專利名稱：網(wǎng)版印刷系統(tǒng)及網(wǎng)版印刷方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)于一種網(wǎng)版印刷系統(tǒng)及網(wǎng)版印刷方法。
背景技術(shù)：
在制造太陽能電池過程中，使用一印刷電極裝置來負載被輸送的晶圓并計算出晶圓的位置，以便精確地在晶圓上形成如正面電極和背面電極等精細圖案。已知技術(shù)使用的印刷系統(tǒng)，通過使用照相機檢測被輸送晶圓的位置，以進行晶圓的位置修正，固定一工作臺，通過使晶圓移動到水平、垂直及轉(zhuǎn)動方向而使其定位于該工作臺上，及輸送網(wǎng)版至固定工作臺，以使用刮板進行印刷。然而，已知技術(shù)需要增加晶圓定位在上面的工作臺及包含篩網(wǎng)的生產(chǎn)線的數(shù)目， 以提高產(chǎn)量。不僅會增加制造成本，而且還會增加網(wǎng)版印刷系統(tǒng)所占用的空間。因此，在開發(fā)一種不會大幅增加成本的情況下，可提高產(chǎn)量和空間效率的新穎網(wǎng)版印刷系統(tǒng)上有很大的需求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種網(wǎng)版印刷系統(tǒng)及網(wǎng)版印刷方法，在不會大幅增加成本的情況下，提高產(chǎn)量及空間效率，以解決現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問題。根據(jù)本發(fā)明的一形式，提供一種網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其包含一用以輸送基板的輸送帶； 一設(shè)置于輸送帶下方用以支承被輸送基板的工作臺；一用以檢測定位于工作臺上的基板的對準性的對準感應(yīng)器單元；一用以使工作臺向上和向下移動的工作臺升降單元；一網(wǎng)版組件，其位于工作臺上方，與工作臺之間留有間隙，且包含一網(wǎng)版，其位置根據(jù)基板的對準性加以修正；及一用以使網(wǎng)版向上和向下移動的網(wǎng)版升降單元。其中，工作臺具有可提供負壓，以防止基板在工作臺上產(chǎn)生任何移位的負壓孔?？稍诠ぷ髋_上部形成溝槽，以便使輸送帶嵌入。對準感應(yīng)器單元可配置于工作臺下方，且工作臺可具有一透明區(qū)域，以供對準感應(yīng)器單元檢測基板的對準性。對準感應(yīng)器單元可包含一用以檢測基板背面的第一感應(yīng)器； 一用以檢測基板側(cè)面的第二感應(yīng)器；及一用以檢測基板的轉(zhuǎn)動狀態(tài)的第三感應(yīng)器。第一、第二及第三感應(yīng)器可分別具有一照明裝置及一照相機。再者，網(wǎng)版組件可包含一下框架，在中心部分具有一第一開孔，其中網(wǎng)版固定于下框架下方；一上框架，配置于下框架上方且具有一對應(yīng)于第一開孔的第二開孔；一對導(dǎo)引單元，配置于上框架的上部，隔著第二開孔彼此相對；一支撐桿，其兩端由該對導(dǎo)引單元所支撐，可沿著導(dǎo)引單元的縱向方向移動；及一刮板組件，與支撐桿結(jié)合，穿過第一開孔與第二開孔，并且將分配在網(wǎng)版上的糊料印刷于基板上。導(dǎo)引單元可以是一輸送帶，且支撐桿可由伺服馬達驅(qū)動導(dǎo)引單元而進行移動。網(wǎng)版升降單元可包含多個網(wǎng)版支撐腳，其沿著下框架的邊緣隔開，支撐下框架并且可向上和向下延伸；及一由使用一齒輪使網(wǎng)版支撐腳向上和向下移動的馬達。
輸送帶及工作臺可配置于一工作臺架上，且工作臺架可具有可供網(wǎng)版支撐腳穿過的開孔。輸送帶可以與一帶架結(jié)合，且工作臺升降單元可包含多個工作臺支撐腳，其沿著工作臺的邊緣隔開，支撐工作臺并且可向上和向下延伸；及一用以使帶架向上和向下移動的氣缸。此網(wǎng)版印刷系統(tǒng)可進一步包含一基板檢測感應(yīng)器，其配置于工作臺前方，以檢測基板的運送及控制輸送帶的操作，使基板停止在工作臺上。根據(jù)本發(fā)明的另一形式，提供一種網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其包含一界定有內(nèi)部空間的殼體；一第一網(wǎng)版印刷單元及一第二網(wǎng)版印刷單元，設(shè)置于內(nèi)部空間內(nèi)，且分別包含一輸送帶，其中第一網(wǎng)版印刷單元的輸送帶及第二網(wǎng)版印刷單元的輸送帶并排設(shè)置；及一控制該對網(wǎng)版印刷單元的操作的控制單元。第一網(wǎng)版印刷單元及第二網(wǎng)版印刷單元可分別包含一用以輸送基板的輸送帶； 一設(shè)置于輸送帶下方用以支承被輸送基板的工作臺；一用以檢測定位于工作臺上的基板的對準性的對準感應(yīng)器單元；一用以使工作臺向上和向下移動的工作臺升降單元；一網(wǎng)版組件，其位于工作臺上方，與工作臺之間留有間隙，且包含一網(wǎng)版，其位置系根據(jù)基板的對準性加以修正；及一用以使網(wǎng)版組件向上和向下移動的網(wǎng)版升降單元。第一網(wǎng)版印刷單元的網(wǎng)版組件及第二網(wǎng)版印刷單元的網(wǎng)版組件可相互成對角設(shè)置?？蓪⒁粰z測單元設(shè)置于工作臺背面，以檢測網(wǎng)版印刷后的基板是否不良。可將一測試帶設(shè)置在檢測單元下方，以支撐基板兩端及輸送該基板，并且在測試帶之間設(shè)置一退出帶，使其以與測試帶的移動方向成交叉方向進行操作，以排除利用檢測單元檢測為不合格的基板。工作臺可具有可提供負壓，以防止基板在工作臺上移位的負壓孔，并且可在工作臺上部形成溝槽，以便使輸送帶嵌入。對準感應(yīng)器單元可配置于工作臺下方，并且可在工作臺上設(shè)置一透明區(qū)域，以供對準感應(yīng)器單元檢測基板的對準性。對準感應(yīng)器單元可包含一用以檢測基板背面的第一感應(yīng)器；一用以檢測基板側(cè)面的第二感應(yīng)器；及一用以檢測基板的轉(zhuǎn)動狀態(tài)的第三感應(yīng)器。第一、第二及第三感應(yīng)器可分別具有一照明裝置及一照相機。