專利名稱：激光加工裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及進(jìn)行焊接及切割的激光加工裝置中，能夠檢測(cè)在引導(dǎo)激光的光路導(dǎo)管內(nèi)充滿的清洗氣體中混入雜質(zhì)氣體的激光加工裝置。
背景技術(shù)：
作為將激光振蕩器輸出的激光以高精度照射加工對(duì)象的規(guī)定位置并進(jìn)行焊接、切割及激光退火的裝置，提出了各種方案。例如，在第一以往技術(shù)中，揭示了能夠長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定傳輸激光并以高精度對(duì)加工對(duì)象進(jìn)行焊接或切割的激光加工裝置。該激光加工裝置具有到激光出射口為止的光束傳輸路徑采用氣密結(jié)構(gòu)的激光振蕩器；能夠?qū)⒓す庀蚣庸?duì)象的任意位置照射的具有多關(guān)節(jié)結(jié)構(gòu)的激光機(jī)器人；從激光振蕩器到激光機(jī)器人為止引導(dǎo)激光、而且不使激光光軸偏移的光路導(dǎo)管；以及檢測(cè)該光路導(dǎo)管內(nèi)的壓力、并將規(guī)定的加工氣體供給光路導(dǎo)管內(nèi)使得光路導(dǎo)管內(nèi)的壓力高于外部壓力的加工氣體供給裝置而構(gòu)成。采用這樣的結(jié)構(gòu)，防止激光加工時(shí)產(chǎn)生的煙氣或粉塵從激光機(jī)器人的前端部進(jìn)入光路導(dǎo)管內(nèi)(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。
另外，在第二以往技術(shù)中，揭示了根據(jù)對(duì)加工對(duì)象進(jìn)行激光退火處理的條件能夠高精度控制激光強(qiáng)度的激光退火裝置。該激光退火裝置具有將激光振蕩器與設(shè)置進(jìn)行激光退火處理的加工對(duì)象用的腔室利用光路導(dǎo)管連接的結(jié)構(gòu)，它是利用不吸收光路導(dǎo)管內(nèi)傳輸?shù)募す獾那逑礆怏w及對(duì)激光有規(guī)定吸收率的控制氣體的濃度，來(lái)調(diào)整對(duì)腔室內(nèi)的加工對(duì)象照射的激光的強(qiáng)度。因此，在光路導(dǎo)管內(nèi)設(shè)置檢測(cè)光路導(dǎo)管內(nèi)的控制氣體濃度的檢測(cè)傳感器，根據(jù)利用該檢測(cè)傳感器得到的控制氣體濃度的檢測(cè)信號(hào)，控制供給光路導(dǎo)管內(nèi)的控制氣體的量(例如，參照專利文獻(xiàn)2)。
專利文獻(xiàn)1日本專利特開(kāi)平5-8079號(hào)公報(bào)(第二頁(yè)，第1～2圖)專利文獻(xiàn)2日本專利特開(kāi)平6-17120號(hào)公報(bào)(第二～三頁(yè)，第一圖)
但是，在第一以往技術(shù)所揭示的激光加工裝置中，存在外部氣體有可能進(jìn)入光路導(dǎo)管內(nèi)的問(wèn)題。作為外部氣體進(jìn)入光路導(dǎo)管內(nèi)的一個(gè)原因，是由于光路導(dǎo)管的結(jié)構(gòu)引起的。例如，如上述專利文獻(xiàn)1的圖1所示，連接激光振蕩器與激光機(jī)器人的光路導(dǎo)管不是一條直線，而是在多個(gè)部位的光路是彎曲的，這樣的光路導(dǎo)管通常是用伸縮軟管等將多個(gè)管子連接而構(gòu)成的。另外，在第一以往技術(shù)的激光加工裝置中，為了能夠?qū)庸?duì)象的任意位置照射激光，具有能夠使激光出射的位置移動(dòng)的激光機(jī)器人。在這樣結(jié)構(gòu)的激光加工裝置中，例如為了改變激光照射位置，而激光機(jī)器人要進(jìn)行照射位置的改變動(dòng)作，隨著該改變動(dòng)作，構(gòu)成光路導(dǎo)管一部分的伸縮軟管部分也運(yùn)動(dòng)，在這種情況下或者在停止激光加工等情況下，光路導(dǎo)管內(nèi)的壓力將暫時(shí)性地降低。其結(jié)果，例如從構(gòu)成光路導(dǎo)管的管子相互之間的接縫或管子與伸縮軟管等零部分的接縫等部位，外部氣體將進(jìn)入光路導(dǎo)管內(nèi)。
另外，作為外部氣體進(jìn)入光路導(dǎo)管內(nèi)的另一個(gè)原因，是由于供給光路導(dǎo)管內(nèi)的加工氣體引起的，這是由于在光路導(dǎo)管內(nèi)使用從壓縮機(jī)吸入的氣體作為加工氣體而使用的。
這樣，若存在外部氣體進(jìn)入光路導(dǎo)管內(nèi)的環(huán)境，則例如在光路導(dǎo)管附近使用稀釋劑或涂料等情況下，吸收激光的激光吸收氣體(稀釋劑、三氯乙烯、丙稀燃燒氣體、氟利昂系氣體、SF6或有機(jī)化合物等)等雜質(zhì)氣體將進(jìn)入光路導(dǎo)管內(nèi)。這些雜質(zhì)氣體存在的問(wèn)題是，引起激光功率分布及激光衰減的增加等，其結(jié)果使激光特性惡化，降低了激光加工裝置的加工能力。
另外，在以往的激光加工裝置中，在產(chǎn)生這樣的激光輸出異常時(shí)，最初懷疑原因是激光振蕩器的問(wèn)題，從這一點(diǎn)出發(fā)排除掉形成激光異常的各種各樣原因之后，在很多情況下判明雜質(zhì)氣體進(jìn)入光路導(dǎo)管內(nèi)是激光輸出異常的原因。即，激光輸出異常的原因在原因調(diào)查的初始階段不能確定為是由于光路導(dǎo)管中存在雜質(zhì)氣體。因此，在該原因探明的期間，由于不能利用激光加工裝置進(jìn)行加工，因此也成為作業(yè)效率降低的原因。
另外，在第二以往技術(shù)的激光退火裝置中，在光路導(dǎo)管內(nèi)雖具有檢測(cè)控制氣體用的檢測(cè)傳感器，但該檢測(cè)傳感器是檢測(cè)對(duì)激光輸出進(jìn)行控制的控制氣體的濃度用的傳感器，不是檢測(cè)上述雜質(zhì)氣體用的。即存在的問(wèn)題是，在光路導(dǎo)管內(nèi)即使上述激光吸收氣體等雜質(zhì)氣體進(jìn)入，用該檢測(cè)傳感器也不能檢測(cè)出雜質(zhì)氣體進(jìn)入。
本發(fā)明正是鑒于上述情況而提出的，目的在于得到能夠檢測(cè)進(jìn)入光路導(dǎo)管內(nèi)的雜質(zhì)氣體的激光加工裝置。

發(fā)明內(nèi)容
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明有關(guān)的激光加工裝置包括產(chǎn)生激光振蕩的激光振蕩器、將從所述激光振蕩器出射的激光照射于被加工物體的加工頭、具有從所述激光振蕩器的激光出射口引導(dǎo)激光到所述加工頭的光學(xué)系統(tǒng)的光路導(dǎo)管、從設(shè)置在所述光路導(dǎo)管的與所述激光振蕩器的連接部分附近的清洗氣體供給口供給清洗氣體的清洗氣體供給裝置、以及設(shè)置在所述光路導(dǎo)管的與所述加工頭的連接部分附近的清洗氣體排出口，所述激光裝置，其特征在于，在所述光路導(dǎo)管內(nèi)具備檢測(cè)導(dǎo)致所述激光輸出異常的雜質(zhì)氣體混入所述光路導(dǎo)管內(nèi)的氣味傳感器。


圖1所示為根據(jù)本發(fā)明的激光加工裝置實(shí)施形態(tài)1的簡(jiǎn)要構(gòu)成方框圖。
圖2所示為氣體檢測(cè)單元安裝在光路導(dǎo)管中的一個(gè)例子。
圖3所示為激光加工裝置在異常檢測(cè)時(shí)的動(dòng)作處理流程圖。
圖4所示為利用氣體檢測(cè)單元的校正處理順序的流程圖。
圖5所示為根據(jù)本發(fā)明的激光加工裝置實(shí)施形態(tài)2的簡(jiǎn)要構(gòu)成方框圖。
圖6所示為激光加工裝置在異常檢測(cè)時(shí)的動(dòng)作處理流程圖。
圖7所示為根據(jù)本發(fā)明的激光加工裝置實(shí)施形態(tài)3的簡(jiǎn)要構(gòu)成方框圖。
圖8所示為利用氣味傳感器的異常部位確定方法。
圖9所示為激光加工裝置在異常檢測(cè)時(shí)的動(dòng)作處理流程圖。
圖10所示為根據(jù)本發(fā)明的激光加工裝置實(shí)施形態(tài)4的簡(jiǎn)要構(gòu)成方框圖。
圖11所示為激光加工裝置在異常檢測(cè)時(shí)的動(dòng)作處理流程圖。
圖12所示為根據(jù)本發(fā)明的激光加工裝置實(shí)施形態(tài)5的簡(jiǎn)要構(gòu)成方框圖。
圖13所示為利用氣味傳感器的異常部位確定方法。
圖14所示為激光加工裝置在異常檢測(cè)時(shí)的動(dòng)作處理流程圖。
圖15所示為氣體檢測(cè)單元安裝在光路導(dǎo)管中的一個(gè)例子。
圖16所示為利用氣體檢測(cè)單元的校正處理順序的流程圖。
圖17所示為氣體檢測(cè)單元安裝在光路導(dǎo)管中的一個(gè)例子。
圖18所示為利用氣體檢測(cè)單元的校正處理順序的流程圖。
具體實(shí)施例方式
以下參照附圖，詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明有關(guān)的激光加工裝置的理想實(shí)施形態(tài)。
實(shí)施形態(tài)1下面用圖1～圖4說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)1。圖1所示為根據(jù)本發(fā)明的激光加工裝置實(shí)施形態(tài)1的簡(jiǎn)要構(gòu)成方框圖，圖2所示為氣體檢測(cè)單元安裝在光路導(dǎo)管中的一個(gè)例子，圖3所示為激光加工裝置在異常檢測(cè)時(shí)的動(dòng)作處理流程圖，圖4所示為利用氣體檢測(cè)單元的校正處理順序的流程圖。
