專利名稱：抗蝕劑組合物和用于生產(chǎn)抗蝕圖案的方法
技術領域：
本發(fā)明涉及抗蝕劑組合物和用于生產(chǎn)抗蝕圖案的方法。
背景技術：
專利文獻JP-2010-197413A描述了一種抗蝕劑組合物，所述抗蝕劑組合物包含樹脂和酸生成劑，所述樹脂具有含由式(u-A)和式(u-B)表示的結(jié)構(gòu)單元的聚合物，和含由式(u-B)、式(u-C)和式(u-D)表示的結(jié)構(gòu)單元的聚合物。
權利要求
1.一種抗蝕劑組合物，所述抗蝕劑組合物包含 具有由式(I)表示的結(jié)構(gòu)單元的樹脂， 在堿性水溶液中不可溶或難溶但是通過酸的作用變得可溶于堿性水溶液并且不包含由式(I)表示的結(jié)構(gòu)單元的樹脂，和具有酸不穩(wěn)定基團的酸生成劑，
2.根據(jù)權利要求I所述的抗蝕劑組合物，其中所述具有酸不穩(wěn)定基團的酸生成劑是由式(II)表示的酸生成劑；
3.根據(jù)權利要求I所述的抗蝕劑組合物，其中式(I)中的A1是1，2_亞乙基。
4.根據(jù)權利要求I所述的抗蝕劑組合物，其中式⑴中的A13是C1至C6全氟烷二基。
5.根據(jù)權利要求I所述的抗蝕劑組合物，其中式(I)中的X12是*-C0-0-，*表示與A13的結(jié)合。
6.根據(jù)權利要求I所述的抗蝕劑組合物，其中式(I)中的A14是環(huán)丙基甲基、環(huán)戊基、環(huán)己基、降冰片基或金剛燒基。
7.根據(jù)權利要求2所述的抗蝕劑組合物，其中式(II)中的L21是單鍵或*-C0-0-L22-，L22表示C1至C6烷二基，*表示與-CR21R22-的碳原子的結(jié)合。
8.根據(jù)權利要求2所述的抗蝕劑組合物，其中在式(II)中的Z+是三芳基锍陽離子。
9.根據(jù)權利要求I所述的抗蝕劑組合物，所述抗蝕劑組合物還包含溶劑。
10.一種用于生產(chǎn)抗蝕圖案的方法，所述方法包括下列步驟(1)將權利要求I所述的抗蝕劑組合物涂敷到基材上；(2)將涂敷的組合物干燥以形成組合物層；(3)將所述組合物層曝光；(4)將曝光的組合物層加熱，和(5)將加熱的組合物層顯影。
全文摘要
本發(fā)明公開了抗蝕劑組合物和用于生產(chǎn)抗蝕圖案的方法，所述抗蝕劑組合物具有具有由式(I)表示的結(jié)構(gòu)單元的樹脂，在堿性水溶液中不可溶或難溶但是通過酸的作用變得可溶于堿性水溶液并且不包含由式(I)表示的結(jié)構(gòu)單元的樹脂，和具有酸不穩(wěn)定基團的酸生成劑，其中R1、A1、A13、A14、X12如說明書中限定。
文檔編號G03F7/004GK102890414SQ20121025127
公開日2013年1月23日 申請日期2012年7月19日 優(yōu)先權日2011年7月19日
發(fā)明者市川幸司, 山口訓史, 鈴木雄喜 申請人:住友化學株式會社