襯 底6的格柵28、陰影掩模16的格柵30或運(yùn)兩者，直到各個光路36'上的預(yù)定量的反射光通過 對應(yīng)的分束器60而被對應(yīng)的光接收器26接收為止。換言之，控制器精細(xì)定位襯底6、陰影掩 模16或運(yùn)兩者，直到被每個格柵28的直條42反射的預(yù)定量的光通過每個格柵30的間隙48和 分束器60而被對應(yīng)的光接收器26所接收為止。
[0097] 如圖8所示，在掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)15'中，光源24A至24D分別與光接收器26A至2抓位于 陰影掩模16的相同側(cè)。通過利用分束器60(W45度端面示出）作為合束器來將每個光源24- 光接收器26對光學(xué)組合。
[0098] 每個光接收器26定位成其光軸垂直于陰影掩模16和襯底6并且位于陰影掩模16的 與襯底6相反的一側(cè)。然而，運(yùn)不應(yīng)理解為限制本發(fā)明。
[0099] 在圖8所示的布置中，來自分束器60的光通過陰影掩模16的間隙48并且被襯底6的 直條42至少部分地反射，來自分束器60的剩余光通過襯底6的間隙44。襯底6的直條42所反 射的光再一次通過陰影掩模16的間隙48,然后至少部分地通過分束器60W被光接收器26接 收。
[0100] 包括準(zhǔn)直器光學(xué)部件/透鏡40的光源24定位成橫向于、理想地垂直于包括聚焦光 學(xué)部件/透鏡50的光接收器26。分束器60放置于光源24的光軸和光接收器26的光軸的交叉 處，分束器60的平面定向為二等分光源24的光軸和光接收器26的光軸所形成的直角。用運(yùn) 種方法，來自光源24的準(zhǔn)直光被反射90度，而后該反射光第一次傳播通過陰影掩模16的間 隙48, W照射在襯底6的格柵28的直條42的面朝下的表面上并且被該表面至少部分地反射。 格柵28的直條42所反射的光第二次通過陰影掩模16的間隙48,然后部分地通過分束器60W 被光接收器26的PIN二極管52接收。光接收器26的PIN二極管52所接收的光量由此與陰影掩 模16的格柵30的間隙48與襯底6的格柵28的直條42之間的重疊程度成比例。因此，掩模對準(zhǔn) 系統(tǒng)15'W反射模式進(jìn)行對準(zhǔn)感測。運(yùn)與上面討論的W透射模式進(jìn)行對準(zhǔn)感測的掩模對準(zhǔn) 系統(tǒng)15相反。
[0101] 本領(lǐng)域技術(shù)人員容易認(rèn)識到，由于分束器60的部分反射和部分透射造成了光的部 分使用，因此丟棄了一定量的光。容易理解的是，分束器60的低效率可W歸因于準(zhǔn)直器光學(xué) 部件/透鏡40的使用W及分束器60為偏振分束器。
[0102] 在掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)15'的上述實施例中，每個光源24-光接收器26對和每個對應(yīng)的分 束器60位于陰影掩模16的與襯底6相反的一側(cè)。然而，運(yùn)不應(yīng)理解為限制本發(fā)明，因為可W 設(shè)想的是:所述光源24-光接收器26對和每個對應(yīng)的分束器60中的一個、或多個、或全部可 W位于襯底6的與陰影掩模16相反的一側(cè)，即，襯底6的另一側(cè)。在運(yùn)個實施例中，來自每個 分束器60的光會首先通過襯底6的間隙44,被陰影掩模16的直條46反射，然后該反射光再次 通過襯底6的間隙44，隨后通過分束器60 W被光接收器26接收。
[0103]參照各示例性實施例描述本發(fā)明。在閱讀和理解了前面的詳細(xì)描述后，一些修改 和變化將對本領(lǐng)域其他人員而言是顯然的。本發(fā)明意在被解釋為包括所有落在所附權(quán)利要 求書或其等同內(nèi)容范圍內(nèi)的修改和變型。
【主權(quán)項】