網(wǎng)版組件可包含一下框架，在中心部分具有一第一開孔，其中網(wǎng)版固定于下框架下方；一上框架，配置于下框架上方且具有一對應(yīng)于第一開孔的第二開孔；一對導(dǎo)引單元， 配置于上框架上，隔著第二開孔彼此相對；一支撐桿，其兩端由該對導(dǎo)引單元所支撐，可沿著導(dǎo)引單元的縱向方向移動；及一刮板組件，與支撐桿結(jié)合，穿過第一開孔與第二開孔，并且將分配在網(wǎng)版上的糊料印刷于基板上。導(dǎo)引單元可以是一輸送帶，且支撐桿可由伺服馬達驅(qū)動導(dǎo)引單元而進行移動。網(wǎng)版升降單元可包含多個網(wǎng)版支撐腳，其沿著下框架的邊緣隔開，支撐下框架并且可向上和向下延伸；及一由使用一齒輪系使網(wǎng)版支撐腳向上和向下移動的馬達。輸送帶及工作臺可配置于一工作臺架上，且工作臺架可具有可供網(wǎng)版支撐腳穿過的開孔。輸送帶可以與一帶架結(jié)合，且工作臺升降單元可包含多個工作臺支撐腳，其沿著工作臺的邊緣隔開，支撐工作臺并且可向上和向下延伸；及一用以使帶架向上和向下移動的氣缸。此網(wǎng)版印刷系統(tǒng)可進一步包含一基板檢測感應(yīng)器，其配置于工作臺前方，以檢測基板的運送及控制輸送帶的操作，使基板停止在工作臺上。根據(jù)本發(fā)明的另一形式，提供一種網(wǎng)版印刷方法，其包含提供一基板；將基板定位于一工作臺上；檢測位于工作臺上的基板的對準性；將基板定位在上面的工作臺升高； 根據(jù)基板的對準性，修正位于工作臺上，與工作臺之間留有間隙的一網(wǎng)版的位置；使網(wǎng)版下降，讓網(wǎng)版定位在基板的上部；及使用刮板和糊料，將圖案印刷在基板的表面上。工作臺可具有負壓孔，且該方法進一步包含對基板提供負壓，使基板固定于工作臺上。檢測位于工作臺上的基板的對準性的步驟可包含照明基板；及拍攝基板末端部分的照片。檢測位于工作臺上的基板的對準性的步驟可包含檢測該基板的背面部分；檢測基板的側(cè)面部分；及檢測基板的轉(zhuǎn)動狀態(tài)。提供一基板的步驟由具有一輸送帶的一線內(nèi)系統(tǒng)進行。


圖1為本發(fā)明一具體實施例的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)的分解透視圖。圖2為本發(fā)明一具體實施例的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)的側(cè)視圖。圖3為本發(fā)明一具體實施例的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)的輸送組件的平面圖。圖4為本發(fā)明一具體實施例的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)的工作臺組件的透視圖。圖5為第4圖不含工作臺的平面圖。圖6為本發(fā)明一具體實施例的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)的工作臺組件的側(cè)視圖。圖7為本發(fā)明一具體實施例的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)的網(wǎng)版組件的平面圖。圖8為本發(fā)明另一具體實施例的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)外部的透視圖。圖9為本發(fā)明另一具體實施例的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)內(nèi)部的平面圖。圖10為本發(fā)明另一具體實施例的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)的網(wǎng)版印刷單元的分解透視圖。圖11為本發(fā)明另一具體實施例的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)的輸送組件的平面圖。圖12為本發(fā)明另一具體實施例的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)的印刷輸送帶的平面圖。圖13為本發(fā)明另一具體實施例的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)的檢測單元的透視圖。圖14為本發(fā)明另一具體實施例的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)的檢測單元的剖視圖。圖15為本發(fā)明另一具體實施例的網(wǎng)版印刷方法的流程圖。圖中1000 殼體2000A、2000B 網(wǎng)版印刷單元2112:工作臺2113-1、2113-2、2113_3 透明區(qū)域2115:負壓孔2118:工作臺升降單元
2119-1、2119-2、2119_3 對準感應(yīng)器單元2122 基板檢測單元2200、2200A、2000B 網(wǎng)版組件2210 下框架2220 上框架2221-1、2221_2 導(dǎo)引單元2222 支撐桿2223 刮板組件2230:網(wǎng)版2300、2300A 網(wǎng)版升降單元2310:網(wǎng)版支撐腳3000A.3000B 糊料進料單元4000A.4000B 檢測單元4100-1、4100_2 測試帶4200-1、4200_2 退出帶5000:控制單元
