一種光刻膠涂布及回收裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及平板顯示(包括液晶顯示器、等離子顯示器、有機發(fā)光顯示器等)及半導體等技術領域，具體而言涉及器件制備過程中光刻膠涂布及回收利用的一種技術。
【背景技術】
[0002]涂布技術就是在器件制作過程中在待加工基板表面涂覆一層光刻膠，然后通過后續(xù)曝光、顯影、蝕刻、脫膜等工序制作出需求的電極或絕緣層圖形。在平板顯示和半導體制造行業(yè)，涂布技術是非常關鍵的工藝技術，其按設備使用方式的不同分類為:旋轉涂布、線狀涂布和滾動涂布等，其中線狀涂布方式被廣泛應用于平板顯示行業(yè)，其主要特點在于:涂布精度高，平坦度好，節(jié)拍快，產(chǎn)能高。在制造型企業(yè)中，制造成本是關系到企業(yè)能否立足于市場的核心競爭力，而在線狀涂布方式制程中，其原材料光刻膠通常是從國外進口的，價格非常昂貴，如何減少光刻膠的浪費及提高光刻膠的利用率對于企業(yè)制造成本的降低有非常重要的意義。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了減少光刻膠的浪費及提高光刻膠的利用率，本發(fā)明提供一種光刻膠涂布及回收裝置。
[0004]技術方案:一種光刻膠涂布及回收裝置，包括光刻膠容器、光刻膠傳輸管、旋轉閥門、光刻膠抽取裝置、涂布刮刀、涂布刮刀傳輸管和動力裝置。旋轉閥門通過光刻膠傳輸管與光刻膠容器相連，光刻膠傳輸管上裝有過濾器和流量計；旋轉閥門通過涂布刮刀傳輸管與涂布刮刀相連；旋轉閥門通過螺紋與光刻膠抽取裝置相連；動力裝置同時與旋轉閥門和光刻膠抽取裝置相連。
[0005]旋轉閥門包括旋轉閥芯和旋轉閥門內(nèi)殼；旋轉閥芯的一端設置于旋轉閥門內(nèi)殼上，另一端與動力裝置相連，旋轉閥芯相對于旋轉閥門內(nèi)殼旋轉。
[0006]旋轉閥芯設置有第一通孔、第二通孔、旋轉閥芯電機連接軸、通孔防滲漏墊圈、活動卡盤和卡盤防滲漏墊圈；第一通孔和第二通孔設置于旋轉閥芯的一端，旋轉閥芯電機連接軸設置于旋轉閥芯的另一端，活動卡盤設置于旋轉閥芯的軸向中間位置；第一通孔和第二通孔設置于旋轉閥芯的同一徑向平面且二者的圓心與該徑向圓圓心的連線成90度夾角，同時，二者在旋轉閥芯內(nèi)部是連通的；第一通孔和第二通孔開口外圍處設置有通孔防滲漏墊圈；活動卡盤靠通孔的一側設置有卡盤防滲漏墊圈。
[0007]旋轉閥門內(nèi)殼設置有旋轉閥門內(nèi)殼光膠容器接口、旋轉閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口、旋轉閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口、旋轉閥芯固定孔、銷釘孔和活動卡槽；旋轉閥芯固定孔設置于旋轉閥門內(nèi)殼一底面的中心位置且孔的一端是密封的，活動卡槽設置于旋轉閥芯固定孔的未密封端；旋轉閥門內(nèi)殼光膠容器接口、旋轉閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口和旋轉閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口分別設置于旋轉閥門內(nèi)殼的三個側面上且各接口均與旋轉閥芯固定孔連通，各接口均設置有內(nèi)螺紋；銷釘孔設置于旋轉閥門內(nèi)殼底面的四個角上，銷釘孔用于固定旋轉閥門。
[0008]旋轉閥芯帶通孔的一端與旋轉閥芯固定孔相匹配，活動卡盤與活動卡槽相匹配，旋轉閥芯和旋轉閥門內(nèi)殼通過活動卡盤與活動卡槽固定連接，且二者可相對旋轉；在旋轉閥芯旋轉一定角度后，所述第一通孔、第二通孔在垂直位置上分別與所述旋轉閥門內(nèi)殼光膠容器接口的內(nèi)開口、旋轉閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口的內(nèi)開口、旋轉閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口的內(nèi)開口中的二者相對應。
