專利名稱：線材接觸防止構(gòu)件和加熱器裝置的維護方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種被設(shè)在用于對半導(dǎo)體晶圓等被加熱體進行熱處理的加熱裝置中的加熱器裝置的維護方法以及用于防止加熱器裝置的加熱器線材接觸的線材接觸防止構(gòu)件。
背景技術(shù)：
通常，為了形成半導(dǎo)體集成電路，對由硅基板等構(gòu)成的半導(dǎo)體晶圓反復(fù)實施成膜處理、氧化處理、擴散處理、退火處理、蝕刻處理等。另外，進行這樣的處理時，在一次對多張半導(dǎo)體晶圓進行處理的情況下，使用所謂的批量式的熱處理裝置。該熱處理裝置在例如日本特開平09-246261號公報、日本特開2000-182979號公報等中被公開。具體而言，呈多層地被支承在晶圓舟皿中的多張半導(dǎo)體晶圓被收容并被密閉在例如石英制的縱長的處理容器內(nèi)。另外，能夠利用氣體供給部件向該處理容器內(nèi)供給所需要的處理氣體，并且，能夠利用排氣部件將該處理容器內(nèi)的氣氛氣體排出。另外，用于對上述半導(dǎo)體晶圓進行加熱的加熱器裝置以包圍該處理容器的方式設(shè)在該處理容器的外周側(cè)。該加熱器裝置通過將加熱器線材例如螺旋狀卷繞在例如圓筒體狀的絕熱層的內(nèi)周面?zhèn)榷纬伞Ｔ撀菪隣畹募訜崞骶€材的間距(間隔)被設(shè)定為例如IOmm 30mm左右。另外，上述處理容器內(nèi)的半導(dǎo)體晶圓一邊被上述加熱器裝置加熱成規(guī)定的溫度一邊被實施成膜處理、氧化處理、退火處理等熱處理。然而，在被應(yīng)用于上述那樣的熱處理裝置的加熱器裝置中，被用于該加熱器裝置的加熱器線材不能避免由反復(fù)使用引起的經(jīng)年變化而產(chǎn)生永久伸長。該永久伸長與伴隨加熱冷卻而產(chǎn)生的熱伸縮不同，是指加熱器線材自身產(chǎn)生劣化而伸長的現(xiàn)象。然而，產(chǎn)生這樣的永久伸長時，會在被卷繞成上述螺旋狀的加熱器線材自身上產(chǎn)生變形。在此情況下，加熱器線材彎曲變形而與相鄰配置的加熱器線材接觸時，存在這種問題或者接觸部的接觸電阻導(dǎo)致過度地產(chǎn)生熱而接觸部熔接，或者在最壞的情況下產(chǎn)生電火花等而斷線。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明著眼于上面那樣的問題點，是為了有效地解決該問題點而發(fā)明的。本發(fā)明的目的在于提供一種能夠防止加熱器線材彼此接觸的線材接觸防止構(gòu)件和加熱器裝置的維護方法。為了達成上述目的，本發(fā)明的第1發(fā)明是一種絕緣性的線材接觸防止構(gòu)件，其特征在于，該線材接觸防止構(gòu)件被設(shè)在加熱器裝置中，該加熱器裝置具有螺旋狀卷繞而配置在需要加熱的被加熱體的外周的加熱器線材，該線材接觸防止構(gòu)件以與上述加熱器線材的間隔由于上述加熱器線材的變形而比配置上述加熱器線材時的間隔變窄的位置相對應(yīng)的方式配置在上述加熱器線材之間。本發(fā)明的第2發(fā)明是一種絕緣性的線材接觸防止構(gòu)件，其特征在于，該線材接觸防止構(gòu)件被設(shè)在加熱器裝置中，該加熱器裝置具有呈波形狀彎曲或者反復(fù)U形轉(zhuǎn)彎地彎曲而配置在需要加熱的被加熱體的外周的加熱器線材，該線材接觸防止構(gòu)件以與上述加熱器線材的間隔由于上述加熱器線材的變形而比配置上述加熱器線材時的間隔變窄的位置相對應(yīng)的方式配置在上述加熱器線材之間。