1. 一種陰影掩模-襯底對準(zhǔn)的方法，包括： (a) 將準(zhǔn)直光源、分束器、包括第一格柵的襯底、包括第二格柵的陰影掩模以及光接收 器相對于彼此進(jìn)行定位，以限定包括由所述準(zhǔn)直光源輸出的被所述分束器至少部分地反射 的準(zhǔn)直光的光路，所述至少部分地反射的準(zhǔn)直光通過所述第一格柵或所述第二格柵中的一 者并且被所述第一格柵或所述第二格柵中的另一者至少部分地反射而返回通過所述第一 格柵或所述第二格柵中的所述一者，并且被反射而返回通過所述第一格柵或所述第二格柵 中的所述一者的至少部分地反射的光至少部分地通過所述分束器以被所述光接收器接收； 以及 (b) 使所述襯底、所述陰影掩模或這兩者的定向得到調(diào)整以定位所述第一格柵、所述第 二格柵或者所述第一格柵和所述第二格柵這兩者，直到所述光接收器接收到預(yù)定量為止。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中： 各個格柵包括多個間隔直條;并且 間隙將各對間隔直條間隔開。3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中，各個直條和各個間隙具有相同的寬度。4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中： 各個格柵包括多個間隔直條和將各對間隔直條間隔開的間隙;并且 步驟(b)包括使所述襯底、所述陰影掩?；蛘哌@兩者的定向得到調(diào)整，以將所述第一格 柵的直條的長軸定位成平行于或基本上平行于所述第二格柵的直條的長軸且將所述第一 格柵的直條和所述第二格柵的直條定位成分別與所述第二格柵的間隙和所述第一格柵的 間隙部分地重疊。5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中，所述第一格柵的直條和所述第二格柵的直條分別 與所述第二格柵的間隙和所述第一格柵的間隙部分地重疊50%。6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述準(zhǔn)直光源包括： LED;以及 準(zhǔn)直透鏡，其能用于將所述LED輸出的光準(zhǔn)直。7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述光接收器包括： PIN二極管；以及 聚焦透鏡，其能用于將從所述分束器接收到的光聚焦到所述PIN二極管上。8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，各個直條的縱軸線相對于對應(yīng)的襯底或陰影掩模 的中央軸線徑向地延伸±15度。9. 一種陰影掩模-襯底對準(zhǔn)的方法，包括： (a) 提供具有呈一圖案的多個第一格柵的第一襯底，其中，各個第一格柵包括多個間隔 直條和位于各對間隔直條之間的間隙； (b) 提供具有呈與所述多個第一格柵相同的圖案的多組間隔反射表面的第二襯底，其 中，各組所述間隔反射表面包括一對間隔反射表面； (c) 限定多個光路，其中，各個光路包括:光源和光接收器，它們位于所述光路的相反兩 端；以及分束器，其在所述光路中位于所述光源與所述光接收器之間； (d) 在各個光路中將一個第一格柵定位成與一組間隔反射表面粗略對準(zhǔn)；以及 (e) 在各個光路上的光被反射通過所述分束器，在所述光路中被至少一個所述間隔反 射表面反射并且在所述光路中二次通過所述第一格柵中的至少一個間隙之后，所述光被所 述光路的所述光接收器接收，此時將所述第一襯底、所述第二襯底或這兩者精細(xì)定位。10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中： 各組間隔反射表面由第二格柵組成，所述第二格柵包括多個間隔直條和位于各對間隔 直條之間的間隙； 所述第二格柵的各個直條限定一個反射表面;并且 所述第二格柵的各個間隙限定所述第二襯底的具有比各個反射表面的反射率低的反 射率的結(jié)構(gòu)。11. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中： 各個光接收器輸出信號，所述信號的電平與所述光接收器接收到的光量相關(guān);并且 步驟(e)包括將所述第一襯底、所述第二襯底或這兩者精細(xì)定位，直到由所述光接收器 輸出的信號電平的組合等于預(yù)定值或落在預(yù)定值范圍內(nèi)。