激光加工裝置具有產(chǎn)生激光振蕩的二氧化碳激光振蕩器(振蕩波長(zhǎng)10.6μm)等激光振蕩器11、將從激光振蕩器11輸出的激光照射作為加工對(duì)象的工件(被加工物體)100的加工頭21、以及將從激光振蕩器11出射的激光一面保持其光軸一面引至加工頭21的光路導(dǎo)管30而構(gòu)成。另外，在該圖中，激光用點(diǎn)劃線表示。
光路導(dǎo)管30在該圖1中，具有2根管子31a及31b互相成直角那樣的L型結(jié)構(gòu)，它們的接縫部分用能夠伸縮的伸縮軟管33連接。在該光路導(dǎo)管30內(nèi)，為了從激光振蕩器11的激光出射口12引導(dǎo)激光L到加工頭21，在加工頭21的前端部(下面稱為加工頭前端部)22聚焦，例如在該圖1的構(gòu)成中，具有將從激光振蕩器11的激光出射口12出射的激光L向加工頭21的方向使前進(jìn)路徑轉(zhuǎn)彎形成90度用的轉(zhuǎn)彎反射鏡34等光學(xué)系統(tǒng)。另外，為了在激光L與工件100之間產(chǎn)生相對(duì)移動(dòng)的動(dòng)作，與加工頭21連接的管子31b利用未圖示的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，那個(gè)沿框架23在圖中的箭頭A的方向移動(dòng)。隨著與加工頭21連接的管子31b沿該框架23的移動(dòng)，上述的伸縮軟管33進(jìn)行伸縮。
另外，在該光路導(dǎo)管30的激光振蕩器11的激光出射口12附近，具有供給對(duì)通過(guò)內(nèi)部的激光L的吸收率不產(chǎn)生影響的清洗氣體用的清洗氣體供給口35，在光路導(dǎo)管30的加工頭21的安裝的位置附近，具有將清洗氣體向光路導(dǎo)管30的外部排出用的清洗氣體排出口36。在清洗氣體供給口35，通過(guò)排他性的切換閥44，與供給作為清洗氣體的氮?dú)庥玫牡獨(dú)夤┙o單元41、以及供給作為清洗氣體的進(jìn)行吸氣及壓縮的氣體(空氣)的壓縮機(jī)42連接。在壓縮機(jī)42的吸入空氣的進(jìn)氣口具有過(guò)濾器43。該過(guò)濾器43由具有除去設(shè)置激光加工裝置的室內(nèi)的濕氣、塵埃及有機(jī)化合物等而不使其進(jìn)入光路導(dǎo)管30內(nèi)的功能的活性碳等構(gòu)成。利用這些在光路導(dǎo)管30中設(shè)置的清洗氣體供給口35及清洗氣體排出口36，光路導(dǎo)管30內(nèi)設(shè)定形成規(guī)定的壓力(例如在用空氣(清洗空氣)作為清洗氣體時(shí)，流量為100L/分，壓力差為0.06kPa以上)。
另外，該激光加工裝置具有檢測(cè)光路導(dǎo)管30內(nèi)混入雜質(zhì)氣體并輸出異常檢測(cè)信號(hào)的至少一個(gè)氣體檢測(cè)單元50、控制激光加工裝置同時(shí)在接收來(lái)自氣體檢測(cè)單元50的異常檢測(cè)信號(hào)時(shí)將異常通知激光加工裝置使用者的控制通知單元61、以及按照來(lái)自控制通知單元61的通知讓使用者識(shí)別異常的異常顯示單元62而構(gòu)成。控制通知單元61根據(jù)由氣體檢測(cè)單元50輸出的異常檢測(cè)信號(hào)或在更換過(guò)濾器43時(shí)從壓縮機(jī)42輸出的過(guò)濾器更換信號(hào)，控制激光振蕩器11，同時(shí)根據(jù)來(lái)自使用者的指令，進(jìn)行整個(gè)激光加工裝置的控制。另外，控制通知單元61在激光加工裝置起動(dòng)時(shí)，進(jìn)行氣體檢測(cè)單元50的校正控制。異常顯示單元62由激光加工裝置上設(shè)置的例如CRT(Cathode Ray Tube，陰極射線管)、液晶顯示器、告知各種異常的指示器或報(bào)警器等構(gòu)成，根據(jù)來(lái)自控制通知單元61的通知，對(duì)使用者通知因雜質(zhì)氣體混入而導(dǎo)致的異常。
氣體檢測(cè)單元50如圖2所示，具有檢測(cè)光路導(dǎo)管30內(nèi)的雜質(zhì)氣體的氣味傳感器51、以及在激光加工裝置起動(dòng)時(shí)進(jìn)行氣味傳感器51的校正用的傳感器校正單元52而構(gòu)成。該氣體檢測(cè)單元50設(shè)置在光路導(dǎo)管30的側(cè)壁的一部分、從光路導(dǎo)管30的內(nèi)側(cè)向外側(cè)凹進(jìn)而形成的凹進(jìn)部分70。凹進(jìn)部分70由具有與光路導(dǎo)管30內(nèi)的光軸平行的面并與光路導(dǎo)管30連接的周面部分71、位于凹進(jìn)部分70的下流側(cè)并將光路導(dǎo)管30的外周面與凹進(jìn)部分70的周面部分71連接的第一側(cè)面部分72、以及位于凹進(jìn)部分70的上流側(cè)并將光路導(dǎo)管30的外周面與凹進(jìn)部分70的周面部分71連接的第二側(cè)面部分73包圍而形成的。第一側(cè)面部分72相對(duì)于光路導(dǎo)管30的延伸方向具有近似垂直的角度，而第二側(cè)面部分73是從光路導(dǎo)管30的內(nèi)壁向距離光路導(dǎo)管30的中心最遠(yuǎn)離的凹進(jìn)部分70的周面部分71具有不是垂直的比較平緩的傾斜角。
氣味傳感器51設(shè)置在凹進(jìn)部分70的第一側(cè)面部分72，使其與流過(guò)光路導(dǎo)管30內(nèi)的清洗氣體G的流向相對(duì)。作為該氣味傳感器51，可以采用能夠檢測(cè)可燃性氣體、有毒氣體及氣味成分等氣氛中的成分的熱絲型半導(dǎo)體傳感器。熱絲型半導(dǎo)體傳感器具有用鉑或鉑合金絲等貴金屬絲的絲狀電阻體形成線圈并在該線圈周圍配置氧化錫等金屬氧化物半導(dǎo)體的氣敏部分、以及在該氣敏部分的外部使絲狀電阻值的兩端延伸的引線部分，是具有兩端子型的結(jié)構(gòu)。對(duì)這樣構(gòu)成的熱絲型半導(dǎo)體傳感器的絲狀電阻體通電，使其達(dá)到規(guī)定的溫度，通過(guò)檢測(cè)因氣體吸附而使氣敏部分的電阻值變化，來(lái)檢測(cè)上述氣體成分的存在。作為這樣的氣味傳感器，例如可以采用新世界(COSMOS)電機(jī)株式會(huì)社生產(chǎn)的熱絲型半導(dǎo)體傳感器CH-E(型號(hào)名稱)等。
傳感器校正單元52具有供給進(jìn)行氣味傳感器51校正用的氣體(下面稱為校正氣體)的校正氣體供給單元53、設(shè)置在與氣味傳感器51相對(duì)的凹進(jìn)部分70的第二側(cè)面部分73(使得校正氣體沿與清洗氣體G的流向相同的方向噴出)的噴嘴54、以及進(jìn)行控制使得在進(jìn)行校正時(shí)向光路導(dǎo)管30內(nèi)供給校正氣體而在其它時(shí)間不向光路導(dǎo)管30內(nèi)供給校正氣體的電磁閥55而構(gòu)成。電磁閥55由控制通知單元61來(lái)控制開(kāi)閉。
該傳感器校正單元52由于是為了檢測(cè)出雜質(zhì)氣體混入時(shí)氣味傳感器51的變化，而得到在雜質(zhì)氣體不存在的環(huán)境下氣味傳感器51的動(dòng)作基準(zhǔn)用的，因此校正氣體供給單元53最好供給與進(jìn)行激光加工時(shí)供給的清洗氣體G相同組成的氣體。但是，也可以供給不是與清洗氣體G相同組成的氣體，而供給不作為氣味傳感器51的檢測(cè)對(duì)象的氮?dú)饣蜓鯕獾葰怏w作為校正氣體。這樣，為了取得判斷什么樣的狀態(tài)不是異常的初始值，對(duì)氣味傳感器51流過(guò)校正氣體，將這稱為校正。
這樣，通過(guò)在激光加工裝置的光路導(dǎo)管30的清洗氣體排出口36附近設(shè)置氣體檢測(cè)單元50，來(lái)檢測(cè)導(dǎo)致激光L的功率分布及激光L的衰減的增加等異常的雜質(zhì)氣體進(jìn)入光路導(dǎo)管30內(nèi)的情況。其結(jié)果，將上述激光L的異常是由于雜質(zhì)氣體引起的，還是由此除此以外的原因引起的，在初始階段就加以區(qū)分。
下面說(shuō)明該激光加工裝置在異常檢測(cè)時(shí)的處理。如圖3所示，在起動(dòng)激光加工裝置時(shí)，首先起動(dòng)壓縮機(jī)42(步驟S1)，用氣體(空氣)充滿光路導(dǎo)管30內(nèi)。然后，進(jìn)行氣味傳感器的校正(步驟S2)。
該氣味傳感器51的校正如圖4所示，首先打開(kāi)設(shè)在校正氣體供給單元53與噴嘴54之間的電磁閥55(步驟S201)，從噴嘴54向氣味傳感器51噴出校正氣體，開(kāi)始校正(步驟S202)。對(duì)氣味傳感器51噴出校正氣體的過(guò)程進(jìn)行了規(guī)定時(shí)間(通常為幾分鐘)，校正結(jié)束(步驟S203)，則氣味傳感器51將校正結(jié)束的信號(hào)輸出給控制通知單元61(步驟S204)。然后，控制通知單元61關(guān)閉電磁閥55(步驟S205)，校正處理結(jié)束。
再回到圖3，若氣味傳感器51的校正結(jié)束，則將工件100設(shè)置在規(guī)定位置，開(kāi)始激光加工(步驟S3)。在該激光加工中，氣味傳感器51繼續(xù)對(duì)雜質(zhì)氣體混入光路導(dǎo)管30內(nèi)進(jìn)行檢測(cè)(步驟S4)。在未檢測(cè)出異常時(shí)(步驟S4為No時(shí))，繼續(xù)進(jìn)行加工(步驟S12)。若加工處理完成，則處理結(jié)束。
另外，在步驟S4，氣味傳感器51檢測(cè)出光路導(dǎo)管30內(nèi)因從清洗氣體G混入雜質(zhì)氣體而導(dǎo)致的異常時(shí)(步驟S4的Yes的情況)，從氣味傳感器51將異常檢測(cè)信號(hào)輸出給控制通知單元61。然后，控制通知單元61判斷是起動(dòng)激光加工裝置之后的第幾次異常檢測(cè)信號(hào)(步驟S5)。在是第一次異常檢測(cè)信號(hào)時(shí)(步驟S5的“第一次”的情況)，控制通知單元61將進(jìn)行壓縮機(jī)42及其周邊檢查的意思通知異常顯示單元62(步驟S6)，在異常顯示單元62進(jìn)行顯示。按照該通知，使用者進(jìn)行檢查(步驟S8)。
