專利名稱：多關(guān)節(jié)機器人的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將液晶用玻璃基板、半導(dǎo)體晶圓等薄板狀的工件取出送入儲料器的多 關(guān)節(jié)機器人。
背景技術(shù)：
作為現(xiàn)有的多關(guān)節(jié)機器人，提出了通過偏置肩關(guān)節(jié)部的旋轉(zhuǎn)中心和臺座的旋轉(zhuǎn)中 心，在使臺座轉(zhuǎn)動時減小多關(guān)節(jié)機器人的旋轉(zhuǎn)半徑的多關(guān)節(jié)機器人(例如，參照專利文獻 1)?，F(xiàn)有的多關(guān)節(jié)機器人1構(gòu)成為，如圖5所示，具備兩組通過關(guān)節(jié)部3、4、5可旋轉(zhuǎn)地 被連接并傳遞旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源所產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)力，進行期望動作的臂2，使設(shè)置在兩組臂2上的基 端的關(guān)節(jié)部3的旋轉(zhuǎn)中心軸上下(或軸方向)配置。多關(guān)節(jié)機器人1具備兩組臂2，一組臂驅(qū)動型裝置2為供給用，另一組為取出用，能 夠同時進行工件9的供給動作及其它工件9的取出動作。而且，現(xiàn)有的多關(guān)節(jié)機器人1構(gòu)成為，通過臂2保持工件9的手部8能夠在由圖中 箭頭X所示的工件9的取出·供給方向上直線移動。而且，現(xiàn)有的多關(guān)節(jié)機器人1具備使設(shè)置有臂2的支撐構(gòu)件10上下移動的移動構(gòu) 件11 (以下，稱為上下移動機構(gòu)11)，能夠調(diào)節(jié)臂2的上下位置。而且，上下移動機構(gòu)11的 臺座13可轉(zhuǎn)動地設(shè)置，能夠使多關(guān)節(jié)機器人1旋轉(zhuǎn)并改變方向。另外，在本實施方式的多關(guān)節(jié)機器人1中，在圖中箭頭Y所示的方向，即與手部8 的移動方向和支撐構(gòu)件10的上下移動方向分別正交的方向上，相對于基臺14可移動地設(shè) 置臺座13并能夠調(diào)節(jié)上下移動機構(gòu)11的位置。而且，現(xiàn)有的多關(guān)節(jié)機器人1所具備的兩組臂2例如具有多個關(guān)節(jié)部，即多關(guān)節(jié)機 器人1構(gòu)成為水平多關(guān)節(jié)型機器人。本實施方式中的臂2具備第一臂6 (以下，稱為上臂 6)、與上臂6連接的第二臂7 (以下，稱為前臂7)及與前臂7連接并保持工件9的手部8。上臂6的基端通過驅(qū)動軸連接于支撐構(gòu)件10，構(gòu)成可轉(zhuǎn)動的關(guān)節(jié)部3 (以下，稱為 肩關(guān)節(jié)部3)。該肩關(guān)節(jié)部3成為臂2的基端的關(guān)節(jié)部3。而且，上臂6的前端和前臂7的 基端通過驅(qū)動軸連接，構(gòu)成可轉(zhuǎn)動的關(guān)節(jié)部4 (以下，稱為肘關(guān)節(jié)部4)。而且，前臂7的前端 和手部8通過驅(qū)動軸連接，構(gòu)成可轉(zhuǎn)動的關(guān)節(jié)部5 (以下，稱為手關(guān)節(jié)部5)。為使肩關(guān)節(jié)部 3的旋轉(zhuǎn)中心軸處于同軸上，配置為在上下方向上相對。臂2通過未圖示的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源使肩關(guān)節(jié)部3、肘關(guān)節(jié)部4及手關(guān)節(jié)部5轉(zhuǎn)動，使手 部8向工件取出 供給方向移動。此時，臂2按其結(jié)構(gòu)進行伸縮動作，以使手部8朝向一個 方向，在使上臂6和前臂7伸直的伸長位置以及使上臂6和前臂7處于折疊狀態(tài)的縮短位置之間進行直線移動。
