一種具有真空氣壓監(jiān)控功能的感光膜曝光裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種具有真空氣壓監(jiān)控功能的感光膜曝光裝置，它包括真空氣壓監(jiān)控裝置、裝載框架（1）、曝光箱（2）和裝載箱（3），裝載框架（1）包括上框架（17）和下框架（18），上框架（17）的底面上設(shè)置有上透光板（8），下框架（18）的凹槽（9）的底面上設(shè)置有下透光板（10），下框架（18）設(shè)置有抽真空通道、抽真空氣孔（11）和抽真空接頭（12），真空氣壓監(jiān)控裝置包括真空泵、氣壓傳感器和控制器。本實用新型的有益效果是：提高了曝光效率，裝載工作方便、容易進行，能夠準確的檢測下透光板和上透光板之間的真空氣壓數(shù)據(jù)，確保曝光過程中下透光板和上透光板之間的真空氣壓數(shù)值，從而保證曝光質(zhì)量。
【專利說明】一種具有真空氣壓監(jiān)控功能的感光膜曝光裝置【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種具有真空氣壓監(jiān)控功能的感光膜曝光裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在FPC板制造工藝中，主要有FPC板的清洗、印刷(烘烤)、曝光顯影、圖像電鍍極大工序。其中，在曝光顯影工序中有一道外層曝光的工序，該工序使用一種手動曝光機。該手動曝光機包括一個玻璃臺面，用以放置待曝光的FPC板，以及一個貼膜層，用以貼敷定位所述FPC板。玻璃臺面與貼敷膜層之間，還設(shè)有抽氣口，工作時，先將FPC板放置于所述玻璃臺面上，再將貼敷膜層貼敷在所述FPC板的表面，然后通過所述抽氣口抽氣，開啟光源，對待曝光的FPC板的下表面進行曝光。此裝置僅能完成FPC板的單面曝光，對于需要雙面曝光的FPC板需要進行兩次曝光操作，效率低，耗時長。
[0003]并且，目前使用的曝光機一般通過目測憑經(jīng)驗估計腔體內(nèi)的的真空度，誤差大，且無法控制腔體內(nèi)的真空度，可能會引起真空度抽氣過度而導(dǎo)致玻璃蓋板爆裂，或者由于真空度太低，空氣殘留過多，造成曝光不良。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點，提供一種方便裝載、提高曝光效率、具有真空氣壓監(jiān)控功能的感光膜曝光裝置。
[0005]本實用新型的目的通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn):一種具有真空氣壓監(jiān)控功能的感光膜曝光裝置，它包括真空氣壓監(jiān)控裝置、裝載框架、以及依次連接為一體的曝光箱和裝載箱，曝光箱和裝載箱上均設(shè)置有用于安裝裝載框架的水平導(dǎo)軌，曝光箱位于水平導(dǎo)軌的上下兩側(cè)均設(shè)置有曝光光源，所述的裝載框架包括上框架和下框架，上框架和下框架通過設(shè)置于后側(cè)面上的合頁連接為一體，上框架的底面上設(shè)置有上透光板，下框架的頂面上設(shè)置有容置上框架的凹槽，該凹槽的底面上設(shè)置有下透光板，下框架內(nèi)部設(shè)置有抽真空通道，下框架位于上透光板和下透光板之間的部分上設(shè)置有抽真空氣孔，下框架上還設(shè)置有用于連接抽真空管路的抽真空接頭，抽真空接頭通過抽真空通道與抽真空氣孔連通，所述的下框架的左右兩側(cè)均設(shè)置有水平凸棱，下框架的水平凸棱滑動安裝于曝光箱和裝載箱的水平導(dǎo)軌內(nèi)，所述的真空氣壓監(jiān)控裝置包括真空泵、氣壓傳感器和控制器，抽真空接頭通過氣路與真空泵吸氣口相連，氣路上設(shè)置有控制氣路通斷的電磁閥，氣壓傳感器安裝于下框架的抽真空通道內(nèi)，氣壓傳感器與控制器的輸入端連接，真空泵和電磁閥分別與控制器的輸出端連接。
[0006]所述的上框架的前端面上安裝有把手。
[0007]所述的上框架的前端面設(shè)置有凸塊，下框架上設(shè)置有與凸塊相配合的缺口，凸塊的前端面與下框架的前端面相平齊，把手安裝于凸塊的前端面上。