由使用者進(jìn)行該項(xiàng)檢查，首先檢查壓縮機(jī)42周圍的氣氛，在沒(méi)有異常時(shí)，將壓縮機(jī)42的過(guò)濾器43進(jìn)行更換。壓縮機(jī)42的過(guò)濾器43的更換是，首先將閥44進(jìn)行切換從壓縮機(jī)42與光路導(dǎo)管30連接的狀態(tài)變?yōu)閷⒌獨(dú)夤┙o單元41與光路導(dǎo)管30連接，將氮?dú)夤┙o光路導(dǎo)管30內(nèi)。然后，進(jìn)行更換設(shè)置在壓縮機(jī)42的吸氣口的過(guò)濾器43的作業(yè)，在過(guò)濾器43更換后，從壓縮機(jī)42向控制通知單元61輸出完成了更換的更換結(jié)束信號(hào)。然后，再將閥44進(jìn)行切換，從氮?dú)夤┙o單元41與光路導(dǎo)管30連接的狀態(tài)變?yōu)閷嚎s機(jī)42與光路導(dǎo)管30連接，再次將空氣供給光路導(dǎo)管30內(nèi)。另外，上述的閥44的切換可以由控制通知單元61進(jìn)行，也可以由使用者來(lái)進(jìn)行。在由控制通知單元61進(jìn)行的情況下，只要在控制通知單元61從氣味傳感器51接收到異常檢測(cè)信號(hào)時(shí)，將閥44進(jìn)行切換，從壓縮機(jī)42切換為氮?dú)夤┙o單元41，而在從壓縮機(jī)42接收到更換結(jié)束信號(hào)時(shí)，將閥44進(jìn)行切換，從氮?dú)夤┙o單元41切換為壓縮機(jī)42即可。另外，在該檢查中，可以將氮?dú)庾鳛榍逑礆怏w，繼續(xù)進(jìn)行激光加工處理。在由使用者進(jìn)行的檢查及更換結(jié)束后，再回到步驟S4，利用氣味傳感器51檢測(cè)因清洗氣體G內(nèi)存在雜質(zhì)氣體而導(dǎo)致的異常。然后，在利用氣味傳感器51檢測(cè)出因清洗氣體G內(nèi)存在雜質(zhì)氣體而導(dǎo)致的異常時(shí)(步驟S4的Yes的情況)，從氣味傳感器51將異常檢測(cè)信號(hào)輸出給控制通知單元61。然后，控制通知單元61判斷是起動(dòng)激光加工裝置之后的第幾次異常檢測(cè)信號(hào)(步驟S5)。這里，由于是第二次(步驟S5)的“第二次”的情況)，控制通知單元61，將進(jìn)行傳送路徑部件檢查的意思通知異常顯示單元62(步驟S7)，使異常顯示單元62進(jìn)行顯示。按照該通知，使用者進(jìn)行檢查(步驟S8)。
使用者檢查構(gòu)成激光L傳輸路徑的光路導(dǎo)管30的管子31a、31b及伸縮軟管33等傳輸路徑零部件有無(wú)燒損或老化，在有異常時(shí)，進(jìn)行該零部件的更換。
在由使用者進(jìn)行的檢查及更換結(jié)束后，再回到步驟S4，利用氣味傳感器51檢測(cè)因清洗氣體G內(nèi)存在雜質(zhì)氣體而導(dǎo)致的異常。然后，在利用氣味傳感器51檢測(cè)出因清洗氣體G內(nèi)存在雜質(zhì)氣體而導(dǎo)致的異常時(shí)(步驟S4的Yes的情況)，從氣味傳感器51將異常檢測(cè)信號(hào)輸出給控制通知單元61。然后，控制通知單元61判斷是起動(dòng)激光加工裝置之后的第幾次異常檢測(cè)信號(hào)(步驟S5)。這里，由于是第三次(步驟S5的“第三次及以上”的情況)，控制通知單元61將有必要進(jìn)行整個(gè)激光加工裝置檢查的意思通知異常顯示單元62(步驟S7)，使異常顯示單元62進(jìn)行顯示。
若接收到該通知，則由使用者判斷在激光振蕩器11的輸出降低的狀態(tài)下是否能夠進(jìn)行加工而對(duì)加工質(zhì)量不產(chǎn)生影響，并根據(jù)該判斷結(jié)果，來(lái)控制激光振蕩器11的狀態(tài)(步驟S10)。例如，若激光L的輸出降低，而在能夠進(jìn)行加工并對(duì)加工質(zhì)量不產(chǎn)生影響時(shí)，控制通知單元61調(diào)整激光振蕩器11，達(dá)到對(duì)其加工質(zhì)量不產(chǎn)生影響的那樣程度的輸出，繼續(xù)進(jìn)行加工，加工結(jié)束后，則處理結(jié)束。另外，在繼續(xù)進(jìn)行加工比較困難時(shí)，控制通知單元61停止激光振蕩器11的工作。然后，由使用者對(duì)構(gòu)成激光加工裝置的零部件、例如除了已經(jīng)檢查及更換結(jié)束的壓縮機(jī)42及光路導(dǎo)管30以外的框架23等加工機(jī)械及激光振蕩器11等部分進(jìn)行檢查，在有異常時(shí)，進(jìn)行其零部件的更換，則處理結(jié)束。
根據(jù)本實(shí)施形態(tài)1，由于在清洗氣體排出口36的附近設(shè)置氣味傳感器51而構(gòu)成，因此能夠?qū)饴穼?dǎo)管30內(nèi)的全部清洗氣體G檢測(cè)雜質(zhì)氣體的混入情況。其結(jié)果，能夠確定激光L的異常是因雜質(zhì)氣體的混入而引起的。另外，通過(guò)將氣味傳感器51產(chǎn)生的異常檢測(cè)信號(hào)輸出給控制通知單元61，能夠有效地對(duì)其原因進(jìn)行調(diào)查，并據(jù)此能夠判斷在壓縮機(jī)42的吸氣口安裝的過(guò)濾器43的更換時(shí)期。再有，還能夠根據(jù)來(lái)自控制通知單元61的異常檢測(cè)信號(hào)，來(lái)控制激光振蕩器11。
另外，由于將氣味傳感器51安裝在光路導(dǎo)管30的凹進(jìn)部分70的第一側(cè)面部分72，使其與清洗氣體G的流向相對(duì)，將噴嘴54安裝在氣味傳感器51的近似正面、而且在凹進(jìn)部分70的第二側(cè)面部分73，使得校正氣體處于與清洗氣體G的流向相同的方向，因此能夠有效地進(jìn)行氣味傳感器51的校正。另外，由于第二側(cè)面部分73是從光路導(dǎo)管30的上流側(cè)向凹進(jìn)部分70的周面部分71具有傾斜而構(gòu)成，因此清洗氣體G容易流入該凹進(jìn)部分70內(nèi)，能夠利用氣味傳感器51有效地進(jìn)行雜質(zhì)氣體的檢測(cè)。
實(shí)施形態(tài)2下面用圖5及圖6說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)2。圖5所示為根據(jù)本發(fā)明的激光加工裝置實(shí)施形態(tài)2的簡(jiǎn)要構(gòu)成方框圖，圖6所示為激光加工裝置在異常檢測(cè)時(shí)的動(dòng)作處理流程圖。另外，關(guān)于與圖1相同的構(gòu)成要素，則附加同一符號(hào)，并省略其說(shuō)明。
如圖5所示，在本實(shí)施形態(tài)2的激光加工裝置中，其特征在于，至少在清洗氣體供給口35附近設(shè)置一個(gè)氣體檢測(cè)單元50。其它構(gòu)成與圖1相同。另外，氣體檢測(cè)單元50設(shè)置的位置最好是與光路導(dǎo)管30內(nèi)的清洗氣體供給口35相對(duì)的部分或比其稍微向下流一側(cè)的部分。另外，該氣體檢測(cè)單元50如實(shí)施形態(tài)1的圖2所示，設(shè)置在光路導(dǎo)管30中所設(shè)置的凹進(jìn)部分70。這樣，通過(guò)將氣體檢測(cè)單元50設(shè)置在清洗氣體供給口35的附近，例如能夠立即檢測(cè)出從壓縮機(jī)42混入的雜質(zhì)氣體。
下面一邊參照?qǐng)D6的流程圖，一邊說(shuō)明該激光加工裝置在異常檢測(cè)時(shí)的處理。首先，進(jìn)行與實(shí)施形態(tài)1的圖3所說(shuō)明的步驟S1～S4及S11相同的處理，開(kāi)始利用激光加工裝置進(jìn)行加工(步驟S21～S24及S30)。即，在起動(dòng)壓縮機(jī)42并用氣體(空氣)充滿光路導(dǎo)管30內(nèi)之后，進(jìn)行氣味傳感器51的校正。另外，氣味傳感器51的校正是利用實(shí)施形態(tài)1的圖4所說(shuō)明的順序進(jìn)行。然后，開(kāi)始加工，利用氣體檢測(cè)單元50檢測(cè)有無(wú)雜質(zhì)氣體混入光路導(dǎo)管30內(nèi)，在沒(méi)有雜質(zhì)氣體混入時(shí)，繼續(xù)進(jìn)行加工，加工結(jié)束后，則處理結(jié)束。
在利用氣體檢測(cè)單元50檢測(cè)出雜質(zhì)氣體混入光路導(dǎo)管30內(nèi)時(shí)(步驟24的Yes的情況)，從氣味傳感器51將異常檢測(cè)信號(hào)輸出給控制通知單元61。然后，控制通知單元61判斷是起動(dòng)激光加工裝置之后的第幾次異常檢測(cè)信號(hào)(步驟S25)。在是第一次異常檢測(cè)信號(hào)時(shí)(步驟S25的“第一次”的情況)，控制通知單元61將進(jìn)行壓縮機(jī)42及其周邊檢查的意思通知異常顯示單元62(步驟S26)，使異常顯示單元62進(jìn)行顯示。按照該通知，使用者進(jìn)行檢查(步驟S27)。由使用者進(jìn)行的該壓縮機(jī)42及其周圍的檢查，由于與上述實(shí)施形態(tài)1的情況相同，因此省略說(shuō)明。
在由使用者進(jìn)行的檢查及更換結(jié)束后，再回到步驟S24，利用氣味傳感器51檢測(cè)因清洗氣體G內(nèi)存在雜質(zhì)氣體而導(dǎo)致的異常。然后，在利用氣味傳感器51檢測(cè)出因清洗氣體G內(nèi)存在上述雜質(zhì)氣體而導(dǎo)致的異常時(shí)(步驟S24的Yes的情況)，從氣味傳感器51將異常檢測(cè)信號(hào)輸出口控制通知單元61。然后，控制通知單元61判斷是起動(dòng)激光加工裝置之后的第幾次異常檢測(cè)信號(hào)(步驟25)。這里，由于是第二次(步驟S25的“第二次”情況)，將有必要進(jìn)行壓縮機(jī)42及其周圍以外的激光加工裝置部分的檢查的意思通知異常顯示單元62(步驟S28)，使異常顯示單元62進(jìn)行顯示。
