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一種可減小軟軸提拉型單晶爐軟軸擺動(dòng)的沖擊減振器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8146892

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技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型屬于單晶材料制造裝置技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種可減小軟軸提拉型單 晶爐軟軸擺動(dòng)的沖擊減振器。背景技術(shù)軟軸提拉型單晶爐采用直拉法制造單晶,它是由軟軸帶動(dòng)籽晶邊旋轉(zhuǎn)邊上升來生 長單晶。實(shí)際設(shè)備中由于各零件的制造、裝配等誤差使得懸垂軟軸上端與其旋轉(zhuǎn)中心存在 對(duì)中偏差,在工作中軟軸一單晶系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)使得軟軸一單晶類似圓錐擺一樣擺動(dòng),影 響了單晶的生長質(zhì)量。另外軟軸一單晶系統(tǒng)的基頻(最小固有頻率)較低,且正好在籽晶旋 轉(zhuǎn)工作轉(zhuǎn)速范圍內(nèi),當(dāng)籽晶旋轉(zhuǎn)角速度接近軟軸一單晶系統(tǒng)的基頻時(shí),軟軸一單晶系統(tǒng)擺 動(dòng)量明顯增加...
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