半導(dǎo)體沉積設(shè)備用鎖緊裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體沉積設(shè)備的簡(jiǎn)易型鎖緊裝置，通過(guò)簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，達(dá)到操作簡(jiǎn)便，占用設(shè)備空間小的目的。屬于半導(dǎo)體薄膜沉積應(yīng)用及制造技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體設(shè)備從安全方面或是為了進(jìn)行工業(yè)設(shè)計(jì)美化，以及為了保護(hù)設(shè)備內(nèi)部重要結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，不被競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手輕易獲取等原因考量，往往會(huì)在設(shè)備外圍增加圍板。無(wú)論是外掛式或內(nèi)嵌式的圍板形式都需要有可靠的固定，以保護(hù)設(shè)備及人員不會(huì)因圍板的脫落而造成傷害。在保證可靠的固定的前題下，在設(shè)備需要維護(hù)時(shí)，又需要圍板可以快速進(jìn)行拆卸。可靠性及可維護(hù)性都是半導(dǎo)體設(shè)備所必需的性能指標(biāo)，如何在兩種性能指標(biāo)之間尋找平衡，對(duì)圍板的設(shè)計(jì)來(lái)說(shuō)至關(guān)重要。
[0003]現(xiàn)有的圍板設(shè)計(jì)往往采用直接掛載的方式實(shí)現(xiàn)其可維護(hù)性，但掛載方式存在一定的局限性，當(dāng)設(shè)備有震動(dòng)發(fā)生或是經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期的使用后，掛鉤會(huì)磨損或脫落，這樣對(duì)于設(shè)備及人員的安全存在著極大的危害，尤其是在圍板位置較高時(shí)，從高空墜落的危險(xiǎn)更是不容忽視的。在使用鎖具進(jìn)行鎖緊固定時(shí)則會(huì)有效的避免上述的安全問(wèn)題。但現(xiàn)有鎖具往往不是針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)，其尺寸及占用空間比較大。有些設(shè)備內(nèi)部布局及結(jié)構(gòu)限制，一些半導(dǎo)體設(shè)備無(wú)法使用。或是把手或鎖具凸出圍板表面較多，這樣在人員經(jīng)過(guò)時(shí)，很容易將衣物掛住，造成衣物損壞或人員受傷。而且現(xiàn)有的鎖具必須使用與其對(duì)應(yīng)的鑰匙才能開(kāi)啟，當(dāng)緊急維護(hù)忘記鑰匙或鑰匙丟失時(shí)，只能采用破壞式開(kāi)啟方式，這樣嚴(yán)重的影響了設(shè)備及人員安全，也延誤了維護(hù)時(shí)間，直接影響設(shè)備的生產(chǎn)效率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型以解決上述問(wèn)題為目的，主要解決現(xiàn)有的圍板鎖具不方便開(kāi)啟，占用設(shè)備空間大，把手及鎖具凸出圍板表面較多造成行人剮碰損傷等問(wèn)題。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用下述技術(shù)方案:半導(dǎo)體沉積設(shè)備用鎖緊裝置，包括圍板及鎖軸。上述鎖軸穿過(guò)軸套、墊圈及偏心輪，使用墊片及螺母與鎖舌末端的螺紋連接，并將其固定在圍板上。上述鎖軸采用一字型凹槽結(jié)構(gòu)；上述的軸套使用具有一定的自潤(rùn)滑性能的材料制成，以方便鎖軸可以在其中自由旋轉(zhuǎn)。上述偏心輪的內(nèi)孔與鎖軸中段相配合加工成四方形或切邊圓形，以方便在鎖軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)能帶動(dòng)偏心輪進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。上述偏心輪與鎖舌的尾部相接觸，鎖舌通過(guò)焊接在圍板上的導(dǎo)向支架進(jìn)行導(dǎo)向。上述鎖舌加工成階梯軸結(jié)構(gòu)，并在其上安裝彈簧，以保證鎖舌與偏心輪始終保持良好的接觸。
[0006]本實(shí)用新型的有益效果及特點(diǎn):
[0007]本實(shí)用新型通過(guò)一種簡(jiǎn)易型的圍板鎖緊結(jié)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作簡(jiǎn)便，無(wú)需專用鑰匙，僅需一字扳手或扁平板即可開(kāi)啟，鎖緊可靠，占用空間小，鎖具凸出圍板表面較少，表面較平整，不會(huì)對(duì)人員造成刮蹭，外形整潔、美觀。即可實(shí)現(xiàn)可維護(hù)性并具有較強(qiáng)的安全性。
【附圖說(shuō)明】
[0008]圖1是本實(shí)用新型的立體圖。
[0009]圖2是本實(shí)用新型的主視圖。
[0010]圖3是圖2的左視圖。
[0011]圖4是圖3的A-A剖視圖。
[0012]圖中零件標(biāo)號(hào)分別代表:
[0013]1、圍板；2、鎖軸；3、軸套；4、墊圈；5、偏心輪；6、墊片；7、螺母；8、鎖舌；9、導(dǎo)向支架；10、彈簧；11、鎖緊架。