若接收到該通知，則由使用者在激光振蕩器11的輸出降低的狀態(tài)下判斷是否能夠進(jìn)行加工而對(duì)加工質(zhì)量不產(chǎn)生影響，并根據(jù)該判斷結(jié)果，來(lái)控制激光振蕩器11的狀態(tài)(步驟S29)。如上述實(shí)施形態(tài)1那樣，在能夠進(jìn)行激光加工時(shí)，控制通知單元61調(diào)整激光振蕩器11，達(dá)到對(duì)加工質(zhì)量不產(chǎn)生影響的那樣程度的輸出，再繼續(xù)進(jìn)行加工，在繼續(xù)進(jìn)行加工比較困難時(shí)，停止激光振蕩器11的工作。在停止激光振蕩器11之后，由使用者對(duì)構(gòu)成激光加工裝置的零部件、例如除了已經(jīng)檢查及更換結(jié)束的壓縮機(jī)42以外的構(gòu)成激光L傳輸路徑的光路導(dǎo)管30的管子31a及31b和伸縮軟管33等傳輸路徑零部件、框架23等加工機(jī)械以及激光振蕩器11等部分進(jìn)行檢查，在有異常時(shí)，進(jìn)行其零部件的更換，則處理結(jié)束。
根據(jù)本實(shí)施形態(tài)2，由于是在光路導(dǎo)管30的清洗氣體供給口35附近設(shè)置氣味傳感器51、并將利用氣味傳感器51而產(chǎn)生的異常檢測(cè)信號(hào)輸出給控制通知單元61而構(gòu)成，因此能夠檢測(cè)出因壓縮機(jī)42或其周邊的氣氛氣體而形成的雜質(zhì)氣體的混入，能夠有效地對(duì)其原因進(jìn)行調(diào)查。另外，根據(jù)來(lái)自控制通知單元61的通知，能夠判斷在壓縮機(jī)42的吸氣口安裝的過(guò)濾器43的更換時(shí)期，再有還能夠進(jìn)行從壓縮機(jī)42切換至氮?dú)夤┙o單元41的閥44的切換。再有，能夠根據(jù)來(lái)自控制通知單元61的異常檢測(cè)信號(hào)，來(lái)控制激光振蕩器11。
實(shí)施形態(tài)3下面用圖7～圖9說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)3。圖7所示為根據(jù)本發(fā)明的激光加工裝置實(shí)施形態(tài)3的簡(jiǎn)要構(gòu)成方框圖，圖8所示為利用氣味傳感器的異常部位確定方法，圖9所示為激光加工裝置在異常檢測(cè)時(shí)的動(dòng)作處理流程圖。另外，關(guān)于與圖1相同的構(gòu)成要素，則附加同一符號(hào)，并省略其說(shuō)明。
如圖7所示，在本實(shí)施形態(tài)3的激光加工裝置中，其特征在于，至少在清洗氣體排出口36附近設(shè)置一個(gè)第一氣體檢測(cè)單元50a，同時(shí)至少在清洗氣體供給口35附近設(shè)置一個(gè)第二氣體檢測(cè)單元50b。其它構(gòu)成與圖1相同。另外，第二氣體檢測(cè)單元50b設(shè)置的位置最好是與光路導(dǎo)管30內(nèi)的清洗氣體供給口35相對(duì)的部分或比其稍微向下流一側(cè)的部分。另外，這些氣體檢測(cè)單元50a及50b如實(shí)施形態(tài)1的圖2所示，設(shè)置在光路導(dǎo)管30中所設(shè)置的凹進(jìn)部分70。
圖8所示為根據(jù)第一氣體檢測(cè)單元及第二氣體檢測(cè)單元的異常檢測(cè)狀況來(lái)考慮的原因。在該圖中，“○”表示未檢測(cè)出異常的狀況，“×”表示檢測(cè)出異常的狀況。首先，在第一及第二氣體檢測(cè)單元50a及50b都是正常時(shí)，由于沒(méi)有雜質(zhì)氣體流入光路導(dǎo)管30內(nèi)，因此能夠繼續(xù)進(jìn)行加工處理。其次，在第一氣體檢測(cè)單元50a檢測(cè)出異常、而第二氣體檢測(cè)單元50b是正常時(shí)，作為其第一原因，可以判斷為是從傳輸路徑零部件進(jìn)入的雜質(zhì)氣體產(chǎn)生的異常。另外，在第一及第二氣體檢測(cè)單元50a及50b都檢測(cè)出異常時(shí)，作為其第一原因，可以判斷為是壓縮機(jī)42的周圍氣氛或壓縮機(jī)42的過(guò)濾器43產(chǎn)生的異常，而作為其第二原因，可以判斷為是從傳輸路徑零部件進(jìn)入的雜質(zhì)氣體產(chǎn)生的異常。
這樣，通過(guò)在光路導(dǎo)管30的清洗氣體排出口36附近設(shè)置第一氣體檢測(cè)單元50a，并在光路導(dǎo)管30的清洗氣體供給口35附近設(shè)置第二氣體檢測(cè)單元50b，能夠?qū)㈦s質(zhì)氣體混入的原因區(qū)別為是由壓縮機(jī)42周圍的氣氛或壓縮機(jī)42的過(guò)濾器所引起的，還是由傳輸路徑零部件所引起的。
下面一邊參照?qǐng)D9的流程圖，一邊說(shuō)明該激光加工裝置在異常檢測(cè)時(shí)的處理。首先，進(jìn)行與實(shí)施形態(tài)1的圖3所說(shuō)明的步驟S1～S3相同的處理，開(kāi)始利用激光加工裝置進(jìn)行加工(步驟S41～S43)。即，在起動(dòng)壓縮機(jī)42并用氣體(空氣)充滿光路導(dǎo)管30內(nèi)之后，進(jìn)行氣味傳感器51的校正，開(kāi)始加工。另外，氣味傳感器51的校正是利用實(shí)施形態(tài)1的圖4所說(shuō)明的順序進(jìn)行的。
在激光加工中，第一及第二氣體檢測(cè)單元50a及50b的氣味傳感器51繼續(xù)對(duì)雜質(zhì)氣體混入光路導(dǎo)管30內(nèi)的情況進(jìn)行檢測(cè)(步驟S44)。在二個(gè)氣體檢測(cè)單元50a及50b未檢測(cè)出異常時(shí)(步驟S44的“正?！钡那闆r)，維持原狀繼續(xù)進(jìn)行加工(步驟S53)。然后，若加工過(guò)程結(jié)束，則處理結(jié)束。
另外，在步驟S44中，在第一及第二氣體檢測(cè)單元50a及50b檢測(cè)出因光路導(dǎo)管30內(nèi)的清洗氣體中混入雜質(zhì)氣體而引起的異常時(shí)(步驟S44的“第一及第二氣體檢測(cè)單元異?！钡那闆r)，從第一及第二氣體檢測(cè)單元50a及50b將異常檢測(cè)信號(hào)輸出給控制通知單元61。然后，控制通知單元61將進(jìn)行壓縮機(jī)42及其周圍檢查的意思通知異常顯示單元62(步驟S45)，使異常顯示單元62進(jìn)行顯示。按照該通知，使用者進(jìn)行檢查，必要時(shí)進(jìn)行零部件更換(步驟S46)。由使用者進(jìn)行的該壓縮機(jī)42及其周圍的檢查及更換，由于與上述實(shí)施形態(tài)1的情況相同，因此省略說(shuō)明。
然后，若利用二個(gè)氣體檢測(cè)單元50a及50b未檢測(cè)出清洗氣體內(nèi)存在雜質(zhì)氣體而產(chǎn)生的異常(步驟S47的“正?！钡那闆r)，則繼續(xù)進(jìn)行加工處理(步驟S53)。然后，在加工過(guò)程結(jié)束后，則處理結(jié)束。
另外，在利用第一氣體檢測(cè)單元50a檢測(cè)出因清洗氣體內(nèi)存在雜質(zhì)氣體而產(chǎn)生的異常時(shí)(步驟S47的“僅第一氣體檢測(cè)單元異?！钡那闆r)，或者在上述步驟S44中僅由第一氣體檢測(cè)單元檢測(cè)出異常時(shí)(步驟S44的“僅第一氣體檢測(cè)單元異?！钡那闆r)，從第一氣體檢測(cè)單元50a將異常檢測(cè)信號(hào)輸出給控制通知單元61。然后，控制通知單元61將進(jìn)行傳輸路徑零部件檢查的意思通知異常顯示單元62(步驟S48)，使異常顯示單元62進(jìn)行顯示。按照該通知，使用者進(jìn)行檢查，必要時(shí)進(jìn)行零部件更換(步驟S49)。具體來(lái)說(shuō)，使用者檢查構(gòu)成激光L傳輸路徑的光路導(dǎo)管30的管子31a及31b和伸縮軟管33等傳輸路徑零部件有無(wú)燒損或老化，在有異常時(shí)，進(jìn)行該零部件的更換。
在由使用者進(jìn)行的檢查及更換結(jié)束后，利用二個(gè)氣體檢測(cè)單元50a及50b對(duì)光路導(dǎo)管30內(nèi)的雜質(zhì)氣體進(jìn)行檢測(cè)(步驟S50)。若利用氣體檢測(cè)單元50a及50b未檢測(cè)出因清洗氣體內(nèi)存在雜質(zhì)氣體而產(chǎn)生的異常(步驟S50的No的情況)，則繼續(xù)進(jìn)行加工處理(步驟S53)。然后，在加工過(guò)程結(jié)束后，則處理結(jié)束。另外，在至少利用一個(gè)氣體檢測(cè)單元50a及50b檢測(cè)出因清洗氣體內(nèi)存在上述雜質(zhì)氣體而產(chǎn)生的異常時(shí)(步驟S50的Yes的情況)，檢測(cè)出異常的氣體檢測(cè)單元50a及50b將異常檢測(cè)信號(hào)輸出給控制通知單元61。然后，控制通知單元61將有必要進(jìn)行整個(gè)激光加工裝置檢查的意思通知異常顯示單元62(步驟S51)，使異常顯示單元62進(jìn)行顯示。
若接收到該通知，則由使用者判斷在激光振蕩器11的輸出降低的狀態(tài)下是否能夠進(jìn)行加工而對(duì)加工質(zhì)量不產(chǎn)生影響，并根據(jù)該判斷結(jié)果，來(lái)控制激光振蕩器11的狀態(tài)(步驟S52)。如上述實(shí)施形態(tài)1那樣，在能夠進(jìn)行激光加工時(shí)，控制通知單元61調(diào)整激光振蕩器11，達(dá)到對(duì)加工質(zhì)量不產(chǎn)生影響的那樣程度的輸出，再繼續(xù)進(jìn)行加工，在繼續(xù)進(jìn)行加工比較困難時(shí)，停止激光振蕩器11的工作。在停止振蕩器11之后，由使用者對(duì)構(gòu)成激光加工裝置的零部件、例如除了已經(jīng)檢查及更換結(jié)束的壓縮機(jī)42及光路導(dǎo)管30以外的框架23等加工機(jī)械以及激光振蕩器11等部分進(jìn)行檢查，在有異常時(shí)，進(jìn)行其零部件的更換，則處理結(jié)束。