這樣，因為將上述線材接觸防止構(gòu)件以與加熱器線材的間隔由于上述加熱器線材的變形而比配置上述加熱器線材時的間隔變窄的位置相對應(yīng)的方式配置在上述加熱器線材之間，所以能夠防止加熱器線材彼此接觸，也能夠阻止加熱器線材彼此熔接、斷線。本發(fā)明的第3發(fā)明是一種加熱器裝置的維護方法，該加熱器裝置具有螺旋狀卷繞而配置在需要加熱的被加熱體的外周的加熱器線材，其特征在于，其包括發(fā)現(xiàn)上述加熱器線材的間隔由于上述加熱器線材的變形而比配置上述加熱器線材時的間隔變窄的位置的工序、與上述間隔變窄的位置相對應(yīng)地在上述加熱器線材之間設(shè)置技術(shù)方案1至技術(shù)方案 8中的任意一項所述的線材接觸防止構(gòu)件的工序。本發(fā)明的第4發(fā)明是一種加熱器裝置的維護方法，該加熱器裝置具有呈波形狀彎曲或者反復(fù)U形轉(zhuǎn)彎地彎曲而配置在需要加熱的被加熱體的外周的加熱器線材，其特征在于，該加熱器裝置的維護方法包括發(fā)現(xiàn)上述加熱器線材的間隔由于上述加熱器線材的變形而比配置上述加熱器線材時的間隔變窄的位置的工序、與上述間隔變窄的位置相對應(yīng)地在上述加熱器線材之間設(shè)置技術(shù)方案1至技術(shù)方案8中的任意一項所述的線材接觸防止構(gòu)件的工序。采用本發(fā)明的線材接觸防止構(gòu)件和加熱器裝置的維護方法，能夠發(fā)揮下面那樣的優(yōu)異的作用效果。因為將上述線材接觸防止構(gòu)件以與加熱器線材的間隔由于上述加熱器線材的變形而比配置上述加熱器線材時的間隔變窄的位置相對應(yīng)的方式配置在上述加熱器線材之間，所以能夠防止加熱器線材彼此接觸，也能夠阻止加熱器線材彼此熔接、斷線。


圖1是表示具有應(yīng)用本發(fā)明的線材接觸防止構(gòu)件的加熱器裝置的熱處理裝置的一個例子的概略結(jié)構(gòu)圖。圖2是表示加熱器裝置的剖視圖。圖3是表示加熱器裝置的一部分的放大剖視圖。圖4是表示本發(fā)明的線材接觸防止構(gòu)件的一個例子的立體圖。圖5是表示產(chǎn)生了間隔因加熱器線材變形而變窄的位置的加熱器裝置的剖視圖。圖6是表示在加熱器線材的間隔變窄的位置配置有線材接觸防止構(gòu)件的例子的放大剖視圖。圖7的A是表示未將線材接觸防止構(gòu)件配置在加熱器線材之間時的狀態(tài)的附圖代用照片。圖7的B是表示將線材接觸防止構(gòu)件配置在加熱器線材之間而進行安裝時的狀態(tài)的附圖代用照片。圖8的A是表示線材接觸防止構(gòu)件的變形實施例的圖。圖8的B是表示將圖8的A所示的線材接觸防止構(gòu)件配置在加熱器線材的間隔變窄的位置的例子的放大剖視圖。圖9是表示加熱器線材的排列形狀的變形實施例的圖。
具體實施例方式下面，按照添附附圖詳細說明本實施例的線材接觸防止構(gòu)件和加熱器裝置的維護方法的一實施例。圖1是表示具有應(yīng)用本發(fā)明的線材接觸防止構(gòu)件的加熱器裝置的熱處理裝置的一個例子的概略結(jié)構(gòu)圖、圖2是表示加熱器裝置的剖視圖、圖3是表示加熱器裝置的一部分的放大剖視圖、圖4是表示本發(fā)明的線材接觸防止構(gòu)件的一個例子的立體圖。在此， 以將半導(dǎo)體晶圓作為被加熱體為例的情況進行說明。首先，說明熱處理裝置。如圖1所示，該立式熱處理裝置2包括長度方向被配置成鉛垂方向的圓筒狀的處理容器4。該處理容器4主要由外筒6和內(nèi)筒8構(gòu)成，呈雙重管結(jié)構(gòu)，其中，該外筒6由耐熱性材料、例如石英構(gòu)成，該內(nèi)筒8由例如石英構(gòu)成，被同心地配置在該外筒6的內(nèi)側(cè)。