切削裝置的制造方法
【專利摘要】提供切削裝置，能夠?qū)┙o到基于切削構(gòu)件的切削刀具的切削加工部的切削水進(jìn)行回收而再生為不會(huì)對(duì)被加工物造成損害的水而使用。切削裝置具備：被加工物保持構(gòu)件，其保持被加工物；切削構(gòu)件，其具有構(gòu)成為能夠旋轉(zhuǎn)的切削刀具，該切削刀具對(duì)保持在被加工物保持構(gòu)件上的被加工物進(jìn)行切削；以及切削水供給機(jī)構(gòu)，其對(duì)基于切削構(gòu)件的切削刀具的切削加工部供給切削水，該切削裝置具有：切削水承接構(gòu)件，其對(duì)供給到基于切削構(gòu)件的切削刀具的切削加工部的切削水進(jìn)行承接；屑去除構(gòu)件，其將混入到由切削水承接構(gòu)件承接的切削水中的屑去除；以及泵，其向該切削水供給機(jī)構(gòu)輸送借助屑去除構(gòu)件去除了屑的切削水。
【專利說(shuō)明】
切削裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及用于對(duì)半導(dǎo)體晶片等被加工物實(shí)施切削加工的切削裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體器件制造工序中，在作為大致圓板形狀的半導(dǎo)體晶片的正面上通過(guò)形成為格子狀的分割預(yù)定線劃分出多個(gè)區(qū)域，在該劃分出的區(qū)域中形成IC、LSI等器件。通過(guò)將以這種方式形成有多個(gè)器件的半導(dǎo)體晶片沿著分割預(yù)定線切斷而對(duì)形成有器件的區(qū)域進(jìn)行分割從而制造出各個(gè)半導(dǎo)體器件。
[0003]沿著分割預(yù)定線切斷半導(dǎo)體晶片的切削裝置具有:被加工物保持構(gòu)件，其保持被加工物;切削構(gòu)件，其具有構(gòu)成為能夠旋轉(zhuǎn)的切削刀具，該切削刀具對(duì)保持在該被加工物保持構(gòu)件上的被加工物進(jìn)行切削；切削水供給構(gòu)件，其對(duì)基于該切削構(gòu)件的切削刀具的切削加工部供給切削水；以及加工進(jìn)給構(gòu)件，其對(duì)被加工物保持構(gòu)件和切削構(gòu)件在加工進(jìn)給方向上相對(duì)地進(jìn)行加工進(jìn)給(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。
[0004]專利文獻(xiàn)I:日本特開2010-173002號(hào)公報(bào)
[0005]然而，供給到基于切削構(gòu)件的切削刀具的切削加工部的切削水使用純水，存在成本高且生產(chǎn)性差這樣的問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明是鑒于上述情況而完成的，其主要的技術(shù)性課題在于提供一種切削裝置，對(duì)供給到基于切削構(gòu)件的切削刀具的切削加工部的切削水進(jìn)行回收而再生為不會(huì)對(duì)被加工物造成損害的水而進(jìn)行使用。
[0007]為了解決上述主要的技術(shù)性課題，根據(jù)本發(fā)明，提供一種切削裝置，其具備:被加工物保持構(gòu)件，其保持被加工物;切削構(gòu)件，其具有構(gòu)成為能夠旋轉(zhuǎn)的切削刀具，該切削刀具對(duì)保持在該被加工物保持構(gòu)件上的被加工物進(jìn)行切削；以及切削水供給機(jī)構(gòu)，其對(duì)基于該切削構(gòu)件的切削刀具的切削加工部供給切削水，該切削裝置的特征在于，
[0008]該切削裝置具有:切削水承接構(gòu)件，其對(duì)供給到基于該切削構(gòu)件的該切削刀具的切削加工部的切削水進(jìn)行承接；肩去除構(gòu)件，其將混入到由該切削水承接構(gòu)件承接的切削水中的肩去除；以及栗，其向該切削水供給機(jī)構(gòu)輸送借助該肩去除構(gòu)件去除了肩的切削水。
