本發(fā)明涉及激光加工方法以及激光加工裝置。更詳細(xì)而言，涉及在根據(jù)激光射出部和工件相對(duì)的且物理的移動(dòng)進(jìn)行聚光部的掃描的激光加工中，能夠通過將激光相對(duì)工件以所要的速度且等速掃描來高速且高品質(zhì)地進(jìn)行加工。
背景技術(shù)：
：：通過將激光聚光為細(xì)微的點(diǎn)并將該聚光部對(duì)工件(加工對(duì)象物)掃描來對(duì)工件進(jìn)行雕刻或者切割而加工的激光加工裝置被用于用各種材料制作的物品的加工中。作為這樣的對(duì)工件二維地掃描激光而加工的方法，首先有通過使激光射出部和工件相對(duì)地且物理地(機(jī)械地)移動(dòng)來掃描而加工的方法。在該方法中有固定激光射出部側(cè)而使工件側(cè)移動(dòng)的方法、反之固定工件側(cè)而使激光射出部側(cè)移動(dòng)的方法、或者使激光射出部側(cè)和工件側(cè)這雙方移動(dòng)的方法。另外，作為其它方法，有將從固定于所要位置的激光射出部射出的激光使用電掃描器、多棱鏡等光學(xué)地控制來掃描而加工的方法。進(jìn)而還提出了將上述激光射出部側(cè)或者工件側(cè)的物理的移動(dòng)和激光的光學(xué)的掃描組合而成的方法。在上述各方法中，各有各的特點(diǎn)，根據(jù)所要求的能力、功能性適當(dāng)選擇而采用到激光加工裝置中。特別是具備通過使上述激光射出部和工件相對(duì)地且物理地移動(dòng)來加工的功能時(shí)，能夠使用短焦距的透鏡將激光聚光到細(xì)微的點(diǎn)，所以能夠廣范圍地進(jìn)行高品質(zhì)的加工這點(diǎn)是有利的。作為這樣的激光加工裝置的一個(gè)例子，有專利文獻(xiàn)1中記載的激光加工機(jī)。在上述專利文獻(xiàn)1中記載的激光加工機(jī)中，在電掃描器在前后或者左右方向上水平移動(dòng)時(shí)，除了在使電掃描器主體靜止于指定的位置的狀態(tài)下僅通過掃描反射鏡掃描激光而進(jìn)行加工的方法之外，還一邊使電掃描器主體自行(移動(dòng))一邊對(duì)掃描反射鏡進(jìn)行控制，從而能夠不分割移動(dòng)范圍整體而進(jìn)行激光加工，從而擴(kuò)大電掃描器具有的加工能力。專利文獻(xiàn)1：日本特開2011-240403號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：然而，在上述現(xiàn)有的激光加工機(jī)中存在如下課題。即，激光加工機(jī)構(gòu)成為將作為激光射出部的電掃描器和工件相對(duì)的且物理的移動(dòng)、與電掃描器的激光的光學(xué)的掃描組合而進(jìn)行。前者使電掃描器在xy方向、即二維方向上移動(dòng)，特別是激光的掃描的移動(dòng)量大的部分進(jìn)行基于該相對(duì)的且物理的移動(dòng)的掃描。此外，在激光加工中，特別是在對(duì)工件二維地掃描激光而加工的情況下，為了能夠使加工部的熔融物的隆起平均化等進(jìn)行更高品質(zhì)的加工，已知優(yōu)選將激光的聚光部以所要的恒定的速度(等速)掃描。但是，如上述現(xiàn)有的激光加工機(jī)那樣，在電掃描器的移動(dòng)中物理的移動(dòng)量變大時(shí)，特別是伴隨改變移動(dòng)方向時(shí)的減速和此后的加速，大的慣性力易于產(chǎn)生作用，與其一起在移動(dòng)速度中也產(chǎn)生大的變動(dòng)。因此，在激光加工中，取決于加工形狀，難以使電掃描器穩(wěn)定而維持恒定的速度。進(jìn)而，為了與這樣的大幅變動(dòng)的電掃描器的移動(dòng)速度適應(yīng)而光學(xué)地掃描激光，需要極為復(fù)雜的控制，而高速地進(jìn)行該控制并且還將掃描控制在恒定的速度(等速)實(shí)際上是困難的。而且，這成為在根據(jù)電掃描器和工件相對(duì)的且物理的移動(dòng)進(jìn)行聚光部的掃描的類型的激光加工機(jī)中進(jìn)行高速且高品質(zhì)地加工上的薄弱環(huán)節(jié)。本發(fā)明是鑒于以上方面而發(fā)明的，目的在于提供一種在根據(jù)激光射出部和工件相對(duì)的且物理的移動(dòng)而進(jìn)行聚光部的掃描的激光加工中，能夠通過將激光相對(duì)工件以所要的速度且等速掃描來進(jìn)行高速且高品質(zhì)的加工的激光加工方法以及激光加工裝置。(1)為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的激光加工方法具備如下工序：對(duì)應(yīng)于預(yù)先設(shè)定的工件的加工形狀，利用激光射出部的激光的掃描范圍，生成工件安置臺(tái)的軌道以及動(dòng)作信息，以使得能夠在所述工件安置臺(tái)移動(dòng)時(shí)抑制慣性的影響并且使總移動(dòng)長(zhǎng)最短，針對(duì)該生成的軌道的所要的區(qū)劃的每個(gè)區(qū)劃，將所述動(dòng)作信息與預(yù)先設(shè)定的作為可否的基準(zhǔn)的動(dòng)作界限值進(jìn)行比較，如果該動(dòng)作信息為該動(dòng)作界限值以下則判定為可，如果超過該動(dòng)作界限值則判定為否；以及在所述生成的軌道的所述判定為可的區(qū)劃中，一邊根據(jù)所述動(dòng)作信息使所述工件安置臺(tái)移動(dòng)，一邊對(duì)與該區(qū)劃對(duì)應(yīng)的所述加工形狀的區(qū)間掃描激光而進(jìn)行加工，在所述判定為否的區(qū)劃中，在該區(qū)劃的移動(dòng)方向上加工到與前一區(qū)劃對(duì)應(yīng)的所述加工形狀的區(qū)間的終點(diǎn)后，在該終點(diǎn)處停止激光的射出，在停止加工的狀態(tài)下使所述工件安置臺(tái)以所要的速度移動(dòng)，移動(dòng)到所述判定為否的區(qū)劃時(shí)，從停止所述加工的地方起繼續(xù)進(jìn)行與該判定為否的區(qū)劃對(duì)應(yīng)的加工形狀的區(qū)間的加工。在本發(fā)明的激光加工方法中，預(yù)先設(shè)定工件的加工形狀(例如切割形狀)。對(duì)應(yīng)于該預(yù)先設(shè)定的工件的加工形狀，利用激光射出部的激光的掃描范圍，生成工件安置臺(tái)的軌道以及動(dòng)作信息，以使得能夠在所述工件安置臺(tái)移動(dòng)時(shí)抑制慣性的影響并且使總移動(dòng)長(zhǎng)最短。關(guān)于軌道的生成，例如將加工形狀的二維的線段的數(shù)據(jù)變換為一定間隔的點(diǎn)數(shù)據(jù)，將這些點(diǎn)用激光射出部能夠?qū)?yīng)的區(qū)域的范圍圍住而分組化，根據(jù)各點(diǎn)的坐標(biāo)計(jì)算分組化得到的點(diǎn)數(shù)據(jù)的重心位置，穿過所得到的所有重心位置，計(jì)算總移動(dòng)長(zhǎng)為最短的線(直線、或者如果是曲線則是曲率大而更接近直線的線)，將該線設(shè)為工件安置臺(tái)動(dòng)作的軌道信息等來進(jìn)行。