上述外筒6以及內(nèi)筒8的下端部被由不銹鋼等構(gòu)成的歧管10保持，該歧管10被固定在底板12上。另外，夾著0形密封圈等密封構(gòu)件16能夠氣密密封地在上述歧管10的下端部的開口部安裝有由例如不銹鋼等構(gòu)成的圓盤狀的帽部14。利用例如磁性流體密封件18以氣密的狀態(tài)在上述帽部14的大致中心部貫穿有能夠旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸20。該旋轉(zhuǎn)軸20的下端與旋轉(zhuǎn)機構(gòu)22連接，在該旋轉(zhuǎn)軸20的上端固定有由例如不銹鋼構(gòu)成的工作臺M。另外，在上述工作臺M上設(shè)置有由石英構(gòu)成的保溫筒沈，例如石英制的晶圓舟皿 28作為支承件被載置在該保溫筒沈上。多張、例如50 150張作為被加熱體的半導(dǎo)體晶圓W以規(guī)定的間隔、例如IOmm左右間隔的間距收容在該晶圓舟皿觀中。該晶圓舟皿觀、保溫筒沈、工作臺M以及帽部14構(gòu)成為成一體地被升降機構(gòu)、即例如舟皿升降機30加載到處理容器4內(nèi)、自處理容器4卸載。在上述歧管10的下部設(shè)有用于向處理容器4內(nèi)導(dǎo)入需要的氣體的氣體導(dǎo)入部件 32。該氣體導(dǎo)入部件32包括以氣密地貫通上述歧管10的方式設(shè)置的氣體噴嘴34。在圖示例中只記載有一個該氣體噴嘴34，但實際上按照所使用的氣體種類可以設(shè)多個氣體噴嘴34。另外，自該氣體噴嘴34 —邊進行流量控制一邊將需要的氣體導(dǎo)入到處理容器4內(nèi)。 另外，在歧管10的上部設(shè)有氣體出口 36，該氣體出口 36與排氣系統(tǒng)38連接。具體而言，上述排氣系統(tǒng)38包括與上述氣體出口 36連接的排氣通路40。另外，壓力調(diào)整閥42以及真空泵44依次被設(shè)在該排氣通路40的途中，能夠一邊對上述處理容器4內(nèi)的氣氛氣體進行壓力調(diào)整一邊進行排氣。另外，還公知一種不設(shè)上述歧管10而整體由石英形成的處理容器。另外，用于加熱上述晶圓W的加熱器裝置48以包圍上述晶圓W的外周、即處理容器4的外周側(cè)的方式設(shè)在上述晶圓W的外周、即處理容器4的外周側(cè)。具體而言，該加熱器裝置48包括有頂部的絕熱層50，該絕熱層50以將上述圓筒體狀的處理容器4的外側(cè)包圍的方式形成為圓筒體狀。該絕熱層50由例如導(dǎo)熱性低且柔軟的無定形的二氧化硅與氧化鋁的混合物形成，其厚度為2cm 4cm左右。該絕熱層50的內(nèi)表面以規(guī)定的距離與上述處理容器4的外表面分開。另外，由例如不銹鋼構(gòu)成的保護罩51以覆蓋該絕熱層50的整個外周面的方式安裝在該絕熱層50的外周面上。
5
另外，在該絕熱層50的內(nèi)周側(cè)以卷繞成螺旋狀的方式配置有加熱器線材52。在此，上述加熱器線材52被卷繞而設(shè)在絕熱層50的整個側(cè)面上，從而能夠覆蓋處理容器4的整個高度方向。換言之，形成為在加熱器線材52的外周側(cè)設(shè)有絕熱層50的結(jié)構(gòu)。被卷繞成該螺旋狀的加熱器線材52的間距為例如IOmm 30mm左右，另外，加熱器線材52的直徑為Imm 14mm左右。因而，在上下方向上相鄰的加熱器線材52彼此間的距離 Ll (參照圖2)被設(shè)定為例如5mm 16mm左右。該加熱器線材52由材料以例如鐵、鉻、鋁等為主要原料的電阻加熱器形成。作為這樣的加熱器線材52，能夠使用例如康塔爾(Kanthal)加熱器(注冊商標(biāo))。