[0009]上述肩去除構(gòu)件由離心分離機(jī)構(gòu)成，該離心分離機(jī)使切削水渦狀旋轉(zhuǎn)并借助離心力將肩與水分尚。
[0010]由于本發(fā)明的切削裝置具備:被加工物保持構(gòu)件，其保持被加工物;切削構(gòu)件，其具有構(gòu)成為能夠旋轉(zhuǎn)的切削刀具，該切削刀具對(duì)保持在該被加工物保持構(gòu)件上的被加工物進(jìn)行切削；以及切削水供給機(jī)構(gòu)，其對(duì)基于該切削構(gòu)件的切削刀具的切削加工部供給切削水，該切削裝置具有:切削水承接構(gòu)件，其對(duì)供給到基于該切削構(gòu)件的該切削刀具的切削加工部的切削水進(jìn)行承接;肩去除構(gòu)件，其將混入到由該切削水承接構(gòu)件承接的切削水中的肩去除；以及栗，其向該切削水供給機(jī)構(gòu)輸送借助該肩去除構(gòu)件去除了肩的切削水，因此，供給到基于切削刀具的切削加工部的切削水被切削水承接構(gòu)件承接并被導(dǎo)入到肩去除構(gòu)件。并且，由于在肩去除構(gòu)件中將導(dǎo)入的切削水中混入的肩分離，并將去除了肩故不會(huì)對(duì)被加工物造成損害的水作為切削水進(jìn)行循環(huán)，因此能夠抑制純水的供給，能夠降低切削水的成本而實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)性的提高。另外，由于肩去除構(gòu)件使切削水渦狀旋轉(zhuǎn)并借助離心力將肩與水分離，因此雖然能夠?qū)⒒烊氲角邢魉械谋容^大的肩去除但微細(xì)的肩會(huì)殘留在切削水中，不過(guò)由于混入的是構(gòu)成半導(dǎo)體晶片等被加工物的材料，因此不會(huì)帶來(lái)不利影響。
【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1是根據(jù)本發(fā)明而構(gòu)成的切削裝置的立體圖。
[0012]圖2是示出裝備于圖1所示的切削裝置的切削水供給機(jī)構(gòu)的圖。
[0013]標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0014]2:裝置外殼;3:卡盤工作臺(tái)；4:主軸單元;43:切削刀具;44:刀具罩;5:切削水供給機(jī)構(gòu)；52:切削水供應(yīng)構(gòu)件；521:切削水蓄留容器;522:切削水供應(yīng)栗；53:純水供給構(gòu)件；531:純水蓄留容器;532:純水供應(yīng)栗;54:切削水承接構(gòu)件;55:第I循環(huán)栗;56:肩去除構(gòu)件；57:第2循環(huán)栗;58:純水生成構(gòu)件;59:切換構(gòu)件;7:拍攝構(gòu)件；11:盒；12:臨時(shí)放置工作臺(tái)；13:搬出/搬入構(gòu)件；14:第I搬送構(gòu)件；15:清洗構(gòu)件；16:第2搬送構(gòu)件;W:半導(dǎo)體晶片;F:環(huán)狀的框架;T:劃片帶。
【具體實(shí)施方式】
[0015]以下，關(guān)于根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的切削裝置的優(yōu)選的實(shí)施方式，參照附圖進(jìn)一步詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。
[0016]圖1中示出根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的切削裝置的立體圖。圖1所示的切削裝置具有大致長(zhǎng)方體狀的裝置外殼2。在該裝置外殼2內(nèi)，作為保持被加工物的被加工物保持構(gòu)件的卡盤工作臺(tái)3以能夠在切削進(jìn)給方向即箭頭X所示的方向(X軸方向)上移動(dòng)的方式配設(shè)?？ūP工作臺(tái)3具有吸附卡盤支承臺(tái)31以及配設(shè)在該吸附卡盤支承臺(tái)31上的吸附卡盤32，通過(guò)使未圖示的吸引構(gòu)件進(jìn)行動(dòng)作而在作為該吸附卡盤32的上表面的保持面上吸引保持被加工物。