這里，在現(xiàn)有的多關(guān)節(jié)機器人1中，在圖6所示的臂2的縮短位置，由手部8保持 的工件9的中心設(shè)計為與臺座13的旋轉(zhuǎn)中心一致。另外，通過使肩關(guān)節(jié)部3的旋轉(zhuǎn)中心和 臺座13的旋轉(zhuǎn)中心相對于手部8的移動方向在正交方向上偏置，在使臺座13轉(zhuǎn)動時在多 關(guān)節(jié)機器人1的周圍肘關(guān)節(jié)部4或手部8不會從所需的最小區(qū)域圓15突出，能夠減小多關(guān) 節(jié)機器人1的旋轉(zhuǎn)半徑。[專利文獻1]日本國特開2001_274218(第4頁 5頁，圖1、圖2)

發(fā)明內(nèi)容
將液晶用玻璃基板、半導(dǎo)體晶圓等薄板狀的工件取出送入儲料器的多關(guān)節(jié)機器人 向大型化發(fā)展，要求在增加處理的基板張數(shù)的同時在短時間內(nèi)進行處理，另外為了提高基 板的合格率，要求盡量抑制機器人的灰塵產(chǎn)生。因此對于機器人，盡管設(shè)備自身大型化至 配置基板的儲料器幾乎到達天花板的高度，但實現(xiàn)高速、高精度、低灰塵還是成為重要的課 題。另一方面，大型化的設(shè)備為了使周圍的清潔度保持潔凈需要高額的設(shè)備投資，因此希望 在儲料器中配置更多的基板并進行處理。而且，對于多關(guān)節(jié)機器人希望減小占有面積，減小 旋轉(zhuǎn)半徑以便不與配置在工廠的裝置干涉。而且，液晶基板、半導(dǎo)體晶圓等的生產(chǎn)張數(shù)每年遞增，為了提高生產(chǎn)效率對于機器 人要求搬運生產(chǎn)率。但是，由于機器人包括機械零件所以需要維護，維護時間也變?yōu)樯婕吧?產(chǎn)率的重要因素，希望能夠容易地進行維護。但是，現(xiàn)有的多關(guān)節(jié)機器人是臂基端從移動面突出配置為與搬運基板對向的結(jié) 構(gòu)，因此，由于無法防止上下移動機構(gòu)的灰塵產(chǎn)生，所以產(chǎn)生了細小灰塵在基板上堆積等的 問題。而且，臂通過上下移動機構(gòu)向下方移動時，由于臂的支撐構(gòu)件與臺座碰撞所以無 法移動至上下移動機構(gòu)的最下面，產(chǎn)生可動范圍變窄的問題，產(chǎn)生了取出送入液晶基板或 半導(dǎo)體晶圓的儲料器的高度變高的問題。進一步而言，儲料器的高度被工廠建筑物的高度 所限制，因此，配置的面板或基板的張數(shù)因上下移動機構(gòu)的可動范圍變窄而變少，產(chǎn)生了使 生產(chǎn)效率降低的問題。而且，在臂基端具有馬達、帶輪等，因此，在上下方向上為較厚的結(jié)構(gòu)。因此，產(chǎn)生 了不得不較寬地設(shè)定儲料器內(nèi)配置液晶基板或半導(dǎo)體基板的間隔的問題。也就是說，由于 可配置在儲料器內(nèi)的面板或基板的張數(shù)變少所以產(chǎn)生了生產(chǎn)效率降低這樣的問題。為了避 免這樣的問題，通過上下移動機構(gòu)進行取出送入時，可以考慮改變臂的高度，此時，為了反 復(fù)進行使臂上下移動的順序動作需要花費時間，產(chǎn)生了作業(yè)時間變長等的問題。而且，現(xiàn)有的多關(guān)節(jié)機器人是臂基端配置為上下同軸的結(jié)構(gòu)。因此，為了進行配置 在臂基端的機械零件即馬達、帶輪等的交換，必須采取卸下一組臂后進行交換等的方法，因 此，產(chǎn)生了維護時間長，生產(chǎn)效率降低的問題。而且，現(xiàn)有的多關(guān)節(jié)機器人為，由于支撐構(gòu)件在一根支柱上通過移動機構(gòu)進行移 動，所以在儲料器變?yōu)閹缀踹_到天花板的高度時，必然地需要使支柱長度變長，在剛性降低 的同時，配置在內(nèi)部的移動機構(gòu)的導(dǎo)向機構(gòu)也需要變?yōu)榕c支柱長度一致的長度。但是，使導(dǎo) 向機構(gòu)變長時，由于導(dǎo)向精度因變長而降低，所以通過移動機構(gòu)移動的支撐構(gòu)件的移動精度降低，載置于臂前端的手部8的液晶基板或半導(dǎo)體晶圓的定位精度降低，由于發(fā)生基板或晶圓與儲料器碰撞的情況，所以產(chǎn)生了導(dǎo)致合格率降低的問題。