具體實施例方式盡管已根據(jù)特定具體實施例加以說明本發(fā)明，然而應(yīng)了解熟悉此項技術(shù)者可在不偏離本發(fā)明的精神與范疇，如申請專利范圍所定義及其等效者的情況下，進行各種變化及修改。在本發(fā)明的整個說明書之中，當判斷說明某種技術(shù)并非本發(fā)明的觀點時，省略其相關(guān)的詳細說明。盡管「第一」和「第二」等這類用語可以用來描述各種元件，但這類元件不須限于上述用語。上述用語僅用以區(qū)分某個元件與另一個元件。說明書中所使用的術(shù)語只是為了說明特定具體實施例，并非用以限制本發(fā)明。 除非另有明確地使用外，否則單數(shù)的表述也包含多的含義。在本說明書中，例如「包含 (comprising)」或「由...組成(consisting of)」的表述是為了表明一特性、一數(shù)量、一步驟、一操作、一元件、一零件或其組合，不應(yīng)視為排除一或多個其他特性、數(shù)量、步驟、操作、 元件、零件或其組合的任何存在性或可能性。以下參照附圖更詳細地說明本發(fā)明特定具體實施例的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)及網(wǎng)版印刷方法，其中不論圖號為何，相同或?qū)Φ鹊脑蒂x予相同的參考編號，并且省略多余的說明。圖1為本發(fā)明一具體實施例的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)2000的分解透視圖，圖2為本發(fā)明一具體實施例的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)2000的側(cè)視圖，而圖3為輸送組件2100的平面圖。此外，圖4 為工作臺組件2110的透視圖，圖5為圖4不含工作臺(圖4中的2112)的平面圖，而圖6 為工作臺組件2110的側(cè)視圖。圖7為網(wǎng)版組件2200的平面圖。本發(fā)明一具體實施例的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)可用來將導(dǎo)電膏印刷在基板(例如晶圓)的正面及/或背面上，以形成電極。如圖1所示，該網(wǎng)版印刷系統(tǒng)主要是由一網(wǎng)版組件2200、 一輸送組件2100及一網(wǎng)版升降單元2300所構(gòu)成。
輸送組件2100設(shè)有一基板，其系于網(wǎng)版印刷制程中支承基板，并且在網(wǎng)版印刷制程后，將基板運送到下一個制程。圖1和圖3圖示作為輸送組件的一板狀工作臺架2140、一配置于工作臺架2140上的前輸送帶單元2120、一工作臺組件2110、一后輸送帶單元2130寸。前輸送帶單元2120提供基板給工作臺組件2110，而后輸送帶單元2130則在網(wǎng)版印刷完成后，將基板運送到下一個制程。工作臺組件2110在網(wǎng)版印刷制程中支承基板。各元件及功能詳述如下。網(wǎng)版組件2200配置于輸送組件2100的上部，特別是在工作臺組件2110的上部， 在基板表面上進行網(wǎng)版印刷制程。網(wǎng)版升降單元2300使網(wǎng)版組件2200向上和向下移動。 各元件及功能詳述如下。根據(jù)本發(fā)明的一具體實施例，使用一線內(nèi)系統(tǒng)并使用輸送帶2111-1、2111_2(圖 4)來輸送基板。這類線內(nèi)系統(tǒng)可容許連續(xù)加工，以提高產(chǎn)率。用以輸送基板的輸送帶可以是一對彼此隔開的帶2111-1、2111-2。如圖4所示，輸送帶2111-1、2111_2可以與一包含輥2117等的帶架2116結(jié)合。在輸送帶2111-1、2111_2下方的特定位置處設(shè)置工作臺2112，以支承被輸送的基板。工作臺2112置于輸送帶2111-1、2111-2所輸送的基板的移動路徑內(nèi)，且支承被輸送的基板。形成電極的網(wǎng)版印刷系于工作臺2112所支承的基板上進行。后文將說明由網(wǎng)版組件2200進行的網(wǎng)版印刷。如圖3所示，基板檢測感應(yīng)器2122可配置于工作臺2112前方，例如在前輸送帶單元2120的上部，以檢測基板的運送?；鍣z測感應(yīng)器2122檢測輸送到工作臺2112的基板， 并且使基板停止而精確地被位在工作臺2112上。為達到此一目的，基板檢測感應(yīng)器2122 可在輸送基板時，經(jīng)過適當時間(例如約1.5秒)后，停止輸送帶2111-1、2111-2的操作。可在工作臺2112上形成能提供負壓的負壓孔2115，以防止定位在工作臺2112上的基板移位。當使用泵(未圖示)透過負壓孔2115在工作臺2112上提供負壓時，定位在工作臺2112上的基板緊密地貼附在工作臺2112上，因此即使工作臺2112移動時，其對準性也不受影響?？尚纬蓤D4中的溝槽2114，使輸送帶2111_1、2111_2嵌在工作臺2112的上表面上。這類溝槽2114可防止基板除了在工作臺2112上必須留有間隙外，在其他地方不留間隙，因此使工作臺2112能更穩(wěn)固地支承基板。圖5中的對準感應(yīng)器單元2119-1、2119-2、2119-3(以下稱為「2119」)檢測位于工作臺2112上的基板的對準性。換言之，該些對準感應(yīng)器單元檢測基板的對準性，使基板與網(wǎng)版2330的位置相吻合(請參見圖2~)，以進行網(wǎng)版印刷。這類對準感應(yīng)器單元2119可包含配置于工作臺2112下方的一照相機及一照明裝置。圖4的透明區(qū)域2113-1、2113-2、 2113-3(以下稱為「2113」)設(shè)置在工作臺上，以供對準感應(yīng)器單元2119，特別是照相機，檢測基板的對準性。在此并不意味著透明區(qū)域2113是完全透明的。應(yīng)了解，此透明區(qū)域可包括足以光學(xué)檢測基板的對準性的半透明者。本發(fā)明一具體實施例的透明區(qū)域2113由石英所制成。對準感應(yīng)器單元2119可包含一用以檢測基板背面的第一感應(yīng)器2119-1 ；—用以檢測基板側(cè)面的第二感應(yīng)器2119-2 ；及一用以檢測基板的轉(zhuǎn)動狀態(tài)的第三感應(yīng)器2119-3。第一感應(yīng)器2119-1和第二感應(yīng)器2119-2分別檢測基板的正面和側(cè)邊，以得到X和Y坐標方向上的對準誤差。旋轉(zhuǎn)方向上的對準誤差由第三感應(yīng)器2119-3所獲得。在檢測基板的對準性之后，由圖4中的工作臺升降單元2118將工作臺2112與定位在工作臺2112上的基板升高。工作臺升降單元2118使工作臺2112向上和向下移動一定的高度。工作臺升降單元2118可沿著工作臺2112的邊緣隔開，以支撐工作臺2112，并且可包含多個可向上和向下延伸的工作臺支撐腳2118a，及一用以使帶架2116向上和向下移動的氣缸2118b。各工作臺支撐腳2118a可分別結(jié)合至一支架2118c以達到更好的組合。 此外，也可使用其他動力傳送裝置，例如線性致動器(未圖示)和齒輪系(未圖示)。如圖1和圖2所示，將包含一網(wǎng)版2230的網(wǎng)版組件2200(圖2)配置在工作臺2112 的上方，以進行網(wǎng)版印刷。