并且，卡盤工作臺(tái)3構(gòu)成為能夠通過(guò)未圖示的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。另外，在卡盤工作臺(tái)3上配設(shè)有夾具33，該夾具33用于對(duì)環(huán)狀的框架進(jìn)行固定，該環(huán)狀的框架隔著劃片帶支承作為被加工物的后述的晶片。以這種方式構(gòu)成的卡盤工作臺(tái)3通過(guò)未圖示的切削進(jìn)給構(gòu)件而在箭頭X所示的加工進(jìn)給方向(X軸方向)上移動(dòng)。
[0017]圖1所示的切削裝置具有作為切削構(gòu)件的主軸單元4。主軸單元4沿著與加工進(jìn)給方向(X軸方向)垂直的箭頭Y所示的分度進(jìn)給方向(Y軸方向)配設(shè)。主軸單元4通過(guò)未圖示的分度進(jìn)給構(gòu)件在分度進(jìn)給方向(Y軸方向)上移動(dòng)，并且通過(guò)未圖示的切入進(jìn)給構(gòu)件在圖1中箭頭Z所示的切入進(jìn)給方向(Z軸方向)上移動(dòng)。該主軸單元4具有:主軸外殼41，其裝配于未圖示的移動(dòng)基臺(tái)，在分度方向(Y軸方向)和切入方向(Z軸方向)上進(jìn)行移動(dòng)調(diào)整;旋轉(zhuǎn)主軸42，其旋轉(zhuǎn)自如地支承于該主軸外殼41;以及切削刀具43，其裝配于該旋轉(zhuǎn)主軸42的前端部。旋轉(zhuǎn)主軸42構(gòu)成為通過(guò)未圖示的伺服電機(jī)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。上述切削刀具43例如如圖2所示那樣包括:由鋁形成的圓盤狀的基臺(tái)431;以及在該基臺(tái)431的外周部側(cè)面利用鍍鎳固定金剛石磨粒且厚度形成為例如50μπι的環(huán)狀的切刃432。
[0018]在上述主軸外殼41的前端部安裝有罩住切削刀具43的上半部的刀具罩44。刀具罩44在圖示的實(shí)施方式中由裝配于主軸外殼41的第I罩部件441和裝配于該第I罩部件441的第2罩部件442構(gòu)成。第I罩部件441具有一端部向切削刀具43側(cè)突出而形成的前罩部441a。并且，在第I罩部件441的側(cè)面設(shè)置有內(nèi)螺紋孔441b和2個(gè)定位銷441 c，在第2罩部件442中在與上述內(nèi)螺紋孔441b對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置有插通孔442a。并且，在第2罩部件442的與第I罩部件441相對(duì)的面上形成有供上述2個(gè)定位銷441c嵌合的未圖示的2個(gè)凹部。這樣構(gòu)成的第I罩部件441和第2罩部件442是通過(guò)使形成于第2罩部件442的未圖示的2個(gè)凹部與設(shè)置于第I罩部件441的2個(gè)定位銷441c嵌合而進(jìn)行定位的。并且，通過(guò)將緊固螺栓443插通到第2罩部件442的插通孔442a并與設(shè)置于第I罩部件441的內(nèi)螺紋孔441b螺合，而將第2罩部件442裝配于第I罩部件441。
[0019]參照?qǐng)D2繼續(xù)進(jìn)行說(shuō)明，圖示的實(shí)施方式中的切削裝置具有切削水供給機(jī)構(gòu)5，其對(duì)基于上述切削刀具43的環(huán)狀的切刃432的切削加工部供給切削水。該切削水供給機(jī)構(gòu)5具有:第I切削水供給管511和第2切削水供給管512，它們配設(shè)于構(gòu)成上述刀具罩44的第I罩部件441和第2罩部件442;切削水供應(yīng)構(gòu)件52，其向該第I切削水供給管511和第2切削水供給管512供應(yīng)切削水；以及第I切削水供給噴嘴513和第2切削水供給噴嘴514，它們分別與上述第I切削水供給管511和第2切削水供給管512連接。
