一種手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的三自由度微動(dòng)角位臺(tái)的制作方法
【專利摘要】一種手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的三自由度微動(dòng)角位臺(tái)，包括底座、臺(tái)面、固定臺(tái)、連接臺(tái)、分厘卡、角度傾斜板和鉸接鋼片，所述底座包括Z向底座和XY向底座；所述固定臺(tái)包括Z向固定臺(tái)和XY向固定臺(tái)，所述Z向固定臺(tái)安裝在Z向底座上，所述XY向固定臺(tái)安裝在XY向底座上；所述連接臺(tái)包括第一連接臺(tái)與第二連接臺(tái),本裝置適用于集成光子芯片與陣列光纖手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的機(jī)械裝置，它巧妙利用鋼片支撐、分厘卡微調(diào)的方式達(dá)到平臺(tái)在X軸、Y軸和Z軸的微動(dòng)角位移。本發(fā)明結(jié)構(gòu)布局合理，使用簡(jiǎn)單方便，運(yùn)動(dòng)范圍大，調(diào)節(jié)精度高,可以稍作調(diào)整用于各種不同的高精度。
【專利說(shuō)明】—種手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的三自由度微動(dòng)角位臺(tái)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的三自由度微動(dòng)角位臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002]光信息技術(shù)的發(fā)展推動(dòng)者通信事業(yè)的進(jìn)步，隨著光纖通信和光纖傳感技術(shù)的發(fā)展，光電子器件的制備成為了光信息技術(shù)進(jìn)一步發(fā)展的關(guān)鍵。光電子集成器件的封裝技術(shù)影響著光電子器件的可靠性，關(guān)鍵的封裝工藝與封裝設(shè)備可以大幅度的提高生產(chǎn)效率、保證器件的質(zhì)量。
[0003]現(xiàn)有的封裝設(shè)備主要有全自動(dòng)封裝設(shè)備和手動(dòng)封裝設(shè)備兩種，前者適用于大批量流水線生產(chǎn)，后者適用小批量多規(guī)格生產(chǎn)，所以在全自動(dòng)封裝設(shè)備高速發(fā)展的同時(shí)，手動(dòng)平臺(tái)尤其是六維高精度多通用的對(duì)準(zhǔn)平臺(tái)依然占據(jù)很大的市場(chǎng)。
[0004]目前的六維高精度多通用對(duì)準(zhǔn)平臺(tái)多采用單自由度微動(dòng)平臺(tái)組合而成，組合結(jié)構(gòu)復(fù)雜，加工要求高，價(jià)格也比較高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明克服現(xiàn)有技術(shù)的不足而提供一種結(jié)構(gòu)緊湊，加工要求相對(duì)簡(jiǎn)單，定位精度高，操作方便簡(jiǎn)潔，可以提高集成光子芯片與陣列光纖手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的工作效率和產(chǎn)品質(zhì)量的手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的三自由度微動(dòng)角位臺(tái)。
[0006]一種手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的三自由度微動(dòng)角位臺(tái)，包括底座、臺(tái)面、固定臺(tái)、連接臺(tái)、分厘卡、角度傾斜板和鉸接鋼片，所述底座包括Z向底座和XY向底座；所述固定臺(tái)包括Z向固定臺(tái)和XY向固定臺(tái)，所述Z向固定臺(tái)安裝在Z向底座上，所述XY向固定臺(tái)安裝在XY向底座上；所述連接臺(tái)包括第一連接臺(tái)與第二連接臺(tái)；
