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用于多線切割機(jī)的晶托的制作方法

文檔序號(hào):11794930閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.用于多線切割機(jī)的晶托,包括晶托板(1),所述晶托板(1)底部連接有鐵板(2),其特征在于:所述晶托板(1)與鐵板(2)為一體式結(jié)構(gòu)。

2.如權(quán)利要求1所述的用于多線切割機(jī)的晶托,其特征在于:所述晶托板(1)上設(shè)置有減輕孔(3)。

3.如權(quán)利要求2所述的用于多線切割機(jī)的晶托,其特征在于:所述晶托板(1)的兩端上設(shè)置有把手(4)。

4.如權(quán)利要求3所述的用于多線切割機(jī)的晶托,其特征在于:所述把手(4)表面設(shè)置有防滑紋。

5.如權(quán)利要求4所述的用于多線切割機(jī)的晶托,其特征在于:所述鐵板(2)的下表面設(shè)有用于安裝硅棒的凸臺(tái)(5)。

6.如權(quán)利要求5所述的用于多線切割機(jī)的晶托,其特征在于:所述凸臺(tái)(5)的截面形狀為矩形或梯形。

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