專利名稱：一種工件夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種工件夾具
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于多線切割硅單晶錠領(lǐng)域，尤其屬于一種與多線切割機(jī)匹配 使用，用于固定硅單晶錠，然后利用多線切割機(jī)將硅單晶錠切割成硅單晶片的 工件夾具。背景技術(shù)：
多線切割技術(shù)是目前世界上比較先進(jìn)的硅片加工技術(shù)，它的原理是通過一 根高速運(yùn)動的鋼線，帶動附著在鋼線上的切割刃料對半導(dǎo)體等硬脆材料進(jìn)行摩 擦，從而達(dá)到切割效果。在整個過程中，鋼線通過十幾個導(dǎo)線輪的引導(dǎo)，在主 線輥上形成一張線網(wǎng)，而待加工工件通過工件臺的上升下降實現(xiàn)工件的進(jìn)給， 可將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時切割為數(shù)百片，多線切割技術(shù)與其他技術(shù)相比， 具有效率高，產(chǎn)能高，精度高且節(jié)材等優(yōu)點，業(yè)已逐漸取代傳統(tǒng)的刀鋸片、砂 輪片及內(nèi)圓切割，是目前采用最廣泛的半導(dǎo)體等硬脆材料切割技術(shù)。
進(jìn)行切割作業(yè)， 一個與工件臺聯(lián)接、必不可少的附件就是固定待加工工件 的工件夾具。該工件夾具的結(jié)構(gòu)包括主連接座和副連接座，以及分別貼置固定 在主連接座和副連接座上的主連接片和副連接片。作業(yè)前，先將兩根待加工工 件即硅單晶錠，連同主連接片和副連接片分別固定在主連接座和副連接座上， 然后，再將攜帶工件的夾具對接在多線切割機(jī)的工件臺上，由工件臺完成上升 下降、實現(xiàn)工件進(jìn)給，利用線網(wǎng)進(jìn)行切割。
現(xiàn)有工件夾具在固定工件時，存在如下問題主導(dǎo)工件固定以后，從導(dǎo)工 件按要求必須嚴(yán)格參照主導(dǎo)工件的位置為基準(zhǔn)，固定從導(dǎo)工件，但是，這種工 件夾具要調(diào)整好從導(dǎo)工件的位置非常麻煩，以至于費(fèi)時費(fèi)力還很難確保從導(dǎo)工 件與主導(dǎo)工件的一致性，從而造成多線切割機(jī)所切割出的硅片厚薄不一致，合 格率低，有時線網(wǎng)還會出現(xiàn)跳線、斷線現(xiàn)象，影響多線切割機(jī)正常作業(yè)。
發(fā)明內(nèi)容
為克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，本實用新型旨在提供一種結(jié)構(gòu)新型的工 件夾具，該工件夾具在主導(dǎo)工件定位后，通過簡單調(diào)整，就能使從導(dǎo)工件按照 主導(dǎo)工件基準(zhǔn)定位，確保主導(dǎo)工件和從導(dǎo)工件位置的一致性，從而消除硅片厚 薄不一致，合格率低，以及線網(wǎng)跳線、斷線現(xiàn)象。
為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用了如下技術(shù)方案
這種工件夾具，包括主連接座和副連接座、主連接片和副連接片，主連接 座與主連接片經(jīng)螺栓固定呈平面連接，副連接座和副連接片經(jīng)定位螺栓固定呈平面連接，其特征是副連接座用于接納定位螺栓的定位螺栓孔形狀呈異形。
如上所述的一種工件夾具，其特征是副連接座和副連接片經(jīng)定位螺栓固 定呈平面連接，副連接座上用于接納定位螺栓的定位螺栓孔形狀為前后向長槽形。
如上所述的一種工件夾具，其特征是副連接座和副連接片經(jīng)定位螺栓固 定呈平面連接，副連接座上用于接納定位螺栓的定位螺栓孔形狀為前后向橢圓形。