在此，基板的對準性由控制單元5000(圖9)傳送至網(wǎng)版2230， 所以此對準性可用于網(wǎng)版2230的位置修正。由于根據(jù)基板對準性的資訊來修正網(wǎng)版2230 的位置，因此可得到網(wǎng)版2230與基板之間位置相吻合的結(jié)果。在此，可使用多個伺服馬達 2211-1、2211-2、2211-3(圖7)。各伺服馬達分別運轉(zhuǎn)，使網(wǎng)版2230移動，以根據(jù)基板對準性的資訊使網(wǎng)版與基板的位置相吻合。如圖7所示，網(wǎng)版組件2200可包含一下框架，在中心部分具有一第一開孔；一上框架，配置于下框架上方；一對導(dǎo)引單元，配置于上框架上部；一支撐桿，其兩端由該對導(dǎo)引單元所支撐，可沿著導(dǎo)引單元的縱向方向移動；及一刮板組件，與支撐桿結(jié)合，并且將涂布在網(wǎng)版上的糊料印刷于基板上。下框架2210多半為板狀，并且在中心部分具有一第一開孔2213 (圖1)。如圖2所示，網(wǎng)版2230固定于下框架2210的底部。因此，由于第一開孔2213而使網(wǎng)版2230的上側(cè)暴露出來?？蓪⒍鄠€伺服馬達2211-1、2211-2、2211-3配置于下框架2210上，以進行網(wǎng)版 2230的位置修正。上框架2220與下框架2210相距一定的距離。在上框架2220的中心部分形成對應(yīng)于第一開孔2213的第二開孔2225。因此，由于第一開孔2213和第二開孔2225而使網(wǎng)版 2230的上側(cè)暴露出來。在上框架2220上設(shè)置一對導(dǎo)引單元，使其隔著該第二開孔2225彼此相對。導(dǎo)引單元2221-1、2221-2可引導(dǎo)刮板組件2223，特別是支撐桿2222，的直線運動，其動作將說明如后?？墒褂幂斔蛶ё鳛閷?dǎo)引單元2221-1、2221-2。在此，導(dǎo)引單元2221_1、2221_2可由伺服馬達22 驅(qū)動。支撐桿2222的兩端由導(dǎo)引單元2221_1、2221_2所支撐。因此，支撐桿2222穿過第一開孔2213與第二開孔2225。如上所述，當使用輸送帶1210-1、1210-2作為導(dǎo)引單元 2221-1、2221-2時，可由驅(qū)動輸送帶1210-1、1210-2輸送支撐桿2222來引導(dǎo)支撐桿2222的
直線運動。用于網(wǎng)版印刷的刮板組件2223系與支撐桿2222結(jié)合。刮板組件2223懸掛于支撐桿2222的某個位置處，并通過分別形成在下框架2210與上框架2220上的第一開孔2213 與第二開孔2225配置在網(wǎng)版2230上。此刮板組件能夠由支撐桿2222的運動而移動到X 方向并且藉由支撐桿2222的縱向運動而移動到Y(jié)方向。當糊料由糊料進料單元3000A、 3000B(圖9)涂布在支撐桿2222的上部時，刮板組件2223，特別是刮板組件末端部分的刮板2223S(圖2~)會緊密地貼附在網(wǎng)版2230的上部，并且在X及/或Y坐標的方向上移動。因此，對應(yīng)于形成在網(wǎng)版2230上的圖案(未圖示)的特定圖案會印刷在基板的表面上。包含網(wǎng)版2230的網(wǎng)版組件2200能夠藉由網(wǎng)版升降單元2300而向上和向下移動。 如圖1和圖2所示，網(wǎng)版升降單元2300可包含多個網(wǎng)版支撐腳2310，其沿著下框架2210的邊緣隔開，以支撐下框架2210并且可向上和向下延伸；及一用以使網(wǎng)版支撐腳2310向上和向下移動的馬達2320?？捎删W(wǎng)版升降單元2300，使與基板位置相吻合的網(wǎng)版2230向下移動至定位于工作臺2112上的基板上，接著以刮板組件2223進行網(wǎng)版印刷。如圖1和圖3所示，當輸送帶2111-1、2111_2及工作臺2112配置在工作臺架2140 上時，工作臺架2140可具有網(wǎng)版支撐腳2310可穿過的開孔2141。在此，可在網(wǎng)版支撐腳 2310的適當位置處包含支撐板2311，以支撐工作臺架2140的底側(cè)。圖2圖示支撐腳上部穿過工作臺架2140，支撐下框架2210。本發(fā)明的一具體實施例提供具有上述結(jié)構(gòu)的網(wǎng)版升降單元2300，但可使用其他動力傳送裝置，例如液壓缸等。當完成印刷時，網(wǎng)版組件2200向上移動回到原位，而工作臺2112則向下移動回到原位。當工作臺2112向下移動回到原位時，輸送帶2111-1、2111-2再次運轉(zhuǎn)，透過后側(cè)輸送帶2130，將基板運送到下一個生產(chǎn)線。本發(fā)明另一具體實施例的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)可用來將導(dǎo)電膏印刷在基板(例如晶圓) 的正面及/或背面上，以形成電極。網(wǎng)版印刷系統(tǒng)的外表系形成殼體1000，如圖8所示?？稍跉んw1000的一側(cè)形成出口 1130，以送出網(wǎng)版印刷后的基板，可在殼體1000的正面形成一用以檢查操作狀態(tài)的顯示器1110及一用以手動輸入操作指令的輸入單元1120，例如觸控宙眷。請參閱圖9，本發(fā)明一具體實施例的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)在殼體的內(nèi)部空間中可包含多個網(wǎng)版印刷單元2000A、2000B，以同時操作多個基板。如圖9所示，由左至右運送基板。在殼體內(nèi)設(shè)置糊料進料單元3000A、3000B，使糊料供給至各網(wǎng)版印刷單元2000A、2000B，在殼體的最后端(最右邊)設(shè)置檢測單元4000A、 4000B,以檢測由網(wǎng)版印刷單元2000A、2000B進行網(wǎng)版印刷后的基板。此外，在殼體1000內(nèi)設(shè)置控制單元5000，以控制本發(fā)明一具體實施例的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)的操作。圖10圖示網(wǎng)版印刷單元2000A。由于網(wǎng)版印刷單元2000A與圖1中的網(wǎng)版印刷單元2000相似，因此省略與上述說明相同的多余說明。