由此，抑制或者減少工件安置臺(tái)動(dòng)作時(shí)的慣性的影響。此外，軌道的生成方法不限于此，也可以采用其它方法。然后，針對(duì)生成的軌道的所要的區(qū)劃的每個(gè)區(qū)劃，將生成的動(dòng)作信息與預(yù)先設(shè)定的作為可否的基準(zhǔn)的動(dòng)作界限值進(jìn)行比較，如果該動(dòng)作信息為所述動(dòng)作界限值以下(如果未超過動(dòng)作界限值)則判定為可，如果超過動(dòng)作界限值則判定為否(不可)。此外，關(guān)于該判定方法，在決定作為可否的基準(zhǔn)的動(dòng)作界限值時(shí)也可以設(shè)定為如果生成的動(dòng)作信息小于作為可否的基準(zhǔn)的動(dòng)作界限值則判定為可，如果為動(dòng)作界限值以上則判定為否。關(guān)于動(dòng)作界限值，例如在軌道的區(qū)劃是圓弧的情況下，是指按照曲率或半徑的值在所要的條件下預(yù)先設(shè)定的、能夠容許的限度的加減速度等。或者，在軌道是折線狀的情況下，是指按照線段的角度在所要的條件下預(yù)先設(shè)定的、能夠容許的限度的加減速度等。在生成的軌道中，在判定為可的區(qū)劃中，一邊以作為生成的動(dòng)作信息的所要的速度使工件安置臺(tái)移動(dòng)，一邊從激光射出部射出激光，在工件上掃描，對(duì)與上述區(qū)劃對(duì)應(yīng)的加工形狀的區(qū)間進(jìn)行加工。另外，在判定為否的區(qū)劃中，在該區(qū)劃的移動(dòng)方向上加工到與前一區(qū)劃對(duì)應(yīng)的所述加工形狀的區(qū)間的終點(diǎn)(作為下個(gè)加工起點(diǎn))后，在該終點(diǎn)(換言之，與判定為否的區(qū)劃對(duì)應(yīng)的加工形狀的區(qū)間的起點(diǎn))處停止激光的射出。在移動(dòng)到上述加工形狀的區(qū)間的與下個(gè)加工起點(diǎn)對(duì)應(yīng)的位置之間的工件安置臺(tái)的移動(dòng)(激光射出部的相對(duì)移動(dòng))中，不進(jìn)行利用激光的加工而成為所謂空走狀態(tài)。然后，激光射出部經(jīng)過相對(duì)的空走狀態(tài)而在與下個(gè)區(qū)劃對(duì)應(yīng)的加工形狀的區(qū)間的加工起點(diǎn)處達(dá)到預(yù)定的加工速度后，向加工起點(diǎn)開始射出激光，繼續(xù)進(jìn)行與下個(gè)區(qū)劃對(duì)應(yīng)的加工形狀的區(qū)間的加工。通過繼續(xù)該加工，激光的聚光部在工件上的掃描以所要的速度且相同速度(等速)不間斷地來進(jìn)行，結(jié)果是對(duì)工件能夠高速地加工并且能夠高品質(zhì)地加工。(2)本發(fā)明還可以進(jìn)一步構(gòu)成為所述生成的動(dòng)作信息是工件安置臺(tái)的移動(dòng)速度的微分值，所述預(yù)先設(shè)定的作為可否的基準(zhǔn)的動(dòng)作界限值是加減速度的動(dòng)作界限值。在該情況下，對(duì)應(yīng)于預(yù)先設(shè)定的工件的加工形狀而在利用激光射出部的激光的掃描范圍內(nèi)生成能夠?qū)⒓す膺B續(xù)地以所要的速度且等速掃描的工件安置臺(tái)的軌道以及速度，針對(duì)該生成的軌道的所要的區(qū)劃的每個(gè)區(qū)劃，將生成的速度的微分值與預(yù)先設(shè)定的作為可否的基準(zhǔn)的加減速度的動(dòng)作界限值進(jìn)行比較，如果速度的微分值為動(dòng)作界限值以下則判定為可，如果超過動(dòng)作界限值則判定為否，針對(duì)可否的各情形進(jìn)行與上述(1)的情況同樣的預(yù)定的動(dòng)作。(3)本發(fā)明還能夠進(jìn)一步構(gòu)成為具備如下工序：在所述工件的加工完成后，測(cè)量該工件中留下的實(shí)際的加工形狀，將該實(shí)際的加工形狀與所述預(yù)先設(shè)定的工件的加工形狀進(jìn)行比較，對(duì)其差分進(jìn)行校正。在該情況下，在工件的加工完成后使工件移動(dòng)到預(yù)定的位置(測(cè)量位置)，通過圖像傳感器測(cè)量工件中留下的實(shí)際的加工形狀。將該測(cè)量值的數(shù)據(jù)與作為加工條件而預(yù)先設(shè)定的工件的加工形狀的數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，計(jì)算差分。將該差分設(shè)為校正值，在接下來的加工中進(jìn)行使用了校正值的加工。由此，能夠進(jìn)一步減小信號(hào)的延遲或可動(dòng)部的機(jī)械阻力等所造成的實(shí)際的加工形狀相對(duì)預(yù)先設(shè)定的工件的加工形狀的誤差，從而提高工件的加工精度。此外，既可以針對(duì)每個(gè)工件來進(jìn)行該校正，也可以每加工多個(gè)工件來進(jìn)行該校正。(4)為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的激光加工裝置具備：激光射出部，射出激光；工件安置臺(tái)，是工件的安裝部，能夠在利用從所述激光射出部射出的激光能夠掃描的二維方向的所要范圍內(nèi)的整個(gè)區(qū)域通過驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行移動(dòng)操作；動(dòng)作信息生成部，生成如下動(dòng)作信息：對(duì)應(yīng)于預(yù)先設(shè)定的工件的加工形狀，利用激光射出部的激光的掃描范圍，生成工件安置臺(tái)的軌道以及動(dòng)作信息，以使得能夠在所述工件安置臺(tái)移動(dòng)時(shí)抑制慣性的影響并且使總移動(dòng)長(zhǎng)最短，針對(duì)該生成的軌道的所要的區(qū)劃的每個(gè)區(qū)劃，將所述動(dòng)作信息與預(yù)先設(shè)定的作為可否的基準(zhǔn)的動(dòng)作界限值進(jìn)行比較，如果該動(dòng)作信息為該動(dòng)作界限值以下則判定為可，如果超過該動(dòng)作界限值則判定為否，在所述生成的軌道的所述判定為可的區(qū)劃中，一邊根據(jù)所述動(dòng)作信息使所述工件安置臺(tái)移動(dòng)，一邊對(duì)與該區(qū)劃對(duì)應(yīng)的所述加工形狀的區(qū)間掃描激光而進(jìn)行加工，在所述判定為否的區(qū)劃中，在該區(qū)劃的移動(dòng)方向上加工到與前一區(qū)劃對(duì)應(yīng)的所述加工形狀的區(qū)間的終點(diǎn)后，在該終點(diǎn)處停止激光的射出，在停止加工的狀態(tài)下使所述工件安置臺(tái)以所要的速度移動(dòng)，移動(dòng)到所述判定為否的區(qū)劃時(shí)，從停止所述加工的地方起繼續(xù)進(jìn)行與該判定為否的區(qū)劃對(duì)應(yīng)的加工形狀的區(qū)間的加工；激光控制部，從所述驅(qū)動(dòng)部接受所述工件安置臺(tái)的位置信息，向所述激光射出部發(fā)出由所述動(dòng)作信息生成部生成的射出指令；以及動(dòng)作控制部，從所述驅(qū)動(dòng)部接受工件安置臺(tái)的位置信息，向使工件安置臺(tái)移動(dòng)的所述驅(qū)動(dòng)部發(fā)出由所述動(dòng)作信息生成部生成的動(dòng)作指令。