[0007]所述角度傾斜板包括第一角度傾斜板、第二角度傾斜板、第三角度傾斜板、第四角度傾斜板第五角度傾斜板和第六角度傾斜板，所述第一角度傾斜板和第二角度傾斜板沿Z軸對(duì)稱設(shè)置在第一連接臺(tái)的兩側(cè)，所述第一角度傾斜板和第二角度傾斜板的一端通過(guò)鉸接鋼片固定在Z向固定臺(tái)上，另一端通過(guò)鉸接鋼片將第一連接臺(tái)的支撐端固定，所述第三角度傾斜板和第四角度傾斜板沿X軸對(duì)稱設(shè)置在所述第二連接臺(tái)的兩側(cè)，所述第三角度傾斜板和第四角度傾斜板的一端通過(guò)鉸接鋼片固定在XY向固定臺(tái)上，另一端通過(guò)鉸接鋼片將第二連接臺(tái)的支撐端固定，所述第五角度傾斜板和所述第六角度傾斜板沿Y軸對(duì)稱設(shè)置在XY向底座的兩側(cè)，所述第五角度傾斜板和所述第六角度傾斜板的一端通過(guò)鉸接鋼片固定在XY向底座上，另一端通過(guò)鉸接鋼片固定在臺(tái)面下方；
[0008]所述第二連接臺(tái)固定在所述第一連接臺(tái)上；
[0009]所述分厘卡包括第一分厘卡、第二分厘卡和第三分厘卡；所述第一分厘卡安裝在Z向底座上，并且所述第一分厘卡的活動(dòng)端與所述第一連接臺(tái)的活動(dòng)端連接，所述第一分厘卡推動(dòng)所述第一連接臺(tái)繞Y軸旋轉(zhuǎn)，所述第二分厘卡安裝在XY向底座上，并且所述第二分厘卡的活動(dòng)端與所述第二連接臺(tái)的活動(dòng)端連接，所述第二連接臺(tái)推動(dòng)所述第二連接臺(tái)繞Z軸旋轉(zhuǎn)，所述第三分厘卡的活動(dòng)端與所述臺(tái)面的活動(dòng)端連接，所述第三分厘卡推動(dòng)所述臺(tái)面繞X軸旋轉(zhuǎn)。
[0010]還包括擋板，所述擋板包括第一擋塊和第二擋塊，所述第一擋塊和第二擋塊采用柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，所述第一擋塊安裝在XY向底座的一側(cè)上，所述第二分厘卡與第一擋塊的一端連接，所述第一擋塊的另一端與階梯軸連接，所述階梯軸固定在第二連接臺(tái)的活動(dòng)端，所述第二分厘卡推動(dòng)第一擋塊旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)階梯軸移動(dòng)，從而帶動(dòng)第二連接臺(tái)繞Z軸旋轉(zhuǎn)；
[0011]所述第二擋塊安裝在XY向底座的另一側(cè)上，通過(guò)連接板與安裝在臺(tái)面上的滾動(dòng)軸承連接，所述第三分厘卡的活動(dòng)端與第二擋塊連接，所述第三分厘卡推動(dòng)第二擋塊旋轉(zhuǎn)，撥動(dòng)滾動(dòng)軸承旋轉(zhuǎn)并帶動(dòng)連接板，從而使得臺(tái)面繞X軸旋轉(zhuǎn)。
[0012]所述第一分厘卡活動(dòng)端與第一連接臺(tái)、所述第二分厘卡活動(dòng)端與第一擋塊、第三分厘卡其頂端與第一擋塊活動(dòng)端與第二擋塊之間均為點(diǎn)接觸。
[0013]所述分厘卡為精密螺旋測(cè)微頭，所述分厘卡的驅(qū)動(dòng)方式為手動(dòng)旋轉(zhuǎn)。
[0014]由于采用上述結(jié)構(gòu)，本專利采用手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的三自由度微動(dòng)角位臺(tái)，免去單自由度微動(dòng)平臺(tái)相互組合的復(fù)雜結(jié)構(gòu)，該平臺(tái)具有結(jié)構(gòu)緊湊，加工要求相對(duì)簡(jiǎn)單，定位精度高，操作方便簡(jiǎn)潔，可以提高集成光子芯片與陣列光纖手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的工作效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2是本發(fā)明Z向底座部分的結(jié)構(gòu)示意圖:
[0017]圖3是本發(fā)明XY向底座部分的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖4是本發(fā)明第二分厘卡、第三分厘卡、第二連接臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖5是本發(fā)明XY向底座部分的左側(cè)示意圖；
[0020]圖6是本發(fā)明XY向底座部分的右側(cè)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]下面結(jié)合附圖和具體的實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0022]如圖1至6所示，一種手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的三自由度微動(dòng)角位臺(tái)，包括X軸Y軸旋轉(zhuǎn)臺(tái)和Z軸旋轉(zhuǎn)臺(tái)上下兩部分，具體包括底座1、臺(tái)面2、固定臺(tái)3、連接臺(tái)4、分厘卡座5、分厘卡6、角度傾斜板7、鉸接鋼片8、擋塊9、階梯軸10、球面緊定螺釘11、滾動(dòng)軸承12、連接板13。所述底座I包括Z向底座111和XY向底座112 ;所述固定臺(tái)3包括Z向固定臺(tái)31和XY向固定臺(tái)32，所述Z向固定臺(tái)31安裝在Z向底座111上，所述XY向固定臺(tái)32安裝在XY向底座112上；所述分厘卡座5包括第一分厘卡套51、第二分厘卡座52、第三分厘卡座53，所述第一分厘卡套51固定于Z向底座111右側(cè)，第二分厘卡座52固定于XY向底座112左側(cè)，第三分厘卡座53固定于XY向底座112右側(cè)；所述分厘卡6包括第一分厘卡61、第二分厘卡62和第三分厘卡63，它們分別與相對(duì)應(yīng)的分厘卡座連接；所述角度傾斜板7包括第一角度傾斜板71、第二角度傾斜板72、第三角度傾斜板73、第四角度傾斜板74第五角度傾斜板75和第六角度傾斜板76，所述第一角度傾斜板71和第二角度傾斜板72均與鉸接鋼片8相連呈對(duì)稱形式固定在Z向固定臺(tái)31上，所述第三角度傾斜板73和第四角度傾斜板74均與鉸接鋼片8相連呈對(duì)稱形式固定在XY向固定臺(tái)32上，所述第五角度傾斜板75與鉸接鋼片8相連固定在XY向底座112前端，所述第六角度傾斜板76與鉸接鋼片8相連固定在XY向底座112后端；所述連接臺(tái)4包括第一連接臺(tái)41和第二連接臺(tái)42,所述第一連接臺(tái)41經(jīng)鉸接鋼片8固定在第一角度傾斜板71和第二角度傾斜板72上，所述第二連接臺(tái)42經(jīng)鉸接鋼片8固定在第三角度傾斜板73和第四角度傾斜板74上；所述臺(tái)面2兩端由鉸接鋼片8分別固定在第五角度傾斜板75和第六角度傾斜板76上；所述擋板包括第一檔塊91和第二檔塊92，所述第一檔塊91固定在第二分厘卡座52上，所述第二檔塊92固定在連接板13上；階梯軸10固定于XY向底座112右側(cè)；球面緊定螺釘11固定于Z向底座111左側(cè)；滾動(dòng)軸承12固定于臺(tái)面2右側(cè)；連接板13固定于XY向底座112右側(cè)。
[0023]第一連接臺(tái)41與第二連接臺(tái)42之間采用螺釘固定且相互垂直。
[0024]所述球面緊定螺釘11與第一角度傾斜板71成點(diǎn)接觸形式，第一分厘卡61穿過(guò)第二角度傾斜板72后其頂端與第一連接臺(tái)41面形成點(diǎn)接觸，第一分厘卡61的運(yùn)動(dòng)通過(guò)第一連接臺(tái)41傳遞給第一角度傾斜板71和第二連接臺(tái)42，并驅(qū)使平臺(tái)相對(duì)于底座實(shí)現(xiàn)繞Z軸微動(dòng)旋轉(zhuǎn)。
[0025]所述階梯軸10經(jīng)內(nèi)六角平端緊定螺釘與第二連接臺(tái)42固定為一體，其頂端與第一檔塊91形成點(diǎn)接觸。