[0008]本實用新型具有以下優(yōu)點:本實用新型可以同時對薄板兩個表面貼附的感光膜同時進行曝光，從而提高了曝光效率，裝載框架的結(jié)構(gòu)設(shè)計使得裝載裝置與曝光光源安裝結(jié)構(gòu)為分體結(jié)構(gòu)，裝載工作方便、容易進行。通過設(shè)置真空氣壓監(jiān)控裝置，從而能夠準確的檢測下透光板和上透光板之間的真空氣壓數(shù)據(jù)，確保曝光過程中下透光板和上透光板之間的真空氣壓數(shù)值，從而保證曝光質(zhì)量；當抽真空達到要求的真空氣壓數(shù)值時，控制器會控制電磁閥關(guān)閉、控制真空泵停止工作，從而延長真空泵的使用壽命。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖
[0010]圖2為本實用新型的裝載框架的俯視結(jié)構(gòu)示意圖
[0011]圖3為圖2沿A-A截面的剖視圖
[0012]圖4為本實用新型的下框架的剖視結(jié)構(gòu)示意圖
[0013]圖5為本實用新型曝光時的結(jié)構(gòu)示意圖
[0014]圖6為本實用新型真空氣壓監(jiān)控裝置的框圖
[0015]圖中，1-裝載框架，2-曝光箱，3-裝載箱，4-水平導(dǎo)軌A，5_水平導(dǎo)軌B，6_曝光光源，7-合頁，8-上透光板，9-凹槽，10-下透光板，11-抽真空氣孔，12-抽真空接頭，13-水平凸棱，14-把手，15-凸塊，16-缺口，17-上框架，18-下框架。
【具體實施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖對本實用新型做進一步的描述，本實用新型的保護范圍不局限于以下所述:
[0017]如圖1所示，一種具有真空氣壓監(jiān)控功能的感光膜曝光裝置，它包括真空氣壓監(jiān)控裝置、裝載框架1、以及依次連接為一體的曝光箱2和裝載箱3，曝光箱2和裝載箱3上均設(shè)置有用于安裝裝載框架I的水平導(dǎo)軌，曝光箱2內(nèi)的水平導(dǎo)軌A4與裝載箱3的水平導(dǎo)軌B5連接為連續(xù)的水平導(dǎo)軌，曝光箱2位于水平導(dǎo)軌的上下兩側(cè)均設(shè)置有曝光光源6，如圖2、圖3、圖4所示，所述的裝載框架I包括上框架17和下框架18，上框架17和下框架18通過設(shè)置于后側(cè)面上的合頁7連接為一體，上框架17的底面上設(shè)置有上透光板8，下框架18的頂面上設(shè)置有容置上框架17的凹槽9,該凹槽9的底面上設(shè)置有下透光板10,上框架17和下框架18均為由四個邊框圍成的矩形框架，透光板的四個邊緣均與對應(yīng)側(cè)的邊框緊密固定連接，下框架18內(nèi)部設(shè)置有抽真空通道，下框架18位于上透光板8和下透光板10之間的部分上設(shè)置有抽真空氣孔11，下框架18上還設(shè)置有用于連接抽真空管路的抽真空接頭12，抽真空接頭12通過抽真空通道與抽真空氣孔11連通，所述的下框架18的左右兩側(cè)均設(shè)置有水平凸棱13，下框架18的水平凸棱13滑動安裝于曝光箱2和裝載箱3的水平導(dǎo)軌內(nèi)，
[0018]如圖6所示，所述的真空氣壓監(jiān)控裝置包括真空泵、氣壓傳感器和控制器，抽真空接頭12通過氣路與真空泵吸氣口相連，氣路上設(shè)置有控制氣路通斷的電磁閥，氣壓傳感器安裝于下框架18的抽真空通道內(nèi)，氣壓傳感器與控制器的輸入端連接，真空泵和電磁閥分別與控制器的輸出端連接。
[0019]所述的凹槽9僅設(shè)置于非安裝合頁7的邊框上，為了提高氣密性，上框架17在安裝合頁7的邊框的下表面設(shè)置有密封條，上框架17在非安裝合頁7的邊框的凹槽9的側(cè)面設(shè)置有密封條；為了進一步提高氣密性，下框架18在安裝合頁7的邊框的上表面設(shè)置有密封條，下框架18在非安裝合頁7的邊框的側(cè)面設(shè)置有密封條，所述的抽真氣孔設(shè)置于下框架18非安裝合頁7的邊框上。
[0020]所述的上框架17的前端面上安裝有把手14。
[0021]所述的上框架17的前端面設(shè)置有凸塊15，下框架18上設(shè)置有與凸塊15相配合的缺口 16，凸塊15的前端面與下框架18的前端面相平齊，把手14安裝于凸塊15的前端面上。
