一種單面ito結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的生產(chǎn)線的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及液晶顯示屏生產(chǎn)領(lǐng)域，更為具體地，涉及一種單面ITO結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的生產(chǎn)線。
【背景技術(shù)】
[0002]在高新技術(shù)快速發(fā)展的今天，電子類產(chǎn)品頻繁的更新?lián)Q代，使得此類廠家必須與時(shí)俱進(jìn)才能在市場(chǎng)上占得一席之地?！八俣龋|(zhì)量，成本”是每個(gè)企業(yè)都在關(guān)注的問(wèn)題，在質(zhì)量方面，國(guó)內(nèi)廠家眾多的情況下，客戶對(duì)產(chǎn)品的精度，線距，線邊等參數(shù)的要求變得更高，為此需要對(duì)相關(guān)工藝流程進(jìn)行更加完美的改善方可占得先機(jī)。單面ITO結(jié)構(gòu)產(chǎn)品是整個(gè)TP行業(yè)內(nèi)結(jié)構(gòu)較為簡(jiǎn)單、生產(chǎn)流程少的產(chǎn)品，但是圖形結(jié)構(gòu)復(fù)雜，線條密集，在正常的固烤之后部分光阻無(wú)法完全固化，導(dǎo)致蝕刻后出現(xiàn)毛刺。線邊毛刺的問(wèn)題會(huì)導(dǎo)致線條粗細(xì)不均勻，從而ITO線路阻值不均勻，造成產(chǎn)品功能測(cè)試出現(xiàn)NG的現(xiàn)象。同時(shí)由于線邊毛刺的問(wèn)題，使得良率普遍性較低，生產(chǎn)速率緩慢，大規(guī)模量產(chǎn)難度大，因此，亟需對(duì)單面ITO的生產(chǎn)線進(jìn)行改進(jìn)，從而實(shí)現(xiàn)單面ITO結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的大規(guī)模量產(chǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種單面ITO結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的生產(chǎn)線，通過(guò)于烘烤機(jī)內(nèi)安裝紅外加熱板解決部分光阻無(wú)法完全固化的問(wèn)題，從而提高生產(chǎn)單面ITO結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的良率。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案為:一種單面ITO結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的生產(chǎn)線，包括按傳送順序依次連接的清洗槽、涂膠室、烘烤室、曝光室、顯影室、烘烤機(jī)、蝕刻室和去膜室，其特征在于:所述烘烤機(jī)包括設(shè)備本體，在設(shè)備本體內(nèi)設(shè)有輸送機(jī)構(gòu)、加熱機(jī)構(gòu)、冷卻機(jī)構(gòu)，所述加熱機(jī)構(gòu)將設(shè)備本體的腔體按傳送順序依次分為預(yù)熱區(qū)間、恒溫區(qū)間、降溫區(qū)間，所述預(yù)熱區(qū)間采用2塊電加熱板，恒溫區(qū)間采用間隔布置的6塊紅外線加熱板和5塊電加熱板，降溫區(qū)間采用2塊電加熱板，所述輸送機(jī)構(gòu)為位于各區(qū)間加熱板之下的傳送帶機(jī)構(gòu)，所述冷卻機(jī)構(gòu)為位于降溫區(qū)間之后的吹冷風(fēng)機(jī)。
[0005]所述設(shè)備本體腔體內(nèi)壁采用真空隔熱板。
[0006]所述設(shè)備本體上對(duì)應(yīng)于各個(gè)區(qū)間分別設(shè)有相應(yīng)的維修檢測(cè)門。
[0007]所述的設(shè)備本體上安裝有與各加熱板連接的控制器。