[0020]第I切削水供給管511和第2切削水供給管512分別配設(shè)于構(gòu)成上述刀具罩44的第I罩部件441和第2罩部件442，它們的上端與切削水供應(yīng)構(gòu)件52連接，它們的下端分別與第I切削水供給噴嘴513和第2切削水供給噴嘴514連接。
[0021 ]上述切削水供應(yīng)構(gòu)件52由切削水蓄留容器521和切削水供應(yīng)栗522構(gòu)成，該切削水蓄留容器521蓄留切削水，該切削水供應(yīng)栗522配設(shè)于將該切削水蓄留容器521與上述第I切削水供給管511和第2切削水供給管512連接的配管。并且，圖示的切削水供給機(jī)構(gòu)5具有向上述第I切削水供給管511和第2切削水供給管512供給純水的純水供給構(gòu)件53。該純水供給構(gòu)件53由純水蓄留容器531和純水供應(yīng)栗532構(gòu)成，該純水蓄留容器531蓄留純水，該純水供應(yīng)栗532配設(shè)于將該純水蓄留容器531與上述第I切削水供給管511和第2切削水供給管512連接的配管。
[0022]參照?qǐng)D2繼續(xù)進(jìn)行說(shuō)明，圖示的實(shí)施方式中的切削裝置具有:切削水承接構(gòu)件54，其接受從上述第I切削水供給噴嘴513和第2切削水供給噴嘴514噴出且供給到基于上述切削刀具43的切刃432的切削區(qū)域的切削水;第I循環(huán)栗55，其送出由該切削水承接構(gòu)件54接入的切削水;肩去除構(gòu)件56，其去除混入到由該第I循環(huán)栗55供應(yīng)的切削水中的肩；以及第2循環(huán)栗57，其將借助肩去除構(gòu)件56去除了肩的切削水輸送到上述切削水供給機(jī)構(gòu)5。切削水承接構(gòu)件54由切削水接受容器構(gòu)成，并具有排水口 541。被接入該切削水承接構(gòu)件54的切削水通過(guò)第I循環(huán)栗55而輸送到肩去除構(gòu)件56。
[0023]肩去除構(gòu)件56在圖示的實(shí)施方式中由離心分離機(jī)構(gòu)成，該離心分離機(jī)使切削水渦狀旋轉(zhuǎn)并利用離心力將肩與水分離。即，肩去除構(gòu)件56具有:圓錐形狀的外殼561、配設(shè)在該外殼561內(nèi)的三角形狀的旋轉(zhuǎn)葉片562以及使該旋轉(zhuǎn)葉片562旋轉(zhuǎn)的電動(dòng)機(jī)563。在外殼561的下部設(shè)置有導(dǎo)入由上述第I循環(huán)栗55輸送的切削水的導(dǎo)入口 561a，在外殼561的上端設(shè)置有送出口 561b。并且，在外殼561的下端部設(shè)置有肩收納室561c。該肩收納室561c與排水管564連接，在該排水管564中配設(shè)有電磁開閉閥565。這樣構(gòu)成的肩去除構(gòu)件56通過(guò)使電動(dòng)機(jī)563進(jìn)行動(dòng)作而使旋轉(zhuǎn)葉片562旋轉(zhuǎn)，從而對(duì)從導(dǎo)入口 561a導(dǎo)入到外殼561內(nèi)的切削水施加渦狀的旋轉(zhuǎn)。其結(jié)果為，由于對(duì)切削水施加有離心力，因此混入切削水中的重量較重的肩向外殼561的內(nèi)周面?zhèn)纫苿?dòng)，而下落到設(shè)置于外殼561的下端部的肩收納室561c。以這種方式分離了肩的切削水從形成于外殼561的上端的送出口 561b借助配設(shè)于切削水循環(huán)路徑570的第2循環(huán)栗57而循環(huán)到上述切削水供給機(jī)構(gòu)5。另一方面，通過(guò)定期性地打開電磁開閉閥565，收納在肩收納室561 c中的肩與切削水一同被排出。