[0026]所述第一檔塊91是柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，所述的柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)一端與第二分厘卡62形成點(diǎn)接觸，另一端與階梯軸10頂端形成點(diǎn)接觸，還與第二分厘卡座52鉸接并能繞其作微動(dòng)旋轉(zhuǎn)。當(dāng)?shù)诙掷蹇?2進(jìn)給時(shí)，推動(dòng)第一擋塊91旋轉(zhuǎn)并帶動(dòng)階梯軸10。
[0027]所述第二檔塊92是柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，所述的柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)一端與第三分厘卡63的活動(dòng)端形成點(diǎn)接觸，另一端上的的伸出軸與安裝在臺(tái)面上滾動(dòng)軸承12成線接觸，還與連接板13鉸接可繞其作微動(dòng)旋轉(zhuǎn)。當(dāng)?shù)谌掷蹇?3進(jìn)給時(shí)，推動(dòng)第二擋塊92并撥動(dòng)滾動(dòng)軸承旋轉(zhuǎn)，由此帶動(dòng)連接板使得臺(tái)面繞X軸旋轉(zhuǎn)。
[0028]第二分厘卡62的運(yùn)動(dòng)通過(guò)與之成點(diǎn)接觸的第一檔塊91傳遞給階梯軸10和第二連接臺(tái)42，并驅(qū)使平臺(tái)相對(duì)于底座實(shí)現(xiàn)繞Z軸微動(dòng)旋轉(zhuǎn)。
[0029]第三分厘卡63的運(yùn)動(dòng)通過(guò)與之成點(diǎn)接觸的第二檔塊92傳遞給固定在臺(tái)面2上的滾動(dòng)軸承12，帶動(dòng)第五角度傾斜板75和第六角度傾斜板76的運(yùn)動(dòng)，以此驅(qū)使平臺(tái)相對(duì)于底座實(shí)現(xiàn)繞X軸微動(dòng)旋轉(zhuǎn)。
[0030]底座I和角度傾斜板7之間的相對(duì)位置由鉸接鋼片8、柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)的擋塊9和球面緊定螺釘11來(lái)保證，具有限位作用使平臺(tái)實(shí)現(xiàn)小角度微動(dòng)。
[0031]所述分厘卡6即精密螺旋測(cè)微頭的驅(qū)動(dòng)方式都為手動(dòng)旋轉(zhuǎn)，若采用精密電動(dòng)執(zhí)行器代替則成為電動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的三自由度微動(dòng)角位臺(tái)。
[0032]上述的底座1、臺(tái)面2、固定臺(tái)3、連接臺(tái)4、角度傾斜板7，擋塊9，階梯軸10、連接板13采用材料為L(zhǎng)Y12 (—種高強(qiáng)度硬鋁)，并經(jīng)過(guò)表面噴砂處理，保證其耐磨度，經(jīng)過(guò)緞黑處理，保證其表面抗腐蝕性。
[0033]上述的分厘卡6的接觸形式為點(diǎn)接觸，靈活磨損小，保證平臺(tái)運(yùn)動(dòng)的高精度和平穩(wěn)性。
[0034]上述的兩個(gè)連接臺(tái)4之間為過(guò)盈配合，保證運(yùn)動(dòng)傳遞的精確度。
[0035]上述的第二擋塊92固定在連接板13時(shí)安裝開(kāi)口擋圈，防止竄動(dòng)。
[0036]上述的第一分厘卡61的軸心與第一連接臺(tái)41端面相互垂直，第二分厘卡62、第三分厘卡63的軸心分別與第一擋塊91和第二擋塊92端面相互垂直，所述底座四角設(shè)有面積10*10、高度0.2的凸臺(tái)，凸臺(tái)要求有1.6的表面粗糙度，減少精加工面積，降低平臺(tái)成本。
[0037]上述的分厘卡6都采用手動(dòng)選擇方式驅(qū)動(dòng)。