根據(jù)本實(shí)施形態(tài)3，具有與在清洗氣體排出口36附近及清洗氣體供給口35附近的兩處設(shè)置氣味傳感器51而構(gòu)成，因此能夠檢測(cè)出雜質(zhì)氣體混入清洗氣體的情況，其原因能夠區(qū)別為是由壓縮機(jī)42所引起的，還是由傳輸路徑零部件所引起的。其結(jié)果，能夠有效地對(duì)激光L異常的原因部位進(jìn)行調(diào)查。另外，通過(guò)將因混入雜質(zhì)氣體而引起的異常輸出給控制通知單元61，也能夠判斷在壓縮機(jī)42的吸氣口安裝的過(guò)濾器43的更換時(shí)期，或者容易知道傳輸路徑零部件的燒損或變質(zhì)等異常的檢測(cè)情況。再有，能夠根據(jù)來(lái)自控制通知單元61的異常檢測(cè)信號(hào)，來(lái)控制激光振蕩器11。
實(shí)施形態(tài)4下面用圖10及圖11說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)4。圖10所示為根據(jù)本發(fā)明的激光加工裝置實(shí)施形態(tài)4的簡(jiǎn)要構(gòu)成方框圖，圖11所示為激光加工裝置在異常檢測(cè)時(shí)的動(dòng)作處理流程圖。另外，關(guān)于與圖1相同的構(gòu)成要素，則附加同一符號(hào)，并省略其說(shuō)明。
如圖10所示，在本實(shí)施形態(tài)4的激光加工裝置中，其特征在于，至少在壓縮機(jī)42的吸氣口附近設(shè)置一個(gè)氣體檢測(cè)單元50。其它構(gòu)成與圖1相同。這樣，通過(guò)在壓縮機(jī)42的吸氣口附近設(shè)置氣體檢測(cè)單元50，能夠立即檢測(cè)出從壓縮機(jī)42進(jìn)入的雜質(zhì)氣體。
下面一邊參照?qǐng)D11的流程圖，一邊說(shuō)明該激光加工裝置在異常檢測(cè)時(shí)的處理。首先，對(duì)氣味傳感器51進(jìn)行規(guī)定時(shí)間的校正(步驟S61)，在起動(dòng)壓縮機(jī)42并用氣體(空氣)充滿光路導(dǎo)管30內(nèi)之后(步驟S62)，開(kāi)始加工(步驟S63)。另外，氣味傳感器51的校正是利用實(shí)施形態(tài)1的圖4所說(shuō)明的順序進(jìn)行的。
然后，利用氣體檢測(cè)單元50判斷室內(nèi)在壓縮機(jī)42周圍的氣氛的異常情況(步驟S64)，在壓縮機(jī)42周圍沒(méi)有雜質(zhì)氣體時(shí)(步驟S64的No的情況)，繼續(xù)進(jìn)行加工(步驟S70)。然后，在加工過(guò)程結(jié)束后，則處理結(jié)束。
另外，在壓縮機(jī)42周圍存在雜質(zhì)氣體時(shí)(步驟S64的Yes的情況)，從氣味傳感器51將異常檢測(cè)信號(hào)輸出給控制通知單元61。然后，控制通知單元61將進(jìn)行壓縮機(jī)42及其周圍檢查的意思通知異常顯示單元62(步驟S65)，使異常顯示單元62進(jìn)行顯示。按照該通知，使用者進(jìn)行檢查(步驟S26)。由使用者進(jìn)行的該壓縮機(jī)42及其周圍的檢查，由于與上述實(shí)施形態(tài)1的情況相同，因此省略說(shuō)明。
在由使用者進(jìn)行的檢查及更換結(jié)束后，若利用氣體檢測(cè)單元50未檢測(cè)出壓縮機(jī)42周圍的氣氛異常(步驟S67的No的情況)，則繼續(xù)進(jìn)行加工(步驟S70)。然后，在加工過(guò)程結(jié)束后，則處理結(jié)束。另外，在利用氣體檢測(cè)單元50檢測(cè)出壓縮機(jī)42周圍的氣氛異常時(shí)(步驟S67的Yes的情況)，從氣味傳感器51將異常檢測(cè)信號(hào)輸出給控制通知單元61。然后，控制通知單元61將有必要對(duì)壓縮機(jī)42及其周圍以外的激光加工裝置部分進(jìn)行檢查的意思通知異常顯示單元62(步驟S68)，使異常顯示單元62進(jìn)行顯示。
若接收到該通知，則由使用者判斷在激光振蕩器11的輸出降低的狀態(tài)下是否能夠進(jìn)行加工而對(duì)加工質(zhì)量不產(chǎn)生影響，并根據(jù)該判斷結(jié)果，利用控制通知單元來(lái)控制激光振蕩器11的狀態(tài)(步驟S69)。如上述實(shí)施形態(tài)1那樣，在能夠進(jìn)行激光加工時(shí)，控制通知單元61調(diào)整激光振蕩器11，達(dá)到對(duì)加工質(zhì)量不產(chǎn)生影響的那樣程度的輸出，再繼續(xù)加工，在繼續(xù)加工比較困難時(shí)，停止激光振蕩器11的工作。在停止激光振蕩器11之后，由使用者對(duì)構(gòu)成激光加工裝置的零部件、例如除了已經(jīng)檢查及更換結(jié)束的壓縮機(jī)42以外的構(gòu)成激光L傳輸路徑的光路導(dǎo)管30的管子31a及31b和伸縮軟管33等傳輸路徑零部件、框架23等加工機(jī)械以及激光振蕩器11等部分進(jìn)行檢查，在有異常時(shí)，進(jìn)行其零部件的更換；則處理結(jié)束。另外，傳輸路徑零部件的檢查也可以在降低激光輸出而進(jìn)行加工時(shí)進(jìn)行。
根據(jù)本實(shí)施形態(tài)4，由于是在供給清洗氣體的壓縮機(jī)42設(shè)置氣味傳感器51而構(gòu)成，因此能夠判斷室內(nèi)在壓縮機(jī)42周圍的氣氛異常，另外能夠根據(jù)該信息，來(lái)控制激光振蕩器11的工作。另外，能夠根據(jù)從氣味傳感器51輸出的異常檢測(cè)信號(hào)，判斷在壓縮機(jī)42的進(jìn)氣口安裝的過(guò)濾器43的更換時(shí)期。
實(shí)施形態(tài)5下面用圖12～圖14說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)5。圖12所示為根據(jù)本發(fā)明的激光加工裝置實(shí)施形態(tài)5的簡(jiǎn)要構(gòu)成方框圖，圖13所示為利用氣味傳感器的異常部位確定方法，圖14所示為激光加工裝置在異常檢測(cè)時(shí)的動(dòng)作處理流程圖。另外，關(guān)于與圖1相同的構(gòu)成要素，則附加同一符號(hào)，并省略其說(shuō)明。
如圖12所示，在本實(shí)施形態(tài)5的激光加工裝置中，其特征在于，至少在清洗氣體排出口36附近設(shè)置一個(gè)第一氣體檢測(cè)單元50a，至少在清洗氣體供給口35附近設(shè)置一個(gè)第二氣體檢測(cè)單元50b，而且在壓縮機(jī)42的進(jìn)氣口附近設(shè)置第三氣體檢測(cè)單元50c。其它構(gòu)成與圖1相同。另外，第二氣體檢測(cè)單元50b設(shè)置的位置最好是與光路導(dǎo)管30內(nèi)的清洗氣體供給口35相對(duì)的部分或比其稍微向下流一側(cè)的部分。另外，第一及第二氣體檢測(cè)單元50a及50b如實(shí)施形態(tài)1的圖2所示，設(shè)置在光路導(dǎo)管30中所設(shè)置的凹進(jìn)部分70。
圖13所示為根據(jù)第一～第三氣體檢測(cè)單元50a～50c的異常檢測(cè)狀況來(lái)考慮的原因。在該圖中也與圖8的情況相同，“○”表示未檢測(cè)出異常的狀況，“×”表示檢測(cè)出異常的狀況。首先，在第一～第三氣體檢測(cè)單元50a～50c都是正常時(shí)，由于沒(méi)有雜質(zhì)氣體流入光路導(dǎo)管30內(nèi)，因此能夠繼續(xù)進(jìn)行加工處理。其次，在第一及第二氣體檢測(cè)單元50a及50b是正常、而第三氣體檢測(cè)單元50c檢測(cè)出異常時(shí)，作為其第一原因，可以認(rèn)為是在壓縮機(jī)42周圍的氣氛中存在雜質(zhì)氣體。
然后，在第一氣體檢測(cè)單元50a檢測(cè)出異常、而第二及第三氣體檢測(cè)單元50b及50c是正常時(shí)，作為其第一原因，可以判斷為是從傳輸路徑零部件混入氣體而產(chǎn)生的異常。另外，在第一及第三氣體檢測(cè)單元50a及50c檢測(cè)出異常、而第二檢測(cè)單元50b是正常時(shí)，作為其第一原因，可以判斷為是壓縮機(jī)42周圍的氣氛及傳輸路徑零部件。
然后，在第一及第二氣體檢測(cè)單元50a及50b檢測(cè)出異常、而第三氣體檢測(cè)單元50c是正常時(shí)，作為其第一原因，可以判斷為是在壓縮機(jī)42與光路導(dǎo)管30內(nèi)的清洗氣體供給口35之間的異常，作為第二原因，可以判斷為是傳輸路徑零部件。另外，在第一～第三氣體檢測(cè)單元50a～50c檢測(cè)出異常時(shí)，作為其第一原因，可以判斷為是壓縮機(jī)42周圍的氣氛，作為其第二原因，可以判斷為是壓縮機(jī)42與光路導(dǎo)管30內(nèi)的清洗氣體供給口35之間的異常，作為第三原因，可以判斷為是傳輸路徑零部件。
這樣，通過(guò)在光路導(dǎo)管30的清洗氣體排出口36附近設(shè)置第一氣體檢測(cè)單元50a，在光路導(dǎo)管30的清洗氣體供給口35附近設(shè)置第二氣體檢測(cè)單元50b，并在壓縮機(jī)42的進(jìn)氣口附近設(shè)置第三氣體檢測(cè)單元50c，能夠?qū)㈦s質(zhì)氣體混入的原因區(qū)別為是由壓縮機(jī)42周圍的氣氛異常所引起的，還是由壓縮機(jī)42所引起的，還是由傳輸路徑零部件所引起的。