12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中，所述預(yù)定值為零。13. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中： 所述第一襯底和所述第二襯底均具有矩形形狀或正方形形狀； 所述第一襯底具有與各個角相鄰的一個第一格柵;并且 所述第二襯底具有與各個角相鄰的一組間隔反射表面。14. 一種陰影掩模-襯底對準(zhǔn)的方法，包括： (a) 提供具有呈一圖案的多個第一格柵的襯底； (b) 提供具有呈與所述多個第一格柵相同的圖案的多個第二格柵的陰影掩模，其中，各 個格柵包括多個間隔直條和位于各對間隔直條之間的間隙； (c) 限定多個光路，其中，各個光路包括光源、光接收器和分束器； (d) 在各個光路中將一個第一格柵定位成與一個第二格柵粗略對準(zhǔn)；以及 (e) 將所述襯底、所述陰影掩模或這兩者精細(xì)定位，直到在下述事件發(fā)生之后所述光路 的所述光接收器接收到所述光路上的預(yù)定光量為止：由所述光路的所述光源輸出的各個光 路上的光被所述光路的所述分束器反射，在所述光路中通過所述第一格柵和所述第二格柵 中的一者的至少一個間隙，在所述光路中被所述第一格柵和所述第二格柵中的另一者的至 少一個直條反射，在所述光路中返回通過所述第一格柵和所述第二格柵中的所述一者的所 述至少一個間隙，然后通過所述光路的所述分束器以被所述光路的所述光接收器接收。15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其中，各個直條和各個間隙具有相同的寬度。16. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其中，步驟(e)包括將所述襯底、所述陰影掩?；蜻@兩 者精細(xì)定位，直到所述第一格柵的直條和所述第二格柵的直條分別與所述第二格柵的間隙 和所述第一格柵的間隙部分地重疊為止。17. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中，所述第一格柵的直條和所述第二格柵的直條分 別與所述第二格柵的間隙和所述第一格柵的間隙部分地重疊50%。18. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其中： 各個光接收器輸出信號，所述信號的電平與所述光接收器接收到的光量相關(guān);并且 步驟(e)包括將所述襯底、所述陰影掩?；蜻@兩者精細(xì)定位，直到多個所述光接收器輸 出的信號電平的組合等于預(yù)定值或落在預(yù)定值范圍內(nèi)。19. 根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其中，所述預(yù)定值為零。20. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其中： 所述襯底和所述陰影掩模均具有矩形形狀或正方形形狀，一個格柵與所述矩形形狀或 正方形形狀的各個角相鄰;并且 各個直條的縱軸線相對于對應(yīng)的襯底或陰影掩模的中央軸線徑向地延伸±15度。
【專利摘要】在陰影掩模-襯底對準(zhǔn)的方法中，將光源、分束器、包括第一格柵的第一襯底、包括第二格柵的第二襯底以及光接收器相對于彼此進(jìn)行定位，以限定包括由光源輸出的被分束器第一次反射的光的光路。被第一次反射的光分別通過第一格柵或第二格柵并且被第二格柵或第一格柵至少部分地第二次反射返回通過第一格柵或第二格柵。第二次反射的光至少部分地通過分束器以被光接收器接收。第一襯底、第二襯底或這兩者的定向得到調(diào)整以定位第一格柵、第二格柵或者這兩者，直到光接收器接收到預(yù)定量為止。
【IPC分類】C23C16/04, H01L51/00, H01L51/50, C23C14/04
【公開號】CN105659402
【申請?zhí)枴?br>【發(fā)明人】田村信彥
【申請人】阿德文泰克全球有限公司
【公開日】2016年6月8日
【申請日】2014年8月22日