本發(fā)明是基于上述問題而進行的，目的是提供一種防止上下移動軸的灰塵產(chǎn)生所 引起的基板的污染，同時提高了生產(chǎn)效率的將液晶用玻璃基板、半導(dǎo)體晶圓等薄板狀的工 件取出送入儲料器的多關(guān)節(jié)機器人。為解決上述問題，本發(fā)明是如下構(gòu)成的。方案1所述的發(fā)明為一種多關(guān)節(jié)機器人，具備載置搬運物的手部；與所述手部連 接，具備至少2個以上的旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)，使所述手部在工件的取出及供給方向上直線移動地進 行伸縮，配置為在軸向上對向的多關(guān)節(jié)臂；對所述多關(guān)節(jié)臂和上下移動的安裝在支柱上的 移動機構(gòu)進行連接的支撐構(gòu)件；及安裝于所述移動機構(gòu)的具有旋轉(zhuǎn)功能的臺座，所述支柱 是連接多個塊的結(jié)構(gòu)。方案2所述的發(fā)明為，所述支柱的塊上具備對所述移動機構(gòu)的導(dǎo)向機構(gòu)的配置進 行調(diào)節(jié)的開口部。方案3所述的發(fā)明為，所述支柱的塊的連接部形成嵌合結(jié)構(gòu)。方案4所述的發(fā)明為，所述移動機構(gòu)在與所述手部的移動方向相同的方向上配置 在支柱上，配置于所述移動機構(gòu)的支撐構(gòu)件在與所述手部的移動方向正交的方向上突出， 與所述多關(guān)節(jié)臂連接。方案5所述的發(fā)明為，所述支撐構(gòu)件形成為在所述手部的移動方向上偏置的形 狀，以便通過所述移動機構(gòu)移動至所述支柱的最下端位置時不與所述臺座干涉。方案6所述的發(fā)明為，上下配置的所述支撐構(gòu)件的所述旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)配置于相對偏置 的位置。方案7所述的發(fā)明為，上下配置的所述支撐構(gòu)件的所述旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)中的任意一個配 置于在所述手部的移動方向上相對偏置的位置。方案8所述的發(fā)明為，上下配置的所述支撐構(gòu)件的所述旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)的配置在下側(cè)的 所述旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)相對于上側(cè)的所述旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)，配置于在所述手部的移動方向上偏置的位置。方案9所述的發(fā)明為，所述移動機構(gòu)具有密封功能。方案10所述的發(fā)明為，所述旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)的旋轉(zhuǎn)中心、手部的旋轉(zhuǎn)中心及臺座的旋轉(zhuǎn) 中心的位置關(guān)系形成為，使所述手部拉回地進行移動時，在關(guān)于手部的移動方向的軸線上， 從前方以所述旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)的旋轉(zhuǎn)中心、臺座的旋轉(zhuǎn)中心及手部的旋轉(zhuǎn)中心的順序進行配置。方案11所述的發(fā)明為，形成為使配置于所述支撐構(gòu)件的所述旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)的旋轉(zhuǎn)中 心、手部的旋轉(zhuǎn)中心及臺座的旋轉(zhuǎn)中心在手部的移動方向的軸線上一致地偏置。根據(jù)方案1至3所述的發(fā)明，所述支柱是連接多個塊的結(jié)構(gòu)，因此，通過連接塊結(jié) 構(gòu)的支柱能夠應(yīng)對幾乎到達工廠的天花板的較高的儲料器，同時針對變長的移動機構(gòu)的導(dǎo) 向機構(gòu)也不會降低導(dǎo)向精度，因此，通過移動機構(gòu)移動的支撐構(gòu)件的移動精度也不會降低。 