[0009]光刻膠傳輸管、光刻膠抽取裝置和涂布刮刀傳輸管的一端設置有分別與旋轉閥門內(nèi)殼光膠容器接口、旋轉閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口和旋轉閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口內(nèi)螺紋相匹配的外螺紋，光刻膠傳輸管、光刻膠抽取裝置和涂布刮刀傳輸管分別與旋轉閥門內(nèi)殼光膠容器接口、旋轉閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口和旋轉閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口相連。
[0010]光刻膠抽取裝置設置有光刻膠抽取筒和光刻膠抽取活塞；光刻膠抽取活塞設置于光刻膠抽取筒內(nèi)。
[0011]動力裝置包括主控電路、旋轉閥芯電機和直線電機；主控電路分別與旋轉閥芯電機和直線電機相連，旋轉閥芯電機與旋轉閥芯電機連接軸相連，直線電機與光刻膠抽取活塞相連。
[0012]由于采用了上述技術方案，該裝置可以將涂布刮刀、傳輸管和過濾器中殘留的光刻膠吸入擠壓回光刻膠容器中，達到了減少光刻膠的浪費及提高光刻膠的利用率的目的，且該裝置集光刻膠涂布工藝與光刻膠回收過程一體化，其結構簡單緊湊、操作高效方便，回收的光刻膠不受污染、100%再利用，大大的節(jié)約企業(yè)的制造成本，有力的增強了企業(yè)的競爭力，為企業(yè)的發(fā)展做出了突出的貢獻。
[0013]說明書附圖
[0014]圖1是本發(fā)明的整體結構示意圖。
[0015]圖2中是旋轉閥門的立體示意圖。
[0016]圖3是圖2中的A-A剖視圖。
[0017]圖4是圖3中旋轉閥芯順時針旋轉90度后的示意圖。
[0018]圖5是旋轉閥芯結構示意圖。
[0019]圖6是圖5中的B-B剖視圖。
[0020]圖7是旋轉閥門內(nèi)殼的立體結構示意圖。
[0021]圖8是圖7中的D-D剖視圖。
[0022]I光刻膠容器；2光刻膠傳輸管；2.1過濾器；2.2流量計；3旋轉閥門；3.1旋轉閥芯；3.1.1第一通孔；3.1.2第二通孔；3.1.3旋轉閥芯電機連接軸；3.1.4通孔防滲漏墊圈；
3.1.5活動卡盤；3.1.6卡盤防滲漏墊圈；3.3旋轉閥門內(nèi)殼；3.3.1旋轉閥門內(nèi)殼光膠容器接口；3.3.2旋轉閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口；3.3.3旋轉閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口；3.3.4旋轉閥芯固定孔；3.3.5銷釘孔；3.3.6活動卡槽；4光刻膠抽取裝置；4.1光刻膠抽取筒；
4.2光刻膠抽取活塞；5涂布刮刀；6涂布刮刀傳輸管；7動力裝置；7.1主控電路；7.2旋轉閥芯電機；7.3直線電機
【具體實施方式】
[0023]下面結合附圖對本發(fā)明做進一步詳述。
[0024]如圖1所示，一種光刻膠涂布及回收裝置，包括光刻膠容器1、光刻膠傳輸管2、旋轉閥門3、光刻膠抽取裝置4、涂布刮刀5、涂布刮刀傳輸管6和動力裝置7。旋轉閥門3通過光刻膠傳輸管2與光刻膠容器I相連，光刻膠傳輸管2上裝有過濾器2.1和流量計2.2，過濾器2.1用于過濾光刻膠中的固體雜質(zhì)，減少光刻膠的沾污，流量計2.2用于統(tǒng)計光刻膠用量；旋轉閥門3通過涂布刮刀傳輸管6與涂布刮刀5相連；旋轉閥門3通過螺紋與光刻膠抽取裝置4相連；動力裝置7同時與旋轉閥門3和光刻膠抽取裝置4相連。
