專利名稱：抗蝕劑組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種抗蝕劑組合物。
背景技術(shù)：
如液晶顯示裝置電路或半導(dǎo)體集成電路那樣，精細(xì)的電路圖案是在基板上形成的絕緣膜或?qū)щ娦越饘倌ど贤坎伎刮g劑組合物，進(jìn)行固化、曝光、顯影而形成目標(biāo)形狀的圖案。使用形成了圖案的抗蝕劑膜作為掩模對(duì)金屬膜或絕緣膜進(jìn)行蝕刻，然后除去殘留的抗蝕劑膜，從而在基板上形成精細(xì)電路。這種液晶顯示裝置電路用抗蝕劑組合物根據(jù)曝光部分的溶解度變化來(lái)分類為負(fù)型和正型?？刮g劑組合物的重要特性包括所形成的抗蝕劑膜的感光速度、耐熱性、顯影對(duì)比度、分辨率、與基板的粘合力、殘膜率、電路線寬均勻性(CD Uniformity)及人身安全性等使用方便性。對(duì)于各種工業(yè)上的用途，特別是在液晶顯示裝置或半導(dǎo)體電路的制造中，抗蝕劑膜需要能形成具有非常細(xì)的線和空間寬度(Iym以下)的圖案程度的分辨率。大部分的抗蝕劑組合物含有用于形成抗蝕劑膜的高分子樹脂、光敏性化合物和溶齊U?，F(xiàn)有技術(shù)中進(jìn)行了很多嘗試以改善液晶顯示裝置電路用抗蝕劑組合物的感光速度、顯影對(duì)比度、分辨率及人身安全性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明目的在于，考慮上述以往技術(shù)的問題，提供具有現(xiàn)有的抗蝕劑組合物?！N抗蝕劑組合物，其特征在于由以下重量份的組分組成，堿溶性丙烯?；簿畚?0-20份、萘醌二疊氮基酯化物5-10份、三聚氰胺衍生物2-5份、聚乙烯基苯酚型聚合物2-5份、堿溶性酚醛清漆樹脂35-40份、烷基烷氧基硅烷2-8份、烷基鍺烷3-7份、二氧化硅2-6份、氧化招1-5份、二氧化鈦2-5份、氧化錯(cuò)4-7份、氧化錫2_4份、氧化鋅3_7份、無(wú)水乙醇10-15份。采用常規(guī)方法將上述原料在攪拌器中攪拌均勻，攪拌速度2000-3000轉(zhuǎn)/分鐘，攪拌30-60分鐘，攪拌溫度100-150° C。本發(fā)明的抗蝕劑組合物感光速度、殘膜率和耐熱性優(yōu)異。
具體實(shí)施例方式實(shí)施例I
一種抗蝕劑組合物，其特征在于由以下重量份的組分組成，堿溶性丙烯酰基共聚物10份、萘醌二疊氮基酯化物5份、三聚氰胺衍生物2份、聚乙烯基苯酚型聚合物2份、堿溶性酚醛清漆樹脂35份、烷基烷氧基硅烷2份、烷基鍺烷3份、二氧化硅2份、氧化鋁I份、二氧化鈦2份、氧化鋯4份、氧化錫2份、氧化鋅3份、無(wú)水乙醇10份。實(shí)施例2 一種抗蝕劑組合物，其特征在于由以下重量份的組分組成，堿溶性丙烯酰基共聚物20份、萘醌二疊氮基酯化物10份、三聚氰胺衍生物5份、聚乙烯基苯酚型聚合物5份、堿溶性酚醛清漆樹脂40份、烷基烷氧基硅烷8份、烷基鍺烷7份、二氧化硅6份、氧化鋁5份、二氧化鈦5份、氧化鋯7份、氧化錫4份、氧化鋅7份、無(wú)水乙醇15份。實(shí)施例3
一種抗蝕劑組合物，其特征在于由以下重量份的組分組成，堿溶性丙烯?；簿畚?5份、萘醌二疊氮基酯化物7份、三聚氰胺衍生物3份、聚乙烯基苯酚型聚合物4份、堿溶性酚醛清漆樹脂37份、烷基烷氧基硅烷6份、烷基鍺烷5份、二氧化硅5份、氧化鋁3份、二氧化鈦3份、氧化鋯5份、氧化錫3份、氧化鋅4份、無(wú)水乙醇13份。
權(quán)利要求
1.一種抗蝕劑組合物，其特征在于由以下重量份的組分組成，堿溶性丙烯酰基共聚物10-20份、萘醌二疊氮基酯化物5-10份、三聚氰胺衍生物2-5份、聚乙烯基苯酚型聚合物 2-5份、堿溶性酚醛清漆樹脂35-40份、烷基烷氧基硅烷2-8份、烷基鍺烷3-7份、二氧化硅 2-6份、氧化招1-5份、二氧化鈦2-5份、氧化錯(cuò)4-7份、氧化錫2_4份、氧化鋅3_7份、無(wú)水乙醇10-15份。
全文摘要
一種抗蝕劑組合物，其特征在于由以下重量份的組分組成，堿溶性丙烯?；簿畚?0-20份、萘醌二疊氮基酯化物5-10份、三聚氰胺衍生物2-5份、聚乙烯基苯酚型聚合物2-5份、堿溶性酚醛清漆樹脂35-40份、烷基烷氧基硅烷2-8份、烷基鍺烷3-7份、二氧化硅2-6份、氧化鋁1-5份、二氧化鈦2-5份、氧化鋯4-7份、氧化錫2-4份、氧化鋅3-7份、無(wú)水乙醇10-15份。本發(fā)明的抗蝕劑組合物感光速度、殘膜率和耐熱性優(yōu)異。
文檔編號(hào)G03F7/004GK102981363SQ20121056130
公開日2013年3月20日 申請(qǐng)日期2012年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月21日
發(fā)明者袁三平 申請(qǐng)人:青島森淼實(shí)業(yè)有限公司