另外，對(duì)于激光加工裝置因混入雜質(zhì)氣體而產(chǎn)生的異常的處置方法，由于是從清洗氣體的上流側(cè)、即按照壓縮機(jī)42及其周圍和傳輸路徑零部件的順序來(lái)進(jìn)行的，因此作為對(duì)圖13所考慮的異常原因的處置方法，可以大致分為兩類，若加入正常時(shí)什么也不進(jìn)行的情況，則可以分為三類。即可以分為下述三類的處置方法，(A)全部氣體檢測(cè)單元50a～50c都正常時(shí)的處置方法，(B)第二或第三檢測(cè)單元50b或50c的至少一個(gè)異常時(shí)(在壓縮機(jī)42及其周圍有原因時(shí))處置方法，(C)僅第一氣體檢測(cè)單元50a是異常時(shí)(有可能傳輸路徑零部件是原因時(shí))的處置方法。
下面一邊參照?qǐng)D14的流程圖，一邊說(shuō)明該激光加工裝置在異常檢測(cè)時(shí)的處理。首先，進(jìn)行與實(shí)施形態(tài)4的圖11所說(shuō)明的步驟S61～S63相同的處理，開(kāi)始利用激光加工裝置進(jìn)行加工(步驟S81～S83)。即，對(duì)氣味傳感器51進(jìn)行規(guī)定時(shí)間的校正，在起動(dòng)壓縮機(jī)42并用氣體(空氣)充滿光路導(dǎo)管30內(nèi)之后，開(kāi)始加工。另外，氣味傳感器51的校正是利用實(shí)施形態(tài)1的圖4所說(shuō)明的順序進(jìn)行的。
在激光加工中，第一～第三氣體檢測(cè)單元50a～50c的氣味傳感器51繼續(xù)對(duì)是否存在雜質(zhì)氣體進(jìn)行檢測(cè)(步驟S84)。在全部氣體檢測(cè)單元50a～50c都未檢測(cè)出異常時(shí)(步驟S84的“全部氣體檢測(cè)單元都正常”的情況)，維持原狀繼續(xù)進(jìn)行加(步驟S93)。然后，在加工過(guò)程結(jié)束后，則處理結(jié)束。
另外，在第二或第三氣體檢測(cè)單元50b及50c的至少一個(gè)檢測(cè)出異常時(shí)(步驟S84的“第二或第三氣體檢測(cè)單元的至少一個(gè)檢測(cè)出異?！钡那闆r)，從第二氣體檢測(cè)單元50b及/或第三氣體檢測(cè)單元50c將異常檢測(cè)信號(hào)輸出給控制通知單元61。然后，控制通知單元61將進(jìn)行壓縮機(jī)42及其周圍檢查的意思通知異常顯示單元62(步驟S85)，使異常顯示單元62進(jìn)行顯示。按照該通知，使用者進(jìn)行檢查(步驟S86)。由使用者進(jìn)行的該壓縮機(jī)42及其周圍的檢查，由于與上述實(shí)施形態(tài)1的情況相同，因此省略說(shuō)明。
然后，若利用三個(gè)氣體檢測(cè)單元50a～50c未檢測(cè)出因雜質(zhì)氣體的存在而產(chǎn)生的異常(步驟S87的“全部氣體檢測(cè)單元都正常”的情況)，則繼續(xù)進(jìn)行加工處理(步驟S93)。然后，在加工過(guò)程結(jié)束后，則處理結(jié)束。
另外，在僅第一氣體檢測(cè)單元50a檢測(cè)出因清洗氣體內(nèi)存在雜質(zhì)氣體而產(chǎn)生的異常時(shí)(步驟S87的“僅第一氣體檢測(cè)單元檢測(cè)出異?！钡那闆r)或在上述步驟S84中僅第一氣體檢測(cè)單元50a的檢測(cè)出異常時(shí)(在步驟S84的“僅第一氣體檢測(cè)單元檢測(cè)出異常”的情況)，從第一氣體檢測(cè)單元50a將異常檢測(cè)信號(hào)輸出給控制通知單元61。然后，控制通知單元61將進(jìn)行傳輸路徑零部件檢查的意思通知異常顯示單元62(步驟S88)，使異常顯示單元62進(jìn)行顯示。按照該通知，使用者進(jìn)行檢查(步驟S89)。使用者檢查構(gòu)成激光L傳輸路徑的光路導(dǎo)管30的管子31a及31b和伸縮軟管33等傳輸路徑零部件有無(wú)燒損或老化，在有異常時(shí)，進(jìn)行該零部件的更換。
在由使用者進(jìn)行的檢查及更換結(jié)束后，利用各氣體檢測(cè)單元50a～50c對(duì)光路導(dǎo)管30內(nèi)的雜質(zhì)氣體進(jìn)行檢測(cè)(步驟S90)。若利用氣體檢測(cè)單元50a～50c未檢測(cè)出因清洗氣體內(nèi)存在雜質(zhì)氣體而產(chǎn)生的異常(步驟S90的No的情況)，則繼續(xù)進(jìn)行加工處理(步驟S93)。然后，在加工過(guò)程結(jié)束后，則處理結(jié)束。
另外，利用氣體檢測(cè)單元50a～50c檢測(cè)出因清洗氣體內(nèi)存在雜質(zhì)氣體而產(chǎn)生的異常時(shí)(步驟S90的Yes的情況)，檢測(cè)出異常的氣體檢測(cè)單元50a～50c將異常檢測(cè)信號(hào)輸出給控制通知單元61。然后控制通知單元61將有必要進(jìn)行整個(gè)激光加工裝置檢查的意思通知異常顯示單元62(步驟S91)，使異常顯示單元62進(jìn)行顯示。
若接收到該通知，則由使用者判斷在激光振蕩器11的輸出降低的狀態(tài)下是否能夠進(jìn)行加工而對(duì)加工質(zhì)量不產(chǎn)生影響，并根據(jù)該判斷結(jié)果，由控制通知單元61控制激光振蕩器11的狀態(tài)(步驟S92)。如上述實(shí)施形態(tài)1那樣，在能夠進(jìn)行激光加工時(shí)，控制通知單元61調(diào)整激光振蕩器11，達(dá)到對(duì)加工質(zhì)量不產(chǎn)生影響的那樣程度的輸出，再繼續(xù)進(jìn)行加工，在繼續(xù)進(jìn)行加工比較困難時(shí)，停止激光振蕩器11的工作。在停止激光振蕩器11之后，由使用者對(duì)構(gòu)成激光加工裝置的零部件、例如除了已經(jīng)檢查及更換結(jié)束的壓縮機(jī)42及光路導(dǎo)管30以外的框架23等加工機(jī)械以及激光振蕩器11等部分進(jìn)行檢查，在有異常時(shí)，進(jìn)行其零部件的更換，則處理結(jié)束。
根據(jù)本實(shí)施形態(tài)5，由于在清洗氣體排出口36附近及清洗氣體供給口35附近及壓縮機(jī)42的進(jìn)氣口附近設(shè)置氣味傳感器51而構(gòu)成，因此能夠檢測(cè)出混入雜質(zhì)氣體的情況，同時(shí)能夠?qū)⑵湓騾^(qū)別為是由室內(nèi)的壓縮機(jī)42周圍的氣氛所引起的，還是由壓縮機(jī)42所引起的，還是由傳輸路徑所引起的，能夠有效地對(duì)激光L異常的原因部位進(jìn)行調(diào)查。另外，通過(guò)將因混入雜質(zhì)氣體而引起的異常輸出給控制通知單元61，能夠判斷在壓縮機(jī)42的吸氣口安裝的過(guò)濾器的更換時(shí)期，或者容易知道傳輸路徑零部件的燒損或變質(zhì)等異常的檢測(cè)情況。再有，能夠根據(jù)來(lái)自控制通知單元61的異常檢測(cè)信號(hào)，來(lái)控制激光振蕩器11。
另外，在本實(shí)施形態(tài)5中，說(shuō)明的是在清洗氣體供給口35附近、清洗氣體排出口36附近及壓縮機(jī)42的進(jìn)氣口附近設(shè)置氣味傳感器51的情況，但是像在清洗氣體供給口35附近及壓縮機(jī)42的進(jìn)氣口附近設(shè)置氣味傳感器51的情況那樣，或者像在清洗氣體排出口36附近及壓縮機(jī)42的進(jìn)氣口附近設(shè)置氣味傳感器5 1的情況那樣，即使改變安裝位置及個(gè)數(shù)時(shí)，也能夠得到實(shí)施形態(tài)形態(tài)1～4中所說(shuō)明的那樣的效果。
另外，在實(shí)施形態(tài)1～5中，所示的是加工頭21垂直立起的結(jié)構(gòu)，但也可以是水平臥倒的結(jié)構(gòu)，加工頭21也可以進(jìn)行旋轉(zhuǎn)動(dòng)作或傾斜動(dòng)作。再有，在實(shí)施形態(tài)1～5中，所示的是加工頭21只能沿圖中的左右方向移動(dòng)的情況，但也可以是只能沿垂直于紙面的方向移動(dòng)的情況，或者也可以是能夠沿這兩個(gè)方向移動(dòng)的情況，再有也可以是能夠進(jìn)行三維移動(dòng)的情況。另外，從激光振蕩器11到加工頭21的引導(dǎo)激光L的光路導(dǎo)管30的形狀，也可以不是實(shí)施形態(tài)1～5所示的L型，而可以采用任意的結(jié)構(gòu)。
再有，在實(shí)施形態(tài)1～5中，是設(shè)置閥44，它將用壓縮機(jī)42吸氣并壓縮的空氣與來(lái)自氮?dú)夤┙o單元41的氮?dú)膺M(jìn)行切換，選擇一路氣體引入光路導(dǎo)管30，并在壓縮機(jī)42的進(jìn)氣口具有過(guò)濾器43而構(gòu)成，但也可以不設(shè)置這些閥44及過(guò)濾器43，另外即使只設(shè)置一種，也能夠得到與上述實(shí)施形態(tài)1～5同樣的效果。
另外，在實(shí)施形態(tài)1～5中，是將清洗氣體供給口35設(shè)置在光路導(dǎo)管30的激光振蕩器11的激光出射口12附近，將清洗氣體排出口36設(shè)置在光路導(dǎo)管30的加工頭21的安裝位置附近，但也可以反過(guò)來(lái)，將清洗氣體供給口35設(shè)置在光路導(dǎo)管30的加工頭21的安裝位置附近，將清洗氣體排出口36設(shè)置在光路導(dǎo)管30的激光振蕩器11的激光出射口12附近。
實(shí)施形態(tài)6下面用圖15及圖16說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)6。在上述的實(shí)施形態(tài)1～3及5中，氣體檢測(cè)單元50是以圖2所示的形狀設(shè)置在光路導(dǎo)管30中，而在本實(shí)施形態(tài)6中，說(shuō)明的是以不同于該圖2的形狀將氣體檢測(cè)單元50設(shè)置在光路導(dǎo)管30內(nèi)的情況。
圖15所示為氣體檢測(cè)單元安裝在光路導(dǎo)管中的一個(gè)例子，圖16所示為利用氣體檢測(cè)單元的校正處理順序的流程圖。