[0038]如圖1、圖2所示，鉸接鋼片8將角度傾斜板7、固定臺(tái)3和連接臺(tái)連接為一體，在底座左側(cè)設(shè)有球面緊定螺釘11，右側(cè)設(shè)有第一分厘卡套51，第一分厘卡61的活動(dòng)端通過(guò)第二角度傾斜板72與第一連接臺(tái)41相接觸，當(dāng)?shù)谝环掷?1卡向前進(jìn)給時(shí),推動(dòng)第一連接臺(tái)41同時(shí)帶動(dòng)第一角度傾斜板71和第二角度傾斜板72移動(dòng)，由此帶動(dòng)與第一連接臺(tái)41連接的第二連接臺(tái)42繞Y軸作微角度旋轉(zhuǎn)，在進(jìn)給量增加到設(shè)計(jì)值時(shí)，球面緊定螺釘和鋼片限制平臺(tái)的角位移，同理當(dāng)?shù)谝环掷蹇?1向后進(jìn)給時(shí)，第一連接臺(tái)41同時(shí)帶動(dòng)第一角度傾斜板71和第二角度傾斜板72回到原位置。在XY軸旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)中，鉸接鋼片8將第三角度傾斜板73、第四角度傾斜板74、XY向固定臺(tái)32和第二連接臺(tái)42連接為一體，也將第五角度傾斜板75、第六角度傾斜板76、臺(tái)面2和XY向底座112連接為一體，當(dāng)?shù)诙掷蹇?2活動(dòng)端向前進(jìn)給時(shí)，推動(dòng)第一擋塊91同時(shí)帶動(dòng)階梯軸10和與之相固定的第二連接臺(tái)42和臺(tái)面2旋轉(zhuǎn)，從而實(shí)現(xiàn)臺(tái)面2繞Z軸作微角度旋轉(zhuǎn)，同理當(dāng)?shù)诙掷蹇?2向后進(jìn)給時(shí)，第一擋塊91同時(shí)帶動(dòng)階梯軸10和與之相固定的第二連接臺(tái)42和臺(tái)面2回到原位置。當(dāng)?shù)谌掷蹇?3向前進(jìn)給時(shí)，推動(dòng)第二擋塊92同時(shí)帶動(dòng)與擋塊伸出軸相接觸的滾動(dòng)軸承12，通過(guò)滾動(dòng)軸承12帶動(dòng)臺(tái)面2在第五角度傾斜板75和第六角度傾斜板76的支撐下旋轉(zhuǎn)，最終實(shí)現(xiàn)臺(tái)面2繞X軸作微角度旋轉(zhuǎn)，同理當(dāng)?shù)谌掷蹇ㄏ蚝筮M(jìn)給時(shí)，推動(dòng)第二擋塊同時(shí)帶動(dòng)其他連鎖結(jié)構(gòu)，最終臺(tái)面2回到原位置。
【權(quán)利要求】
1.一種手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的三自由度微動(dòng)角位臺(tái)，其特征在于，包括底座(I)、臺(tái)面(2)、固定臺(tái)(3)、連接臺(tái)(4)、分厘卡(6)、角度傾斜板(7)和鉸接鋼片(8)，所述底座(I)包括Z向底座(111)和XY向底座(112);所述固定臺(tái)(3)包括Z向固定臺(tái)(31)和XY向固定臺(tái)(32)，所述Z向固定臺(tái)(31)安裝在Z向底座(111)上，所述XY向固定臺(tái)(32)安裝在XY向底座(112)上；所述連接臺(tái)(4)包括第一連接臺(tái)(41)與第二連接臺(tái)(42)； 所述角度傾斜板(7)包括第一角度傾斜板(71)、第二角度傾斜板(72)、第三角度傾斜板(73)、第四角度傾斜板(74)第五角度傾斜板(75)和第六角度傾斜板(76)，所述第一角度傾斜板(71)和第二角度傾斜板(72)沿Z軸對(duì)稱設(shè)置在第一連接臺(tái)(41)的兩側(cè)，所述第一角度傾斜板(71)和第二角度傾斜板(72)的一端通過(guò)鉸接鋼片(8)固定在Z向固定臺(tái)(31)上，另一端通過(guò)鉸接鋼片(8)將第一連接臺(tái)(41)的支撐端固定，所述第三角度傾斜板(73)和第四角度傾斜板(74)沿X軸對(duì)稱設(shè)置在所述第二連接臺(tái)(42)的兩側(cè)，所述第三角度傾斜板(73 )和第四角度傾斜板(74 )的一端通過(guò)鉸接鋼片(8)固定在XY向固定臺(tái)(32)上，另一端通過(guò)鉸接鋼片(8)將第二連接臺(tái)(42)的支撐端固定，所述第五角度傾斜板(75)和所述第六角度傾斜板(76)沿Y軸對(duì)稱設(shè)置在XY向底座(112)的兩側(cè)，所述第五角度傾斜板(75)和所述第六角度傾斜板(76)的一端通過(guò)鉸接鋼片(8)固定在XY向底座(112)上，另一端通過(guò)鉸接鋼片(8)固定在臺(tái)面(2)下方； 