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激光加工罩的制作方法

文檔序號:3085907閱讀:382來源:國知局
激光加工罩的制作方法
【專利摘要】一種激光加工罩,包括:一金屬罩,其為中空的半球形,該金屬罩的中間部位開有一用于固定激光頭的圓孔,側(cè)壁上開有多個可視窗口;多個護目鏡片,其固定在金屬罩上的可視窗口上。本發(fā)明通過采用這種激光加工罩,可使視場明亮,所述可視窗口的鏡片對1064nm波長激光束的透過率達到10-7量級,達到人眼的安全防護閥值以下,能有效的保護人眼,并且這種激光加工罩制造工藝簡單,大大降低生產(chǎn)成本。
【專利說明】激光加工罩【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種激光加工附屬裝備,進一步涉及一種針對1064nm特定波長的激
光加工罩。
【背景技術(shù)】
[0002]Nd =YAG固體激光器是應(yīng)用廣泛的一類激光器,其激光波長為1064nm,激光已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于軍事、工業(yè)加工和醫(yī)療美容方面,但激光對人的眼睛的傷害較大,可對眼睛的不同部位造成損傷。波長不同的激光對眼睛進行短時間強烈照射時會引起角膜或視網(wǎng)膜灼傷,若眼睛經(jīng)常受到的曝光量超過一定的限度則還可能引起角膜炎、晶狀體混濁及視網(wǎng)膜損傷。
[0003]激光對眼睛的損害主要是在眼部組織每單位體積吸收能量最多的部位。當激光發(fā)射波長在可見光和近紅外光譜范圍內(nèi)(0.4iim-1.4iim)時,可能引起視網(wǎng)膜損傷。激光直接或經(jīng)鏡面反射后進入眼睛的這部分波長的光可在視網(wǎng)膜上會聚成一個很小的圖像。由于角膜和晶狀體的會聚效應(yīng),經(jīng)由角膜射入的激光到達視網(wǎng)膜時的強度將增加100000倍。在紫外線和遠紅外光譜范圍內(nèi)的激光對眼部的影響主要在角膜。但某些波長的激光也可能到達晶狀體并對其結(jié)構(gòu)造成損傷。波長范圍在180nm-315nm具有光化學性的紫外射線可被角膜吸收。這些波長的光會對角膜造成損傷。在可見光波長400nm-780nm范圍內(nèi)的輻射及近紅外波長780nm-1400nm范圍的輻射可穿過眼中的介質(zhì)到達視網(wǎng)膜而強度損失很小,這些光線在視網(wǎng)膜上會聚的光斑直徑在10 u m-20 u m。這種會聚產(chǎn)生的強度足可以損傷視網(wǎng)膜。因此波長范圍在400nml400nm為視 網(wǎng)膜危險區(qū)。若角膜經(jīng)常受400nm550nm的曝光或持續(xù)曝光時間達數(shù)分鐘或數(shù)小時則是非常危險的。
[0004]為了保護眼睛不受這種波長激光的傷害。一些國家、特別是發(fā)達國家,對保護這種波長激光的眼鏡進行了一些研究和生產(chǎn)。申請?zhí)枮閆L87108246.2的中國專利公開了一種全反射激光防護鏡,它包括玻璃鏡片和鏡罩,上述玻璃鏡片由三部分構(gòu)成:a、K9玻璃平基片山、交替蒸發(fā)于基片上的硫化鋅氟化鎂膜層共1019層;c、K9玻璃平蓋片復(fù)蓋于膜層上面,或者將交替蒸發(fā)硫化鋅氟化鎂膜層9-18層的介質(zhì)膜蓋片復(fù)蓋于膜層上面。此種鏡片主要是靠反射來起到保護眼睛的作用,但通過發(fā)射會產(chǎn)生更多的污染光源,在保護自己的同時,卻傷害了別人,并且其沒有針對性。
[0005]申請?zhí)枮閆L00232733.3的中國專利公開了一種1.06mn激光防護鏡片,是由透明基底制成的,其特征在于用透明鋼化磷酸鹽玻璃作基底,在它的一側(cè)按常規(guī)電子束蒸發(fā)或高頻濺射方式真空鍍膜氧化鋯(ZrO2)和二氧化硅(SiO2),兩者交替相間蒸鍍25層以上,將鍍膜的一側(cè)朝向人眼裝配在鏡架上。此種鏡片雖然通過激光的衰減來保護眼睛,但是其制造工藝復(fù)雜,需要交替相間蒸鍍25層以上,并且保護效果有待進一步改良。
[0006]并且現(xiàn)有技術(shù)中,為了避免使用激光波長1064nm波長的激光加工設(shè)備時,一般會建立一個獨立的加工車間,從而防止在激光加工過程中,激光的光通過放射、直射或者漫反射等傷害到人眼。但這樣做是一種對空間的浪費,且操作激光器的人員還要單獨的佩戴昂貴的護目鏡,增加了勞動成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]為了進一步改進上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷,本發(fā)明提供了一種能有效對1064nm波長的激光起到防護作用的激光加工罩,通過采用這種激光加工罩,可使視場明亮,所述可視窗口的鏡片對1064nm波長激光束的透過率達到10_7量級,達到人眼的安全防護閥值以下,能有效的保護人眼,并且這種激光加工罩制造工藝簡單,大大降低生產(chǎn)成本。
[0008]本發(fā)明提供一種激光加工罩,包括:
[0009]一金屬罩,其為中空的半球形,該金屬罩的中間部位開有一用于固定激光頭的圓孔,側(cè)壁上開有多個可視窗口 ;
[0010]多個護目鏡片,其固定在金屬罩上的可視窗口上。
[0011]本發(fā)明的有益效果是,通過采用這種激光加工罩,可使視場明亮,所述可視窗口的鏡片對1064nm波長激光束的透過率達到107量級,達到人眼的安全防護閥值以下,能有效的保護人眼,并且這種激光加工罩制造工藝簡單,大大降低生產(chǎn)成本。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚明白,以下結(jié)合具體實施例,并參照附圖,對本發(fā)明進一步詳細說明,其中:
[0013]圖1本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0014]圖2本發(fā)明的針對1064nm特定波長的激光護目鏡片的截面結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0015]請參閱圖1及圖2所示,本發(fā)明提供提供一種激光加工罩,其包括:
[0016]一金屬罩1,其為中空的半球形,該金屬罩I的中間部位開有一用于固定激光頭3的圓孔11,側(cè)壁上開有多個可視窗口 12 ;
[0017]—多個護目鏡片2,其固定在金屬罩I上的可視窗口 12上。
[0018]所述護目鏡片2的結(jié)構(gòu)為:基片21,所述基片21的材料為透明鋼化磷酸鹽玻璃,厚度為1.0-1.2mm。該基片21在朝向激光A的一面用高頻濺射的方法真空鍍第一鍍膜22,所述第一鍍膜22的材料為氧化鋯和二氧化硅交替濺射結(jié)構(gòu),兩者交替蒸鍍層數(shù)為3-6,每一層的厚度為400-500nm。在鍍膜22上采用機械壓合并經(jīng)抽真空處理的方法覆蓋第一蓋片25,第一蓋片25由K9玻璃制成,其厚度為0.81.6mm。在朝向人眼B的一面采用高頻濺射的方法真空鍍第二鍍膜23,所述第二鍍膜23的材料為氧化鋯和二氧化硅交替濺射結(jié)構(gòu),兩者交替蒸鍍層數(shù)為510,每一層的厚度為200300nm。在第二鍍膜23上采用電子束蒸發(fā)的方法,蒸鍍第三鍍膜24,所述第三鍍膜24的材料為硫化鋅和氟化鎂交替濺射結(jié)構(gòu),兩者交替蒸鍍層數(shù)為69層,每層厚度為200300nm。在第三鍍膜24上采用機械壓合并經(jīng)抽真空處理的方法覆蓋第二蓋片26,第二蓋片26由防激光PC材料制成,其厚度為1.01.5mm。之后在所述護目鏡片周邊用透明密封膠固定密封;所述激光加工罩內(nèi)部,圍繞著所述激光頭設(shè)置多個照明燈,其亮度由設(shè)置于激光加工罩外部的控制按鈕來調(diào)節(jié);照明燈電源由外設(shè)電源提供;所述可視窗口在圍繞所述激光加工罩上設(shè)置4個。通過采用這種激光加工罩,可使視場明亮,所述可視窗口的鏡片對1064nm波長激光束的透過率達到10_7量級,達到人眼的安全防護閥值以下,能有效的保護人眼。
[0019]以上所述的具體實施例,對本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進行了進一步詳細說明,所應(yīng)理解的是,以上所述僅為本發(fā)明的具體實施例而已,并不用于限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所做的任何修改、等同替換、改進等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種激光加工罩,包括: 一金屬罩,其為中空的半球形,該金屬罩的中間部位開有一用于固定激光頭的圓孔,側(cè)壁上開有多個可視窗口; 多個護目鏡片,其固定在金屬罩上的可視窗口上。
2.如權(quán)利要求1所述的激光加工罩,其中所述護目鏡片的結(jié)構(gòu)為: 一基片,該基片在朝向激光的一面用高頻濺射的方法真空鍍第一鍍膜,在第一鍍膜上采用機械壓合并經(jīng)抽真空處理的方法覆蓋第一蓋片;在朝向人眼的一面采用高頻濺射的方法真空鍍第二鍍膜,在第二鍍膜上采用電子束蒸發(fā)的方法,蒸鍍第三鍍膜,在第三鍍膜上采用機械壓合并經(jīng)抽真空處理的方法覆蓋第二蓋片。
3.如權(quán)利要求1所述的激光加工罩,其中所述第一鍍膜的材料為氧化鋯和二氧化硅交替濺射結(jié)構(gòu)。
4.如權(quán)利要求3所述的激光加工罩,其中所述交替濺射的氧化鋯和二氧化硅的層數(shù)為3-6,每一層的厚度為400-500nm。
5.如權(quán)利要求1所述的激光加工罩,其中所述第二鍍膜的材料為氧化鋯和二氧化硅交替濺射結(jié)構(gòu),氧化鋯和二氧化硅的層數(shù)為5-10,每一層的厚度為200-300nm。
6.如權(quán)利要求1所述的激光加工罩,其中所述第三鍍膜的材料為硫化鋅和氟化鎂交替濺射結(jié)構(gòu)。
7.如權(quán)利要求6所述的激光加工罩,其中所述交替濺射的硫化鋅和氟化鎂的層數(shù)為6-9層,每層厚度為200-300nm。
8.如權(quán)利要求1所述的激光加工罩,其中所述第一蓋片的材料為K9玻璃,其厚度為0.81.6mm ;第二蓋片的材料為防激光PC材料,其厚度為1.0-1.5mm。
9.如權(quán)利要求1所述的激光加工罩,其中所述基片的材料為透明鋼化磷酸鹽玻璃,厚度為 1.0-1.2mm。
10.如權(quán)利要求1所述的激光加工罩,其中所述金屬罩的內(nèi)壁上還固定有多個LED燈。
【文檔編號】B23K26/70GK103612017SQ201310594538
【公開日】2014年3月5日 申請日期:2013年11月21日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月21日
【發(fā)明者】張玲, 林學春, 趙偉芳, 伊肖靜, 侯瑋, 于海娟 申請人:中國科學院半導(dǎo)體研究所
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