[0022]本實用新型的工作過程如下:通過把手14翻開上框架17，上框架17繞合頁7旋轉(zhuǎn)打開，將待曝光的貼有感光膜的薄板放置于下框架18的下透光板10上部，然后蓋合上框架17，由真空泵通過抽真空氣孔11對下透光板10和上透光板8之間進行抽真空，由上透光板8和下透光板10壓緊薄板，此時，操作者可使用滾筒、壓板等裝置在上透光板8上滾壓或推壓，以將下透光板10、薄板、上透光板8之間的空氣完全抽出，氣壓傳感器實時監(jiān)測抽真空通道內(nèi)的氣壓變化，并將感應(yīng)信號傳輸至控制器，當抽真空通道內(nèi)的氣壓達到設(shè)定值時，控制器控制關(guān)閉電磁閥、真空泵停止工作，此時便可推動下框架18沿導(dǎo)軌滑動，整個裝載框架I進入曝光箱2，由分別位于裝載框架I上部和下部的光源對裝載于上透光板8和下透光板10之間的薄板的兩個表面同時進行曝光，如圖5所示。在此過程中，若氣壓傳感器監(jiān)測到抽真空通道內(nèi)的氣壓變化至未達到設(shè)定值時，控制器控制真空泵開始工作、打開電磁閥，對下透光板10和上透光板8之間進行抽真空，保證下透光板10和上透光板8之間的真空氣壓數(shù)值，從而保證曝光質(zhì)量。
[0023]本實用新型可以同時對薄板兩個表面貼附的感光膜同時進行曝光，從而提高了曝光效率，裝載框架I的結(jié)構(gòu)設(shè)計使得裝載裝置與曝光光源6安裝結(jié)構(gòu)為分體結(jié)構(gòu)，裝載工作方便、容易進行，同時能夠滿足真空條件的工況需求。本實用新型通過設(shè)置真空氣壓監(jiān)控裝置，從而能夠準確的檢測下透光板10和上透光板8之間的真空氣壓數(shù)據(jù)，確保曝光過程中下透光板10和上透光板8之間的真空氣壓數(shù)值，從而保證曝光質(zhì)量；當抽真空達到要求的真空氣壓數(shù)值時，控制器會控制電磁閥關(guān)閉、控制真空泵停止工作，從而延長真空泵的使用壽命。
【權(quán)利要求】
1.一種具有真空氣壓監(jiān)控功能的感光膜曝光裝置，其特征在于:它包括真空氣壓監(jiān)控裝置、裝載框架(I)、以及依次連接為一體的曝光箱(2)和裝載箱(3)，曝光箱(2)和裝載箱(3)上均設(shè)置有用于安裝裝載框架(I)的水平導(dǎo)軌，曝光箱(2)位于水平導(dǎo)軌的上下兩側(cè)均設(shè)置有曝光光源(6)，所述的裝載框架(I)包括上框架(17)和下框架(18)，上框架(17)和下框架(18)通過設(shè)置于后側(cè)面上的合頁(7)連接為一體，上框架(17)的底面上設(shè)置有上透光板(8)，下框架(18)的頂面上設(shè)置有容置上框架(17)的凹槽(9)，該凹槽(9)的底面上設(shè)置有下透光板(10)，下框架(18)內(nèi)部設(shè)置有抽真空通道，下框架(18)位于上透光板(8)和下透光板(10)之間的部分上設(shè)置有抽真空氣孔(11)，下框架(18)上還設(shè)置有用于連接抽真空管路的抽真空接頭(12)，抽真空接頭(12)通過抽真空通道與抽真空氣孔(11)連通，所述的下框架(18)的左右兩側(cè)均設(shè)置有水平凸棱(13)，下框架(18)的水平凸棱(13)滑動安裝于曝光箱(2)和裝載箱(3)的水平導(dǎo)軌內(nèi)，所述的真空氣壓監(jiān)控裝置包括真空泵、氣壓傳感器和控制器，抽真空接頭(12)通過氣路與真空泵吸氣口相連，氣路上設(shè)置有控制氣路通斷的電磁閥，氣壓傳感器安裝于下框架(18)的抽真空通道內(nèi)，氣壓傳感器與控制器的輸入端連接，真空泵和電磁閥分別與控制器的輸出端連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有真空氣壓監(jiān)控功能的感光膜曝光裝置，其特征在于:所述的上框架(17)的前端面上安裝有把手(14)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有真空氣壓監(jiān)控功能的感光膜曝光裝置，其特征在于:所述的上框架(17)的前端面設(shè)置有凸塊(15)，下框架(18)上設(shè)置有與凸塊(15)相配合的缺口( 16)，凸塊(15)的前端面與下框架(18)的前端面相平齊，把手(14)安裝于凸塊(15)的前端面上。
【文檔編號】G03F7/20GK203799175SQ201420218725
【公開日】2014年8月27日 申請日期:2014年4月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月30日
【發(fā)明者】劉維軍, 郭寶貴 申請人:遂寧市維海電子科技有限公司