[0008]本實(shí)用新型的有益效果為:由于紅外加熱板升溫快，由內(nèi)而外加熱，加熱面積大且溫度均勻，可縮短固化時(shí)間，且節(jié)省能源，提高生產(chǎn)效率。因此，通過(guò)在烘烤機(jī)內(nèi)安裝紅外加熱板，可保證光刻膠的完全固化，避免蝕刻后出現(xiàn)毛刺的現(xiàn)象，從而提高產(chǎn)品的良品率，并可提高產(chǎn)品生產(chǎn)速率，實(shí)現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)，同時(shí)由于紅外線加熱板的價(jià)格更貴，通過(guò)采用紅外線加熱板和電加熱板間隔布置的方式，也可適當(dāng)控制成本。
【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1為單面ITO結(jié)構(gòu)產(chǎn)品生產(chǎn)線的流程示意圖。
[0010]圖2為烘烤機(jī)各區(qū)間的簡(jiǎn)化示意圖。
[0011]圖3為烘烤機(jī)恒溫區(qū)間的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]圖中，1-清洗槽、2-涂膠室、3-烘烤室、4-曝光室、5-顯影室、6_烘烤機(jī)、7_蝕刻室、8-去膜室、61-預(yù)熱區(qū)間、62-恒溫區(qū)間、63-降溫區(qū)間、64-傳送帶、621-電加熱板，622-紅外線加熱板。
【具體實(shí)施方式】
[0013]如圖1所示，一種單面ITO結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的生產(chǎn)線，其包括按傳送順序依次連接的清洗槽1、涂膠室2、烘烤室3、曝光室4、顯影室5、烘烤機(jī)6、蝕刻室7和去膜室8，如圖2、圖3所示，所述烘烤機(jī)包括控制器與設(shè)備本體，設(shè)備本體內(nèi)設(shè)有輸送機(jī)構(gòu)、加熱機(jī)構(gòu)、冷卻機(jī)構(gòu)，所述設(shè)備本體腔體內(nèi)分為三個(gè)區(qū)間，分別為預(yù)熱區(qū)間61、恒溫區(qū)間62、降溫區(qū)間63，產(chǎn)品通過(guò)輸送機(jī)構(gòu)首先進(jìn)入預(yù)熱區(qū)間，再到恒溫區(qū)間、通過(guò)降溫區(qū)間最后經(jīng)過(guò)冷卻機(jī)構(gòu)從烘烤機(jī)出口出來(lái)，各區(qū)間安裝有若干塊熱板，預(yù)熱區(qū)間采用2塊電加熱板，溫度逐一上升，降溫區(qū)間采用2塊電加熱板，溫度逐一下降，恒溫區(qū)間采用電加熱板621與紅外線加熱板622，兩者相互間隔安裝，包括5塊電加熱板與6塊紅外線加熱板。相互間隔的安裝方式可保持溫度的穩(wěn)定性，使產(chǎn)品充分受熱，達(dá)到完全固化的效果，通過(guò)采用紅外線加熱板從而縮短對(duì)產(chǎn)品的固化時(shí)間，提高產(chǎn)品良率與生產(chǎn)效率。所述輸送機(jī)構(gòu)為傳送帶輸送機(jī)構(gòu)，傳送帶64位于熱板之下，ITO玻璃位于傳送帶64與熱板之間。所述控制器可控制設(shè)備本體的溫度、速度，調(diào)節(jié)熱板與傳送帶之間的距離。所述設(shè)備本體腔體內(nèi)側(cè)壁采用真空隔熱板，防止熱流外泄。所述設(shè)備本體設(shè)置有若干個(gè)維修檢測(cè)門。所述冷卻機(jī)構(gòu)為吹冷風(fēng)機(jī)，安裝在烘烤機(jī)出口處。
[0014]由于烘烤機(jī)主要是為了讓ITO玻璃的表面進(jìn)行完全固化，而單面ITO的圖形的復(fù)雜性使得在前段的烘烤過(guò)程中很難將表面光刻膠完全固化從而導(dǎo)致在蝕刻后線條邊緣會(huì)產(chǎn)生毛刺狀不良，需要對(duì)玻璃表面光刻膠進(jìn)行完全的固化，可以通過(guò)提高對(duì)光刻膠的烘烤溫度和時(shí)間來(lái)進(jìn)行改善，但是現(xiàn)有的烘烤機(jī)內(nèi)15塊熱板均為電加熱板，其中會(huì)有至少4塊處于升溫和降溫的作用，真正起到恒溫烘烤作用的有11塊熱板，在此11塊熱板下需要對(duì)玻璃烘烤數(shù)分鐘之久，就得將烘烤機(jī)熱板溫度升高，速度大幅降低，這樣將會(huì)嚴(yán)重影響生產(chǎn)線的生產(chǎn)產(chǎn)能，使烘烤機(jī)成為生產(chǎn)短板，因此，本實(shí)用新型在原來(lái)的固化烘烤的基礎(chǔ)上對(duì)烘烤機(jī)進(jìn)行改裝，采用電加熱板與紅外加熱板相互間隔加熱烘烤的方式對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行后固化，以獲得提尚廣品良品率和生廣速率的效果。