因此，載置在手上的液晶基板或半導(dǎo)體晶圓也不會降低定位精度地進行搬運，也不會導(dǎo)致 基板或晶圓碰撞儲料器所引起的合格率的降低。根據(jù)方案4至9所述的發(fā)明，移動機構(gòu)在與手部的移動方向相同的方向上配置在 支柱上，配置于移動機構(gòu)的支撐構(gòu)件是在與手部的移動方向正交的方向上突出，與所述多 關(guān)節(jié)臂連接的結(jié)構(gòu)，因此，滑動部配置為不會與液晶基板或半導(dǎo)體晶圓對面，源自滑動部的灰塵不會直接堆積于液晶基板或半導(dǎo)體晶圓，因此，能夠降低液晶基板或半導(dǎo)體晶圓的污 染，同時能夠提高基板或晶圓的生產(chǎn)上的合格率。根據(jù)方案5所述的發(fā)明，由于支撐構(gòu)件形成為在所述手部的移動方向上偏置的形 狀，以便通過所述移動機構(gòu)移動至所述支柱的最下端位置時不與所述臺座干涉，所以支撐 構(gòu)件不會與臺座碰撞，能夠移動至上下移動機構(gòu)的最下面，能夠使可動范圍變寬。因此，即 使不使取出送入液晶基板或半導(dǎo)體晶圓的儲料器的高度很高，也由于能夠在儲料器下部配 置液晶基板或半導(dǎo)體晶圓，能夠使上下移動機構(gòu)的可動范圍變寬，所以能夠較多地配置基 板或晶圓的張數(shù)。據(jù)此可提高工廠整體的生產(chǎn)效率。根據(jù)方案6至9所述的發(fā)明，上下配置的所述支撐構(gòu)件的所述旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)配置于相 對偏置的位置，根據(jù)方案10及11述的發(fā)明，形成為使配置于所述支撐構(gòu)件的所述旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié) 的旋轉(zhuǎn)中心、手部的旋轉(zhuǎn)中心及臺座的旋轉(zhuǎn)中心在手部的移動方向的軸線上一致地偏置， 因此，手來到拉回液晶基板或半導(dǎo)體晶圓的位置時，即使通過臺座的旋轉(zhuǎn)功能進行旋轉(zhuǎn)，也 能夠不從基板或晶圓的旋轉(zhuǎn)半徑突出地進行旋轉(zhuǎn)，因此，減小占有面積，能夠不與配置在工 廠的裝置干涉地配置機器人。


圖1是表示本發(fā)明的實施例的多關(guān)節(jié)機器人的立體圖。圖2是表示本發(fā)明的實施例的多關(guān)節(jié)機器人的俯視圖。圖3是表示本發(fā)明的實施例的多關(guān)節(jié)機器人的主視圖。圖4是表示本發(fā)明的實施例的多關(guān)節(jié)機器人的旋轉(zhuǎn)半徑的圖。圖5是表示現(xiàn)有的多關(guān)節(jié)機器人的立體圖。圖6是表示現(xiàn)有的多關(guān)節(jié)機器人的旋轉(zhuǎn)半徑的圖。符號說明1-多關(guān)節(jié)機器人；2-臂；21-上臂；22-下臂；3_肩關(guān)節(jié)部；4_肘關(guān)節(jié)部；5_手關(guān)節(jié) 部；6_上臂；7-前臂；8-手部；9-工件；10-支撐構(gòu)件；11-上下移動機構(gòu)；12-支柱；13-臺 座；14-基臺；15-最小區(qū)域圓；16-支柱塊。
具體實施例方式以下，參照附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。實施例1圖1是本發(fā)明的多關(guān)節(jié)機器人的立體圖。圖2是本發(fā)明的多關(guān)節(jié)機器人的俯視圖。 圖3是本發(fā)明的多關(guān)節(jié)機器人的主視圖。本發(fā)明的多關(guān)節(jié)機器人1是為了應(yīng)對未圖示的儲料器的高層化而連接分為多塊 的支柱12的結(jié)構(gòu)。如此通過依次連接各支柱塊16形成具有對應(yīng)于高層的高度的多關(guān)節(jié)機 器人1。在本實施例中，構(gòu)成4個支柱塊16連接的結(jié)構(gòu)。