專利名稱：一種太陽電池擴散工藝的尾排裝置的制作方法
技術(shù)領域：
本實用新型屬于太陽電池擴散工藝設備領域，具體涉及一種太陽電池擴散工藝的尾排裝置。
背景技術(shù)：
目前，晶體硅太陽電池的生產(chǎn)因工藝流程簡單，便于大規(guī)模生產(chǎn)等優(yōu)點而迅速發(fā)展起來，其中所述工藝流程中的一個極其重要的工序是采用擴散技術(shù)在硅片表面摻雜，控制移動擴散深度，形成電池的PN結(jié)；現(xiàn)在通用的一種太陽電池擴散工藝采用尾部進氣擴散方式，其主要包括有石英爐管、氣源柜、懸臂推拉舟裝置、尾排裝置及相關(guān)控制系統(tǒng)，制備時，在相關(guān)控制系統(tǒng)控制下，懸臂推拉舟裝置將待制備的硅片由石英爐管的前部平穩(wěn)地送入，氣源柜經(jīng)由控制閥、過濾器后，向密封的石英爐管的尾部通入反應氣體，待反應后，殘余的尾氣體由尾排裝置排出。所述尾排裝置除了用于排出石英爐管內(nèi)殘余的反應氣體外，還起到了穩(wěn)定石英爐管內(nèi)的氣壓氛圍作用，以保證工藝反應中石英爐管內(nèi)所需氣壓的穩(wěn)定性要求；現(xiàn)有尾排裝置一般包括有連通管、尾排箱及主管道，連通管的一端貫穿入上述石英爐管內(nèi)，連通管的另一端與尾排箱的輸入端相連通，尾排箱的輸出端經(jīng)由一控制閥連接至主管道上，所述控制閥一般采用一蝶閥，由于其結(jié)構(gòu)簡單、啟閉方便迅速等優(yōu)點而廣泛應用在尾排裝置上；實際擴散設備中一般設有四個石英爐管，每個石英爐管的尾排箱的輸出端均連接至上述主管道上，則該主管道的排風量較大，而在調(diào)節(jié)尾氣排風時，每個石英爐管只配有單一蝶閥在進行排量控制，加上蝶閥在密封性上較差，這樣容易導致石英爐管尾排的過大或過小，其尾排的不穩(wěn)定性、調(diào)節(jié)的不精確會進一步影響了石英爐管內(nèi)的工藝反應氛圍，由此造成所得電池 PN結(jié)在方阻等性能上的不均勻缺陷。有鑒于此，本發(fā)明人對太陽電池擴散工藝的尾排裝置進行了深入研究，本案由此產(chǎn)生。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種太陽電池擴散工藝的尾排裝置，其克服了現(xiàn)有技術(shù)中單一性控制閥在尾排控制中易出現(xiàn)不穩(wěn)定，調(diào)節(jié)不精確而影響電池性能的問題。為了達成上述目的，本實用新型的解決方案是一種太陽電池擴散工藝的尾排裝置，其包括有連通管、尾排箱及主管道，上述連通管的一端貫穿入石英爐管內(nèi)，另一端與上述尾排箱的輸入端相連通，上述尾排箱的輸出端與上述主管道間連接有一帶有控制閥的管路，上述控制閥包括有一蝶閥和連接于該蝶閥與上述主管道間的球閥。上述主管道的出口處設有一由普通開關(guān)閥和球閥構(gòu)成的第二控制閥。采用上述方案后，本實用新型一種太陽電池擴散工藝的尾排裝置，其在尾排箱的輸出端與主管道間的管路上設有控制閥，該控制閥包括有一蝶閥和連接于蝶閥與主管道間
3的球閥，實際擴散設備中所設的多個石英爐管對應的尾排箱的輸出端均連接至上述主管道上，主管道的排風量較大，在調(diào)節(jié)尾氣排風時，由蝶閥對石英爐管及相應管路段進行排量控制，而主管道與蝶閥間借由密封性較好的球閥的控制作用，可以大大削弱排風量較大的主管道經(jīng)由管路對石英爐管產(chǎn)生的不穩(wěn)定影響，由此借助蝶閥和球閥相互間的配合作用，加強了控制閥在尾排調(diào)節(jié)上的穩(wěn)定性及精確度，進而確保了石英爐管內(nèi)所需的工藝反應氛圍及所得電池性能上的優(yōu)良性。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖(包括石英爐管及氣源柜)。標號說明[0012]石英爐管1石英舟2[0013]氣源柜3連通管41[0014]尾排箱42主管43[0015]管路44蝶閥45[0016]球閥46普通開關(guān)閥4具體實施方式
