專利名稱：帶有感應(yīng)晶圓花籃功能的起吊裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種帶有感應(yīng)晶圓花籃功能的起吊裝置，用于半導(dǎo)體清洗設(shè)備中。
背景技術(shù)：
目前，在半導(dǎo)體清洗設(shè)備中，晶圓花籃的起吊裝置上沒有感應(yīng)器，不能自動控制，運(yùn)行中常會出現(xiàn)該鉤住時沒鉤住，該脫鉤時沒脫鉤的情況發(fā)生，會使晶圓脫落而造成損失。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、能實(shí)現(xiàn)自動化控制并且自動感應(yīng)晶圓花籃的起吊裝置。 實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型目的的技術(shù)方案是一種帶有感應(yīng)晶圓花籃功能的起吊裝置，包括機(jī)械手吊鉤和花籃承載筐，機(jī)械手吊鉤的兩側(cè)均設(shè)置有至少兩個以上的鉤部，花籃承載筐上設(shè)置有與鉤部相配的凸起部，至少一個鉤部內(nèi)固定有傳感器，相應(yīng)的凸起部內(nèi)固定有與傳感器相配的感應(yīng)塊。采用了上述技術(shù)方案后，當(dāng)鉤部勾起凸起部時，傳感器與感應(yīng)塊接觸很近，傳感器感應(yīng)到感應(yīng)塊，發(fā)信號給控制單元，確認(rèn)鉤住花籃承載筐，然后控制單元發(fā)指令給機(jī)械手提升起花籃承載筐，即吊起花籃承載筐動作完成；當(dāng)鉤部與凸起部脫離時，傳感器感應(yīng)不到感應(yīng)塊，傳感器發(fā)信號給控制單元，確認(rèn)機(jī)械手吊鉤空載，可以提升，即花籃承載筐脫鉤成功，本實(shí)用新型的鉤部兩側(cè)各設(shè)置為兩個以上，兩個以上的鉤部形成一個面，鉤取花籃承載筐更加穩(wěn)定可靠，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，并且具有自動感應(yīng)晶圓花籃是否鉤住的功能，起到一定的防護(hù)作用，通過控制單元便能實(shí)現(xiàn)自動化控制，不需要人工干預(yù)，降低了成本，提高了生產(chǎn)效率。

圖I為本實(shí)用新型的帶有感應(yīng)晶圓花籃功能的起吊裝置的結(jié)構(gòu)立體圖。
具體實(shí)施方式
為了使本實(shí)用新型的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明，如圖I所示,一種帶有感應(yīng)晶圓花籃功能的起吊裝置,包括機(jī)械手吊鉤I和花籃承載筐2，機(jī)械手吊鉤I的兩側(cè)均設(shè)置有至少兩個以上的鉤部1-1，花籃承載筐2上設(shè)置有與鉤部1-1相配的凸起部2-1，至少一個鉤部1-1內(nèi)固定有傳感器3，相應(yīng)的凸起部2-1內(nèi)固定有與傳感器3相配的感應(yīng)塊4。本實(shí)用新型的工作原理如下采用了上述技術(shù)方案后，當(dāng)鉤部1-1勾起凸起部2-1時，傳感器3與感應(yīng)塊4接觸很近，傳感器3感應(yīng)到感應(yīng)塊4，發(fā)信號給控制單元，確認(rèn)鉤住花籃承載筐2，然后控制單元發(fā)指令給機(jī)械手提升起花籃承載筐2，即吊起花籃承載筐2動作完成；當(dāng)鉤部1-1與凸起部2-1脫離時，傳感器3感應(yīng)不到感應(yīng)塊4，傳感器3發(fā)信號給控制單元，確認(rèn)機(jī)械手吊鉤I空載，可以提升，即花籃承載筐2脫鉤成功，本實(shí)用新型的鉤部1-1兩側(cè)各設(shè)置為兩個以上，兩個以上的鉤部1-1形成一個面，鉤取花籃承載筐2更加穩(wěn)定可靠，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，并且具有自動感應(yīng)晶圓花籃的是否鉤住的功能，起到一定的防護(hù)作用，通過控制單元便能實(shí)現(xiàn)自動化控制，不需要人工干預(yù)，降低了成本，提高了生產(chǎn)效率。以上所述的具體實(shí)施例，對本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本
實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種帶有感應(yīng)晶圓花籃功能的起吊裝置，包括機(jī)械手吊鉤(I)和花籃承載筐(2)，機(jī)械手吊鉤(I)的兩側(cè)均設(shè)置有至少兩個以上的鉤部(1-1)，花籃承載筐(2)上設(shè)置有與鉤部(1-1)相配的凸起部(2-1)，其特征在于至少一個鉤部(1-1)內(nèi)固定有傳感器(3)，相應(yīng)的凸起部(2-1)內(nèi)固定有與傳感器(3)相配的感應(yīng)塊(4)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種帶有感應(yīng)晶圓花籃功能的起吊裝置，包括機(jī)械手吊鉤和花籃承載筐，機(jī)械手吊鉤的兩側(cè)均設(shè)置有至少兩個以上的鉤部，花籃承載筐上設(shè)置有與鉤部相配的凸起部，至少一個鉤部內(nèi)固定有傳感器，相應(yīng)的凸起部內(nèi)固定有與傳感器相配的感應(yīng)塊。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，并且非常實(shí)用，通過控制單元便能實(shí)現(xiàn)自動化控制，并且可以檢測到是否鉤住晶圓花籃，做到防止掛空、掛偏等誤動作的發(fā)生，不需要操作人員隨時檢查，降低了人工成本。
文檔編號B66C1/22GK202704807SQ20122021969
公開日2013年1月30日 申請日期2012年5月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月16日
發(fā)明者卡爾·羅伯特·休斯特 申請人:硅密(常州)電子設(shè)備有限公司