各支柱塊16的兩端面構(gòu)成為嵌合 結(jié)構(gòu)以連接支柱塊16之間，另外，為了精度良好地配置由直線導(dǎo)軌構(gòu)成的導(dǎo)向機構(gòu)而具有 未圖示的定位孔，通過使用定位夾具進行調(diào)節(jié)來進行組裝。而且，本發(fā)明的多關(guān)節(jié)機器人1具備兩組通過關(guān)節(jié)部3、4、5可旋轉(zhuǎn)地被連接并傳 遞旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源所產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)力，進行期望動作的臂2。而且，構(gòu)成為通過臂2保持工件9的手部8能夠在由圖中箭頭X所示的工件9的取出 供給方向上直線移動。而且，設(shè)置于兩 組臂2上的基端的關(guān)節(jié)部3的旋轉(zhuǎn)中心軸的關(guān)系構(gòu)成為，如圖2所示，相對于上臂21的基 端的關(guān)節(jié)部3，下臂22的基端的關(guān)節(jié)部3配置為在手部8的移動方向上偏移。而且，具備使設(shè)置有臂2的支撐構(gòu)件10上下移動的上下移動構(gòu)件11，能夠調(diào)節(jié)臂 2的上下位置。而且，上下移動機構(gòu)11的臺座13可轉(zhuǎn)動地設(shè)置，能夠使多關(guān)節(jié)機器人1旋 轉(zhuǎn)并改變方向。這里，上下移動機構(gòu)11配置在與手部8的移動方向相同的方向上，支撐構(gòu) 件10從上下移動機構(gòu)11向相對于手部8的移動方向正交的方向突出，連結(jié)于臂2的基端 的關(guān)節(jié)部3。而且，連結(jié)于下臂22的支撐構(gòu)件10形成，在臂2通過上下移動構(gòu)件11向下方 移動時，如圖2所示，不與臺座13干涉地在手部8的移動方向上偏置的形狀。而且，上下移 動機構(gòu)11被未圖示的具有密封功能的保護蓋覆蓋，以抑制支柱12內(nèi)部的灰塵產(chǎn)生。本發(fā)明與專利文獻1不同的部分為，上下移動機構(gòu)配置在與手部的移動方向相同 的方向上，對上下移動機構(gòu)和臂2的基端的關(guān)節(jié)部進行連接的支撐構(gòu)件10與手部的移動方 向正交地突出，并且與下臂22連接的支撐構(gòu)件10形成為在手部的移動方向上偏置以便不 與臺座13干涉這一部分。下面，對動作進行說明。本發(fā)明的多關(guān)節(jié)機器人1所具備的兩組臂2例如具有多 個關(guān)節(jié)部，即多關(guān)節(jié)機器人1構(gòu)成為水平多關(guān)節(jié)型機器人。本實施方式中的臂2具備與現(xiàn) 有的臂2的結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)。 上臂6的基端通過驅(qū)動軸連接于支撐構(gòu)件10，構(gòu)成可轉(zhuǎn)動的肩關(guān)節(jié)部3。該肩關(guān) 節(jié)部3為臂2的基端的關(guān)節(jié)部3。而且，上臂6的前端和前臂7的基端通過驅(qū)動軸連接，構(gòu) 成可轉(zhuǎn)動的肘關(guān)節(jié)部4。而且，前臂7的前端和手部8通過驅(qū)動軸連接，構(gòu)成可轉(zhuǎn)動的手關(guān) 節(jié)部5。臂2通過未圖示的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源使肩關(guān)節(jié)部3、肘關(guān)節(jié)部4及手關(guān)節(jié)部5轉(zhuǎn)動，使手 部8向工件取出 供給方向移動。此時，臂2按其結(jié)構(gòu)進行伸縮動作，以使手部8朝向一個 方向，在使上臂6和前臂7伸直的伸長位置以及使上臂6和前臂7處于折疊狀態(tài)的縮短位 置之間進行直線移動。這里，利用下臂22對本實施例的多關(guān)節(jié)機器人1的旋轉(zhuǎn)半徑進行說明。設(shè)計為在 圖4所示的臂22的縮短位置，由手部8保持的工件9的中心與臺座13的旋轉(zhuǎn)中心一致。 