激光加工裝置具有如下作用。首先，向動(dòng)作信息生成部輸入所需的工件的加工形狀的數(shù)據(jù)。接下來，根據(jù)所輸入的數(shù)據(jù)，通過動(dòng)作信息生成部生成驅(qū)動(dòng)工件安置臺(tái)的驅(qū)動(dòng)部的動(dòng)作信息和激光射出部的動(dòng)作信息。即，對(duì)應(yīng)于預(yù)先設(shè)定的工件的加工形狀而在利用激光射出部的激光的掃描范圍內(nèi)生成能夠?qū)⒓す膺B續(xù)地以所要的速度且等速掃描的、工件安置臺(tái)的軌道以及速度的信息。另外，生成如下動(dòng)作信息：針對(duì)生成的軌道的所要的區(qū)劃的每個(gè)區(qū)劃，將所述生成的動(dòng)作信息與預(yù)先設(shè)定的作為可否的基準(zhǔn)的動(dòng)作界限值進(jìn)行比較，如果動(dòng)作信息為所述動(dòng)作界限值以下則判定為可，如果超過動(dòng)作界限值則判定為否。在生成的軌道中，在判定為可的區(qū)劃中，一邊以作為生成的動(dòng)作信息的所要的速度使工件安置臺(tái)移動(dòng)，一邊從激光射出部射出激光，在工件上掃描，對(duì)與上述區(qū)劃對(duì)應(yīng)的加工形狀的區(qū)間進(jìn)行加工，在判定為否的區(qū)劃中，在該區(qū)劃的移動(dòng)方向上加工到與前一區(qū)劃對(duì)應(yīng)的所述加工形狀的區(qū)間的終點(diǎn)(作為下個(gè)加工起點(diǎn))后，在該終點(diǎn)(方向轉(zhuǎn)換點(diǎn))處停止激光的射出，在移動(dòng)到上述加工形狀的區(qū)間的與下個(gè)加工起點(diǎn)對(duì)應(yīng)的位置之間的工件安置臺(tái)的移動(dòng)(激光射出部的相對(duì)移動(dòng))中，不進(jìn)行利用激光的加工而從與下個(gè)區(qū)劃對(duì)應(yīng)的加工形狀的區(qū)間的起點(diǎn)開始加工。根據(jù)這些生成的動(dòng)作信息，從動(dòng)作控制部向驅(qū)動(dòng)部輸出動(dòng)作指令，從而工件安置臺(tái)移動(dòng)。另外，從驅(qū)動(dòng)部輸出表示工件安置臺(tái)的當(dāng)前位置的二維方向的信號(hào)而發(fā)送到激光控制部和動(dòng)作控制部，根據(jù)該信號(hào)依次進(jìn)行從動(dòng)作控制部向驅(qū)動(dòng)部的最佳的動(dòng)作信號(hào)的反饋，由此工件安置臺(tái)高精度地動(dòng)作。然后，向激光控制部發(fā)送基于工件安置臺(tái)的動(dòng)作的二維方向的信號(hào)，根據(jù)該信號(hào)，譬如連續(xù)地更新為在該時(shí)間點(diǎn)的動(dòng)作信息，將更新出的動(dòng)作信息依次從激光控制部輸出到激光射出部。這樣，在根據(jù)激光射出部和工件相對(duì)的且物理的移動(dòng)進(jìn)行聚光部的掃描的激光加工中，在工件安置臺(tái)的移動(dòng)速度的生成值超過生成的軌道的預(yù)先設(shè)定的作為可否的基準(zhǔn)的加減速度的動(dòng)作界限值的(負(fù)載變大的)區(qū)劃(即判定為否的區(qū)劃)中，在該區(qū)劃的移動(dòng)方向上加工到與前一區(qū)劃對(duì)應(yīng)的所述加工形狀的區(qū)間的終點(diǎn)后，在終點(diǎn)處停止激光的射出，所以直到移動(dòng)到與下個(gè)區(qū)劃(判定為否的區(qū)劃)對(duì)應(yīng)的加工形狀的區(qū)間的加工起點(diǎn)的期間中，激光射出部相對(duì)工件為相對(duì)的空走狀態(tài)。另外，在軌道中加速到預(yù)定的速度而移動(dòng)到下個(gè)區(qū)劃時(shí)，向與該區(qū)劃對(duì)應(yīng)的加工形狀的區(qū)間的加工起點(diǎn)開始射出激光，從空走前停止加工的地方(位置)起繼續(xù)進(jìn)行該區(qū)間的利用激光的加工。也就是說，能夠?qū)⒓す獾木酃獠肯鄬?duì)工件以所要的速度且恒定的速度不間斷地掃描，所以能夠高速且高品質(zhì)地進(jìn)行加工。(5)本發(fā)明還能夠構(gòu)成為所述驅(qū)動(dòng)部具有：第1驅(qū)動(dòng)軸，具有第1線性編碼器；以及第2驅(qū)動(dòng)軸，以能夠與該第1驅(qū)動(dòng)軸大約平行地移動(dòng)的方式設(shè)置于該第1驅(qū)動(dòng)軸，與所述第1驅(qū)動(dòng)軸大約正交，其中，所述工件安置臺(tái)以能夠移動(dòng)的方式設(shè)置于所述第2驅(qū)動(dòng)軸。在該情況下，能夠通過第1驅(qū)動(dòng)軸和第2驅(qū)動(dòng)軸進(jìn)行工件安置臺(tái)在二維方向的所要范圍內(nèi)的整個(gè)區(qū)域中的移動(dòng)。另外，能夠根據(jù)從第1驅(qū)動(dòng)軸所具備的第1線性編碼器和第2驅(qū)動(dòng)軸所具備的第2線性編碼器這雙方發(fā)送的信息確定工件安置臺(tái)的二維的位置。(6)本發(fā)明還能夠構(gòu)成為具備圖像傳感器，所述圖像傳感器在所述工件的加工完成后測(cè)量該工件中留下的實(shí)際的加工形狀，在所述動(dòng)作信息生成部中，將所述實(shí)際的加工形狀與所述預(yù)先設(shè)定的工件的加工形狀進(jìn)行比較，對(duì)其差分進(jìn)行校正，使用該校正值進(jìn)行由所述激光控制部進(jìn)行的所述激光射出部的控制和由所述動(dòng)作控制部進(jìn)行的所述工件安置臺(tái)的移動(dòng)控制。在該情況下，首先在工件的加工完成后使工件移動(dòng)到預(yù)定的位置(測(cè)量位置)，通過圖像傳感器測(cè)量工件中留下的實(shí)際的加工形狀。將該測(cè)量值的數(shù)據(jù)與作為加工條件而預(yù)先設(shè)定的工件的加工形狀的數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，計(jì)算差分。將該差分設(shè)為校正值，在接下來的加工中進(jìn)行使用了校正值的加工。由此，能夠進(jìn)一步減小電信號(hào)的延遲或可動(dòng)部的機(jī)械阻力等所引起的、預(yù)先設(shè)定的工件的加工形狀與實(shí)際的加工形狀的誤差，提高工件的加工精度。