雖然圖10僅圖示在前端的網(wǎng)版印刷單元2000A(以下稱為第一網(wǎng)版印刷單元)，但是在后端的網(wǎng)版印刷單元2000B (以下稱為第二網(wǎng)版印刷單元)仍具有與第一網(wǎng)版印刷單元2000A對應(yīng)的結(jié)構(gòu)。因此，只對第一網(wǎng)版印刷單元2000A做詳細說明。于本發(fā)明的一具體實施例，網(wǎng)版印刷單元2000A包含一網(wǎng)版組件2200A、一輸送組件2100A，及一網(wǎng)版升降單元2300A，如圖10所示，但不以此為限。輸送組件2100A設(shè)有一基板，其于網(wǎng)版印刷制程中支承基板，并且在網(wǎng)版印刷制程后，將基板運送到下一個制程。本發(fā)明一具體實施例的輸送組件2100A包含一板狀工作臺架2140、彼此平行設(shè)置在工作臺架2140上的印刷輸送帶單元(請參見圖11的2100A-1、 2100B-1)，及運送輸送帶單元(請參見圖11的2100A-2、2100B-2)。印刷輸送帶單元2100A-1、2100B-1由網(wǎng)版組件(請參見圖10的2200A)進行網(wǎng)版印刷制程。如圖12所示，印刷輸送帶單元2100A-1包含串聯(lián)設(shè)置的一前輸送帶單元2120、 一工作臺組件2110及一后輸送帶單元2130。前輸送帶單元2120提供基板給工作臺組件2110，而后輸送帶單元2130則在網(wǎng)版印刷完成后，將基板運送到下一個制程。工作臺組件 2110在網(wǎng)版印刷制程中支承基板。如圖11所示，與第二輸送組件2100B相比，包含在第一輸送組件2100A中的運送輸送帶單元2100A-2相對地配置在前面，提供要在第二輸送組件2100B進行網(wǎng)版印刷處理的基板。換言之，配置在第一輸送組件2100A上的運送輸送帶單元2100A-2并不進行網(wǎng)版印刷，但只將基板運送到第二輸送組件2100B。同樣地，在第二輸送組件2100B的運送輸送帶單元2100B-2將網(wǎng)版印刷后的基板從第一輸送組件2100A運送到下一個制程。對于網(wǎng)版印刷系統(tǒng)空間的實際利用而言，相鄰兩輸送組件2100A、2100B，特別是相鄰兩工作臺架2140，以互相偏移的方式設(shè)置。換言之，兩輸送組件2100A、2100B相鄰側(cè)的一部分彼此相對。印刷輸送帶單元2100A-1、2100B-1及運送輸送帶單元2100A-2、2100B_2系配置于對向部。更具體而言，在第一輸送組件2100A的印刷輸送帶單元2100A-1與在第二輸送組件2100B的運送輸送帶單元2100B-2串聯(lián)設(shè)置，而在第一輸送組件2100A的運送輸送帶單元2100A-2與在第二輸送組件2100B的印刷輸送帶單元2100B-1串聯(lián)設(shè)置。如圖10所示，網(wǎng)版組件2200A配置于輸送組件2100A上，特別是在工作臺組件 2110上，在基板表面上進行網(wǎng)版印刷制程。網(wǎng)版升降單元2300A使網(wǎng)版2200A向上和向下移動。如圖9所示，本發(fā)明一具體實施例中的兩網(wǎng)版組件與這兩個網(wǎng)版組件也像輸送組件一樣以偏移的方式設(shè)置。如上所述，對準感應(yīng)器單元2119-1、2119-2、2119-3(請參見圖5，以下稱為 「2119」)檢測定位在工作臺2112上的基板的對準性。檢測到的基板對準性由控制單元 5000(請參見圖9)傳送至網(wǎng)版2230，并且用來修正網(wǎng)版2230的位置。換言之，根據(jù)基板對準性的資訊來修正網(wǎng)版2230的位置，使網(wǎng)版2230與基板的位置相吻合。根據(jù)本發(fā)明的一具體實施例，即使使用多個網(wǎng)版印刷單元2000A、2000B，仍只要一個控制單元5000便能控制其操作，因此不僅大幅降低系統(tǒng)的制造成本，而且還能減少系統(tǒng)所占用的空間。如圖9所示，檢測單元4000A、4000B配置在第二網(wǎng)版印刷單元2000B的背面，以檢測由網(wǎng)版印刷單元2000A、2000B進行網(wǎng)版印刷后的基板。以下參閱圖9、圖13及圖14，說明檢測單元4000A、4000B的結(jié)構(gòu)和功能。根據(jù)本發(fā)明的一具體實施例，設(shè)置兩檢測單元4000A、4000B，以檢測兩網(wǎng)版印刷單元2000A、2000B進行網(wǎng)版印刷后的兩基板是否不良。根據(jù)圖9，檢測裝置4000A(以下稱為 「第一檢測單元」)配置在相對上部的位置，其檢測在第一網(wǎng)版印刷單元2000A進行網(wǎng)版印刷后的基板是否不良，而檢測單元(在圖13中未圖示，在圖14中為4000B，以下稱為「第二檢測單元」)配置在相對下部的位置，其檢測在第二網(wǎng)版印刷單元2000B進行網(wǎng)版印刷后的基板是否不良。以下說明第一檢測單元4000A的結(jié)構(gòu)和功能。由于第二檢測單元4000B的結(jié)構(gòu)和功系對應(yīng)于第一檢測單元4000A，因此只針對第一檢測單元4000A做詳細說明。第一檢測單元4000A檢測基板的印刷狀態(tài)、第一網(wǎng)版印刷單元2100A的印刷輸送帶單元2100A-1及第二網(wǎng)版印刷單元2100B的運送輸送帶單元2100B-2的輸送是否不良。 可由配置在第一檢測單元4000A下部的測試帶連續(xù)供應(yīng)欲提供給第一檢測單元4000A的基板。