另外，通過使肩關(guān)節(jié)部3的旋轉(zhuǎn)中心、手關(guān)節(jié)部5的旋轉(zhuǎn)中心及臺座13的旋轉(zhuǎn)中心在手部 8的移動方向的軸線上一致地偏置，在使臺座13轉(zhuǎn)動時在多關(guān)節(jié)機器人1的周圍肘關(guān)節(jié)部 4或手部8不會從所需的最小區(qū)域圓15突出，能夠使多關(guān)節(jié)機器人1的旋轉(zhuǎn)半徑很小。這里，為了避免附圖變得復(fù)雜利用下臂進行了說明，但是對于上臂21也同樣，設(shè) 計為工件9的中心與臺座13的旋轉(zhuǎn)中心一致，肩關(guān)節(jié)部3、手關(guān)節(jié)部5及臺座13的旋轉(zhuǎn)中 心的位置關(guān)系也是與下臂相同的構(gòu)成。下面對上下方向的動作進行說明。臂2安裝于支撐構(gòu)件10，在上下移動機構(gòu)11上 通過未圖示的控制器的指令于上下方向移動。如圖3所示向下方移動時，支撐構(gòu)件10形成 為不與臺座13碰撞地在手部8的移動方向上偏置的形狀，因此，支撐構(gòu)件10能夠下降至上 下移動機構(gòu)11的最下點的移動位置。另外，在本發(fā)明中，雖然對具有上臂和下臂的多關(guān)節(jié)機器人進行了說明，但是不言 而喻也可以是由上下任意一組臂構(gòu)成的多關(guān)節(jié)機器人。而且，雖然對具有肩關(guān)節(jié)、肘關(guān)節(jié)及手關(guān)節(jié)的旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)的多關(guān)節(jié)機器人進行了說明，但是理所當(dāng)然對于手關(guān)節(jié)部被固定的多關(guān)節(jié)機器人也具有同樣的作用和效果。 由于能夠通過這種將物品載置于手部上進行搬運來進行物品的交換作業(yè)，所以能 夠應(yīng)用于厚板或箱狀物品的搬運作業(yè)這樣的用途。
權(quán)利要求
一種多關(guān)節(jié)機器人，具備載置搬運物的手部；與所述手部連接，具備至少2個以上的旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)，使所述手部在工件的取出及供給方向上直線移動地進行伸縮，配置為在軸向上對向的多關(guān)節(jié)臂；對所述多關(guān)節(jié)臂和上下移動的安裝在支柱上的移動機構(gòu)進行連接的支撐構(gòu)件；及安裝于所述移動機構(gòu)的具有旋轉(zhuǎn)功能的臺座，其特征在于，所述支柱是連接多個塊的結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多關(guān)節(jié)機器人，其特征在于，所述支柱的塊上具備對所述移 動機構(gòu)的導(dǎo)向機構(gòu)的配置進行調(diào)節(jié)的開口部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多關(guān)節(jié)機器人，其特征在于，所述支柱的塊的連接部形成嵌合結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多關(guān)節(jié)機器人，其特征在于，所述移動機構(gòu)在與所述手部的 移動方向相同的方向上配置在支柱上，配置于所述移動機構(gòu)的支撐構(gòu)件在與所述手部的移 動方向正交的方向上突出，與所述多關(guān)節(jié)臂連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多關(guān)節(jié)機器人，其特征在于，所述支撐構(gòu)件形成為在所述手 部的移動方向上偏置的形狀，以便通過所述移動機構(gòu)移動至所述支柱的最下端位置時不與 所述臺座干涉。