專(zhuān)利名稱：一種可減小軟軸提拉型單晶爐軟軸擺動(dòng)的沖擊減振器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于單晶材料制造裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種可減小軟軸提拉型單 晶爐軟軸擺動(dòng)的沖擊減振器。
背景技術(shù)：
軟軸提拉型單晶爐采用直拉法制造單晶，它是由軟軸帶動(dòng)籽晶邊旋轉(zhuǎn)邊上升來(lái)生 長(zhǎng)單晶。實(shí)際設(shè)備中由于各零件的制造、裝配等誤差使得懸垂軟軸上端與其旋轉(zhuǎn)中心存在 對(duì)中偏差，在工作中軟軸一單晶系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)使得軟軸一單晶類(lèi)似圓錐擺一樣擺動(dòng)，影 響了單晶的生長(zhǎng)質(zhì)量。另外軟軸一單晶系統(tǒng)的基頻(最小固有頻率)較低，且正好在籽晶旋 轉(zhuǎn)工作轉(zhuǎn)速范圍內(nèi)，當(dāng)籽晶旋轉(zhuǎn)角速度接近軟軸一單晶系統(tǒng)的基頻時(shí)，軟軸一單晶系統(tǒng)擺 動(dòng)量明顯增加，使得設(shè)備在接近這一轉(zhuǎn)速時(shí)無(wú)法生產(chǎn)出合格的單晶，只能避開(kāi)這段工作轉(zhuǎn) 速來(lái)生產(chǎn)單晶，從而限制了單晶爐的轉(zhuǎn)速范圍，影響了其生產(chǎn)效率。因此，尋找一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且科學(xué)合理的解決辦法來(lái)減小軟軸提拉系統(tǒng)的擺動(dòng)量， 以提高單晶生長(zhǎng)質(zhì)量和生產(chǎn)效率，一直是單晶爐設(shè)備生產(chǎn)廠家亟需解決的問(wèn)題。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種可減小軟軸提拉型單晶爐軟軸擺動(dòng)的沖擊減振器， 解決了現(xiàn)有的單晶爐設(shè)備中軟軸一單晶系統(tǒng)擺動(dòng)量明顯，對(duì)生產(chǎn)效率造成影響的問(wèn)題。本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是，一種可減小軟軸提拉型單晶爐軟軸擺動(dòng)的沖擊 減振器，包括籽晶夾頭，籽晶夾頭上開(kāi)有空腔，空腔內(nèi)設(shè)置有由鋼球及調(diào)整螺釘構(gòu)成的減振 機(jī)構(gòu)，調(diào)整螺釘對(duì)應(yīng)設(shè)置在籽晶夾頭的兩側(cè)，調(diào)整螺釘之間在空腔內(nèi)設(shè)置有可活動(dòng)的鋼球。其中的籽晶夾頭長(zhǎng)度方向上設(shè)置有至少兩組減振機(jī)構(gòu)。其中的調(diào)整螺釘頭部表面每隔60度開(kāi)有孔，孔內(nèi)穿入鋼絲將調(diào)整螺釘固定在籽 晶夾頭上。本實(shí)用新型的有益效果是，不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、裝配及拆卸方便，而且可通過(guò)振動(dòng)分 析、力學(xué)建模計(jì)算或?qū)嶒?yàn)來(lái)合理調(diào)節(jié)鋼球的運(yùn)動(dòng)行程，使得在單晶生長(zhǎng)中當(dāng)籽晶夾頭擺動(dòng) 時(shí)，鋼球的往復(fù)碰撞消耗系統(tǒng)擺動(dòng)能量，起到?jīng)_擊減振的作用，使軟軸一單晶系統(tǒng)的擺動(dòng)量 達(dá)到最小。