如圖15所示，該氣體檢測(cè)單元50設(shè)置在光路導(dǎo)管30的側(cè)壁的一部分、從光路導(dǎo)管30的內(nèi)側(cè)向外側(cè)凹進(jìn)而形成的凹進(jìn)部分70。凹進(jìn)部分70由具有與光路導(dǎo)管30內(nèi)的光軸平行的并與光路導(dǎo)管30連接的周面部分71、以及將光路導(dǎo)管30的外周面與凹進(jìn)部分70的周面部分71連接的二個(gè)側(cè)面部分74a及74b包圍而形成的。凹進(jìn)部分70的側(cè)面部分74da及74b相對(duì)于光路導(dǎo)管30的延伸方向具有近似垂直的角度。
氣體檢測(cè)單元50的氣味傳感器51固定在設(shè)置平臺(tái)81上。設(shè)置平臺(tái)81這樣構(gòu)成，它與電動(dòng)機(jī)或氣缸等驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)82連接，能夠在從凹進(jìn)部分70至不遮住光路導(dǎo)管30內(nèi)的激光L的光軸的位置之間沿紙面上的上下方向移動(dòng)。設(shè)置平臺(tái)81具有與凹進(jìn)部分70的開(kāi)口部分近似相同的尺寸，在校正時(shí)如圖15中的實(shí)線所畫的那樣，為了使得不設(shè)置氣味傳感器51的反面一側(cè)的表面形成光路導(dǎo)管30的內(nèi)壁的一部分，利用驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)82進(jìn)行移動(dòng)，使氣味傳感器51進(jìn)入凹進(jìn)部分70內(nèi)。另外，設(shè)置平臺(tái)81在激光加工中，如圖15中的虛線所畫的那樣，利用驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)82移動(dòng)至不遮住激光L的光路的光路導(dǎo)管30內(nèi)的位置。
另外，傳感器校正單元具有供給校正氣體的校正氣體供給單元53、向凹進(jìn)部分70內(nèi)吹出校正氣體的氣體吹出口56、以及進(jìn)行控制使得在進(jìn)行校正時(shí)向光路導(dǎo)管30內(nèi)供給校正氣體而在其它時(shí)間不向光路導(dǎo)管30內(nèi)供給校正氣體的電磁閥55而構(gòu)成。與實(shí)施形態(tài)1的圖2相同，氣體吹出口56安裝在位于凹進(jìn)部分70的上流側(cè)的側(cè)面部分74b。另外，在與氣體吹出口56相對(duì)的凹進(jìn)部分70的側(cè)面部分74a，設(shè)置將校正氣體排出用的氣體排出口57。該氣體排出口57處于僅在校正時(shí)打開(kāi)、而在激光加工中關(guān)閉的狀態(tài)。另外，氣味傳感器51通過(guò)該氣體排出口57，與控制通知單元61進(jìn)行布線。
下面一邊參照?qǐng)D16，一邊說(shuō)明該氣味傳感器51的動(dòng)作。首先，為了進(jìn)行校正，利用驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)82使氣味傳感器51移動(dòng)至凹進(jìn)部分70內(nèi)的規(guī)定位置(步驟S211)。然后，進(jìn)行與圖4的步驟S201～S205相同的處理。進(jìn)行氣味傳感器51的校正(步驟S212～S216)。即，打開(kāi)設(shè)置在校正氣體供給單元53氣體吹出口56之間的電磁閥55，從氣體吹出口56向氣味傳感器51吹出校正氣體，開(kāi)始校正。對(duì)氣味傳感器51吹出校正氣體的過(guò)程進(jìn)行了規(guī)定時(shí)間(通常為幾分鐘)，校正結(jié)束，則氣味傳感器51將校正結(jié)束的信號(hào)輸出給控制通知單元61，控制通知單元61關(guān)閉電磁閥55。
然后，利用驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)82使氣味傳感器51移動(dòng)至光路導(dǎo)管30內(nèi)的規(guī)定位置，則校正處理結(jié)束(步驟S217)。
這樣的光路導(dǎo)管30內(nèi)的氣體檢測(cè)單元50的結(jié)構(gòu)，可以適用于上述實(shí)施形態(tài)1～3及5的氣體檢測(cè)單元50。
根據(jù)本實(shí)施形態(tài)6，由于它是這樣構(gòu)成的，即在氣味傳感器51進(jìn)行校正時(shí)，移動(dòng)設(shè)置平臺(tái)81，使其塞住凹進(jìn)部分70的開(kāi)口部分，在由凹進(jìn)部分70與設(shè)置平臺(tái)81所包圍的空間內(nèi)流過(guò)校正氣體，因此能夠限制校正時(shí)使用的校正氣體量。
實(shí)施形態(tài)7下面用圖17及圖18說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)7。在上述的實(shí)施形態(tài)1～3及5中，氣體檢測(cè)單元50是以圖2所述的形式設(shè)置在光路導(dǎo)管30內(nèi)，而在本實(shí)施形態(tài)7中，將說(shuō)明以與該圖2不同的形式將氣體檢測(cè)單元50設(shè)置在光路導(dǎo)管30內(nèi)的情況。
圖17所示為氣體檢測(cè)單元安裝在光路導(dǎo)管中的一個(gè)例子，圖18所示為利用氣體檢測(cè)單元的校正處理順序的流程圖。另外，關(guān)于與圖2相同的構(gòu)成要素，則附加同一符號(hào)，并省略其說(shuō)明。
如圖17所示，本實(shí)施形態(tài)7的氣體檢測(cè)單元50的特征在于，為了使得實(shí)施形態(tài)1的圖2中設(shè)置凹進(jìn)部分70的光路導(dǎo)管30內(nèi)的空間形成封閉的空間，在凹進(jìn)部分70的上流側(cè)及下流側(cè)的光路導(dǎo)管30內(nèi)分別設(shè)置閘門閥91。
利用這樣的結(jié)構(gòu)，在進(jìn)行氣味傳感器51的校正時(shí)，關(guān)閉2個(gè)閘門閥91，使設(shè)置凹進(jìn)部分70的光路導(dǎo)管30內(nèi)的空間形成封閉的空間，從校正氣體供給單元53向這里供給校正氣體。然后，在校正結(jié)束后，打開(kāi)閘門閥91，進(jìn)行激光加工。
下面一邊參照?qǐng)D18，一邊說(shuō)明該氣味傳感器51的動(dòng)作。首先，關(guān)閉2個(gè)閘門閥91，使設(shè)置凹進(jìn)部分70的光路導(dǎo)管30內(nèi)的空間形成封閉的空間(步驟S221)。然后，進(jìn)行與圖4的步驟S201～S206相同的處理。進(jìn)行氣味傳感器51的校正(步驟S212～S216)。即，打開(kāi)設(shè)置在校正氣體供給單元53與噴嘴54之間的電磁閥55，從噴嘴54向氣味傳感器51吹出校正氣體，開(kāi)始校正。對(duì)氣味傳感器51吹出校正氣體的過(guò)程進(jìn)行了規(guī)定時(shí)間(通常為幾分鐘)，校正結(jié)束，則氣味傳感器51將校正結(jié)束的信號(hào)輸出給控制通知單元61，控制通知單元61關(guān)閉電磁閥55。
然后，打開(kāi)光路導(dǎo)管30中設(shè)置的閘門閥91。則校正處理結(jié)束(步驟S217)。
這樣的光路導(dǎo)管30內(nèi)的氣體檢測(cè)單元50的結(jié)構(gòu)，可以適用于上述實(shí)施形態(tài)1～3及5的氣體檢測(cè)單元50。
根據(jù)實(shí)施形態(tài)7，由于具有使設(shè)置凹進(jìn)部分70的光路導(dǎo)管30內(nèi)的空間形成封閉空間用的閘門閥91而構(gòu)成，在校正時(shí)關(guān)閉該閘門閥91，使校正氣體關(guān)閉在包含凹進(jìn)部分70的光路導(dǎo)管30內(nèi)的空間，因此與實(shí)施形態(tài)1～3及5的氣體檢測(cè)單元50的結(jié)構(gòu)相比，能夠限制校正氣體的使用量。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)在激光加工裝置的光路導(dǎo)管內(nèi)及壓縮機(jī)等的進(jìn)氣口設(shè)置氣味傳感器，能夠檢測(cè)出包含光路導(dǎo)管內(nèi)的全部清洗氣體的異常。其結(jié)果，能夠確定激光的異常是因?yàn)殡s質(zhì)氣體混入而引起的。另外，將利用氣味傳感器產(chǎn)生的異常檢測(cè)信號(hào)輸出給控制通知單元，通過(guò)考慮到是來(lái)自設(shè)置在哪個(gè)位置的氣味傳感器的異常檢測(cè)信號(hào)，或者是第幾次的異常檢測(cè)信號(hào)，能夠有效地對(duì)其原因進(jìn)行調(diào)查。其結(jié)果，能夠減少激光加工裝置在加工中的加工不良的情況，同時(shí)容易發(fā)現(xiàn)加工不良的原因。
本發(fā)明適用于利用激光對(duì)加工對(duì)象的工件進(jìn)行焊接及切割等加工處理的激光加工裝置。
權(quán)利要求
1.一種激光加工裝置，具備產(chǎn)生激光振蕩的激光振蕩器將從所述激光振蕩器出射的激光照射于被加工物體的加工頭、具有從所述激光振蕩器的激光出射口引導(dǎo)激光到所述加工頭的光學(xué)系統(tǒng)的光路導(dǎo)管、從設(shè)置在所述光路導(dǎo)管的與所述激光振蕩器或所述加工頭的連接部分附近的清洗氣體供給口供給清洗氣體的清洗氣體供給裝置、以及設(shè)置在所述光路導(dǎo)管的與所述加工頭或所述激光振蕩器的連接部分附近的清洗氣體排出口，其特征在于，所述光路導(dǎo)管內(nèi)具有檢測(cè)導(dǎo)致所述激光輸出異常的雜質(zhì)氣體混入所述光路導(dǎo)管內(nèi)的氣味傳感器。
