專利名稱：真空吸附臺面及具有該真空吸附臺面的真空吸附臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及真空吸附技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種真空吸附臺面及具有該真空吸附臺面的真空吸附臺。
背景技術(shù)：
真空吸附臺是一種常用的工件支撐設(shè)備，其用于在線路板制造、液晶顯示面板制造、半導(dǎo)體工藝、光學(xué)薄膜制造等領(lǐng)域中支撐并定位工件，以便對工件進行各種處理。如圖1 所示，現(xiàn)有的真空吸附臺通常包括真空源，真空源包括通過真空泵接口 93連接真空泵的真空腔室9，真空腔室9上方開口并覆蓋有支撐網(wǎng)91，帶有多個支撐板吸附孔“的支撐板1位于支撐網(wǎng)91上并通過定位銷釘92等定位結(jié)構(gòu)被定位，待加工的工件被放在支撐板1上，當(dāng)真空泵開始抽真空時，工件會被支撐板吸附孔11吸住而定位。發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中至少存在如下問題由于吸附時支撐板1兩側(cè)分別為真空和大氣壓，存在較大的壓差，故支撐板1必須采用有較高硬度和強度的材料制造以保證其不會彎曲變形；但有些工件的表面硬度較低(例如，線路板表面阻焊層的硬度在曝光前后分別僅約為2H和4H)，或者有些工件的表面具有易損傷的光學(xué)薄膜等，且工件與支撐板1間的作用力又較大(因為存在真空吸附力)，因此當(dāng)真空吸附臺用于支撐這類工件時，較硬的支撐板1 (尤其是支撐板吸附孔11)很容易在工件表面造成吸痕等表面不良。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的實施例提供一種真空吸附臺面，其可以在保證支撐穩(wěn)定的情況下避免工件表面的損傷。為達到上述目的，本實用新型的實施例采用如下技術(shù)方案一種真空吸附臺面，包括用于設(shè)在真空源上的支撐板，所述支撐板上具有支撐板吸附孔；設(shè)在所述支撐板上的承載板，所述承載板上與所述支撐板吸附孔相對應(yīng)的位置處具有承載板吸附孔，且所述承載板中，至少用于承載工件的部分的硬度低于所述支撐板的硬度。由于本實用新型的實施例的真空吸附臺面中，工件與硬度較低的承載板相接觸， 而承載板又被硬度較高的支撐板支撐，因此其可在保證支撐穩(wěn)定的情況下避免工件表面的損傷。作為本實用新型的實施例的一種優(yōu)選方案，所述承載板吸附孔的橫截面尺寸小于或大于其所對應(yīng)的所述支撐板吸附孔的橫截面尺寸。作為本實用新型的實施例的一種優(yōu)選方案，所述承載板吸附孔和支撐板吸附孔均為圓孔，且所述承載板吸附孔的直徑比其所對應(yīng)的所述支撐板吸附孔的直徑小1毫米以上。作為本實用新型的實施例的一種優(yōu)選方案，所述承載板吸附孔和支撐板吸附孔均為圓孔，且所述承載板吸附孔的直徑在0. 5毫米至1毫米之間，所述支撐板吸附孔的直徑在 1.5毫米至3毫米之間。作為本實用新型的實施例的一種優(yōu)選方案，所述承載板用于承載所述工件的面上在所述承載板吸附孔的邊緣具有倒角。作為本實用新型的實施例的一種優(yōu)選方案，所述承載板由塑料或橡膠構(gòu)成。作為本實用新型的實施例的一種優(yōu)選方案，所述承載板由聚氯乙稀、聚丙烯、聚氨基甲酸酯、丁苯橡膠中的任意一種構(gòu)成。作為本實用新型的實施例的一種優(yōu)選方案，所述承載板的厚度在0. 1毫米至0. 5 毫米之間。作為本實用新型的實施例的一種優(yōu)選方案，所述承載板的厚度為0. 2毫米。本實用新型的實施例還提供一種真空吸附臺，其可避免工件表面的損傷。為達到上述目的，本實用新型的實施例采用如下技術(shù)方案一種真空吸附臺，包括用于提供真空環(huán)境的真空源，以及設(shè)在所述真空源上的上述的真空吸附臺面。由于本實用新型的實施例的真空吸附臺具有上述的真空吸附臺面，因此其可在保證支撐穩(wěn)定的情況下避免工件表面的損傷。作為本實用新型的實施例的一種優(yōu)選方案，真空吸附臺還包括用于將所述支撐板和承載板相對定位的定位結(jié)構(gòu)。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的附圖。圖1為現(xiàn)有的真空吸附臺分解時的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型實施例一的真空吸附臺面分解時的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實用新型實施例一的真空吸附臺面承載工件時的剖視結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實用新型實施例的另一種承載板的剖視結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實用新型實施例二的真空吸附臺分解時的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