所述第二連接臺(tái)(42)固定在所述第一連接臺(tái)(41)上； 所述分厘卡(6)包括第一分厘卡(61)、第二分厘卡(62)和第三分厘卡(63);所述第一分厘卡(61)安裝在Z向底座(111)上，并且所述第一分厘卡(61)的活動(dòng)端與所述第一連接臺(tái)(41)的活動(dòng)端連接,所述第一分厘卡(61)推動(dòng)所述第一連接臺(tái)(41)繞Y軸旋轉(zhuǎn),所述第二分厘卡(62)安裝在XY向底座上，并且所述第二分厘卡(62)的活動(dòng)端與所述第二連接臺(tái)(42)的活動(dòng)端連接,所述第二連接臺(tái)(42)推動(dòng)所述第二連接臺(tái)(42)繞Z軸旋轉(zhuǎn),所述第三分厘卡(63)的活動(dòng)端與所述臺(tái)面(2)的活動(dòng)端連接，所述第三分厘卡(63)推動(dòng)所述臺(tái)面(2)繞X軸旋轉(zhuǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的三自由度微動(dòng)角位臺(tái)，其特征在于:還包括擋板(9)，所述擋板(9)包括第一擋塊(91)和第二擋塊(92)，所述第一擋塊(91)和第二擋塊(92)采用柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，所述第一擋塊(91)安裝在XY向底座(112)的一側(cè)上，所述第二分厘卡(62)與第一擋塊(91)的一端連接，所述第一擋塊(91)的另一端與階梯軸(10)連接，所述階梯軸(10)固定在第二連接臺(tái)(42)的活動(dòng)端，所述第二分厘卡(62)推動(dòng)第一擋塊(91)旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)階梯軸(10)移動(dòng)，從而帶動(dòng)第二連接臺(tái)(42)繞Z軸旋轉(zhuǎn)； 所述第二擋塊(92)安裝在XY向底座(112)的另一側(cè)上，通過(guò)連接板(13)與安裝在臺(tái)面(2)上的滾動(dòng)軸承(12)連接，所述第三分厘卡(63)的活動(dòng)端與第二擋塊(92)連接，所述第三分厘卡(63)推動(dòng)第二擋塊(92)旋轉(zhuǎn)，撥動(dòng)滾動(dòng)軸承(12)旋轉(zhuǎn)并帶動(dòng)連接板(13)，從而使得臺(tái)面(2)繞X軸旋轉(zhuǎn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2中所述的手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的三自由度微動(dòng)角位臺(tái)，其特征在于:所述第一分厘卡(61)活動(dòng)端與第一連接臺(tái)(41)、所述第二分厘卡(62)活動(dòng)端與第一擋塊(91)、第三分厘卡(63)其頂端與第一擋塊(91)活動(dòng)端與第二擋塊(92)之間均為點(diǎn)接觸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至4之一所述的手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的三自由度微動(dòng)角位臺(tái)，其特征在于:所述分厘卡(6)為精密螺旋測(cè)微頭，所述分厘卡(6)的驅(qū)動(dòng)方式為手動(dòng)旋轉(zhuǎn)。
【文檔編號(hào)】G12B5/00GK103559916SQ201310564104
【公開(kāi)日】2014年2月5日 申請(qǐng)日期:2013年11月14日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月14日
【發(fā)明者】鄭煜, 李繼攀, 段吉安, 王麗軍, 呂文, 李文娟 申請(qǐng)人:中南大學(xué)