專利名稱：連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種真空燒結(jié)裝置，特別是一種場發(fā)射顯示器(FieldEmission Display；FED)可連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置。
背景技術(shù)：
平面顯示器(FPD)種類包括場發(fā)射顯示器(FPD)、液晶顯示器(TFT-LCD)、等離子體顯示器(PDP)、有機(jī)發(fā)光二極管顯示器(OELD)、液晶投影式顯示器等等，輕、薄是這些平面顯示器的共同特點(diǎn)，依照各平面顯示器的不同特質(zhì)，有些可應(yīng)用于小尺寸如手機(jī)面板；有些則可應(yīng)用于中、大型尺寸如計(jì)算機(jī)屏幕、電視屏幕；或應(yīng)用于超大型尺寸如室外數(shù)字式看板。各種平面顯示器技術(shù)發(fā)展，均是希望朝向兼具高畫質(zhì)、大畫面、并提高使用壽命等特性。
其中所謂的場發(fā)射顯示器是近年來新興的平面顯示器之一，其原因在其具有自發(fā)光的效果，除較LCD能有更佳的亮度表現(xiàn)外，加上更寬廣的視角，能源消耗低，反應(yīng)速度快，操作溫度較廣等特性，且所得影像畫質(zhì)類似于傳統(tǒng)的陰極射線管(CRT)，而其體積卻遠(yuǎn)較陰極射線管(CRT)輕、薄，再加上將近年所開發(fā)的碳納米管，應(yīng)用于其中，勢必促進(jìn)其發(fā)展。
一般的場發(fā)射顯示器，由于制作精密、并需要真空密閉的燒結(jié)系統(tǒng)以制作陰極電子發(fā)射源層；所以，場發(fā)射顯示器的燒結(jié)系統(tǒng)均為獨(dú)立封閉。由于該燒結(jié)條件需求精密，為求控制精準(zhǔn)，通常一個(gè)燒結(jié)系統(tǒng)里只能生產(chǎn)單個(gè)場發(fā)射顯示器；但目前場發(fā)射顯示器的燒結(jié)生產(chǎn)仍然將個(gè)別燒結(jié)系統(tǒng)視為不同的機(jī)臺，此生產(chǎn)方式較適合產(chǎn)品的試驗(yàn)階段，因此，尚未有一套有效控制其生產(chǎn)狀態(tài)及適合量產(chǎn)的方式。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的主要目的，在于提供一種連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置，通過每一真空燒結(jié)系統(tǒng)在輸送單元上具有不同程度的燒結(jié)狀態(tài)，以便監(jiān)控產(chǎn)品的燒結(jié)進(jìn)度與產(chǎn)量。
為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供一種連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置，其包括輸送單元、及利用該輸送單元傳送的多個(gè)真空燒結(jié)系統(tǒng)。其中，每一真空燒結(jié)系統(tǒng)包括燒結(jié)爐、及電連接至該燒結(jié)爐的真空控制單元與溫度控制單元。這些真空燒結(jié)系統(tǒng)分別對應(yīng)多個(gè)狀態(tài)控制階段；每一階段間隔一預(yù)定時(shí)間；每一真空燒結(jié)系統(tǒng)各自獨(dú)立，且每一真空燒結(jié)系統(tǒng)的壓力與溫度狀態(tài)均不互相影響。
根據(jù)上述構(gòu)想，其中該真空控制單元包括擴(kuò)散泵、油泵及破真空開關(guān)。
根據(jù)上述構(gòu)想，其中上述多個(gè)真空燒結(jié)系統(tǒng)至少為七個(gè)。
根據(jù)上述構(gòu)想，其中該裝置進(jìn)一步包括對應(yīng)上述多個(gè)真空燒結(jié)系統(tǒng)的多個(gè)監(jiān)控模塊。
根據(jù)上述構(gòu)想，其中上述多個(gè)監(jiān)控模塊以遙控方式聯(lián)系上述多個(gè)真空燒結(jié)系統(tǒng)及該輸送單元。