(7)為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的激光加工方法具備如下工序：對(duì)應(yīng)于預(yù)先設(shè)定的工件的加工形狀，利用激光射出部的激光的掃描范圍，生成工件安置臺(tái)的軌道以及動(dòng)作信息，以使得能夠在所述工件安置臺(tái)移動(dòng)時(shí)抑制慣性的影響并且使總移動(dòng)長(zhǎng)最短，針對(duì)該生成的軌道的所要的區(qū)劃的每個(gè)區(qū)劃，將所述動(dòng)作信息與預(yù)先設(shè)定的作為可否的基準(zhǔn)的動(dòng)作界限值進(jìn)行比較，如果該動(dòng)作信息為該動(dòng)作界限值以下則判定為可，如果超過該動(dòng)作界限值則判定為否；以及在所述生成的軌道的所述判定為可的區(qū)劃中，一邊根據(jù)所述動(dòng)作信息使所述工件安置臺(tái)移動(dòng)，一邊對(duì)與該區(qū)劃對(duì)應(yīng)的所述加工形狀的區(qū)間掃描激光而進(jìn)行加工，在所述判定為否的區(qū)劃中，在以該區(qū)劃所包含的方向轉(zhuǎn)換點(diǎn)為邊界的各區(qū)劃中，將在移動(dòng)方向上與前一區(qū)劃對(duì)應(yīng)的所述加工形狀的區(qū)間從起點(diǎn)加工到終點(diǎn)后，在該終點(diǎn)處停止激光的射出，在停止加工的狀態(tài)下使所述工件安置臺(tái)以所要的速度移動(dòng)，移動(dòng)到接下來的后一區(qū)劃時(shí)，從停止所述區(qū)間的加工的地方起繼續(xù)進(jìn)行與后一區(qū)劃對(duì)應(yīng)的所述加工形狀的區(qū)間的加工。在該激光加工方法中，在生成的軌道中，在判定為可的區(qū)劃中，一邊以作為生成的動(dòng)作信息的所要的速度使工件安置臺(tái)移動(dòng)，一邊從激光射出部射出激光，在工件上掃描，對(duì)與上述區(qū)劃對(duì)應(yīng)的加工形狀的區(qū)間進(jìn)行加工。另外，在軌道中，在判定為否的區(qū)劃中，在該區(qū)劃的移動(dòng)方向上從方向轉(zhuǎn)換點(diǎn)起加工到與前一區(qū)劃對(duì)應(yīng)的所述加工形狀的區(qū)間的終點(diǎn)(作為下個(gè)加工起點(diǎn))后，在終點(diǎn)(方向轉(zhuǎn)換點(diǎn))處停止激光的射出。在移動(dòng)到上述加工形狀的區(qū)間的與下個(gè)加工起點(diǎn)對(duì)應(yīng)的位置之間的工件安置臺(tái)的移動(dòng)(激光射出部的相對(duì)移動(dòng))中，不進(jìn)行利用激光的加工而為所謂空走狀態(tài)。然后，激光射出部經(jīng)過相對(duì)的空走狀態(tài)在與下個(gè)區(qū)劃(方向轉(zhuǎn)換點(diǎn)之后的區(qū)劃)對(duì)應(yīng)的加工形狀的區(qū)間的加工起點(diǎn)處達(dá)到預(yù)定的加工速度后，向加工起點(diǎn)開始射出激光，繼續(xù)進(jìn)行與下個(gè)區(qū)劃對(duì)應(yīng)的加工形狀的區(qū)間的加工。通過繼續(xù)該加工，激光的聚光部在工件上的掃描以所要的速度且相同速度(等速)不間斷地進(jìn)行，結(jié)果是對(duì)工件能夠高速地加工并且能夠高品質(zhì)地加工。本發(fā)明能夠提供一種在根據(jù)激光射出部和工件相對(duì)的且物理的移動(dòng)進(jìn)行聚光部的掃描的激光加工中，能夠通過將激光相對(duì)工件以所要的速度且等速掃描來高速且高品質(zhì)地進(jìn)行加工的激光加工方法以及激光加工裝置。附圖說明圖1是示出本發(fā)明的激光加工裝置的實(shí)施方式的說明圖。圖2是示出構(gòu)成激光加工裝置的工件安置臺(tái)的構(gòu)造并示出固定有膜的狀態(tài)的俯視說明圖。圖3是示出構(gòu)成激光加工裝置的動(dòng)作信息生成器的動(dòng)作的流程的流程圖。圖4是示出構(gòu)成激光加工裝置的驅(qū)動(dòng)軸控制器以及電掃描器的動(dòng)作的流程的流程圖。圖5是示出使用構(gòu)成激光加工裝置的圖像傳感器進(jìn)行加工形狀數(shù)據(jù)的校正的動(dòng)作的流程圖。圖6的(a)示出數(shù)據(jù)上的加工形狀的說明圖，圖6的(b)是示出針對(duì)加工形狀的區(qū)間的每個(gè)區(qū)間輸入加工條件的狀態(tài)的說明圖，圖6的(c)是示出將加工形狀細(xì)分為加工形狀數(shù)據(jù)而進(jìn)一步分類為直線和圓弧的目標(biāo)的狀態(tài)的說明圖，圖6的(d)是示出例示了點(diǎn)的目標(biāo)的狀態(tài)的說明圖。圖7的(a)是對(duì)目標(biāo)進(jìn)行了分組化的狀態(tài)的說明圖，圖7的(b)是計(jì)算出工件安置臺(tái)能夠盡可能地直線動(dòng)作的軌道的狀態(tài)的說明圖，圖7的(c)是制作出驅(qū)動(dòng)軸的動(dòng)作信息的狀態(tài)的說明圖，圖7的(d)是制作出電掃描器的動(dòng)作信息的狀態(tài)的說明圖。圖8示出工件安置臺(tái)的軌道的一個(gè)例子，是在對(duì)軌道追加空走部的情況下的工件安置臺(tái)的動(dòng)作的說明圖。(符號(hào)說明)a：激光加工裝置；1：激光振蕩器；2：激光路；3：fθ透鏡；4：電掃描器；5：頭升降機(jī)構(gòu)部；50：升降體；6：圖像傳感器；7：工件安置臺(tái)；70：臺(tái)主體；71：吸氣孔；72：大的吸附塊；72a：小的吸附塊；73：吸附孔；700：膜；74～77：加工形狀；8：x方向驅(qū)動(dòng)軸；9：x方向線性編碼器；10：y方向驅(qū)動(dòng)軸；11：y方向線性編碼器；12：x方向編碼器信號(hào)分配器；13：y方向編碼器信號(hào)分配器；14：驅(qū)動(dòng)軸控制器；15：電掃描器及激光射出控制器；16：動(dòng)作信息生成器；17：基盤；18：臺(tái)架；l1～l13：信號(hào)線。具體實(shí)施方式參照?qǐng)D1以及圖2進(jìn)一步詳細(xì)地說明本發(fā)明的實(shí)施方式。首先，說明本發(fā)明的激光加工裝置a的動(dòng)作系統(tǒng)的構(gòu)造。圖1所示的激光加工裝置a具有基盤17。在基盤17的上表面的x方向的中央，朝向y方向而固定有作為第1驅(qū)動(dòng)軸的y方向驅(qū)動(dòng)軸10。在y方向驅(qū)動(dòng)軸10，大致遍及整個(gè)長(zhǎng)度而設(shè)有作為第1線性編碼器(linearencoder)的y方向線性編碼器11。在y方向驅(qū)動(dòng)軸10上，作為第2驅(qū)動(dòng)軸的x方向驅(qū)動(dòng)軸8朝向與y方向驅(qū)動(dòng)軸10成直角的方向(x方向)且被安裝為能夠在y方向上移動(dòng)以能夠通過y方向線性編碼器11確定坐標(biāo)。