[0024]參照?qǐng)D2繼續(xù)進(jìn)行說(shuō)明，圖示的實(shí)施方式中的切削裝置具有:純水生成構(gòu)件58，其將在上述切削水循環(huán)路徑570中循環(huán)的切削水生成為純水；以及切換構(gòu)件59，其將在切削水循環(huán)路徑570中循環(huán)的切削水朝向上述切削水供給機(jī)構(gòu)5的切削水蓄留容器521和純水生成構(gòu)件58切換。純水生成構(gòu)件58由過(guò)濾器581、紫外線照射器582以及離子交換樹脂583構(gòu)成，將在切削水循環(huán)路徑570中循環(huán)的切削水生成為純水并輸送到切削水蓄留容器521。上述切換構(gòu)件59在圖示的實(shí)施方式中構(gòu)成為使通常在切削水循環(huán)路徑570中循環(huán)的切削水朝向切削水供給機(jī)構(gòu)5的切削水蓄留容器521流動(dòng)，并根據(jù)需要朝向純水生成構(gòu)件58流動(dòng)。
[0025]返回圖1繼續(xù)進(jìn)行說(shuō)明，圖示的實(shí)施方式中的切削裝置具有拍攝構(gòu)件7，該拍攝構(gòu)件7用于對(duì)保持在上述卡盤工作臺(tái)3上的被加工物的正面進(jìn)行拍攝，對(duì)應(yīng)該由上述切削刀具43切削的區(qū)域進(jìn)行檢測(cè)。該拍攝構(gòu)件7由顯微鏡或CCD照相機(jī)等光學(xué)構(gòu)件構(gòu)成。并且，切削裝置具有顯示由拍攝構(gòu)件7拍攝到的圖像的顯示構(gòu)件8。
[0026]在上述裝置外殼2中的盒載置區(qū)域9a中配設(shè)有載置收納被加工物的盒的盒載置工作臺(tái)9。該盒載置工作臺(tái)9構(gòu)成為能夠通過(guò)未圖示的升降構(gòu)件而在上下方向上移動(dòng)。在盒載置工作臺(tái)9上載置有收納作為被加工物的半導(dǎo)體晶片W的盒11。收納在盒11中的半導(dǎo)體晶片W在正面上形成有格子狀的分割預(yù)定線，在由該格子狀的分割預(yù)定線劃分出的多個(gè)矩形區(qū)域中形成有IC、LSI等器件。這樣形成的半導(dǎo)體晶片W以將背面粘接到涂布在裝配于環(huán)狀的框架F的劃片帶T的正面上的粘合層上的狀態(tài)收納在盒11中。
[0027]并且，圖示的實(shí)施方式中的切削裝置具有:搬出/搬入構(gòu)件13，其將載置在盒載置工作臺(tái)9上的盒11中收納的半導(dǎo)體晶片W搬出到臨時(shí)放置工作臺(tái)12，并且將進(jìn)行了切削加工并搬送到臨時(shí)放置工作臺(tái)12的半導(dǎo)體晶片W搬入到盒11;第I搬送構(gòu)件14，其將搬出到臨時(shí)放置工作臺(tái)12的半導(dǎo)體晶片W搬送到上述卡盤工作臺(tái)3上，并且將切削加工后的半導(dǎo)體晶片W搬送到臨時(shí)放置工作臺(tái)12;清洗構(gòu)件15，其對(duì)在卡盤工作臺(tái)3上進(jìn)行了切削加工的半導(dǎo)體晶片W進(jìn)行清洗;以及第2搬送構(gòu)件16，其將在卡盤工作臺(tái)3上進(jìn)行了切削加工的半導(dǎo)體晶片W搬送到清洗構(gòu)件15。
[0028]圖示的實(shí)施方式中的切削裝置以如上的方式構(gòu)成，以下主要參照?qǐng)D1對(duì)其作用進(jìn)行說(shuō)明。
[0029]對(duì)于在載置在盒載置工作臺(tái)9上的盒11的規(guī)定的位置收納的半導(dǎo)體晶片W(隔著劃片帶T支承于環(huán)狀的框架F的狀態(tài))而言，通過(guò)利用未圖示的升降構(gòu)件使盒載置工作臺(tái)9上下移動(dòng)而將該半導(dǎo)體晶片W定位在搬出位置。接著，搬出/搬入構(gòu)件13進(jìn)行進(jìn)退動(dòng)作而將定位在搬出位置的半導(dǎo)體晶片W搬出到臨時(shí)放置工作臺(tái)12上。搬出到臨時(shí)放置工作臺(tái)12的半導(dǎo)體晶片W借助第I搬送構(gòu)件14的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作而搬送到上述卡盤工作臺(tái)3上。