根據(jù)上述構(gòu)想，其中上述多個(gè)監(jiān)控模塊可電連接以及機(jī)械連接于上述多個(gè)真空燒結(jié)系統(tǒng)及該輸送單元之間。
根據(jù)上述構(gòu)想，該裝置進(jìn)一步包括緊急斷電回路，當(dāng)該監(jiān)控模塊探測到異常狀態(tài)時(shí)，該緊急斷電回路即自動斷電。
根據(jù)上述構(gòu)想，該裝置進(jìn)一步包括不斷電系統(tǒng)，當(dāng)外接電源臨時(shí)無法供電，該不斷電系統(tǒng)即自動激活。
根據(jù)上述構(gòu)想，每一真空燒結(jié)系統(tǒng)包括裝設(shè)有該真空控制單元與該溫度控制單元的臺車，該燒結(jié)爐設(shè)置于該臺車之上。
根據(jù)上述構(gòu)想，每一真空燒結(jié)系統(tǒng)包括封閉該燒結(jié)爐的玻璃蓋板。
由此，上述量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置通過每一真空燒結(jié)系統(tǒng)在輸送單元上具有不同程度的燒結(jié)狀態(tài)，監(jiān)控產(chǎn)品的燒結(jié)進(jìn)度與產(chǎn)量。


圖1為本實(shí)用新型連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置的示意圖；圖2為本實(shí)用新型連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置的壓力狀態(tài)圖；及圖3為本實(shí)用新型連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置的溫度狀態(tài)圖。
其中，附圖標(biāo)記說明如下10 輸送單元 20 真空燒結(jié)系統(tǒng)21 燒結(jié)爐 22 真空控制單元221擴(kuò)散泵 222油泵223破真空開關(guān) 23 溫度控制單元24 臺車 25 玻璃蓋板具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型提供一種連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置，其包括輸送單元10、及利用該輸送單元10傳送的多個(gè)真空燒結(jié)系統(tǒng)20。其中，每一真空燒結(jié)系統(tǒng)20包括燒結(jié)爐21、及電連接至該燒結(jié)爐21的真空控制單元22與溫度控制單元23。上述多個(gè)真空燒結(jié)系統(tǒng)20分別對應(yīng)多個(gè)狀態(tài)控制階段，且每一真空燒結(jié)系統(tǒng)20均具有上述多個(gè)狀態(tài)控制階段，利用每一真空燒結(jié)系統(tǒng)20在該輸送單元10上不同定點(diǎn)所展現(xiàn)的不同程度的燒結(jié)狀態(tài)，以便有效監(jiān)控產(chǎn)品的燒結(jié)進(jìn)度與產(chǎn)量。其中，每一階段間隔一預(yù)定時(shí)間，該預(yù)定時(shí)間可為約60秒；每一真空燒結(jié)系統(tǒng)20各自獨(dú)立，且每一真空燒結(jié)系統(tǒng)20的壓力與溫度狀態(tài)均不互相影響。
該輸送單元10上至少具有七個(gè)真空燒結(jié)系統(tǒng)20，且此七個(gè)真空燒結(jié)系統(tǒng)20呈一壓力與溫度狀態(tài)的循環(huán)。每一真空燒結(jié)系統(tǒng)20的該真空控制單元22包括擴(kuò)散泵(Diffusion Pump)221、油泵(Oil Pump)222及破真空開關(guān)223。上述多個(gè)真空燒結(jié)系統(tǒng)20依序具有以下狀態(tài)壓力狀態(tài)為常壓，且溫度狀態(tài)為常溫；壓力狀態(tài)通過油泵222由常壓泄壓至壓力約10-2托(Torr)，且其溫度狀態(tài)由常溫增溫至約350攝氏度；壓力狀態(tài)通過擴(kuò)散泵221由壓力約10-2托(Torr)泄壓至壓力約10-5托(Torr)，且其溫度狀態(tài)由約攝氏350度增溫至約380攝氏度；壓力狀態(tài)維持在壓力約10-5托(Torr)，且其溫度狀態(tài)由約350攝氏度減溫至約攝氏50度；壓力狀態(tài)通過擴(kuò)散泵221由壓力約10-5托(Torr)增壓至壓力約10-2托(Torr)，且其溫度狀態(tài)由約50攝氏度減溫至常溫；壓力狀態(tài)通過油泵222由壓力約10-2托(Torr)泄壓，并于壓力狀態(tài)接近常壓時(shí)激活破真空開關(guān)223，使壓力狀態(tài)呈常壓，且其溫度狀態(tài)維持在常溫。