專利名稱：一種新型籽晶夾頭的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬半導(dǎo)體材料制備設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種新型籽晶 夾頭。
背景技術(shù)：
鍺是元素半導(dǎo)體，具有高折射率、低色散、易加工、良好的機械
強度等優(yōu)點，因而廣泛應(yīng)用于紅外光學(xué)材料領(lǐng)域。在最近10年時間，
航天技術(shù)化的飛速發(fā)展，對空間太陽電池提出了更高的要求。和傳統(tǒng) 的硅太陽電池相比，砷化鎵太陽電池具有高轉(zhuǎn)換效率、耐輻射、溫度 特型號和壽命長等優(yōu)點，為提高轉(zhuǎn)換效率，滿足空間使用要求，對襯 底鍺片提出更高要求，要求大尺寸，低位錯密度。高摻雜，高機械強 度等。因而，鍺材料在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用在逐漸擴大。
在鍺單晶和鍺多晶生長需要用籽晶，現(xiàn)用的籽晶固定位置為圓錐 形，籽晶加工上，通過切割及定位磨削，制作籽晶，加工的時候損耗 較大。使用的圓錐形籽晶在加工時會由于滾磨造成晶向偏差，故在生 長單晶后晶向偏差較大。使用的籽晶是圓錐形的，放入夾頭中會產(chǎn)生 晃動，在生長定向單晶時不好控制。因此需要一種新型籽晶夾頭，使 用便于定向、切割和加工的籽晶，以便能夠生產(chǎn)大尺寸，低位錯密度、 高摻雜，高機械強度的鍺單晶和鍺多晶。
實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的為了解決背景技術(shù)中使用圓錐形籽晶的問題， 提供一種新型籽晶夾頭，其特征在于，籽晶夾頭由夾頭座1和夾頭嘴
2組成，夾頭座l為圓柱體，上下分別有上和下連接孔，夾頭嘴2的 上部為圓柱體，和夾頭座1的下連接孔螺紋連接，下部為圓錐體，夾 頭嘴2由左右對稱的兩個半圓塊組成，每個夾頭嘴半圓塊的圓錐體一 端中心有一個長方形卡槽，長方形卡槽底面中部有一個凸臺，夾頭嘴 2的兩個半圓塊合在一起其長方形卡槽組成正方形工字型卡槽4，籽 晶3為正方形截面的長方體，上端兩個相對側(cè)面上的凹面構(gòu)成工字型 頭5，籽晶3通過工字型頭5和夾頭嘴的正方形工字型卡槽4安裝在 夾頭嘴2上，再通過夾頭座1的上連接孔和晶體生長機重錘螺紋連接， 把籽晶夾頭和籽晶安裝在晶體生長機上。
所述夾頭嘴半圓塊上的長方形卡槽底面凸臺，其上側(cè)面為與凸臺 平面成45。夾角的斜面。
所述籽晶3上端工字型頭5的凹面上部為45。角斜面，工字型頭 5的橫截面和長度與夾頭嘴的正方形工字型卡槽4的橫截面和深度相 同。
本實用新型的特點在于采用方形籽晶，其有益效果為，在籽晶加 工上，切割后不用滾磨，比圓錐形籽晶加工簡單、省料，而且便于更 換；籽晶上端工字型頭的凹面上部為45。角斜面，減小了籽晶折角處 的受力，采用卡槽的方式使得籽晶的定位變得準(zhǔn)確而易于操作；對于空間太陽電池用低位錯鍺單晶，需要定向單晶晶向，現(xiàn)有技術(shù)中圓錐 形籽晶在加工時會由于滾磨造成晶向偏差，故在單晶生長后晶向偏差 較大。而本實用新型的籽晶是方形，不需要滾磨工序，用切割工序保 證精確的晶向，能夠保證晶體生長后的單晶晶向。


圖l為籽晶夾頭裝配示意圖2為夾頭嘴示意圖3為籽晶示意圖中，l為夾頭座，2為夾頭嘴，3為籽晶，4為正方形工字型卡 槽，5為工字型頭。
