專利名稱:一種多晶硅錠制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及多晶硅領(lǐng)域,特別是涉及一種多晶硅錠制造裝置。
背景技術(shù):
最近,隨著對太陽能電池的需求以每年百分之幾十左右的速度增加,太陽能電池用多晶硅錠的需求也是年年大幅增加。一般而言。太陽能電池用多晶硅錠是在石英或石墨柑禍中填充硅原料之后通過熔融及定向凝固過程進(jìn)行制造的。只是通過控制供應(yīng)到加熱器的電源來進(jìn)行冷卻時,從坩堝下部開始的冷卻情況并不均衡,因此難以使晶體均勻地成長,并導(dǎo)致硅錠物理性質(zhì)不均勻性。在沒有有效的控制加熱溫度以及加熱時間的情況下,同樣也會使生產(chǎn)出的硅錠性能不佳。
實用新型內(nèi)容本實用新型主要解決的技術(shù)問題是提供一種多晶硅錠制造裝置,能夠獲得具有優(yōu)良性能的多晶娃淀。為解決上述技術(shù)問題,本實用新型采用的一個技術(shù)方案是提供一種多晶硅錠制造裝置,包括坩堝、支撐板、加熱器、冷卻板、隔熱板、高純石英玻璃層、溫度傳感器,所述坩堝固定在支撐板上,所述加熱器設(shè)在坩堝周圍,所述隔熱板設(shè)在加熱器周圍,加熱器內(nèi)壁設(shè)有溫度傳感器,冷卻板位于坩堝下部,高純石英玻璃層設(shè)置在坩堝內(nèi)壁。在本實用新型一個較佳實施例中,所述的多晶硅錠制造裝置還包括一個自動控制裝置,與所述溫度傳感器和加熱器電性連接。在本實用新型一個較佳實施例中,所述冷卻板內(nèi)部設(shè)置有流體制冷劑。在本實用新型一個較佳實施例中,所述坩堝呈規(guī)則方形不透明立體結(jié)構(gòu)。在本實用新型一個較佳實施例中,所述高純石英玻璃層的厚度為2_4nm。本實用新型的有益效果是本實用新型多晶硅錠制造裝置能有效的控制加熱溫度以及加熱時間,顯著提高多晶硅錠晶粒的定向性,生產(chǎn)出的硅錠性能較佳。
圖I是本實用新型多晶硅錠制造裝置一較佳實施例的立體結(jié)構(gòu)示意圖;附圖中各部件的標(biāo)記如下1、坩堝,2、支撐板,3、加熱器,4、冷卻板,5、隔熱板,6、
高純石英玻璃層,7、溫度傳感器。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型的較佳實施例進(jìn)行詳細(xì)闡述,以使本實用新型的優(yōu)點和特征能更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解,從而對本實用新型的保護(hù)范圍做出更為清楚明確的界定。請參閱圖I,本實用新型實施例包括[0014]一種多晶硅錠制造裝置,包括坩堝I、支撐板2、加熱器3、冷卻板4、隔熱板5、高純石英玻璃層6、溫度傳感器7,所述坩堝I固定在支撐板2上,所述加熱器3設(shè)在坩堝I周圍,所述隔熱板5設(shè)在加熱器3周圍,加熱器3內(nèi)壁設(shè)有溫度傳感器7,冷卻板4位于坩堝下部,高純石英玻璃層6設(shè)置在坩堝I內(nèi)壁。所述的多晶硅錠制造裝置還包括一個自動控制裝置,與所述溫度傳感器7和加熱器3電性連接,該自動控制裝置能有效監(jiān)控加熱溫度,加熱時間并對其自動控制。所述冷卻板4內(nèi)部設(shè)置有流體制冷劑。使用冷卻板4可以加快冷卻速度而將冷卻效率最大化。最終可以通過適當(dāng)?shù)卣{(diào)節(jié)冷卻速度來使熔融硅凝固工藝最優(yōu)化。 所述坩堝I呈規(guī)則方形不透明立體結(jié)構(gòu);所述高純石英玻璃層6的厚度為2_4nm。這種設(shè)計外形美觀,尺寸大、裝載量大,生產(chǎn)效率高,顯著節(jié)約電力成本。結(jié)晶出的產(chǎn)品具有優(yōu)異的抗熱震性能,安全性好,帶來了可觀的經(jīng)濟(jì)效益。本實用新型的有益效果是本實用新型多晶硅錠制造裝置能有效的控制加熱溫度以及加熱時間,顯著提高多晶硅錠晶粒的定向性,生產(chǎn)出的硅錠性能較佳。以上所述僅為本實用新型的實施例,并非因此限制本實用新型的專利范圍,凡是利用本實用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換,或直接或間接運用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域,均同理包括在本實用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種多晶硅錠制造裝置,其特征在于包括坩堝(I)、支撐板(2)、加熱器(3)、冷卻板(4)、隔熱板(5)、高純石英玻璃層(6)、溫度傳感器(7),所述坩堝(I)固定在支撐板(2)上,所述加熱器(3)設(shè)在坩堝(I)周圍,所述隔熱板(5)設(shè)在加熱器(3)周圍,加熱器(3)內(nèi)壁設(shè)有溫度傳感器(7),冷卻板(4)位于坩堝下部,高純石英玻璃層(6)設(shè)置在坩堝(I)內(nèi)壁。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多晶硅錠制造裝置,其特征在于所述的多晶硅錠制造裝置還包括一個自動控制裝置,與所述溫度傳感器(7)和加熱器(3)電性連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多晶硅錠制造裝置,其特征在于所述冷卻板(4)內(nèi)部設(shè)置有流體制冷劑。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多晶硅錠制造裝置,其特征在于所述坩堝(I)呈規(guī)則方形不透明立體結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多晶硅錠制造裝置,其特征在于所述高純石英玻璃層(6)的厚度為2-4nm。
專利摘要本實用新型公開了一種多晶硅錠制造裝置,包括坩堝、支撐板、加熱器、冷卻板、隔熱板、高純石英玻璃層、溫度傳感器,所述坩堝固定在支撐板上,所述加熱器設(shè)在坩堝周圍,所述隔熱板設(shè)在加熱器周圍,加熱器內(nèi)壁設(shè)有溫度傳感器,冷卻板位于坩堝下部,高純石英玻璃層設(shè)置在坩堝內(nèi)壁。本實用新型多晶硅錠制造裝置能有效的控制加熱溫度以及加熱時間,顯著提高多晶硅錠晶粒的定向性,生產(chǎn)出的硅錠性能較佳。
文檔編號C30B29/06GK202359234SQ20112046300
公開日2012年8月1日 申請日期2011年11月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月21日
發(fā)明者李川川 申請人:常州市萬陽光伏有限公司