第一檢測單元4000A配置在測試帶4100-1、4100_2中心部分的上部，欲檢測的基板運送到第一檢測單元4000A的下部，由測試帶4100-1、4100-2使基板停止。為達到此一目的，可在測試帶4100-1、4100-2的前面設(shè)置一感應(yīng)器4600。此感應(yīng)器4600可由與基板檢測感應(yīng)器2122(圖幻所述相同的方式使基板停止在第一檢測單元4000A的下部。當基板運送到第一檢測單元4000A時，第一檢測單元4000A光學(xué)檢查基板表面，并比較檢查所得的資訊與輸入的資訊(規(guī)格)。當所得資訊偏離誤差容許范圍時，該基板判定為不良。另一方面，當所得資訊在誤差容許范圍內(nèi)時，該基板判定為良好。判定為不良的基板應(yīng)從生產(chǎn)線排除，而不送到下一個制程。為達到此一目的，在一對測試帶4100-1、4100-2之間設(shè)置退出帶4200-1、4200-2，使其以與測試帶4100-1、4100的移動方向成交叉方向進行操作。測試帶4100-1、4100-2通常可配置在低于測試帶4100-1、4100_2的位置，使基板的運送不會被中斷。然而，當判定基板為不良時，使退出帶4200-1、4200-2上升至比測試帶 4100-1,4100-2更高的位置，由從測試帶4100-1、4100-2的移動方向運送到不同的方向而將基板排除。如圖13所示，可使用氣缸4400使支承退出帶4200-1、4200-2的框架4500升高，以升高退出帶4200-1、4200-2?？稍O(shè)置一退出器4300，以便在退出帶4200-1、4200_2的移動方向的前方引導(dǎo)被排除的基板。該退出器4300可以如圖13和圖14所示地向下傾斜。另一方面，當判定基板為良好時，停止的測試帶4100-1、4100_2再次運轉(zhuǎn)，將基板運送到下一個制程。以下說明本發(fā)明一具體實施例的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)。使用輸送帶2111-1、2111_2提供基板于工作臺2112上。更具體而言，第一輸送組件2100A的印刷輸送帶單元2100A-1所提供的基板與第一輸送組件2100A的運送輸送帶單元2100A-2所提供的基板，于通過第一輸送組件2100A之后，配置在第二輸送組件2100B的工作臺上2112。在輸送帶2111-1、2111_2下方的特定位置處配置工作臺2112，以支承被輸送的基板。當基板定位在工作臺2112上時，檢測基板的對準性，使基板與網(wǎng)版2230的位置相吻合，以進行網(wǎng)版印刷。第一感應(yīng)器2119-1和第二感應(yīng)器2119-2分別檢測基板的正面和側(cè)邊，以得到X和Y坐標方向上的對準誤差。旋轉(zhuǎn)方向上的對準誤差由第三感應(yīng)器2119-3 所獲得。接著將基板定位在上面的工作臺2112升高。檢測到的基板對準性由控制單元 5000 (參見圖幻傳送至網(wǎng)版組件2200A，并且根據(jù)基板的對準性來修正網(wǎng)版2230的位置。 由于根據(jù)基板對準性的資訊來修正網(wǎng)版2230的位置，因此可得到網(wǎng)版2230與基板之間位置相吻合的結(jié)果。接著使網(wǎng)版2230下降在基板的上部，使用刮板組件2223，以由糊料進料單元 3000A.3000B涂布在網(wǎng)版2230上部的糊料來印刷圖案。當完成印刷時，網(wǎng)版組件2200會上升回到原位，而工作臺2112會下降回到原位， 其中基板則運往檢測單元。當由網(wǎng)版印刷制程在上面形成圖案的基板運送到檢測單元時，檢測單元4000A、4000B檢測基板表面并從中獲得資訊，然后比較所得到的資訊與預(yù)先輸入的資訊(規(guī)格)， 以判定基板是否不良。當判定基板為良好時，將基板運送到下一個制程。另一方面，當判定基板為不良時，使退出帶4200-1、4200-2上升，由升高的退出帶4200_1、4200_2將判定為不良的基板排除到與移動方向成交叉方向的另一個方向。參閱圖15，其為本發(fā)明另一具體實施例的網(wǎng)版印刷方法的流程圖，以說明本發(fā)明的另一形式的網(wǎng)版印刷方法。下述網(wǎng)版印刷方法可由使用具有與上述具體實施例的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)相同結(jié)構(gòu)或類似結(jié)構(gòu)的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)來實現(xiàn)。為了能更深入的了解，請參閱圖1至圖7所示的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)。提供一基板(S100)，其中該基板為用于制造太陽能電池的材料，例如晶圓，及用于網(wǎng)版印刷的其他材料。提供一基板的步驟可由一線內(nèi)系統(tǒng)，使用輸送帶2111-1、2111-2來進行。當使用線內(nèi)系統(tǒng)時，可容許連續(xù)加工，以提高產(chǎn)率。接著將所提供的基板定位于一工作臺2112上(S200)。在輸送帶2111_1、2111_2 下部的特定位置處配置工作臺2112，以支承被輸送的基板?？稍诠ぷ髋_2112上形成能提供負壓的負壓孔2115，以防止定位在工作臺2112上的基板移位。當使用泵(未圖示)透過負壓孔2115在工作臺2112上提供負壓時，定位在工作臺2112上的基板緊密地貼附在工作臺2112上，因此即使工作臺2112移動時，其對準性也不受影響。然后檢測定位在工作臺2112上的基板的對準性(S300)，使基板與網(wǎng)版2230的位置相吻合，以進行網(wǎng)版印刷。第一感應(yīng)器2119-1和第二感應(yīng)器2119-2分別檢測基板的正面和側(cè)邊，以得到X和Y坐標方向上的對準誤差。旋轉(zhuǎn)方向上的對準誤差由第三感應(yīng)器 2119-3所獲得。將基板定位在上面的工作臺升高(S400)。將基板對準性的資訊傳送至配置于工作臺2112上部并且與工作臺之間留有間隙的網(wǎng)版2230，根據(jù)基板對準性的資訊來修正網(wǎng)版2230的位置。由于根據(jù)基板對準性的資訊來修正網(wǎng)版2230的位置，因此可得到網(wǎng)版2230與基板之間位置相吻合的結(jié)果。接著使網(wǎng)版2230下降，定位于基板的上部，然后使用刮板組件2223，將圖案印刷在基板的表面上(S700)。當完成印刷時，網(wǎng)版組件2200會上升回到原位，而工作臺2112會下降回到原位， 其中基板則運往下一條生產(chǎn)線。但是，上述的具體實施方式

只是示例性的，是為了更好的使本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠理解本專利，不能理解為是對本專利包括范圍的限制；只要是根據(jù)本專利所揭示精神的所作的任何等同變更或修飾，均落入本專利包括的范圍。
權(quán)利要求