為了進一步解釋本實用新型的技術(shù)方案，下面通過具體實施例來對本實用新型進行詳細闡述。本實用新型一種太陽電池擴散工藝的尾排裝置，其與石英爐管1及氣源柜3連接形成的工藝設備如圖1所示，其主要包括有石英爐管1、帶有石英舟2的懸臂推拉舟裝置、氣源柜3、尾排裝置及相關(guān)控制系統(tǒng)(圖中未示出)，制備時，在所述相關(guān)控制系統(tǒng)控制下，懸臂推拉舟裝置的石英舟2將待制備的硅片由石英爐管1的前部平穩(wěn)地送入，氣源柜2經(jīng)由控制閥、過濾器(圖中未示出)后，向密封的石英爐管1的尾部通入反應氣體，待反應后，殘余的尾氣體由尾排裝置排出。本實用新型尾排裝置，包括有連通管41、尾排箱42及主管道43，連通管41的一端貫穿入石英爐管1內(nèi)直至鄰近其首部，其可增加尾部進氣擴散的效果，連通管41的另一端與尾排箱42的輸入端相連通，尾排箱42的輸出端與主管道43間連接有一管路44，該管路 44帶有控制閥，特別地，本實用新型所述控制閥包括有一蝶閥45和連接于該蝶閥45與主管道43間的球閥46，蝶閥具有結(jié)構(gòu)簡單、啟閉方便迅速等優(yōu)點，球閥46 —最大特點就是密封性好；通常于主管道43的出口處設有一普通開關(guān)閥47作為第二控制閥，本案該第二控制閥還可由普通開關(guān)閥47和球閥沿主管道43上下設置構(gòu)成。本案所述在尾排箱42的輸出端與主管道43間的管路44上設有控制閥，該控制閥包括有一蝶閥45和連接于蝶閥45與主管道43間的球閥46，實際擴散設備中所設的多個石英爐管1對應的尾排箱42的輸出端均連接至主管道43上，主管道43的排風量較大，在調(diào)節(jié)尾氣排風時，由蝶閥45對石英爐管1及相應管路段進行排量控制，而主管道43與蝶閥45 間還設有密封性較好的球閥46，借由球閥46的控制作用，可以大大削弱排風量較大的主管道43經(jīng)由管路44對石英爐管1產(chǎn)生的不穩(wěn)定影響，由此借助蝶閥45和球閥46相互間的配合作用，加強了控制閥在尾排調(diào)節(jié)上的穩(wěn)定性及精確度，進而確保了石英爐管1內(nèi)所需
4的工藝反應氛圍及所得電池性能上的優(yōu)良性；另外在主管道43上所設的由普通開關(guān)閥47 和球閥構(gòu)成的第二控制閥，其對尾排精準的穩(wěn)定調(diào)節(jié)上也起到了一定的增強效果。 上述實施例和圖式并非限定本實用新型的產(chǎn)品形態(tài)和式樣，任何所屬技術(shù)領域的普通技術(shù)人員對其所做的適當變化或修飾，皆應視為不脫離本實用新型的專利范疇。
權(quán)利要求1.一種太陽電池擴散工藝的尾排裝置，其包括有連通管、尾排箱及主管道，上述連通管的一端貫穿入石英爐管內(nèi)，另一端與上述尾排箱的輸入端相連通，上述尾排箱的輸出端與上述主管道間連接有一帶有控制閥的管路，其特征在于上述控制閥包括有一蝶閥和連接于該蝶閥與上述主管道間的球閥。
2.如權(quán)利要求1所述的一種太陽電池擴散工藝的尾排裝置，其特征在于上述主管道的出口處設有一由普通開關(guān)閥和球閥構(gòu)成的第二控制閥。
專利摘要本實用新型公開一種太陽電池擴散工藝的尾排裝置，其包括有連通管、尾排箱及主管道，上述連通管的一端貫穿入石英爐管內(nèi)，另一端與上述尾排箱的輸入端相連通，上述尾排箱的輸出端與上述主管道間連接有一帶有控制閥的管路，上述控制閥包括有一蝶閥和連接于該蝶閥與上述主管道間的球閥；本案在調(diào)節(jié)尾氣排風時，由蝶閥對石英爐管及相應管路段進行排量控制，而主管道與蝶閥間還設有密封性較好的球閥，借由球閥的控制作用，可以大大削弱排風量較大的主管道經(jīng)由管路對石英爐管產(chǎn)生的不穩(wěn)定影響，由此增強了控制閥在尾排調(diào)節(jié)上的精確度，確保了石英爐管內(nèi)所需的工藝反應氛圍及所得電池性能上的優(yōu)良性。
文檔編號C30B31/16GK202148370SQ20112019312
公開日2012年2月22日 申請日期2011年6月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月9日
發(fā)明者梁興芳, 王程杰, 許新湖 申請人:陽光大地(福建)新能源有限公司