2.如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，還具有若利用所述氣味傳感器檢測(cè)出所述雜質(zhì)氣體混入所述光路導(dǎo)管內(nèi)、則將所述雜質(zhì)氣體混入的檢測(cè)結(jié)果進(jìn)行通知的控制通知裝置。
3.如權(quán)利要求2所述的激光加工裝置，其特征在于，所述控制通知裝置在利用所述氣味傳感器在起動(dòng)所述激光加工裝置后第一次檢測(cè)出所述雜質(zhì)氣體混入所述光路導(dǎo)管內(nèi)時(shí)，通知是所述清洗氣體供給裝置或其周圍氣氛異常。
4.如權(quán)利要求2所述的激光加工裝置，其特征在于，所述控制通知裝置在利用所述氣味傳感器在起動(dòng)所述激光加工裝置后第二次檢測(cè)出所述雜質(zhì)氣體混入光路導(dǎo)管內(nèi)時(shí)，通知是所述光路導(dǎo)管異常。
5.如權(quán)利要求2所述的激光加工裝置，其特征在于，所述氣味傳感器在起動(dòng)所述激光加工裝置后三次以上檢測(cè)出所述雜質(zhì)氣體混入所述光路導(dǎo)管內(nèi)的情況下，所述控制通知裝置通知檢查整個(gè)所述激光加工裝置的必要性。
6.如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，在所述光路導(dǎo)管的所述清洗氣體排出口附近具有所述氣味傳感器。
7.如權(quán)利要求6所述的激光加工裝置，其特征在于，還具有若利用所述氣味傳感器檢測(cè)出所述雜質(zhì)氣體混入所述光路導(dǎo)管內(nèi)。則與該檢測(cè)次數(shù)相對(duì)應(yīng)進(jìn)行異常部位的通知或進(jìn)行異常部位的通知及所述激光振蕩器動(dòng)作狀態(tài)的控制的控制通知裝置。
8.如權(quán)利要求7所述的激光加工裝置，其特征在于，所述清洗氣體供給裝置是具有除去從進(jìn)氣口進(jìn)氣的空氣中的塵埃的過(guò)濾器、并將除去塵埃的空氣進(jìn)行壓縮后供給所述光路導(dǎo)管內(nèi)的壓縮機(jī)，在利用所述氣味傳感器在起動(dòng)所述激光加工裝置后第一次檢測(cè)出所述雜質(zhì)氣體混入所述光路導(dǎo)管內(nèi)時(shí)，所述異常部位的通知確定為所述激光異常是由雜質(zhì)氣體混入而引起的。
9.如權(quán)利要求8所述的激光加工裝置，其特征在于，在連接所述壓縮機(jī)與所述清洗氣體供給口的流通路徑之間，通過(guò)在與所述壓縮機(jī)之間選擇一種清洗氣體而進(jìn)行切換的閥，連接其它的清洗氣體供給裝置，所述控制通知裝置還具有切換所述閥的功能，使得在從所述壓縮機(jī)對(duì)所述光路導(dǎo)管供給清洗氣體的狀態(tài)下，若利用所述氣味傳感器檢測(cè)出異常，則從所述其它的清洗氣體供給裝置對(duì)所述光路導(dǎo)管供給清洗氣體。
10.如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，在所述光路導(dǎo)管的所述清洗氣體供給口附近具有所述氣味傳感器。
11.如權(quán)利要求10所述的激光加工裝置，其特征在于，還具有若利用所述氣味傳感器檢測(cè)出所述雜質(zhì)氣體混入所述光路導(dǎo)管內(nèi)、則與該檢測(cè)次數(shù)相對(duì)應(yīng)進(jìn)行異常部位的通知或進(jìn)行異常部位的通知及所述激光振蕩器動(dòng)作狀態(tài)的控制的控制通知裝置。
12.如權(quán)利要求11所述的激光加工裝置，其特征在于，所述清洗氣體供給裝置是具有除去從進(jìn)氣口進(jìn)氣的空氣中的塵埃的過(guò)濾器、并將除去塵埃的空氣進(jìn)行壓縮后供給所述光路導(dǎo)管內(nèi)的壓縮機(jī)，在利用所述氣味傳感器在起動(dòng)所述激光加工裝置后第一次檢測(cè)出所述雜質(zhì)氣體混入所述光路導(dǎo)管內(nèi)時(shí)，所述異常部位的通知為表示確認(rèn)對(duì)于所述壓縮機(jī)的所述過(guò)濾器的更換時(shí)期。
13.如權(quán)利要求12所述的激光加工裝置，其特征在于，在連接所述壓縮機(jī)與所述清洗氣體供給口的流通路徑之間，通過(guò)在與所述壓縮機(jī)之間選擇一種清洗氣體而進(jìn)行切換的閥，連接其它的清洗氣體供給裝置，所述控制通知裝置還具有切換所述閥的功能，使得在從所述壓縮機(jī)對(duì)所述光路導(dǎo)管供給清洗氣體的狀態(tài)下，若利用所述氣味傳感器檢測(cè)出異常，則從所述其它的清洗氣體供給裝置對(duì)所述光路導(dǎo)管供給清洗氣體。
14.如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述氣味傳感器包括設(shè)置在所述光路導(dǎo)管的所述清洗氣體排出口附近的第一氣味傳感器、以及設(shè)置在所述光路導(dǎo)管的所述清洗氣體供給口附近的第二氣味傳感器。
15.如權(quán)利要求14所述的激光加工裝置，其特征在于，具有與利用所述第一及所述第二氣味傳感器的檢測(cè)結(jié)果的組合和分別利用所述第一及第二氣味傳感器檢測(cè)的次數(shù)相對(duì)應(yīng)、進(jìn)行異常部位的通知或異常部位的通知及所述激光振蕩器動(dòng)作狀態(tài)的控制的控制通知裝置。
16.如權(quán)利要求15所述的激光加工裝置，其特征在于，所述清洗氣體供給裝置是具有除去從進(jìn)氣口進(jìn)氣的空氣中的塵埃的過(guò)濾器、并將除去塵埃的空氣進(jìn)行壓縮后供給所述光路導(dǎo)管內(nèi)的壓縮機(jī)，在利用所述第二氣味傳感器在起動(dòng)激光加工裝置后第一次檢測(cè)出所述雜質(zhì)氣體混入時(shí)，所述異常部位的通知為表示確認(rèn)處于所述壓縮機(jī)的所述過(guò)濾器的更換時(shí)期。
17.如權(quán)利要求16所述的激光加工裝置，其特征在于，在連接所述壓縮機(jī)與所述清洗氣體供給接口的流通路徑之間，通過(guò)在與所述壓縮機(jī)之間選擇一種清洗氣體而進(jìn)行切換的閥，連接其它的清洗氣體供給裝置，所述控制通知裝置還具有切換所述閥的功能，使得在從所述壓縮機(jī)對(duì)所述光路導(dǎo)管供給清洗氣體的狀態(tài)下，若利用所述第一或第二氣味傳感器檢測(cè)出異常，則從所述其它的清洗氣體供給裝置對(duì)所述光路導(dǎo)管供給清洗氣體。
18.如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述清洗氣體供給裝置是具有除去從進(jìn)氣口進(jìn)氣的空氣中的塵埃的過(guò)濾器、并將除去塵埃的空氣進(jìn)行壓縮后供給所述光路導(dǎo)管內(nèi)的壓縮機(jī)，所述氣味傳感器包括設(shè)置在所述光路導(dǎo)管的所述清洗氣體排出口附近的第一氣味傳感器、設(shè)置在所述光路導(dǎo)管的所述清洗氣體供給口附近的第二氣味傳感器、以及設(shè)置在所述壓縮機(jī)的所述進(jìn)氣口附近的第三氣味傳感器。
19.如權(quán)利要求18所述的激光加工裝置，其特征在于，具有與利用所述第一～所述第三氣味傳感器的檢測(cè)結(jié)果的組合和分別利用所述第一～第三氣味傳感器檢測(cè)的次數(shù)相對(duì)應(yīng)、進(jìn)行異常部位的通知或異常部位的通知及所述激光振蕩器動(dòng)作狀態(tài)的控制的控制通知裝置。
20.如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述氣味傳感器設(shè)置在從光路導(dǎo)管的內(nèi)側(cè)向外側(cè)凹進(jìn)而形成的凹進(jìn)部分，并與流過(guò)所述光路導(dǎo)管中的所述清洗氣體相對(duì)。
21.如權(quán)利要求20所述的激光加工裝置，其特征在于，在所述凹進(jìn)部分內(nèi)的與所述氣味傳感器相對(duì)的位置，還具有噴出進(jìn)行所述氣味傳感器的校正用的校正氣體的校正氣體供給裝置。
22.如權(quán)利要求21所述的激光加工裝置，其特征在于，還具有驅(qū)動(dòng)裝置，所述驅(qū)動(dòng)裝置在所述氣味傳感器進(jìn)行校正時(shí)，將所述氣味傳感器放在所述凹進(jìn)部分，而在激光加工時(shí)，將所述氣味傳感器設(shè)置在不遮住所述激光前進(jìn)的所述光路導(dǎo)管內(nèi)的位置。
23.如權(quán)利要求21所述的激光加工裝置，其特征在于，在夾有所述凹進(jìn)部分的所述光路導(dǎo)管上的位置，還具有二個(gè)閘門閥，在所述氣味傳感器進(jìn)行校正時(shí)，關(guān)閉所述閘門閥。
全文摘要
本發(fā)明的激光加工裝置包括產(chǎn)生激光振蕩的激光振蕩器(11)、將從激光振蕩器(11)出射的激光照射被加工物體(100)的加工頭(21)、具有從激光振蕩器(11)的激光出射口(12)引導(dǎo)激光到加工頭(21)的光學(xué)系統(tǒng)的光路導(dǎo)管(30)、從設(shè)置在光路導(dǎo)管(30)的與激光振蕩器(11)的連接部分附近的清洗氣體供給口(35)供給清洗氣體的清洗氣體供給裝置(42)、以及設(shè)置在光路導(dǎo)管(30)的與加工頭(21)的連接部分附近的清洗氣體排出口(36)，該激光加工裝置中具有檢測(cè)光路導(dǎo)管(30)內(nèi)導(dǎo)致激光輸出異常的雜質(zhì)氣體混入光路導(dǎo)管內(nèi)的氣體檢測(cè)單元(50)。
文檔編號(hào)B23K26/42GK1610598SQ0380101
公開(kāi)日2005年4月27日 申請(qǐng)日期2003年5月20日 優(yōu)先權(quán)日2003年5月20日
發(fā)明者荒川喜文, 橫井茂 申請(qǐng)人:三菱電機(jī)株式會(huì)社