1.一種網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于包含一輸送帶，用以輸送一基板；一工作臺，設(shè)置于所述輸送帶下方，用以支承被輸送的所述基板； 一對準感應(yīng)器單元，用以檢測位于所述工作臺上的所述基板的對準性； 一工作臺升降單元，用以使所述工作臺向上和向下移動；一網(wǎng)版組件，設(shè)置于所述工作臺上且包含一網(wǎng)版，該網(wǎng)版組件與所述工作臺分開，根據(jù)所述基板的對準性來修正該網(wǎng)版的位置；及一網(wǎng)版升降單元，其使所述網(wǎng)版組件向上和向下移動。
2.如權(quán)利要求1所述的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于所述工作臺具有可提供負壓的負壓孔，以防止所述基板在所述工作臺上移位。
3.如權(quán)利要求1所述的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于所述工作臺上部形成溝槽，以便使所述輸送帶嵌入。
4.如權(quán)利要求1所述網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于所述對準感應(yīng)器單元位于所述工作臺下方，且在所述工作臺中設(shè)置一透明區(qū)域，以供所述對準感應(yīng)器單元檢測所述基板的對準性。
5.如權(quán)利要求4所述的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于所述對準感應(yīng)器單元包含 一第一感應(yīng)器，以檢測所述基板背面；一第二感應(yīng)器，以檢測所述基板側(cè)面；以及一第三感應(yīng)器，以檢測所述基板的轉(zhuǎn)動狀態(tài)。
6.如權(quán)利要求5所述的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于所述第一、第二及第三感應(yīng)器分別具有一照明裝置及一照相機。
7.如權(quán)利要求1所述的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于所述網(wǎng)版組件包含 一下框架，在中心部分具有一第一開孔，其中所述網(wǎng)版固定于該下框架的底部； 一上框架，位于所述下框架上方且具有一對應(yīng)于所述第一開孔的第二開孔；一對導(dǎo)引單元，位于所述上框架的上部，隔著所述第二開孔彼此相對； 一支撐桿，其兩端由所述對導(dǎo)引單元所支撐，可沿著該對導(dǎo)引單元的縱向方向移動；及一刮板組件，與所述支撐桿結(jié)合，穿過所述第一開孔與第二開孔，并且將分配在所述網(wǎng)版上的糊料印刷于所述基板上。
8.如權(quán)利要求7所述的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于所述導(dǎo)引單元為一輸送帶，且所述支撐桿由伺服馬達驅(qū)動所述導(dǎo)弓I單元而進行移動。
9.如權(quán)利要求7所述的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于所述網(wǎng)版升降單元包含多個網(wǎng)版支撐腳，其沿著所述下框架的邊緣隔開，支撐所述下框架并且可向上和向下延伸；及一馬達，由使用一齒輪使所述網(wǎng)版支撐腳向上和向下移動。
10.如權(quán)利要求9所述的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于所述輸送帶及工作臺位于一工作臺架上，且該工作臺架具有可供所述網(wǎng)版支撐腳穿過的開孔。
11.如權(quán)利要求1所述的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于所述輸送帶與一帶架結(jié)合，且所述工作臺升降單元包含多個工作臺支撐腳，其沿著所述工作臺的邊緣隔開，支撐所述工作臺并且可向上和向下延伸；及一氣缸，使所述帶架向上和向下移動。
12.如權(quán)利要求1所述的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于進一步包含一基板檢測感應(yīng)器， 位于所述工作臺前方，以檢測所述基板的運送及控制所述輸送帶的操作，使所述基板停止在所述工作臺上。
13.一種網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于包含 一殼體，其界定內(nèi)部空間；一第一網(wǎng)版印刷單元及一第二網(wǎng)版印刷單元，設(shè)置于所述內(nèi)部空間內(nèi)，且分別包含一輸送帶，其中該第一網(wǎng)版印刷單元的輸送帶及該第二網(wǎng)版印刷單元的輸送帶并排設(shè)置；及一控制單元，其控制所述第一網(wǎng)版印刷單元及第二網(wǎng)版印刷單元的操作。
14.如權(quán)利要求13所述的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于所述第一網(wǎng)版印刷單元及第二網(wǎng)版印刷單元分別包含一輸送帶，用以輸送一基板；一工作臺，設(shè)置于所述輸送帶下方，用以支承被輸送的所述基板； 一對準感應(yīng)器單元，用以檢測定位于所述工作臺上的所述基板的對準性； 一工作臺升降單元，用以使所述工作臺向上和向下移動；一網(wǎng)版組件，設(shè)置于所述工作臺上且包含一網(wǎng)版，該網(wǎng)版組件與所述工作臺分開，根據(jù)所述基板的對準性來修正該網(wǎng)版的位置；及一網(wǎng)版升降單元，其使所述網(wǎng)版組件向上和向下移動。
15.如權(quán)利要求14所述的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于所述第一網(wǎng)版印刷單元的網(wǎng)版組件及第二網(wǎng)版印刷單元的網(wǎng)版組件相互成對角設(shè)置。
16.如權(quán)利要求14所述的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于進一步包含一檢測單元，其位于所述工作臺背面，以檢測所述網(wǎng)版印刷后的基板是否不良。
