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氮化硅收集平臺的制作方法

文檔序號:8147533閱讀:166來源:國知局
專利名稱:氮化硅收集平臺的制作方法
技術領域
本實用新型涉及多晶硅生產(chǎn)設備領域,尤其是涉及多晶硅生產(chǎn)中氮化硅的收集平 臺。
技術背景現(xiàn)有多晶硅生產(chǎn)工藝中,裝料進爐時,放置多晶硅原料使用的是石英坩堝,石英坩 堝需要進行氮化硅的噴涂,在噴涂時,是用噴槍將氮化硅均勻地噴涂在堝體上。由于噴涂過 程難免會有顆粒降落在目標以外,氮化硅原料是很貴重的,目前的市場價為1800元/公斤 左右,因此,多晶硅生產(chǎn)廠家均會對顆粒進行回收利用,而目前尚未見到專用的收集器。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種氮化硅收集平臺,它可方便地回收氮化硅,同時保 證回收氮化硅的潔凈度符合回收利用標準。為實現(xiàn)上述目的,本實用新型采用如下技術方案氮化硅收集平臺,其特征在于 盒體分為底面和盒壁,上面為一隔網(wǎng),前面為一活動門,活動門的上部由活頁連接。本實用新型還可通過以下方案進一步實現(xiàn)收集臺后中部設有凹空,從而收集臺整體形成“U”字形。本實用新型具有以下有益效果可方便地回收氮化硅,同時保證回收氮化硅的潔 凈度符合回收利用標準。

圖1為本實用新型結構結構示意圖。圖中1為活動門,2為活頁,3為盒體,4為隔網(wǎng),5為凹空。
具體實施方式
為了使本技術領域的人員更好地理解本實用新型方案,并使本實用新型的上述目 的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂,
以下結合附圖和實施例對本實用新型作進一步詳細的 說明。如圖1所示,氮化硅收集臺,盒體3分為底面和盒壁,上面為一隔網(wǎng)4,前面為一活 動門1,活動門1的上部由活頁2連接,將本實用新型放置于噴涂操作平臺下部,為配合操作 平臺底座,收集臺后中部設有凹空5,從而收集臺整體形成“U”字形。使用時,將本實用新型放置于操作平臺下部,進行噴涂作業(yè)。噴涂過程中,氮化硅 的顆粒就會降落至收集臺內(nèi),當收集足夠多的氮化硅,需要倒出時,掀起收集臺的后部,此 時,活動門自動打開,從而將收集臺內(nèi)的氮化硅倒出。以上所述,僅為本實用新型的具體實施方式
,但本實用新型的保護范圍并不局限 于此,任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內(nèi),可輕易想到的變化或替換,都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。因此,本實用新型的保護范圍應該以權 利要求所界定的保護范圍為準。
權利要求氮化硅收集平臺,其特征在于盒體分為底面和盒壁,上面為一隔網(wǎng),前面為一活動門,活動門的上部由活頁連接。
2.根據(jù)權利要求1所述的氮化硅收集平臺,其特征在于收集臺后中部設有凹空,從而 收集臺整體形成“U”字形。
專利摘要氮化硅收集平臺,涉及多晶硅生產(chǎn)設備領域,尤其是涉及多晶硅生產(chǎn)中氮化硅的收集臺,其特征在于盒體分為底面和盒壁,上面為一隔網(wǎng),前面為一活動門,活動門的上部由活頁連接。本實用新型還可通過以下方案進一步實現(xiàn)收集臺后中部設有凹空,從而收集臺整體形成“U”字形。本實用新型具有以下有益效果可方便地回收氮化硅,同時保證回收氮化硅的潔凈度符合回收利用標準。
文檔編號C30B29/06GK201660717SQ20102017121
公開日2010年12月1日 申請日期2010年4月27日 優(yōu)先權日2010年4月27日
發(fā)明者俞永偉, 劉茂華, 孫嘉, 孫志剛 申請人:安陽市鳳凰光伏科技有限公司
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