具體實施方式
如圖1所示，籽晶夾頭由夾頭座1和夾頭嘴2組成，夾頭座1為 圓柱體，上下分別有上和下連接孔，夾頭嘴2的上部為圓柱體，和夾 頭座1的下連接孔螺紋連接，下部為圓錐體。如圖2所示，夾頭嘴2 由左右對稱的兩個半圓塊組成，每個夾頭嘴半圓塊的圓錐體一端中心 有一個長方形卡槽，長方形卡槽底面中部有一個凸臺，夾頭嘴2的兩 個半圓塊合在一起其長方形卡槽組成正方形工字型卡槽4，如圖3所 示，籽晶3為正方形截面的長方體，上端兩個相對側(cè)面上的凹面構(gòu)成 工字型頭5，籽晶3通過工字型頭5和夾頭嘴的正方形工字型卡槽4 安裝在夾頭嘴2上，再通過夾頭座1的上連接孔和晶體生長機重錘螺 紋連接，把籽晶夾頭和籽晶安裝在晶體生長機上。安裝時，將籽晶3的上端工字型頭5放入夾頭嘴2的一個半圓塊 的長方形卡槽內(nèi)，在把另一個半圓塊合上，將夾頭嘴2用螺紋連接裝 入夾頭座1的下連接孔內(nèi)，再把夾頭座1的上連接孔用螺紋連接到上 方的晶體生長機的重錘，完成籽晶的安裝。
本實用新型用于生長鍺單晶和鍺多晶。
權(quán)利要求1.一種新型籽晶夾頭，其特征在于所述籽晶夾頭中夾頭座(1)為圓柱體，上下分別有上和下連接孔，夾頭嘴(2)的上部為圓柱體，和夾頭座(1)的下連接孔螺紋連接，下部為圓錐體，夾頭嘴(2)由左右對稱的兩個半圓塊組成，每個夾頭嘴半圓塊的圓錐體一端中心有一個長方形卡槽，長方形卡槽底面中部有一個凸臺，夾頭嘴(2)的兩個半圓塊合在一起其長方形卡槽組成正方形工字型卡槽(4)，籽晶(3)為正方形截面的長方體，上端兩個相對側(cè)面上的凹面構(gòu)成工字型頭(5)，籽晶(3)通過工字型頭(5)和夾頭嘴的正方形工字型卡槽(4)安裝在夾頭嘴(2)上，再通過夾頭座(1)的上連接孔和晶體生長機重錘螺紋連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型籽晶夾頭，其特征在于，所述夾頭嘴半圓塊上的長方形卡槽底面凸臺，其上側(cè)面為與凸臺平面成45。夾角的斜面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型籽晶夾頭，其特征在于，所述籽晶(3)上端工字型頭(5)的凹面上部為45。角斜面，工字型頭(5)的橫截面和長度與夾頭嘴的正方形工字型卡槽(4)的橫截面和深度相同。
專利摘要本實用新型屬半導(dǎo)體材料制備設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種新型籽晶夾頭。籽晶夾頭由夾頭座和夾頭嘴組成，夾頭嘴的上部和夾頭座的下連接孔螺紋連接，夾頭嘴由左右對稱的兩個半圓塊組成，每個半圓塊的圓錐體一端中心有一個長方形卡槽，夾頭嘴的兩個半圓塊合在一起其長方形卡槽組成方形工字型卡槽，籽晶為正方形截面的長方體，上端部有工字型頭，籽晶通過工字型頭和夾頭嘴的方形工字型卡槽安裝在夾頭嘴上，再通過夾頭座的上連接孔和晶體生長機重錘螺紋連接，把籽晶夾頭和籽晶安裝在晶體生長機上。本實用新型的籽晶是方形，不需要滾磨工序，切割可以保證精確的晶向，用于生長鍺單晶和鍺多晶，能夠保證晶體生長后的晶向。
文檔編號C30B15/32GK201301358SQ20082012396
公開日2009年9月2日 申請日期2008年11月28日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月28日
發(fā)明者馮德伸, 楠 李, 閔振東 申請人:北京有色金屬研究總院;北京國晶輝紅外光學(xué)科技有限公司