[0025]工作時，動力裝置7控制旋轉閥門3和光刻膠抽取裝置4配合工作，完成光刻膠的輸送和回收，涂布過程光刻膠的輸送:動力裝置7控制旋轉閥門3使光刻膠容器I與光刻膠抽取裝置4連通，此時動力裝置7再控制光刻膠抽取裝置4抽取光刻膠容器I中的光刻膠，然后動力裝置7控制旋轉閥門3使光刻膠抽取裝置4與涂布刮刀5連通，繼而動力裝置7控制光刻膠抽取裝置4使其從光刻膠容器I中抽取來的光刻膠擠壓推入至涂布刮刀5，完成涂布過程對光刻膠的輸送。而光刻膠的回收是上述的逆過程:動力裝置7控制旋轉閥門3使光刻膠抽取裝置4與涂布刮刀5連通，繼而動力裝置7控制光刻膠抽取裝置4抽取涂布刮刀5及傳輸管上殘留的光刻膠，然后動力裝置7控制旋轉閥門3使光刻膠容器I與光刻膠抽取裝置4連通，此時動力裝置7再控制光刻膠抽取裝置4使其將抽取回的光刻膠擠壓推入至光刻膠容器I中，同時過濾器2.1以及光刻膠傳輸管2上殘留的光刻膠也被推入至光刻膠容器I中，完成對光刻膠的回收。
[0026]如圖2所示，旋轉閥門3包括旋轉閥芯3.1和旋轉閥門內(nèi)殼3.3 ;旋轉閥芯3.1的一端設置于旋轉閥門內(nèi)殼3.3上，另一端與動力裝置7相連，旋轉閥芯3.1相對于旋轉閥門內(nèi)殼3.3旋轉。
[0027]如圖5所示，旋轉閥芯3.1設置有第一通孔3.1.1、第二通孔3.1.2、旋轉閥芯電機連接軸3.1.3、通孔防滲漏墊圈3.1.4、活動卡盤3.1.5和卡盤防滲漏墊圈3.1.6 ;第一通孔3.1.1和第二通孔3.1.2設置于旋轉閥芯3.1的一端，旋轉閥芯電機連接軸3.1.3設置于旋轉閥芯3.1的另一端，活動卡盤3.1.5設置于旋轉閥芯3.1的軸向中間位置；第一通孔3.1.1和第二通孔3.1.2設置于旋轉閥芯3.1的同一徑向平面且二者的圓心與該徑向圓圓心的連線成90度夾角，同時，二者在旋轉閥芯3.1內(nèi)部是連通的；第一通孔3.1.1和第二通孔3.1.2開口外圍處設置有通孔防滲漏墊圈3.1.4 ;活動卡盤3.1.5靠通孔的一側設置有卡盤防滲漏墊圈3.1.6。
[0028]動力裝置7通過旋轉閥芯電機連接軸3.1.3控制旋轉閥芯3.1在旋轉閥門內(nèi)殼3.3內(nèi)轉動，使其第一通孔3.1.1和第二通孔3.1.2將光刻膠容器1、光刻膠抽取裝置4、涂布刮刀5中的二者連通，完成光刻膠的輸送或回收，通孔防滲漏墊圈3.1.4和卡盤防滲漏墊圈3.1.6防止光刻膠的滲漏和空氣對光刻膠的污染。
[0029]如圖7所示，旋轉閥門內(nèi)殼3.3設置有旋轉閥門內(nèi)殼光膠容器接口 3.3.1、旋轉閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口 3.3.2、旋轉閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口 3.3.3、旋轉閥芯固定孔3.3.4、銷釘孔3.3.5和活動卡槽3.3.6 ;旋轉閥芯固定孔3.3.4設置于旋轉閥門內(nèi)殼3.3 —底面的中心位置且孔的一端是密封的，活動卡槽3.3.6設置于旋轉閥芯固定孔3.3.4的未密封端；旋轉閥門內(nèi)殼光膠容器接口 3.3.1、旋轉閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口 3.3.2和旋轉閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口 3.3.3分別設置于旋轉閥門內(nèi)殼3.3的三個側面上且各接口均與旋轉閥芯固定孔3.3.4連通，各接口均設置有內(nèi)螺紋；銷釘孔3.3.5設置于旋轉閥門內(nèi)殼3.3底面的四個角上。
[0030]旋轉閥芯3.1帶通孔的一端插入旋轉閥芯固定孔3.3.4內(nèi)，活動卡盤3.1.5卡在活動卡槽3.