有益效果與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型通過改變副連接座用于接納定位 螺栓的螺栓孔形狀，當(dāng)主導(dǎo)工件固定定位后，如果從導(dǎo)工件出現(xiàn)與主導(dǎo)工件位 置不一致時，只要旋松定位螺栓，利用橢圓形孔微調(diào)副連接片的前后位置后， 加以固定即可，克服了現(xiàn)有技術(shù)副連接座上用于接納定位螺栓的螺栓孔形狀為 圓形，工件不能作前后(實際作業(yè)時為左右向)向調(diào)整的缺陷，因為，圓形螺 栓孔作調(diào)整時，主導(dǎo)工件與從導(dǎo)工件只能作整體調(diào)整，而不能改變兩者的相對 位置來達(dá)到微調(diào)效果。

圖1為本實用新型一個實施例的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中導(dǎo)軌l，裝卸槽2，緊同螺孔3，切割墊塊4，切割墊塊41，定位螺 栓5，定位螺栓孔6，副連接座7，副連接片71，導(dǎo)向柱8，沙漿管9，工件IO， 工件IOI，主連接座ll，主連接片12。
具體實施方式
參見圖1。導(dǎo)軌1通過裝卸槽2，由緊固螺栓經(jīng)緊固螺孔3固定在多線切割 機(jī)的工件臺上。夾具以導(dǎo)軌1下方的沙漿管9為對稱，兩側(cè)分別設(shè)置主連接座 11、副連接座7。主連接片12和副連接片71分別由相應(yīng)的定位螺栓5經(jīng)定位螺 栓孔6，貼置固定在主連接座11、副連接座7上(主連接片12和副連接片71 上有相應(yīng)的圓形螺栓孔)。
右側(cè)的工件10稱主導(dǎo)工件，工件101為從導(dǎo)工件。主連接片12、切割墊塊 41和工件10是通過粘膠粘接而成的整體件，副連接片71、切割墊塊4和工件 101也是通過粘膠粘接而成的整體件。本實用新型的創(chuàng)新之處在于接納定位螺 栓5的定位螺栓孔6的形狀呈異形，為非圓形，例如長條形、橢圓形，定位螺 栓孔6的數(shù)量可根據(jù)實際情況而定， 一般為6個。作業(yè)時，當(dāng)主導(dǎo)工件定位后， 調(diào)整從導(dǎo)工件位置只要旋松定位螺栓，即可微調(diào)連接在副連接座7上的整體件 的前后位置，改進(jìn)簡單、方便實用。
權(quán)利要求1、一種工件夾具，包括王連接座(11)和副連接座(7)、主連接片(12)和副連接片(71)，主連接座(11)與主連接片(12)經(jīng)螺栓固定呈平面連接，副連接座(7)和副連接片(71)經(jīng)定位螺栓(5)固定呈平面連接，其特征是副連接座(7)用于接納定位螺栓(5)的定位螺栓孔(6)形狀呈異形。
2、 如權(quán)利要求1所述的一種工件夾具，其特征是副連接座(7)和副連 接片(71)經(jīng)定位螺栓(5)固定呈平面連接，副連接座(7)上用于接納定位 螺栓(5)的定位螺栓孔(6)形狀為前后向長槽形。
3、 如權(quán)利要求1所述的一種工件夾具，其特征是副連接座(7)和副連 接片(71)經(jīng)定位螺栓(5)固定呈平面連接，副連接座(7)上用于接納定位 螺栓(5)的定位螺栓孔(6)形狀為前后向橢圓形。
專利摘要一種工件夾具，包括主連接座和副連接座、主連接片和副連接片，主連接座與主連接片經(jīng)螺栓固定呈平面連接，副連接座和副連接片經(jīng)定位螺栓固定呈平面連接，其特征是副連接座用于接納定位螺栓的定位螺栓孔形狀呈異形，例如長槽形、橢圓形。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型通過改變副連接座上用于接納定位螺栓的螺栓孔形狀，當(dāng)主導(dǎo)工件固定定位后，如果從導(dǎo)工件出現(xiàn)與主導(dǎo)工件位置不一致時，只要旋松定位螺栓，利用橢圓形孔微調(diào)副連接片的前后位置后，加以固定即可，克服了現(xiàn)有技術(shù)副連接座上用于接納定位螺栓的螺栓孔形狀為圓形，工件不能作前后向調(diào)整的缺陷。
文檔編號B28D7/04GK201264324SQ20082016609
公開日2009年7月1日 申請日期2008年10月14日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月14日
發(fā)明者陸昌忠 申請人:浙江華友電子有限公司