另外，作為加熱器線材52，也能夠使用其他的碳線材加熱器等。在此，上述加熱器線材52在高度方向上被分割成多個、例如從第1區(qū)域到第4區(qū)域這四個區(qū)域，能夠根據(jù)針對各區(qū)域設(shè)在絕熱層50上的熱電偶(未圖示)檢測到的溫度， 針對各區(qū)域獨立地分別進行溫度控制。另外，被分割的區(qū)域數(shù)量不限于上述數(shù)值。在此情況下，在用于應(yīng)對直徑為300mm的晶圓的熱處理裝置的情況下，上述加熱器裝置的直徑為600mm左右。另外，上述第1區(qū)域 第4區(qū)域中的每個區(qū)域的加熱器線材 52的長度被設(shè)定為例如十幾m 幾十m左右的長度。另外，如圖2所示，在上述圓筒體狀的絕熱層50的內(nèi)周面上沿著該絕熱層50的周向以規(guī)定的間隔均等地設(shè)有沿著上下方向延伸的多個線材保持框架M。也如圖3所示，該線材保持框架M被形成為凹凸?fàn)畹氖猃X，在其凹部56內(nèi)收容上述各加熱器線材52而防止加熱器線材52的位置偏移。相鄰的線材保持框架M的間隔 L2(參照圖2、被設(shè)定為例如IOcm 15cm左右。該線材保持框架M由絕緣性材料的陶瓷材料形成。這樣，使用上述那樣構(gòu)成的熱處理裝置2對半導(dǎo)體晶圓W反復(fù)進行熱處理時，加熱器線材52發(fā)生經(jīng)年變化而在加熱器線材52上產(chǎn)生永久伸長，結(jié)果，加熱器線材52變形而產(chǎn)生間隔比配置線材時的間隔變窄的位置。在維護加熱器裝置時，如圖4所示那樣的本發(fā)明的線材接觸防止構(gòu)件60被設(shè)置在該加熱器線材52彼此的間隔變窄的位置。該線材接觸防止構(gòu)件60由絕緣性的材料形成為板狀構(gòu)件62。該板狀構(gòu)件62被形成為長方形狀，其頂端64被成形為銳角狀，該頂端64被設(shè)計成易于插入上述柔軟的絕熱層50。該板狀構(gòu)件62的厚度被設(shè)定在0. 5mm 5mm范圍內(nèi)，在此被設(shè)定為例如1. 5mm,寬度Hl被設(shè)定在5mm 30mm范圍內(nèi)，在此被設(shè)定為例如10mm，長度H2被設(shè)定在20mm 50mm范圍內(nèi)，在此被設(shè)定為例如40mm。另外，該板狀構(gòu)件62的構(gòu)成材料堅硬且具有絕緣性以及耐熱性即可，能夠使用例如陶瓷材料。作為該陶瓷材料，能夠使用例如氧化鋁(Al2O3)、氮化鋁(AlN)等。接著，說明如上面那樣構(gòu)成的熱處理裝置所使用的加熱器裝置的維護方法。首先， 說明半導(dǎo)體晶圓W的熱處理，利用舟皿升降機30使載置了未處理的多張晶圓W的晶圓舟皿 28從處理容器4的下方上升而將晶圓舟皿觀收容到處理容器4內(nèi)，利用帽部14密閉容器的下端開口部。然后，利用排氣系統(tǒng)38將處理容器4內(nèi)抽真空到規(guī)定的壓力，同時，通過增加對加熱器裝置48的加熱器線材52的通電量而加熱到用于對晶圓W進行熱處理的規(guī)定的處理溫度，并維持該壓力和該處理溫度。然后，從位于處理容器4的下方的氣體導(dǎo)入部件32 的氣體噴嘴34將被控制了流量的處理氣體導(dǎo)入到該處理容器4內(nèi)，一邊使該氣體在內(nèi)筒8內(nèi)上升一邊在晶圓間流動，并進行熱處理。在該內(nèi)筒8內(nèi)流動的氣體在處理容器4的頂部折返而在內(nèi)筒8與外筒6之間的間隙中流下，如上述那樣被排氣系統(tǒng)38排出到系統(tǒng)外。作為在此進行的熱處理，如上述那樣對應(yīng)于成膜處理、氧化處理、擴散處理、退火處理等，并使用與其處理技術(shù)方案相對應(yīng)的處理氣體。