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多關(guān)節(jié)機器人，其特征在于，上下配置的所述支撐構(gòu)件的所 述旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)配置于相對偏置的位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多關(guān)節(jié)機器人，其特征在于，上下配置的所述支撐構(gòu)件的所 述旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)中的任意一個配置于在所述手部的移動方向上相對偏置的位置。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多關(guān)節(jié)機器人，其特征在于，上下配置的所述支撐構(gòu)件的所 述旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)的配置在下側(cè)的所述旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)相對于上側(cè)的所述旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)，配置于在所述手部 的移動方向上偏置的位置。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多關(guān)節(jié)機器人，其特征在于，所述移動機構(gòu)具有密封功能。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多關(guān)節(jié)機器人，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)的旋轉(zhuǎn)中心、手 部的旋轉(zhuǎn)中心及臺座的旋轉(zhuǎn)中心的位置關(guān)系形成為，使所述手部拉回地進行移動時，在關(guān) 于手部的移動方向的軸線上，從前方以所述旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)的旋轉(zhuǎn)中心、臺座的旋轉(zhuǎn)中心及手部 的旋轉(zhuǎn)中心的順序進行配置。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多關(guān)節(jié)機器人，其特征在于，形成為使配置于所述支撐構(gòu)件 的所述旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)的旋轉(zhuǎn)中心、手部的旋轉(zhuǎn)中心及臺座的旋轉(zhuǎn)中心在手部的移動方向的軸線 上一致地偏置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種防止上下移動軸的灰塵產(chǎn)生所引起的基板的污染，同時提高了生產(chǎn)效率的將液晶用玻璃基板、半導(dǎo)體晶圓等薄板狀的工件取出送入儲料器的多關(guān)節(jié)機器人。具體為，一種多關(guān)節(jié)機器人，具備載置搬運物的手部；與所述手部連接，具備至少2個以上的旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)，使所述手部向一個方向移動地進行伸縮，配置為在軸向上對向的多關(guān)節(jié)臂；對所述多關(guān)節(jié)臂和上下移動的移動機構(gòu)進行連接的支撐構(gòu)件；及安裝于所述移動機構(gòu)的具有旋轉(zhuǎn)功能的臺座，所述移動機構(gòu)在與所述手部的移動方向相同的方向上配置在支柱上，配置于所述移動機構(gòu)的支撐構(gòu)件在與所述手部的移動方向正交的方向上突出，與所述多關(guān)節(jié)臂連接。
文檔編號B25J9/06GK101844359SQ20101018856
公開日2010年9月29日 申請日期2007年6月15日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月11日
發(fā)明者末吉智, 松尾智弘, 田中謙太郎 申請人:株式會社安川電機