[0014]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說(shuō)明。
【具體實(shí)施方式】
[0015]實(shí)施例
[0016]如圖1-4所示，半導(dǎo)體沉積設(shè)備用鎖緊裝置，包括圍板1及鎖軸2。上述鎖軸2穿過(guò)軸套3、墊圈4及偏心輪5，使用墊片6及螺母7與鎖舌8末端的螺紋連接，并將其固定在圍板1上。
[0017]上述鎖軸2采用一字型凹槽結(jié)構(gòu)；
[0018]上述的軸套3使用具有一定的自潤(rùn)滑性能的材料制成，如:錫銅合金、聚四氟乙烯等，以方便鎖軸2可以在其中自由旋轉(zhuǎn)；
[0019]上述的偏心輪5內(nèi)孔與鎖軸2中段相配合加工成四方形或切邊圓形，以方便在鎖軸2轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)能帶動(dòng)偏心輪5進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；
[0020]上述偏心輪5與鎖舌8的尾部相接觸，為了保證更好的配合及防止竄動(dòng)，鎖舌8的尾部加工成與偏心輪5外形尺寸一致的弧形。鎖舌8通過(guò)焊接在圍板1上的導(dǎo)向支架9進(jìn)行導(dǎo)向，以方便與鎖緊架11配合進(jìn)行鎖緊操作。上述鎖舌8加工成階梯軸結(jié)構(gòu)，并在其上安裝彈簧10，以保證鎖舌8與偏心輪5始終保持良好的接觸。
[0021]工作時(shí)，使用一字扳手旋轉(zhuǎn)鎖軸2，鎖軸2帶動(dòng)偏心輪5在軸套3中進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。通過(guò)偏心輪5外徑與中心位置的偏心距的變化，將旋轉(zhuǎn)操作轉(zhuǎn)化為與偏心輪5圓周表面相接觸的鎖舌8的直線運(yùn)動(dòng)，從而使鎖舌8進(jìn)入或脫離鎖緊架11，以實(shí)現(xiàn)圍板1的開(kāi)啟與鎖閉功會(huì)泛。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.半導(dǎo)體沉積設(shè)備用鎖緊裝置，包括圍板，其特征在于:它還包括鎖軸，上述鎖軸穿過(guò)軸套、墊圈及偏心輪，使用墊片及螺母與鎖舌末端的螺紋連接，并將其固定在圍板(1)上。2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體沉積設(shè)備用鎖緊裝置，其特征在于:上述鎖軸采用一字型凹槽結(jié)構(gòu)。3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體沉積設(shè)備用鎖緊裝置，其特征在于:上述的軸套使用具有一定的自潤(rùn)滑性能的材料制成。4.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體沉積設(shè)備用鎖緊裝置，其特征在于:上述的軸套采用錫銅合金或聚四氟乙烯。5.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體沉積設(shè)備用鎖緊裝置，其特征在于:上述的偏心輪內(nèi)孔與鎖軸中段相配合并加工成四方形或切邊圓形。6.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體沉積設(shè)備用鎖緊裝置，其特征在于:上述偏心輪與鎖舌的尾部相接觸，鎖舌的尾部加工成與偏心輪外形尺寸一致的弧形。7.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體沉積設(shè)備用鎖緊裝置，其特征在于:所述鎖舌通過(guò)焊接在圍板上的導(dǎo)向支架進(jìn)行導(dǎo)向。8.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體沉積設(shè)備用鎖緊裝置，其特征在于:上述鎖舌加工成階梯軸結(jié)構(gòu)，并在其上安裝彈簧。
【專利摘要】半導(dǎo)體沉積設(shè)備用鎖緊裝置，主要解決現(xiàn)有的圍板鎖具不方便開(kāi)啟，占用設(shè)備空間大，把手及鎖具凸出圍板表面較多造成行人剮碰損傷等問(wèn)題。它包括圍板及鎖軸。上述鎖軸穿過(guò)軸套、墊圈及偏心輪，使用墊片及螺母與鎖舌末端的螺紋連接，并將其固定在圍板上。上述鎖軸采用一字型凹槽結(jié)構(gòu)；上述偏心輪的內(nèi)孔與鎖軸中段相配合加工成四方形或切邊圓形；上述偏心輪與鎖舌的尾部相接觸，鎖舌通過(guò)焊接在圍板上的導(dǎo)向支架進(jìn)行導(dǎo)向。上述鎖舌加工成階梯軸結(jié)構(gòu)，并在其上安裝彈簧。本實(shí)用新型通過(guò)一種簡(jiǎn)易型鎖緊結(jié)構(gòu)，無(wú)需專用鑰匙，僅需一字扳手或扁平板即可開(kāi)啟，即可實(shí)現(xiàn)可維護(hù)性并具有較強(qiáng)的安全性。
【IPC分類(lèi)】H01L21/687, E05C1/12
【公開(kāi)號(hào)】CN204984013
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520347037
【發(fā)明人】陳英男, 姜崴, 鄭旭東, 關(guān)帥
【申請(qǐng)人】沈陽(yáng)拓荊科技有限公司
【公開(kāi)日】2016年1月20日
【申請(qǐng)日】2015年5月27日