另外，處理溫度也按照處理技術(shù)方案而變化，以例如300°C 800°C左右的高溫進行熱處理。這樣，對半導(dǎo)體晶圓W反復(fù)進行上述那樣的熱處理時，如上述那樣加熱器線材52 發(fā)生經(jīng)年變化而在加熱器線材52上產(chǎn)生永久伸長，結(jié)果，加熱器線材52變形而產(chǎn)生間隔比配置線材時的間隔變窄的位置。在此情況下，加熱器線材52例如在每1次熱處理(IRUN) 伸長約0. 00085%的長度。這樣的加熱器線材52的間隔比配置時(制造時)的間隔變窄的位置在定期地、或者不定期地進行維護作業(yè)時等被操作者通過目視發(fā)現(xiàn)。圖5表示產(chǎn)生了間隔因加熱器線材變形而變窄的位置的加熱器裝置的剖視圖、圖6是表示在加熱器線材的間隔變窄的位置配置了線材接觸防止構(gòu)件的例子的放大剖視圖。在圖6中，由于一部分的加熱器線材52如箭頭71所示那樣變形，因此在此處產(chǎn)生了加熱器線材52之間的間隔變窄的位置70。如上述那樣，如果在維護時發(fā)現(xiàn)間隔比配置加熱器線材52時的間隔變窄的位置70，則操作者將在圖4中說明的線材接觸防止構(gòu)件60設(shè)置在上述加熱器線材52彼此的間隔變窄的位置70。在進行該設(shè)置時，通過如圖6中的箭頭72所示那樣將由頂端64呈銳角狀的板狀構(gòu)件62構(gòu)成的線材接觸防止構(gòu)件60的上述頂端64刺入柔軟的絕熱層50而使該線材接觸防止構(gòu)件60介于上述間隔變窄的位置70處的加熱器線材52之間。在圖5中，通過在加熱器線材52的間隔變窄的所有位置70配置線材接觸防止構(gòu)件60而使線材接觸防止構(gòu)件60 介于加熱器線材52之間。這樣，因為使線材接觸防止構(gòu)件60介于加熱器線材彼此的間隙變窄的位置，所以能夠防止加熱器線材52彼此接觸。因而，也能夠阻止加熱器線材彼此熔接、斷線，從而能夠延長加熱器線材的壽命。這樣的維護作業(yè)例如在1年期間進行1次到數(shù)次。這樣，采用本發(fā)明，因為以與加熱器線材52的間隔由于上述加熱器線材52的變形而比配置上述加熱器線材52時的間隔變窄的位置70相對應(yīng)的方式在上述加熱器線材52 之間配置上述線材接觸防止構(gòu)件60，所以能夠防止加熱器線材52彼此接觸，也能夠阻止加熱器線材52彼此熔接、斷線。<線材接觸防止構(gòu)件的實際的安裝狀態(tài)>接著，參照圖7的A以及圖7的B對未配置上述那樣的線材接觸防止構(gòu)件60時的狀態(tài)以及實際上配置該線材接觸防止構(gòu)件60而進行安裝時的狀態(tài)進行說明。圖7的A是表示未將線材接觸防止構(gòu)件60配置在加熱器線材之間時的狀態(tài)的附圖代用照片。圖7的 B是表示將線材接觸防止構(gòu)件配置在加熱器線材之間而進行安裝時的狀態(tài)附圖代用照片。如圖7的A所示，即使由于加熱器裝置的反復(fù)使用而在加熱器線材上產(chǎn)生永久伸長、在加熱器線材上產(chǎn)生變形乃至彎曲而加熱器線材之間的間隔變窄也放任不管時，相鄰的加熱器線材彼此接觸，在此處產(chǎn)生電火花等，加熱器線材熔斷。而如圖7的B所示，在加熱器線材上產(chǎn)生變形乃至彎曲而加熱器線材之間的間隔變窄的情況下，在該位置設(shè)置絕緣性的本發(fā)明的線材接觸防止構(gòu)件時，對于此后的使用也能夠防止產(chǎn)生加熱器線材之間的接觸以及熔斷。