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種單面ITO結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的生產(chǎn)線，包括按傳送順序依次連接的清洗槽、涂膠室、烘烤室、曝光室、顯影室、烘烤機(jī)、蝕刻室和去膜室，其特征在于:所述烘烤機(jī)包括設(shè)備本體，在設(shè)備本體內(nèi)設(shè)有輸送機(jī)構(gòu)、加熱機(jī)構(gòu)、冷卻機(jī)構(gòu)，所述加熱機(jī)構(gòu)將設(shè)備本體的腔體按傳送順序依次分為預(yù)熱區(qū)間、恒溫區(qū)間、降溫區(qū)間，所述預(yù)熱區(qū)間采用2塊電加熱板，恒溫區(qū)間采用間隔布置的6塊紅外線加熱板和5塊電加熱板，降溫區(qū)間采用2塊電加熱板，所述輸送機(jī)構(gòu)為位于各區(qū)間加熱板之下的傳送帶機(jī)構(gòu)，所述冷卻機(jī)構(gòu)為位于降溫區(qū)間之后的吹冷風(fēng)機(jī)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單面ITO結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的生產(chǎn)線，其特征在于:所述的設(shè)備本體腔體內(nèi)壁采用真空隔熱板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單面ITO結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的生產(chǎn)線，其特征在于:所述的設(shè)備本體上對(duì)應(yīng)于各個(gè)區(qū)間分別設(shè)有相應(yīng)的維修檢測(cè)門。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單面ITO結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的生產(chǎn)線，其特征在于:所述的設(shè)備本體上安裝有與各加熱板連接的控制器。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種單面ITO結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的生產(chǎn)線，包括按傳送順序依次連接的清洗槽、涂膠室、烘烤室、曝光室、顯影室、烘烤機(jī)、蝕刻室和去膜室，其特征在于：所述烘烤機(jī)包括設(shè)備本體，在設(shè)備本體內(nèi)設(shè)有輸送機(jī)構(gòu)、加熱機(jī)構(gòu)、冷卻機(jī)構(gòu)，所述加熱機(jī)構(gòu)將設(shè)備本體的腔體按傳送順序依次分為預(yù)熱區(qū)間、恒溫區(qū)間、降溫區(qū)間，其中恒溫區(qū)間采用間隔布置的6塊紅外線加熱板和5塊電加熱板，所述輸送機(jī)構(gòu)為位于各區(qū)間加熱板之下的傳送帶機(jī)構(gòu)，所述冷卻機(jī)構(gòu)為位于降溫區(qū)間之后的吹冷風(fēng)機(jī)。本實(shí)用新型通過(guò)在烘烤機(jī)內(nèi)安裝紅外加熱板，可保證光刻膠的完全固化，避免蝕刻后出現(xiàn)毛刺的現(xiàn)象，從而提高產(chǎn)品的良品率，并可提高產(chǎn)品生產(chǎn)速率，以便實(shí)現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)。
【IPC分類】G03F7-16, G02F1-13
【公開(kāi)號(hào)】CN204536687
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520128816
【發(fā)明人】劉敬超, 趙永剛, 高建
【申請(qǐng)人】河源市力友顯示技術(shù)有限公司
【公開(kāi)日】2015年8月5日
【申請(qǐng)日】2015年3月6日