[0030]在卡盤工作臺(tái)3上載置了半導(dǎo)體晶片W之后，未圖示的吸引構(gòu)件進(jìn)行動(dòng)作而將半導(dǎo)體晶片W吸引保持在卡盤工作臺(tái)3上。并且，隔著劃片帶T支承半導(dǎo)體晶片W的環(huán)狀的框架F被上述夾具33固定。以這種方式吸引保持著半導(dǎo)體晶片W的卡盤工作臺(tái)3移動(dòng)到拍攝構(gòu)件7的正下方。若卡盤工作臺(tái)3定位在拍攝構(gòu)件7的正下方，則通過(guò)拍攝構(gòu)件7檢測(cè)形成于半導(dǎo)體晶片W的分割預(yù)定線，并且使主軸單元4在分度方向即箭頭Y方向上進(jìn)行移動(dòng)調(diào)整而實(shí)施分割預(yù)定線與切削刀具43的精密對(duì)位作業(yè)(對(duì)準(zhǔn)工序)。
[0031]然后，通過(guò)使切削刀具43在箭頭Z所示的方向上切入進(jìn)給規(guī)定的量并向規(guī)定的方向旋轉(zhuǎn)，并且使保持著半導(dǎo)體晶片W的卡盤工作臺(tái)3在切削進(jìn)給方向即箭頭X所示的方向(與切削刀具43的旋轉(zhuǎn)軸垂直的方向)上以規(guī)定的切削進(jìn)給速度移動(dòng)，從而通過(guò)切削刀具43沿著規(guī)定的分割預(yù)定線將保持在卡盤工作臺(tái)3上的半導(dǎo)體晶片W切斷(切削工序)。在該切削工序中，上述切削水供給機(jī)構(gòu)5進(jìn)行動(dòng)作而向基于切削刀具43的環(huán)狀的切刃432的切削加工部供給切削水。另外，關(guān)于切削水對(duì)基于切削刀具43的環(huán)狀的切刃432的切削加工部的供給，在后面詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。這樣，在沿著規(guī)定的分割預(yù)定線切斷半導(dǎo)體晶片W之后，使卡盤工作臺(tái)3在箭頭Y所示的方向上以分割預(yù)定線的間隔分度進(jìn)給，并實(shí)施上述切削工序。并且，在沿著在半導(dǎo)體晶片W的規(guī)定的方向上延伸的所有的分割預(yù)定線實(shí)施了切削工序之后，使卡盤工作臺(tái)3旋轉(zhuǎn)90度，沿著半導(dǎo)體晶片W的在與規(guī)定的方向垂直的方向上延伸的分割預(yù)定線執(zhí)行切削工序，由此對(duì)形成為格子狀的所有的分割預(yù)定線進(jìn)行切削而將半導(dǎo)體晶片W分割成各個(gè)器件。另外，分割后的各個(gè)器件因劃片帶T的作用而不會(huì)散亂，而是維持被環(huán)狀的框架F支承的晶片的狀態(tài)。
[0032]接著，關(guān)于上述切削工序中的切削水對(duì)基于切削刀具43的環(huán)狀的切刃432的切削加工部的供給，參照?qǐng)D2進(jìn)行說(shuō)明。
[0033]在最初實(shí)施上述切削工序時(shí)，由于在切削水供給機(jī)構(gòu)5的切削水蓄留容器521中未蓄留切削水，因此使純水供給構(gòu)件53的純水供應(yīng)栗532進(jìn)行動(dòng)作而將蓄留在純水蓄留容器531中的純水作為切削水供給到基于切削刀具43的環(huán)狀的切刃432的切削加工部。以這種方式供給到基于切削刀具43的環(huán)狀的切刃432的切削加工部的切削水由切削水承接構(gòu)件54承接。由切削水承接構(gòu)件54承接的切削水借助第I循環(huán)栗55的動(dòng)作而導(dǎo)入到肩去除構(gòu)件56。關(guān)于導(dǎo)入到肩去除構(gòu)件56的切削水，通過(guò)使電動(dòng)機(jī)563進(jìn)行動(dòng)作而使旋轉(zhuǎn)葉片562旋轉(zhuǎn)從而以上述的方式將混入的肩離心分離并收納在肩收納室561c中。以這種方式分離并去除了肩的切削水借助第2循環(huán)栗57的動(dòng)作而經(jīng)由切換構(gòu)件59供應(yīng)到切削水蓄留容器521。并且，在供應(yīng)到切削水蓄留容器521的切削水的蓄水量達(dá)到能夠循環(huán)的量之后，停止純水供給構(gòu)件53的純水供應(yīng)栗532的動(dòng)作。