本實用新型提供一種真空吸附臺面，包括用于設(shè)在真空源上的支撐板，所述支撐板上具有支撐板吸附孔；其特征在于，所述真空吸附臺面還包括設(shè)在所述支撐板上的承載板，所述承載板上與所述支撐板吸附孔相對應(yīng)的位置處具有承載板吸附孔，且所述承載板中，至少用于承載工件的部分的硬度低于所述支撐板的硬度。優(yōu)選地，在本實用新型的各實施例中，所述承載板吸附孔的橫截面尺寸小于或大于其所對應(yīng)的所述支撐板吸附孔的橫截面尺寸。[0034]優(yōu)選地，在本實用新型的各實施例中，所述承載板吸附孔和支撐板吸附孔均為圓孔，且所述承載板吸附孔的直徑比其所對應(yīng)的所述支撐板吸附孔的直徑小1毫米以上。優(yōu)選地，在本實用新型的各實施例中，所述承載板吸附孔和支撐板吸附孔均為圓孔，且所述承載板吸附孔的直徑在0. 5毫米至1毫米之間，所述支撐板吸附孔的直徑在1. 5 毫米至3毫米之間。優(yōu)選地，在本實用新型的各實施例中，所述承載板用于承載所述工件的面上在所述承載板吸附孔的邊緣具有倒角。優(yōu)選地，在本實用新型的各實施例中，所述承載板由塑料或橡膠構(gòu)成。優(yōu)選地，在本實用新型的各實施例中，所述承載板由聚氯乙稀、聚丙烯、聚氨基甲酸酯、丁苯橡膠中的任意一種構(gòu)成。優(yōu)選地，在本實用新型的各實施例中，所述承載板的厚度在0. 1毫米至0. 5毫米之間。優(yōu)選地，在本實用新型的各實施例中，所述承載板的厚度為0. 2毫米。本實用新型提供一種真空吸附臺，包括用于提供真空環(huán)境的真空源，其特征在于， 所述真空吸附臺還包括設(shè)在所述真空源上的、如前述的真空吸附臺面。優(yōu)選地，在本實用新型的各實施例中，還包括用于將所述支撐板和承載板相對定位的定位結(jié)構(gòu)。下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型的一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其它實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。本實用新型實施例提供一種真空吸附臺面，包括用于設(shè)在真空源上的支撐板，所述支撐板上具有支撐板吸附孔；設(shè)在所述支撐板上的承載板，所述承載板上與所述支撐板吸附孔相對應(yīng)的位置處具有承載板吸附孔，且所述承載板中，至少用于承載工件的部分的硬度低于所述支撐板的硬度。由于本實用新型的實施例的真空吸附臺面中，工件與硬度較低的承載板相接觸， 而承載板又被硬度較高的支撐板支撐，因此其可在保證支撐穩(wěn)定的情況下避免工件表面的損傷；且由此其還可提高工件成品率，減少后續(xù)所需的表面檢測、表面修補等步驟，并使真空吸附臺面能用于支撐一些因表面過軟而原先并不適用的工件，從而擴大了其應(yīng)用范圍。實施例一本實用新型實施例提供一種真空吸附臺面，如圖2至圖4所示，其包括支撐板1和承載板2。支撐板1用于設(shè)在真空源(該真空源可為上方設(shè)有支撐網(wǎng)的真空腔室等形式) 上，支撐板1上具有多個支撐板吸附孔11。該支撐板1可具有與現(xiàn)有的常規(guī)支撐板1類似的結(jié)構(gòu)。從材料上看，支撐板1優(yōu)選由合金、工程塑料等具有較高硬度和強度的材料構(gòu)成， 例如由不銹鋼、鋁合金、特氟龍(聚四氟乙烯)等構(gòu)成。當(dāng)由合金材料構(gòu)成時，支撐板1厚度優(yōu)選在0. 5 1mm，當(dāng)由工程塑料構(gòu)成時，支撐板1厚度優(yōu)選在1 2mm。支撐板吸附孔11優(yōu)選為孔徑在1. 5 3mm的圓孔。支撐板吸附孔11在支撐板1上的分布也可采取不同的現(xiàn)有方式，例如，可如圖2所示均勻分布；或也可在對應(yīng)工件(例如在曝光工藝中的線路板)8邊緣的位置分布密度較大(如孔中心距在4 8mm)，而在對應(yīng)工件8中部的位置分布密度較小(如孔中心距在10 15mm)，以達到更好的吸附效果。承載板2則位于支撐板1上，從而在吸附時其可直接與工件8接觸。