17.如權(quán)利要求16所述的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于所述檢測單元下方設(shè)置一測試帶，以支撐所述基板兩端及輸送該基板，且在該測試帶之間設(shè)置一退出帶，使其以與該測試帶的移動方向成交叉方向進行操作， 以排除由所述檢測單元檢測為不合格的基板。
18.如權(quán)利要求14所述的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于所述工作臺具有可提供負壓的負壓孔，以防止所述基板在所述工作臺上移位。
19.如權(quán)利要求14所述的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于所述工作臺上部形成溝槽，以便使所述輸送帶嵌入。
20.如權(quán)利要求14所述的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于所述對準感應(yīng)器單元位于所述工作臺下方，且在所述工作臺中設(shè)置一透明區(qū)域，以供所述對準感應(yīng)器單元檢測所述基板的對準性。
21.如權(quán)利要求20所述的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于所述對準感應(yīng)器單元包含 一第一感應(yīng)器，以檢測所述基板背面；一第二感應(yīng)器，以檢測所述基板側(cè)面；及一第三感應(yīng)器，以檢測所述基板的轉(zhuǎn)動狀態(tài)。
22.如權(quán)利要求21所述的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于所述第一、第二及第三感應(yīng)器分別具有一照明裝置及一照相機。
23.如權(quán)利要求14所述的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于所述網(wǎng)版組件包含 一下框架，在中心部分具有一第一開孔，其中所述網(wǎng)版固定于該下框架的底部； 一上框架，位于所述下框架上方且具有一對應(yīng)于所述第一開孔的第二開孔； 一對導(dǎo)引單元，位于所述上框架上，隔著所述第二開孔彼此相對；一支撐桿，其兩端由所述對導(dǎo)引單元所支撐，可沿著該對導(dǎo)引單元的縱向方向移動；以及一刮板組件，與所述支撐桿結(jié)合，穿過所述第一開孔與第二開孔，并且將分配在所述網(wǎng)版上的糊料印刷于所述基板上。
24.如權(quán)利要求23所述的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于所述導(dǎo)引單元為一輸送帶，且所述支撐桿由伺服馬達驅(qū)動所述導(dǎo)弓I單元而進行移動。
25.如權(quán)利要求23所述的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于所述網(wǎng)版升降單元包含多個網(wǎng)版支撐腳，其沿著所述下框架的邊緣隔開，支撐該下框架并且可向上和向下延伸；及一馬達，由使用一齒輪使所述網(wǎng)版支撐腳向上和向下移動。
26.如權(quán)利要求25所述的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于所述輸送帶及工作臺位于一工作臺架上，且該工作臺架具有可供所述網(wǎng)版支撐腳穿過的開孔。
27.如權(quán)利要求14所述的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于所述輸送帶與一帶架結(jié)合，且所述工作臺升降單元包含多個工作臺支撐腳，其沿著所述工作臺的邊緣隔開，支撐所述工作臺并且可向上和向下延伸；以及一氣缸，其使所述帶架向上和向下移動。
28.如權(quán)利要求14所述的網(wǎng)版印刷系統(tǒng)，其特征在于進一步包含一基板檢測感應(yīng)器， 位于所述工作臺前方，以檢測所述基板的運送及控制所述輸送帶的操作，使所述基板停止在所述工作臺上。
29.一種應(yīng)用于網(wǎng)版印刷方法，其特征在于包含下列步驟 提供一基板；將所述基板定位于一工作臺上； 檢測位于所述工作臺上的所述基板的對準性； 將所述基板定位在上面的工作臺升高；根據(jù)所述基板的對準性，修正位于所述工作臺上方且與工作臺之間留有間隙的一網(wǎng)版的位置；下降所述網(wǎng)版，使該網(wǎng)版定位于所述基板的上部；及使用刮板和糊料，將圖案印刷在所述基板的表面上。
30.如權(quán)利要求四所述的網(wǎng)版印刷方法，其特征在于所述工作臺具有負壓孔，且該方法進一步包含對所述基板提供負壓，使所述基板固定于該工作臺上。
31.如權(quán)利要求四所述的網(wǎng)版印刷方法，其特征在于所述檢測位于所述工作臺上的基板的對準性的步驟包含照明所述基板；及拍攝所述基板末端部分的照片。
32.如權(quán)利要求31所述的網(wǎng)版印刷方法，其特征在于所述檢測位于所述工作臺上的基板的對準性的步驟包含檢測所述基板的背面部分； 檢測所述基板的側(cè)面部分；及檢測所述基板的轉(zhuǎn)動狀態(tài)。
33.如權(quán)利要求四所述的網(wǎng)版印刷方法，其特征在于所述提供一基板的步驟由具有一輸送帶的一線內(nèi)系統(tǒng)進行。
全文摘要
本發(fā)明公開一種網(wǎng)版印刷系統(tǒng)及網(wǎng)版印刷方法，該系統(tǒng)包含一用以輸送基板的輸送帶；一設(shè)置于輸送帶下方用以支承被輸送基板的工作臺；一用以檢測定位于工作臺上的基板的對準性的對準感應(yīng)器單元；一用以使工作臺向上和向下移動的工作臺升降單元；一網(wǎng)版組件，其位于工作臺上方，與工作臺之間留有間隙，且包含一網(wǎng)版，其根據(jù)基板的對準性來修正位置；及一用以使網(wǎng)版組件向上和向下移動的網(wǎng)版升降單元。
文檔編號B41F15/08GK102211445SQ20101027200
公開日2011年10月12日 申請日期2010年9月3日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月8日
發(fā)明者樸勝一, 許閏成 申請人:Snt能源技術(shù)有限公司