這樣，在切削水蓄留容器521的蓄水量達(dá)到能夠循環(huán)的量、停止了純水供給構(gòu)件53的純水供應(yīng)栗532的動(dòng)作之后，使切削水供應(yīng)構(gòu)件52的切削水供應(yīng)栗522進(jìn)行動(dòng)作而將蓄留在切削水蓄留容器521中的切削水作為切削水供給到基于切削刀具43的環(huán)狀的切刃432的切削加工部。另外，根據(jù)需要例如在循環(huán)的切削水的污濁增加的情況下，對(duì)切換構(gòu)件59進(jìn)行切換而將由第2循環(huán)栗57供應(yīng)的切削水輸送到純水生成構(gòu)件58。輸送到純水生成構(gòu)件58的切削水經(jīng)過(guò)過(guò)濾器581、紫外線照射器582以及離子交換樹脂583而生成為純水并被輸送到切削水蓄留容器521。并且，通過(guò)定期性地打開肩去除構(gòu)件56的電磁開閉閥565，而將收納在肩收納室561c中的肩與切削水一同排出。
[0034]并且，在因蒸發(fā)等而導(dǎo)致循環(huán)的切削水減少的情況下，使純水供給構(gòu)件53的純水供應(yīng)栗532進(jìn)行動(dòng)作而將蓄留在純水蓄留容器531中的純水導(dǎo)入到切削水循環(huán)路徑570。
[0035]像上述那樣圖示的實(shí)施方式中的切削水供給機(jī)構(gòu)5通過(guò)切削水承接構(gòu)件54對(duì)供給到基于切削刀具43的環(huán)狀的切刃432的切削加工部的切削水進(jìn)行承接，并將由切削水承接構(gòu)件54承接的切削水導(dǎo)入到肩去除構(gòu)件56。并且，由于在肩去除構(gòu)件56中將混入到導(dǎo)入的切削水中的肩分離，并將去除了肩故不會(huì)對(duì)被加工物造成損害的水作為切削水進(jìn)行循環(huán)，因此能夠抑制純水的供給，能夠降低切削水的成本而實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)性的提高。另外，由于肩去除構(gòu)件56使切削水渦狀旋轉(zhuǎn)并借助離心力將肩與水分離，因此雖然能夠?qū)⒒烊氲角邢魉械谋容^大的肩去除但微細(xì)的肩會(huì)殘留在切削水中，不過(guò)由于混入的是構(gòu)成半導(dǎo)體晶片等被加工物的材料，因此不會(huì)帶來(lái)不利影響。并且，由于實(shí)施方式中的切削水供給機(jī)構(gòu)5將借助肩去除構(gòu)件56去除了肩的切削水的一部分輸送到純水生成構(gòu)件58并生成純水而混入到切削水中，因此能夠延長(zhǎng)構(gòu)成純水生成構(gòu)件58的過(guò)濾器581或離子交換樹脂583的壽命。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種切削裝置，其具備:被加工物保持構(gòu)件，其保持被加工物;切削構(gòu)件，其具有構(gòu)成為能夠旋轉(zhuǎn)的切削刀具，該切削刀具對(duì)保持在該被加工物保持構(gòu)件上的被加工物進(jìn)行切肖Ij;以及切削水供給機(jī)構(gòu)，其對(duì)基于該切削構(gòu)件的切削刀具的切削加工部供給切削水，該切削裝置的特征在于，該切削裝置具有: 切削水承接構(gòu)件，其對(duì)供給到基于該切削構(gòu)件的該切削刀具的切削加工部的切削水進(jìn)行承接； 肩去除構(gòu)件，其將混入到由該切削水承接構(gòu)件承接的切削水中的肩去除；以及 栗，其向該切削水供給機(jī)構(gòu)輸送借助該肩去除構(gòu)件去除了肩的切削水。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的切削裝置，其中， 該肩去除構(gòu)件由離心分離機(jī)構(gòu)成，該離心分離機(jī)使切削水渦狀旋轉(zhuǎn)并借助離心力將肩與水分離。
【文檔編號(hào)】B28D7/04GK105856442SQ201610064739
【公開日】2016年8月17日
【申請(qǐng)日】2016年1月29日
【發(fā)明人】關(guān)家馬, 關(guān)家一馬
【申請(qǐng)人】株式會(huì)社迪思科