維護實際的熱處理裝置的加熱器裝置時，在設(shè)置上述線材接觸防止構(gòu)件60而進行安裝時，雖然加熱器線材的通常的平均壽命為約22個月左右，但是在應(yīng)用了該線材接觸防止構(gòu)件60的情況下，能夠?qū)⒓訜崞骶€材的平均壽命延長到約42個月。另外，在上面說明的實施例中，線材接觸防止構(gòu)件60通過將其頂端刺入絕熱層50 而被支承，但不限于此，也可以使該線材接觸防止構(gòu)件60通過被夾持在間隔變窄的加熱器線材52之間而被支承。圖8的A是表示線材接觸防止構(gòu)件的變形實施例的圖。優(yōu)選如圖 8的A所示的線材接觸防止構(gòu)件60的變形實施例那樣，通過在板狀構(gòu)件62的兩端分別設(shè)置防脫突起76，從而構(gòu)成為該線材接觸防止構(gòu)件60不會從加熱器線材52上脫落。圖8的 B是表示將圖8的A所示的線材接觸防止構(gòu)件配置在加熱器線材的間隔變窄的位置的例子的放大剖視圖。另外，在上面說明的實施例中，以加熱器裝置48的加熱器線材52被卷繞成螺旋狀的情況為例進行了說明，但不限于此，加熱器線材52也可以是任何形狀的排列形狀。圖9 是表示加熱器線材52的排列形狀的變形實施例的圖。在此，加熱器線材52不是呈螺旋狀， 而是呈波形狀彎曲、或者反復(fù)U形轉(zhuǎn)彎地彎曲而折返的形狀。對于這樣的形狀的加熱器線材52也能夠應(yīng)用本發(fā)明的線材接觸防止構(gòu)件60。另外，在上面說明的實施例中，以熱處理裝置是由內(nèi)筒8與外筒6構(gòu)成的雙重管結(jié)構(gòu)的處理容器4為例進行了說明，但不限于此，也能夠?qū)⒈景l(fā)明應(yīng)用于單管結(jié)構(gòu)的處理容器4。另外，在上面說明的實施例中，以在熱處理裝置2中設(shè)置的加熱器裝置48為例進行了說明，但不限于此，也可以應(yīng)用于將需要加熱的被加熱體收容到容器內(nèi)、并在該容器的外周配置加熱器裝置48的例如干燥機、電爐等。在這樣的干燥機中，當(dāng)然能夠干燥例如被清洗了的半導(dǎo)體晶圓，也能夠干燥除此之外的石英零件等零部件。另外，在電爐中，能夠制造例如玻璃、陶器等。另外，在上述實施例中說明的加熱器線材52是以橫截面是圓形的情況為例進行了說明，但加熱器線材52的橫截面形狀沒有特別限定，也能夠?qū)⒈景l(fā)明應(yīng)用于例如橫截面形狀為矩形的板狀的加熱器線材。另外，作為上面說明的被加熱體主要是以由硅基板構(gòu)成的半導(dǎo)體晶圓為例進行了說明，但不限于此，在該半導(dǎo)體晶圓中包括硅基板、GaAs, SiC、GaN等化合物半導(dǎo)體基板，并且，不限于上述的基板，也能夠?qū)⒈景l(fā)明應(yīng)用于液晶顯示裝置所使用的玻璃基板、陶瓷基板寸。本發(fā)明基于在2010年8月10日提出的日本專利特愿2010-179592號。因此，主張該專利的優(yōu)先權(quán)。在此援引上述日本申請的全部內(nèi)容作為參照文獻。
權(quán)利要求
1.一種線材接觸防止構(gòu)件，具有絕緣性，其特征在于，該線材接觸防止構(gòu)件被設(shè)在加熱器裝置中，該加熱器裝置具有螺旋狀卷繞而配置在需要加熱的被加熱體的外周的加熱器線材，該線材接觸防止構(gòu)件以與上述加熱器線材的間隔由于上述加熱器線材的變形而比配置上述加熱器線材時的間隔變窄的位置相對應(yīng)的方式配置在上述加熱器線材之間。