在x方向驅(qū)動(dòng)軸8，大致遍及整個(gè)長(zhǎng)度而設(shè)有作為第2線性編碼器的x方向線性編碼器9。另外，在x方向驅(qū)動(dòng)軸8上，后述工件安置臺(tái)(worksettable)7被安裝為能夠在x方向上移動(dòng)以能夠通過x方向線性編碼器9確定坐標(biāo)。y方向驅(qū)動(dòng)軸10和x方向驅(qū)動(dòng)軸8構(gòu)成使工件安置臺(tái)7移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部。在基盤17的后部側(cè)設(shè)有臺(tái)架18。在臺(tái)架18上設(shè)置有激光振蕩器1。另外，在臺(tái)架18的前端設(shè)有頭升降機(jī)構(gòu)部5。在能夠控制頭升降機(jī)構(gòu)部5的升降的升降體50，固定有構(gòu)成激光射出部的電掃描器(galvanoscanner)4。關(guān)于電掃描器4，下側(cè)具有作為射出部的fθ透鏡(fθlens)3，除了fθ透鏡之外還通過反射鏡等光學(xué)系統(tǒng)掃描激光。另外，電掃描器4是單一物體，具備該掃描儀特有(獨(dú)自)的激光的掃描范圍。該特有的掃描范圍還在后面說明的、計(jì)算工件安置臺(tái)7能夠盡可能地直線地動(dòng)作的軌道時(shí)作為條件之一被用于數(shù)據(jù)輸入。在升降體50，在電掃描器4的側(cè)旁排列設(shè)置有圖像傳感器6。進(jìn)而，從激光振蕩器1延伸出連接到電掃描器4的激光路2。另外，作為使上述動(dòng)作系統(tǒng)動(dòng)作的控制系統(tǒng)，具備作為動(dòng)作控制部的驅(qū)動(dòng)軸控制器14、作為激光控制部的電掃描器及激光射出控制器15、作為動(dòng)作信息生成部的動(dòng)作信息生成器16，還具備x方向編碼器信號(hào)分配器12以及y方向編碼器信號(hào)分配器13。這些控制系統(tǒng)在控制系統(tǒng)內(nèi)以及控制系統(tǒng)與動(dòng)作系統(tǒng)之間經(jīng)由信號(hào)線進(jìn)行指令信號(hào)(控制信號(hào))的發(fā)送接收。以下，進(jìn)一步詳細(xì)地說明。首先，從驅(qū)動(dòng)軸控制器14經(jīng)由信號(hào)線l1向y方向驅(qū)動(dòng)軸10發(fā)送y方向驅(qū)動(dòng)軸控制指令，經(jīng)由信號(hào)線l2向x方向驅(qū)動(dòng)軸8發(fā)送x方向驅(qū)動(dòng)軸控制指令。從y方向線性編碼器11經(jīng)由信號(hào)線l3向y方向編碼器信號(hào)分配器13發(fā)送y方向編碼器信號(hào)，y方向編碼器信號(hào)經(jīng)由信號(hào)線l4、l5被分配給驅(qū)動(dòng)軸控制器14和電掃描器及激光射出控制器15。從x方向線性編碼器9經(jīng)由信號(hào)線l6向x方向編碼器信號(hào)分配器12發(fā)送x方向編碼器信號(hào)，x方向編碼器信號(hào)經(jīng)由信號(hào)線l7、l8被分配給驅(qū)動(dòng)軸控制器14和電掃描器及激光射出控制器15。從電掃描器及激光射出控制器15經(jīng)由信號(hào)線l9向電掃描器4發(fā)送電掃描器控制指令，經(jīng)由信號(hào)線l10向激光振蕩器1發(fā)送激光射出指令。另外，從圖像傳感器6經(jīng)由信號(hào)線l11向動(dòng)作信息生成器16發(fā)送圖像信息。該圖像信息經(jīng)由信號(hào)線l12被發(fā)送到電掃描器及激光射出控制器15，經(jīng)由信號(hào)線l13被發(fā)送到驅(qū)動(dòng)軸控制器14。接下來，參照?qǐng)D2說明激光加工裝置a中采用的工件安置臺(tái)7。工件安置臺(tái)7將膜或片材等作為加工對(duì)象物的工件吸附而固定。一般而言，在激光加工裝置的臺(tái)，為了抑制在對(duì)固定的工件進(jìn)行切割時(shí)加工點(diǎn)處切入的激光的反射帶來的影響，工件的加工的地方需要在懸浮的狀態(tài)下保持。通常使用上表面設(shè)有與工件的加工的部分(加工形狀)對(duì)應(yīng)的形狀的槽的臺(tái)。然而，工件的加工形狀是各種各樣的，如果預(yù)先制作具有與它們對(duì)應(yīng)的槽形狀的臺(tái)并管理它們，則除了費(fèi)工夫之外，成本上也負(fù)擔(dān)重。激光加工裝置a具備的工件安置臺(tái)7具有四邊形的臺(tái)主體70，在其表面大致遍及整個(gè)面而設(shè)有許多吸氣孔71。另外，在臺(tái)主體70的表面適當(dāng)排列地可拆裝地固定有吸附塊72、72a，該吸附塊72、72a為大小不同的四邊形并具有相同厚度。大的吸附塊72和小的吸附塊72a例如排列成圖2所示那樣。由此，通過從設(shè)于各吸附塊72、72a的上表面并與上述吸氣孔71相通的吸附孔73吸氣，能夠以使加工部從臺(tái)主體70的表面懸浮的狀態(tài)吸附工件。另外，通過固定各吸附塊72、72a，能夠通過低一級(jí)的處于臺(tái)主體70的表面的各吸氣孔71將由激光加工產(chǎn)生的工件的氣化物等吸入而排除。此外，在該例子中，在作為工件并在圖2中用虛線表示的膜700中設(shè)定有與各吸附塊72對(duì)應(yīng)的用點(diǎn)劃線表示的四邊形的加工形狀74、與兩個(gè)吸附塊72a為一組對(duì)應(yīng)的四邊形的加工形狀75、與十二個(gè)吸附塊72a對(duì)應(yīng)的十字形的加工形狀76以及同樣與十二個(gè)吸附塊72a對(duì)應(yīng)的圓形的加工形狀77。在此，參照?qǐng)D1說明激光加工裝置a的動(dòng)作的概略。激光加工裝置a構(gòu)成為能夠通過使用掃描速度和基于工件安置臺(tái)的移動(dòng)得到的移動(dòng)速度的合成速度來進(jìn)行激光針對(duì)加工對(duì)象物的掃描，該掃描速度是利用作為射出部的電掃描器4的激光的掃描速度。(1)向動(dòng)作信息生成器16輸入所需的加工形狀的數(shù)據(jù)。(2)根據(jù)所輸入的數(shù)據(jù)，通過動(dòng)作信息生成器16生成基于電掃描器4的相對(duì)移動(dòng)的軌道、基于此的x方向驅(qū)動(dòng)軸8和y方向驅(qū)動(dòng)軸10的動(dòng)作信息以及電掃描器4的動(dòng)作信息。(3)根據(jù)這些動(dòng)作信息，從驅(qū)動(dòng)軸控制器14向x方向驅(qū)動(dòng)軸8和y方向驅(qū)動(dòng)軸10輸出動(dòng)作指令，從電掃描器及激光射出控制器15向電掃描器4輸出動(dòng)作指令。