圖1是本實(shí)用新型沖擊減振器一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型沖擊減振器一種實(shí)施例的剖視圖。圖中，1.籽晶夾頭，2.鋼球，3.調(diào)整螺釘，4.鋼絲。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。[0013]本實(shí)用新型可減小軟軸提拉型單晶爐軟軸擺動(dòng)的沖擊減振器一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)， 如圖1及圖2所示，包括籽晶夾頭1，籽晶夾頭1上開(kāi)有空腔，空腔內(nèi)設(shè)置有由鋼球2及調(diào)整 螺釘3構(gòu)成的減振機(jī)構(gòu)，減振機(jī)構(gòu)可以設(shè)置有多組，本實(shí)施例設(shè)置為2組，調(diào)整螺釘3對(duì)應(yīng) 設(shè)置在籽晶夾頭1的兩側(cè)，對(duì)應(yīng)兩個(gè)調(diào)整螺釘3之間在空腔內(nèi)設(shè)置有可活動(dòng)的鋼球2。調(diào)整 螺釘3頭部表面每隔60度開(kāi)有孔，孔內(nèi)穿入鋼絲4將調(diào)整螺釘3固定在籽晶夾頭1上。本實(shí)用新型的工作過(guò)程為當(dāng)籽晶夾頭1發(fā)生擺動(dòng)時(shí)，鋼球2產(chǎn)生往復(fù)碰撞以消耗 系統(tǒng)能量，從而減小了軟軸型單晶爐軟軸擺動(dòng)量，對(duì)稱調(diào)節(jié)調(diào)整螺釘3可以控制鋼球2運(yùn)動(dòng) 的行程，鋼絲4防止調(diào)整螺釘3轉(zhuǎn)動(dòng)。
權(quán)利要求一種可減小軟軸提拉型單晶爐軟軸擺動(dòng)的沖擊減振器，其特征在于，包括籽晶夾頭(1)，籽晶夾頭(1)上開(kāi)有空腔，空腔內(nèi)設(shè)置有由鋼球(2)及調(diào)整螺釘(3)構(gòu)成的減振機(jī)構(gòu)，所述的調(diào)整螺釘(3)對(duì)應(yīng)設(shè)置在籽晶夾頭(1)的兩側(cè)，調(diào)整螺釘(3)之間在空腔內(nèi)設(shè)置有可活動(dòng)的鋼球(2)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可減小軟軸提拉型單晶爐軟軸擺動(dòng)的沖擊減振器，其特征在 于，所述的籽晶夾頭(1)長(zhǎng)度方向上設(shè)置有至少兩組減振機(jī)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的可減小軟軸提拉型單晶爐軟軸擺動(dòng)的沖擊減振器，其特 征在于，所述的調(diào)整螺釘(3)頭部表面每隔60度開(kāi)有孔，孔內(nèi)穿入鋼絲(4)將調(diào)整螺釘(3) 固定在籽晶夾頭(1)上。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)的一種可減小軟軸提拉型單晶爐軟軸擺動(dòng)的沖擊減振器，包括籽晶夾頭，籽晶夾頭上開(kāi)有空腔，空腔內(nèi)設(shè)置有由鋼球及調(diào)整螺釘構(gòu)成的減振機(jī)構(gòu)，調(diào)整螺釘對(duì)應(yīng)設(shè)置在籽晶夾頭的兩側(cè)，調(diào)整螺釘之間在空腔內(nèi)設(shè)置有可活動(dòng)的鋼球。本實(shí)用新型可減小軟軸提拉型單晶爐軟軸擺動(dòng)的沖擊減振器，不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、裝配及拆卸方便，而且可通過(guò)振動(dòng)分析、力學(xué)建模計(jì)算或?qū)嶒?yàn)來(lái)合理調(diào)節(jié)鋼球的運(yùn)動(dòng)行程，使得在單晶生長(zhǎng)中當(dāng)籽晶夾頭擺動(dòng)時(shí)，鋼球的往復(fù)碰撞消耗系統(tǒng)擺動(dòng)能量，起到?jīng)_擊減振的作用，使軟軸—單晶系統(tǒng)的擺動(dòng)量達(dá)到最小。
文檔編號(hào)C30B15/32GK201713602SQ20102014942
公開(kāi)日2011年1月19日 申請(qǐng)日期2010年4月2日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月2日
發(fā)明者世家偉, 劉宏昭, 原大寧 申請(qǐng)人:西安理工大學(xué)