承載板2上與支撐板吸附孔11相對應(yīng)的位置具有承載板吸附孔21，也就是說當(dāng)承載板2正確定位在支撐板1上時，支撐板吸附孔11上方有承載板吸附孔21，承載板吸附孔21下方也有支撐板吸附孔11，兩種孔11、21形成貫通的結(jié)構(gòu)。該承載板2用于支撐工件8的部分的硬度應(yīng)當(dāng)小于支撐板1的硬度(當(dāng)然，也可承載板2整體的硬度均低于支撐板1的硬度)，以保證承載板2(尤其是承載板吸附孔21)不會對與其接觸的工件8表面造成吸痕等損傷。優(yōu)選地，該承載板2可由塑料或橡膠材料構(gòu)成，例如由聚氯乙稀(PVC)、聚氨基甲酸酯(PU)、聚丙烯、丁苯橡膠中的任意一種構(gòu)成；當(dāng)然承載板2也可由其它的硬度低于支撐板1硬度的材料構(gòu)成。在進行吸附時，硬度較高的支撐板1可以抵抗其兩側(cè)的壓差而基本不彎曲變形， 從而保證支撐面平整，為工件8提供穩(wěn)定且均勻的支撐；而硬度較低的承載板2可與支撐板 1緊密接觸，從而保證與工件8相接觸的表面較軟，以防止工件8表面產(chǎn)生吸痕等。優(yōu)選地，承載板吸附孔21的橫截面尺寸小于其所對應(yīng)的支撐板吸附孔11的橫截面尺寸；也就是說承載板吸附孔21優(yōu)選比支撐板吸附孔11更小，且從垂直于承載板2和支撐板1的方向上看，承載板吸附孔21優(yōu)選位于支撐板吸附孔11內(nèi)。這樣，如圖3所示，當(dāng)進行吸附時，由于吸力的作用，承載板2可在承載板吸附孔21的周邊產(chǎn)生輕微凹陷，從而使承載板吸附孔21周邊與工件8形成平滑過渡的接觸，以更好地避免工件8在與承載板吸附孔21相對應(yīng)的位置產(chǎn)生損傷。更優(yōu)選地，當(dāng)承載板吸附孔21和支撐板吸附孔11均為圓孔時，承載板吸附孔21的直徑應(yīng)比支撐板吸附孔11的直徑小Imm以上(也就是孔的每一側(cè)小0. 5mm以上)；再優(yōu)選地，當(dāng)支撐板吸附孔11的直徑在1. 5 3mm之間時，承載板吸附孔 21的直徑可在0. 5 Imm之間。優(yōu)選地，如圖4所示，承載板2用于承載工件8的面上在承載板吸附孔21的邊緣處具有倒角211，該倒角211同樣可以起到防止承載板吸附孔21損傷工件8的作用。優(yōu)選地，承載板2的厚度在0. 1 0. 5mm之間，更優(yōu)選為0. 2mm。這個范圍的厚度可以保證承載板2本身具有足夠的強度，能為工件8提供足夠的保護，同時還可保證吸附時承載板吸附孔21周邊能產(chǎn)生足夠程度的凹陷。優(yōu)選地，在支撐板1和承載板2上均可具有定位銷釘孔12、22等用于將支撐板1 和承載板2相對定位的定位結(jié)構(gòu)。實施例二本實用新型實施例提供一種真空吸附臺，如圖5所示，其包括用于提供真空環(huán)境的真空源，以及設(shè)在所述真空源上的上述的真空吸附臺面。其中，真空源可包括真空腔室9，真空腔室9具有與真空泵相連的真空泵接口 93， 而真空腔室9上方開口并設(shè)有支撐網(wǎng)91，真空吸附臺面的支撐板1即可被設(shè)在該支撐網(wǎng)91 上。當(dāng)然，該真空源也可為其它形式的公知的真空源，例如，支撐網(wǎng)91可被支撐條等代替； 或真空源可為與真空泵直接相連的、具有較大開口的真空吸頭等。優(yōu)選地，真空吸附臺還可包括用于將支撐板1和承載板2相對定位的定位結(jié)構(gòu)。定位結(jié)構(gòu)用于將支撐板1和承載板2相對定位，從而保證吸附時支撐板吸附孔11和承載板吸附孔21可以準(zhǔn)確的處于對應(yīng)位置。該定位結(jié)構(gòu)可包括設(shè)在真空腔室9上的至少兩根定位銷釘92，定位銷釘92可穿過支撐板1和承載板2上的銷釘定位孔12、22，從而將支撐板1 和承載板2相對定位(此時實際為將真空腔室9、支撐板1、承載板2相對定位了)。當(dāng)然， 定位結(jié)構(gòu)也可為其它許多公知的形式，例如，定位結(jié)構(gòu)也可包括設(shè)在真空腔室周邊的一圈凸邊，從而將支撐板1和承載板2 —起限定在該凸邊內(nèi)；再如，定位結(jié)構(gòu)也可包括位于支撐板1邊緣的凸起以及位于承載板2邊緣的凹口，當(dāng)凸起卡入凹口時即可將支撐板1和承載板2相對定位。由于本實用新型的實施例的真空吸附臺具有上述的真空吸附臺面，因此其可在保證支撐穩(wěn)定的情況下避免工件表面的損傷，并提高工件成品率，減少后續(xù)所需的表面檢測、 表面修補等步驟，具有較大的應(yīng)用范圍。顯然，本實用新型實施例的真空吸附臺面和真空吸附臺還可進行許多變化。例如， 承載板、支撐板的具體形狀、尺寸、材料等可不同；承載板吸附孔、支撐板吸附孔的具體形狀、尺寸、分布位置可不同；定位結(jié)構(gòu)的具體形式可不同；真空源的具體形式可不同等。顯然，本實用新型實施例的真空吸附臺面和真空吸附臺并不限于用在線路板的阻焊層曝光處理中；它們也可用于許多其它領(lǐng)域中，例如在薄膜沉積、刻蝕、顯影、摩擦等工藝中支撐液晶顯示基板、半導(dǎo)體基板、硅片、光學(xué)元件等許多其它工件。以上所述，僅為本實用新型的具體實施方式