(4)根據(jù)動(dòng)作指令，工件安置臺(tái)7移動(dòng)，將表示其當(dāng)前位置的x方向、y方向的編碼器信號(hào)從x方向線性編碼器9以及y方向線性編碼器11輸出。(5)x方向、y方向的編碼器信號(hào)通過x方向編碼器信號(hào)分配器12、y方向編碼器信號(hào)分配器13分配而輸出到驅(qū)動(dòng)軸控制器14和電掃描器及激光射出控制器15。(6)根據(jù)x方向、y方向的編碼器信號(hào)，依次進(jìn)行從驅(qū)動(dòng)軸控制器14向x方向驅(qū)動(dòng)軸8和y方向驅(qū)動(dòng)軸10的最佳的動(dòng)作信號(hào)的反饋，工件安置臺(tái)7高精度地動(dòng)作。(7)向電掃描器及激光射出控制器15發(fā)送基于工件安置臺(tái)7的動(dòng)作的x方向、y方向的編碼器信號(hào)，根據(jù)該x方向、y方向的編碼器信號(hào)，譬如連續(xù)地更新為在該時(shí)間點(diǎn)的動(dòng)作信息，將更新出的動(dòng)作信息依次輸出到電掃描器4以及激光振蕩器1而進(jìn)行激光加工。(8)對(duì)一個(gè)工件進(jìn)行加工直至完成后，通過圖像傳感器6測(cè)量已加工工件的加工位置而輸出到動(dòng)作信息生成器16。(9)在動(dòng)作信息生成器16中，計(jì)算由于電信號(hào)延遲等產(chǎn)生的、所輸入的加工形狀與實(shí)際的加工形狀的差，進(jìn)行動(dòng)作信號(hào)的校正，提高接下來的加工的精度。接下來，參照?qǐng)D1至圖8，以使用激光加工裝置a而工件是合成樹脂制的膜的情況為例，詳細(xì)地說明在將膜切割成所要形狀的情況下的裝置的作用以及加工方法。首先，將四邊形的膜700等工件載放到工件安置臺(tái)7，輸入(開關(guān)或來自外部的電信號(hào)輸入)用于固定工件的信號(hào)。由此，使負(fù)壓產(chǎn)生于與設(shè)于工件安置臺(tái)7的吸氣孔71連接的配管，從塊72、72a的吸附孔73吸氣，從而將工件吸附而固定。此后，為了防止激光的暴露，關(guān)閉激光加工裝置a具備的蓋體(省略圖示)以確保安全。接下來，在輸入加工開始的信號(hào)時(shí)，各控制器向各設(shè)備發(fā)送動(dòng)作指令，各設(shè)備開始動(dòng)作。以下，關(guān)于加工作業(yè)的動(dòng)作流程，參照?qǐng)D3、圖4以及圖5。此外，說明中附加<>編號(hào)的說明對(duì)應(yīng)于這些圖中示出的編號(hào)。<1>加工形狀數(shù)據(jù)的制作和輸入(手工作業(yè))在動(dòng)作信息生成器16(一般是個(gè)人計(jì)算機(jī))的軟件的畫面中，輸入希望對(duì)工件進(jìn)行加工(例如切割)的加工形狀的線(有時(shí)還包括1維的點(diǎn))。輸入時(shí)，選擇點(diǎn)、直線或曲線、圓形、矩形等各種目標(biāo)而制作二維的圖形(參照?qǐng)D6(a))。此外，該圖形是為了說明而例示的，所以與上述圖2中例示的加工形狀74～77不同。另外，也可以導(dǎo)入通過cad(computer-aideddesign，計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì))系統(tǒng)等預(yù)先制作出的二維的設(shè)計(jì)圖數(shù)據(jù)。進(jìn)而，為了對(duì)工件與工件安置臺(tái)7的相對(duì)的位置偏移進(jìn)行校正，在工件上預(yù)先設(shè)有標(biāo)記(省略圖示：通過印刷或成膜、其它處理而成)的情況下需要圖像傳感器6檢測(cè)其位置，所以還設(shè)定其坐標(biāo)。<2>加工條件輸入(手工作業(yè))對(duì)上述<1>中制作出的二維的加工形狀數(shù)據(jù)設(shè)定加工時(shí)所需的加工速度、重復(fù)頻率(振蕩頻率)以及加工點(diǎn)輸出(激光輸出)的加工條件并輸入到動(dòng)作信息生成器16(參照?qǐng)D6(b))。關(guān)于該加工條件的設(shè)定，能夠針對(duì)制作出的加工形狀的線段的各區(qū)間的每個(gè)區(qū)間指定而輸入。此外，預(yù)先設(shè)定了激光加工裝置a的能力上的限制值(電掃描器4的掃描范圍、速度、工件安置臺(tái)7的最大速度以及加減速度的動(dòng)作界限值等)。另外，上述加工點(diǎn)輸出是指從激光振蕩器1射出的激光經(jīng)由光學(xué)系統(tǒng)到達(dá)工件而實(shí)際對(duì)加工貢獻(xiàn)的激光的每1秒的能量。該能量通常在光學(xué)系統(tǒng)中發(fā)生一定的衰減，所以在設(shè)定時(shí)考慮這一點(diǎn)。<3>加工形狀數(shù)據(jù)的分類(預(yù)備驗(yàn)證的準(zhǔn)備工序)對(duì)由上述<1>中輸入的線段構(gòu)成的加工形狀數(shù)據(jù)進(jìn)行細(xì)分，分類成點(diǎn)、直線和圓弧這三種目標(biāo)(參照?qǐng)D6(c)、(d))。此外，圖6(d)中除了示出圖6(c)所示的直線和圓弧的目標(biāo)，還在三個(gè)地方例示了點(diǎn)的目標(biāo)。接下來，按照每個(gè)電掃描器4的對(duì)應(yīng)區(qū)的范圍將這些目標(biāo)分組化。在1個(gè)目標(biāo)超過電掃描器4的對(duì)應(yīng)范圍(對(duì)應(yīng)區(qū))的情況下，不分組化而使該目標(biāo)單獨(dú)地存在(參照?qǐng)D7(a))。<4>預(yù)備驗(yàn)證事先預(yù)備地驗(yàn)證可否對(duì)應(yīng)于加工形狀。在分別配置了上述<3>中制作出的目標(biāo)的分組以及單獨(dú)的目標(biāo)的狀態(tài)下，判斷出作為驅(qū)動(dòng)設(shè)備的y方向驅(qū)動(dòng)軸10和x方向驅(qū)動(dòng)軸8等的動(dòng)作負(fù)載大的地方，簡(jiǎn)單地將目標(biāo)分組以及單獨(dú)目標(biāo)收斂到電掃描器4的對(duì)應(yīng)范圍，并且計(jì)算工件安置臺(tái)7能夠盡可能地直線地動(dòng)作的軌道(參照?qǐng)D7(b))。這樣，生成能夠在電掃描器4的掃描范圍內(nèi)以所要的速度且連續(xù)地以等速掃描激光的、工件安置臺(tái)7的軌道以及移動(dòng)速度。此外，如果能夠通過該自動(dòng)處理完成掃描的指令，則能夠?qū)崿F(xiàn)在處理時(shí)間、加工品質(zhì)方面優(yōu)良的處理。然后，將在直線之間的方向轉(zhuǎn)換量與驅(qū)動(dòng)設(shè)備的預(yù)先設(shè)定的動(dòng)作界限值進(jìn)行比較，判定可否以等速進(jìn)行掃描。即，針對(duì)生成的軌道的所要的區(qū)劃的每個(gè)區(qū)劃，將生成的速度的微分值與預(yù)先設(shè)定的作為可否的基準(zhǔn)的加減速度的動(dòng)作界限值進(jìn)行比較，如果速度的微分值為動(dòng)作界限值以下則判定為可，如果超過動(dòng)作界限值則判定為否。