2.一種線材接觸防止構(gòu)件，具有絕緣性，其特征在于，該線材接觸防止構(gòu)件被設(shè)在加熱器裝置中，該加熱器裝置具有呈波形狀彎曲或者反復(fù) U形轉(zhuǎn)彎地彎曲而配置在需要加熱的被加熱體的外周的加熱器線材，該線材接觸防止構(gòu)件以與上述加熱器線材的間隔由于上述加熱器線材的變形而比配置上述加熱器線材時的間隔變窄的位置相對應(yīng)的方式配置在上述加熱器線材之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線材接觸防止構(gòu)件，其特征在于，上述線材接觸防止構(gòu)件由陶瓷材料構(gòu)成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線材接觸防止構(gòu)件，其特征在于，在上述加熱器線材的外周側(cè)設(shè)有絕熱層。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線材接觸防止構(gòu)件，其特征在于，上述線材接觸防止構(gòu)件通過被夾持在上述加熱器線材之間而被支承。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線材接觸防止構(gòu)件，其特征在于，上述線材接觸防止構(gòu)件通過將其頂端刺入上述絕熱層而被支承。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線材接觸防止構(gòu)件，其特征在于，上述加熱器裝置被配置在收容有上述被加熱體的立式的處理容器的外周。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線材接觸防止構(gòu)件，其特征在于，上述加熱器裝置被配置在收容有上述被加熱體的容器的外周。
9.一種加熱器裝置的維護方法，該加熱器裝置具有螺旋狀卷繞而配置在需要加熱的被加熱體的外周的加熱器線材，其特征在于，該加熱器裝置的維護方法包括發(fā)現(xiàn)上述加熱器線材的間隔由于上述加熱器線材的變形而比配置上述加熱器線材時的間隔變窄的位置的工序、與上述間隔變窄的位置相對應(yīng)地在上述加熱器線材之間設(shè)置權(quán)利要求1所述的線材接觸防止構(gòu)件的工序。
10.一種加熱器裝置的維護方法，該加熱器裝置具有呈波形狀彎曲或者反復(fù)U形轉(zhuǎn)彎地彎曲而配置在需要加熱的被加熱體的外周的加熱器線材，其特征在于，該加熱器裝置的維護方法包括發(fā)現(xiàn)上述加熱器線材的間隔由于上述加熱器線材的變形而比配置上述加熱器線材時的間隔變窄的位置的工序、與上述間隔變窄的位置相對應(yīng)地在上述加熱器線材之間設(shè)置權(quán)利要求1所記載的線材接觸防止構(gòu)件的工序。
全文摘要
本發(fā)明提供一種線材接觸防止構(gòu)件和加熱器裝置的維護方法。該線材接觸防止構(gòu)件具有絕緣性，其特征在于，該線材接觸防止構(gòu)件被設(shè)在加熱器裝置(48)中，該加熱器裝置(48)具有螺旋狀卷繞而配置在需要加熱的被加熱體(W)的外周的加熱器線材(52)，該線材接觸防止構(gòu)件以與上述加熱器線材的間隔由于上述加熱器線材的變形而比配置上述加熱器線材時的間隔變窄的位置(70)相對應(yīng)的方式配置在上述加熱器線材之間。由此，防止設(shè)在加熱器裝置(48)中的加熱器線材彼此接觸，從而阻止加熱器線材產(chǎn)生熔斷等。
文檔編號H05B3/06GK102378415SQ20111022874
公開日2012年3月14日 申請日期2011年8月10日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月10日
發(fā)明者大竹進矢 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社