，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。因此，本實用新型的保護范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種真空吸附臺面，包括用于設(shè)在真空源上的支撐板，所述支撐板上具有支撐板吸附孔；其特征在于，所述真空吸附臺面還包括設(shè)在所述支撐板上的承載板，所述承載板上與所述支撐板吸附孔相對應(yīng)的位置處具有承載板吸附孔，且所述承載板中，至少用于承載工件的部分的硬度低于所述支撐板的硬度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空吸附臺面，其特征在于，所述承載板吸附孔的橫截面尺寸小于或大于其所對應(yīng)的所述支撐板吸附孔的橫截面尺寸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空吸附臺面，其特征在于，所述承載板吸附孔和支撐板吸附孔均為圓孔，且所述承載板吸附孔的直徑比其所對應(yīng)的所述支撐板吸附孔的直徑小1毫米以上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空吸附臺面，其特征在于，所述承載板吸附孔和支撐板吸附孔均為圓孔，且所述承載板吸附孔的直徑在0. 5毫米至1毫米之間，所述支撐板吸附孔的直徑在1.5毫米至3毫米之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空吸附臺面，其特征在于，所述承載板用于承載所述工件的面上在所述承載板吸附孔的邊緣具有倒角。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任意一項所述的真空吸附臺面，其特征在于，所述承載板由塑料或橡膠構(gòu)成。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任意一項所述的真空吸附臺面，其特征在于，所述承載板由聚氯乙稀、聚丙烯、聚氨基甲酸酯、丁苯橡膠中的任意一種構(gòu)成。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至5任意一項所述的真空吸附臺面，其特征在于，所述承載板的厚度在0. 1毫米至0.5毫米之間。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任意一項所述的真空吸附臺面，其特征在于，所述承載板的厚度為0.2毫米。
10.一種真空吸附臺，包括用于提供真空環(huán)境的真空源，其特征在于，所述真空吸附臺還包括設(shè)在所述真空源上的、如上述權(quán)利要求1至9中任意一項所述的真空吸附臺面。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的真空吸附臺，其特征在于，還包括用于將所述支撐板和承載板相對定位的定位結(jié)構(gòu)。
專利摘要本實用新型提供一種真空吸附臺面及具有該真空吸附臺面的真空吸附臺，屬于真空吸附技術(shù)領(lǐng)域，其可解決現(xiàn)有的真空吸附臺面易造成工件表面損傷的問題。本實用新型的真空吸附臺面包括用于設(shè)在真空源上的支撐板，所述支撐板上具有支撐板吸附孔；設(shè)在所述支撐板上的承載板，所述承載板上與所述支撐板吸附孔相對應(yīng)的位置處具有承載板吸附孔，且所述承載板中，至少用于承載工件的部分的硬度低于所述支撐板的硬度。本實用新型的真空吸附臺包括用于提供真空環(huán)境的真空源，以及設(shè)在所述真空源上的上述真空吸附臺面。本實用新型可用于在曝光工藝中支撐線路板等。
文檔編號B25H1/08GK201931454SQ20102066859
公開日2011年8月17日 申請日期2010年12月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月9日
發(fā)明者朱興華, 蘇新虹 申請人:北大方正集團有限公司