此外，作為可否的基準(zhǔn)的動(dòng)作界限值是根據(jù)驅(qū)動(dòng)設(shè)備具有的加減速度、制定時(shí)間、振動(dòng)等設(shè)定的，所以事先輸入該動(dòng)作界限值。另外，動(dòng)作界限是指工件安置臺(tái)7的調(diào)整速、制定時(shí)間無法對(duì)應(yīng)預(yù)先設(shè)定的掃描速度的情況。<5>空走距離以及位置信息的計(jì)算在上述<4>的預(yù)備驗(yàn)證中，計(jì)算在生成的軌道的、被判定為并非以所要的速度及等速進(jìn)行掃描的區(qū)劃中工件安置臺(tái)7的空走路徑、距離(電掃描器4的相對(duì)的空走路徑、距離)以及對(duì)激光進(jìn)行導(dǎo)通/斷開(on/off)的位置的信息。然后，在上述判定為否的區(qū)劃中，在移動(dòng)方向上在與其前一區(qū)劃對(duì)應(yīng)的加工形狀的區(qū)間中加工到終點(diǎn)后，電掃描器4從該終點(diǎn)向下個(gè)區(qū)間(與判定為否的區(qū)劃對(duì)應(yīng)的加工形狀的區(qū)間)的加工起點(diǎn)相對(duì)地移動(dòng)的期間中，在不射出激光的狀態(tài)下以所要的速度移動(dòng)、即相對(duì)地空走來應(yīng)對(duì)。<6-a>驅(qū)動(dòng)軸動(dòng)作信息的制作(自動(dòng)處理)將上述<1>中制作出的加工形狀的二維的線段的數(shù)據(jù)變換為一定間隔的點(diǎn)數(shù)據(jù)。將這些點(diǎn)以電掃描器能夠?qū)?yīng)的區(qū)域的例如1/4～1/2的范圍圍住而分組化。根據(jù)各點(diǎn)的坐標(biāo)計(jì)算分組化得到的點(diǎn)數(shù)據(jù)的重心位置。穿過所得到的所有重心位置，計(jì)算總移動(dòng)長(zhǎng)為最短的線(直線、或者如果是曲線則是曲率大而更接近直線的線)。此外，在此所說的總移動(dòng)長(zhǎng)是指工件安置臺(tái)7在以工件為單位的一次加工中移動(dòng)的長(zhǎng)度的整個(gè)長(zhǎng)。換言之是指電掃描器4在以工件為單位的一次加工中相對(duì)工件相對(duì)地移動(dòng)的長(zhǎng)度的整個(gè)長(zhǎng)。將該線設(shè)為工件安置臺(tái)動(dòng)作的軌道信息(參照?qǐng)D7(c))。由此，能夠抑制或者減少工件安置臺(tái)7動(dòng)作時(shí)的慣性的影響。然后，根據(jù)在分組內(nèi)存在的點(diǎn)的數(shù)量而得到加工長(zhǎng)，將加工長(zhǎng)除以加工速度，從而求出在該分組內(nèi)所容許的所要時(shí)間。另外，根據(jù)重心位置之間的距離和所要時(shí)間，得到用于使工件安置臺(tái)7移動(dòng)的速度信息。<6-b>電掃描器動(dòng)作信息的制作(自動(dòng)處理)電掃描器4以加工形狀數(shù)據(jù)為最小單位對(duì)近似為點(diǎn)、直線、圓弧的形狀進(jìn)行識(shí)別。將不屬于圓弧的曲線等處理為短的直線的連接之后，設(shè)定激光加工的起點(diǎn)位置和終點(diǎn)位置(參照?qǐng)D7(d))。關(guān)于該起點(diǎn)位置和終點(diǎn)位置，作為激光的射出信息并且還反映于驅(qū)動(dòng)軸動(dòng)作信息，動(dòng)作上的起點(diǎn)位置和終點(diǎn)位置是共同的。<7-a>輸出驅(qū)動(dòng)軸動(dòng)作信息從動(dòng)作信息生成器16向驅(qū)動(dòng)軸控制設(shè)備14輸出x方向驅(qū)動(dòng)軸8和y方向驅(qū)動(dòng)軸10的動(dòng)作信息。<7-b>輸出電掃描器動(dòng)作信息以及激光射出信息從電掃描器及激光射出控制器15向電掃描器4輸出電掃描器動(dòng)作指令，向激光振蕩器1輸出激光射出指令。參照?qǐng)D4。<8-a>驅(qū)動(dòng)軸控制指令的生成(自動(dòng)處理)向驅(qū)動(dòng)軸控制器14寫入初始的動(dòng)作信息，接受作為工件安置臺(tái)7的當(dāng)前位置的從x方向線性編碼器9以及y方向線性編碼器11輸出的信號(hào)的同時(shí)，根據(jù)該信號(hào)生成恰當(dāng)?shù)?或者最佳的)驅(qū)動(dòng)軸控制信號(hào)，依次進(jìn)行向作為驅(qū)動(dòng)部的x方向驅(qū)動(dòng)軸8和y方向驅(qū)動(dòng)軸10的反饋。由此，工件安置臺(tái)7高精度地動(dòng)作。<8-b>電掃描器以及激光射出控制指令的生成(自動(dòng)處理)向驅(qū)動(dòng)軸控制器14寫入初始的動(dòng)作信息，減去根據(jù)編碼器信號(hào)得到的工件安置臺(tái)7的當(dāng)前位置的同時(shí)生成控制指令。在電掃描器及激光射出控制器15中，將在此生成的指令識(shí)別為初始值，該初始值為與工件的基準(zhǔn)位置的相對(duì)的值。另外，在動(dòng)作途中伴隨工件安置臺(tái)7的移動(dòng)，工件的基準(zhǔn)位置移動(dòng)，從而與激光的照射位置(激光側(cè)的基準(zhǔn)位置)的距離相對(duì)地變動(dòng)，所以以減去該量為前提，采納比電掃描器4的對(duì)應(yīng)范圍大的指令值。更詳細(xì)而言，將基于從x方向線性編碼器9以及y方向線性編碼器11輸出為電信號(hào)的編碼器信號(hào)的工件安置臺(tái)7的當(dāng)前位置信息輸入到驅(qū)動(dòng)軸控制器14以及電掃描器及激光射出控制器15。在驅(qū)動(dòng)軸控制器14中，為了按照工件安置臺(tái)7的設(shè)定的軌道以及速度條件那樣高精度地動(dòng)作，一邊與當(dāng)前位置信息比較一邊抵消動(dòng)作時(shí)的慣性、整體的熱膨脹等的影響而控制x方向驅(qū)動(dòng)軸8和y方向驅(qū)動(dòng)軸10的馬達(dá)動(dòng)作。另一方面，電掃描器及激光射出控制器15接受工件安置臺(tái)7的當(dāng)前位置信息，將連續(xù)地從初始的動(dòng)作指令信息減去工件的基準(zhǔn)位置與激光側(cè)的基準(zhǔn)位置的相對(duì)的差而得到的指令輸出到電掃描器4以及激光振蕩器1而進(jìn)行加工。<9-a>驅(qū)動(dòng)軸控制指令輸出從驅(qū)動(dòng)軸控制器14向x方向驅(qū)動(dòng)軸8和y方向驅(qū)動(dòng)軸10輸出控制指令。<9-b>電掃描器控制指令輸出從電掃描器及激光射出控制器15向電掃描器4輸出控制指令。<9-c>激光射出控制指令輸出從電掃描器及激光射出控制器15向激光振蕩器1輸出控制指令。<10-a>工件安置臺(tái)動(dòng)作通過上述<9-a>，工件安置臺(tái)7在所要的軌道上動(dòng)作。