標(biāo)號(hào)。另外，需要留意的是，附圖進(jìn)行的是示意的表示，各要素的尺寸的比率等與現(xiàn)實(shí)不同。另外，附圖相互間還包含相互的尺寸的關(guān)系或比率不同的部分。
[0057](實(shí)施方式I)
[0058]圖1是本實(shí)用新型的實(shí)施方式I所涉及的光纖激光器裝置的示意圖。如圖1所不，光纖激光器裝置100具有將光纖1、激勵(lì)光合波器2、光纖3、光反射器4、放大用光纖5、光反射器6、光纖7、包層模除去部8、作為輸出光纖的光纖9、作為導(dǎo)入部的波分復(fù)用光合分波器10、作為輸出光纖的光纖11、和光輸出部12依次連接的構(gòu)成。在激勵(lì)光合波器2依次連接激勵(lì)用LD (Laser D1de，激光二極管)13、激勵(lì)用LD驅(qū)動(dòng)電源14。在波分復(fù)用光合分波器10依次連接光濾波器15、波分復(fù)用光合分波器16。在波分復(fù)用光合分波器16連接輸出可見光LI的可見光LD17以及作為光檢測(cè)部的光檢測(cè)部18。激勵(lì)用LD驅(qū)動(dòng)電源14、可見光LD17以及光檢測(cè)部18與控制部19連接。
[0059]激勵(lì)用LD13例如由輸出強(qiáng)度為幾W以上的激光(以下設(shè)為激勵(lì)光)的I個(gè)以上的多模LD構(gòu)成。激勵(lì)用LD驅(qū)動(dòng)電源14按照控制部19的控制來(lái)驅(qū)動(dòng)激勵(lì)用LD13。
[0060]光纖3例如由具有單模纖芯的雙包層光纖構(gòu)成。激勵(lì)光合波器2例如由TFB (Tapered Fiber Bundle，錐形光纖束)等構(gòu)成。激勵(lì)光合波器2將從激勵(lì)用LD13輸出的激勵(lì)光輸入到光纖3。
[0061]光反射器4例如由光纖布拉格光柵(Fiber Bragg Grating:FBG)構(gòu)成。光反射器4的反射中心波長(zhǎng)的反射率為約100%。
[0062]放大用光纖5例如由在纖芯添加了鉺(Erbium(Er))Ji; (Ytterbium(Yb))等的稀土類