<10-b>電掃描器動(dòng)作通過上述<9-b>，進(jìn)行來自電掃描器4的激光的射出以及停止。<10-c>激光射出通過上述<9-c>，激光被射出，經(jīng)由激光路2被發(fā)送到電掃描器4。各設(shè)備的動(dòng)作開始，根據(jù)編碼器信號(hào)，對(duì)工件設(shè)定的加工起點(diǎn)進(jìn)入電掃描器4的對(duì)應(yīng)范圍內(nèi)時(shí)，通過電掃描器4朝向作為工件的加工起點(diǎn)的位置射出激光，進(jìn)行加工。此外，在生成的軌道中，判定為可的區(qū)劃(圖8中圓弧形狀的區(qū)劃1)中，一邊以生成的所要的速度使電掃描器4相對(duì)工件相對(duì)地移動(dòng)，一邊從電掃描器4射出激光，在工件上掃描，對(duì)與上述區(qū)劃1對(duì)應(yīng)的加工形狀的區(qū)間進(jìn)行加工。在工件安置臺(tái)7移動(dòng)的軌道中，在判定為否(超過動(dòng)作界限的)的區(qū)劃(圖8中直線狀的區(qū)劃5、9)中，在各自的起點(diǎn)側(cè)將按移動(dòng)方向順序由減速區(qū)間(直線狀的區(qū)間2、6)、連結(jié)區(qū)間(直線狀的區(qū)間3、7)以及加速區(qū)間(直線狀的區(qū)間4、8)構(gòu)成的空走部追加到軌道。另外，在判定為否的區(qū)劃是區(qū)劃5的情況下，判定為可的區(qū)劃1在移動(dòng)方向上為前一區(qū)劃，在判定為否的區(qū)劃是區(qū)劃9的情況下，判定為否的區(qū)劃5在移動(dòng)方向上為前一區(qū)劃。進(jìn)而，說明判定為否的區(qū)劃5、9的關(guān)系，以作為區(qū)劃5的終點(diǎn)的方向轉(zhuǎn)換點(diǎn)為邊界，區(qū)劃5是前一區(qū)劃，區(qū)劃9是后一區(qū)劃。此外，區(qū)劃1的終點(diǎn)以及區(qū)劃5的終點(diǎn)是方向轉(zhuǎn)換點(diǎn)。參照?qǐng)D8來說明。通過電掃描器4用激光對(duì)與區(qū)劃1對(duì)應(yīng)的加工形狀的區(qū)間進(jìn)行加工后，在其終點(diǎn)停止激光，進(jìn)行各區(qū)間2、3、4的空走，在加速區(qū)間4中加速而達(dá)到所要速度，繼而從與區(qū)劃5對(duì)應(yīng)的加工形狀的起點(diǎn)開始射出激光而開始加工。然后，加工到與區(qū)劃5對(duì)應(yīng)的加工形狀的終點(diǎn)后，在終點(diǎn)處停止激光，進(jìn)行各區(qū)間6、7、8的空走，在加速區(qū)間8中加速而達(dá)到所要速度，繼而從與區(qū)劃9對(duì)應(yīng)的加工形狀的起點(diǎn)開始射出激光而開始加工，加工到與區(qū)劃1對(duì)應(yīng)的加工形狀的起點(diǎn)(加工起點(diǎn))。通過繼續(xù)上述加工，以所要的速度且相同速度(等速)不間斷地進(jìn)行激光在工件上的掃描，結(jié)果是對(duì)工件能夠高速地加工并且能夠高品質(zhì)地加工。此外，圖8中示出了工件安置臺(tái)7的軌道和工件上的加工形狀的整體重疊的情況，不過當(dāng)然有產(chǎn)生稍許偏移而雙方的整體不重疊的情況。這樣，工件安置臺(tái)7在預(yù)先設(shè)定的軌道上以加工速度條件以下的移動(dòng)速度變速地移動(dòng)的同時(shí)，通過從電掃描器4射出的激光而在工件上被掃描。其中，在直至工件安置臺(tái)7的加工起點(diǎn)對(duì)應(yīng)部為止的移動(dòng)以及加工形狀為不連續(xù)而下個(gè)加工起點(diǎn)處于電掃描器4的對(duì)應(yīng)范圍之外的情況下，以所要的速度(例如預(yù)先設(shè)定的工件安置臺(tái)7的最大速度)使工件安置臺(tái)7移動(dòng)。然后，電掃描器4按照所設(shè)定的加工形狀相對(duì)地追隨激光的照射位置而對(duì)移動(dòng)的膜進(jìn)行加工，在從加工起點(diǎn)到加工終點(diǎn)之間以所設(shè)定的加工速度、即等速在激光加工不間斷的狀態(tài)下進(jìn)行加工。<11.加工完成>在加工完成后，停止利用電掃描器4的激光的照射。之后，工件安置臺(tái)7移動(dòng)到固定工件的初始位置。<12>利用圖像傳感器進(jìn)行的加工對(duì)象物的位置校正在固定于工件安置臺(tái)7的工件相對(duì)工件安置臺(tái)7有位置偏移的情況下，通過圖像傳感器6讀取設(shè)于膜上的標(biāo)記(省略圖示)的位置，檢測(cè)工件的位置而在下次的加工中校正其差分。具體而言，在加工開始前，使工件安置臺(tái)7移動(dòng)到圖像傳感器6能夠拍攝標(biāo)記的位置，圖像傳感器6檢測(cè)標(biāo)記，測(cè)量相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)的位置的平面上的xyθ方向的偏移量，將加工形狀數(shù)據(jù)補(bǔ)償(抵消、校正)偏移量的量。此外，從排除旋轉(zhuǎn)方向的偏移的意思上來看，優(yōu)選的是設(shè)定標(biāo)記的位置為2點(diǎn)以上。參照?qǐng)D5。<13>使用圖像傳感器的指令延遲等的校正在激光加工中，實(shí)際上由于動(dòng)作相對(duì)指令的延遲等，有時(shí)產(chǎn)生被照射激光的位置與所設(shè)定的形狀的差異。因此在加工完成后通過圖像傳感器6測(cè)量實(shí)際加工的工件的加工位置(切割位置)。即，使工件安置臺(tái)7移動(dòng)到圖像傳感器6能夠拍攝的位置(圖5-1)，進(jìn)行所設(shè)定的加工位置的測(cè)量(圖5-2)，向動(dòng)作信息生成器16輸入測(cè)量值(圖5-3)。將(圖5-1)～(圖5-3)重復(fù)與測(cè)量值對(duì)應(yīng)的量。此外，測(cè)量位置能夠設(shè)置多個(gè)點(diǎn)，該點(diǎn)數(shù)量越多則精度越提高。然后，對(duì)制作出的加工形狀數(shù)據(jù)與所得到的實(shí)際的切割位置的測(cè)量值進(jìn)行比較，計(jì)算x方向、y方向的差分(圖5-4)，不僅在測(cè)量位置，而且在測(cè)量位置之間也傾斜性地(成比例地)連續(xù)分配該量，并從制作出的加工形狀的數(shù)據(jù)減去，從而求出校正值(圖5-5)。在下次加工中使用該校正值來減少誤差。本說明書以及權(quán)利要求書中使用的用語和表現(xiàn)僅僅是為了說明而不作任何限定，意圖并非將本說明書以及權(quán)利要求書所記載的特征以及與其一部分等價(jià)的用語、表現(xiàn)除外。另外，當(dāng)然能夠在本發(fā)明的技術(shù)思想的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變形方案。當(dāng)前第1頁12當(dāng)前第1頁12