如此周而復(fù)始，將多個(gè)真空燒結(jié)系統(tǒng)20視為一個(gè)大系統(tǒng)，即連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置，是以，該連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置可掌控生產(chǎn)速度、產(chǎn)量、及方便現(xiàn)場控管，有利于生產(chǎn)效率的提高。
該連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置，每一真空燒結(jié)系統(tǒng)20包括裝設(shè)有該真空控制單元221與該溫度控制單元222的臺車24，該燒結(jié)爐21設(shè)置于該臺車24之上。
該連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置，每一真空燒結(jié)系統(tǒng)20包括設(shè)于該燒結(jié)爐21上的玻璃蓋板25，該玻璃蓋板25同時(shí)提供可透視檢驗(yàn)及密閉該燒結(jié)爐21的功能。
該連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置進(jìn)一步包括對應(yīng)上述多個(gè)真空燒結(jié)系統(tǒng)20的多個(gè)監(jiān)控模塊(未圖標(biāo))，用以監(jiān)控每一真空燒結(jié)系統(tǒng)20的狀態(tài)或輸送單元10是否順暢。上述多個(gè)監(jiān)控模塊以遙控方式聯(lián)系上述多個(gè)真空燒結(jié)系統(tǒng)20及該輸送單元10；或者，上述多個(gè)監(jiān)控模塊可電連接與機(jī)械連接于上述多個(gè)真空燒結(jié)系統(tǒng)20及該輸送單元10之間，其可以是上述多個(gè)監(jiān)控模塊設(shè)置在輸送單元10上或一對一設(shè)置在上述多個(gè)真空燒結(jié)系統(tǒng)20，且其相應(yīng)位置的上述多個(gè)真空燒結(jié)系統(tǒng)20或輸送單元10具有可連接的監(jiān)控結(jié)構(gòu)，使每一真空燒結(jié)系統(tǒng)20的狀態(tài)不穩(wěn)或異常、或輸送單元10運(yùn)送不順暢時(shí)可具有示警的功能。
該連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置進(jìn)一步包括緊急斷電回路(未圖標(biāo))，當(dāng)該監(jiān)控模塊探測到每一真空燒結(jié)系統(tǒng)20的狀態(tài)發(fā)生異常狀態(tài)、或輸送單元10運(yùn)送不順暢時(shí)，該緊急斷電回路即自動斷電，可令工作人員及時(shí)處置或維修。
該連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置，進(jìn)一步包括不斷電系統(tǒng)(未圖標(biāo))，當(dāng)外接電源臨時(shí)無法供電，該不斷電系統(tǒng)即自動激活，可避免臨時(shí)停電所造成的損失。
綜上所述，本實(shí)用新型確實(shí)可達(dá)到預(yù)期的目的與功效，但上述揭示的技術(shù)手段僅為本實(shí)用新型的一較佳實(shí)施例，任何依本實(shí)用新型的構(gòu)思、特征所進(jìn)行的修飾與變化，皆應(yīng)包含于本申請的權(quán)利要求范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置，其特征在于包括輸送單元；及利用該輸送單元傳送的多個(gè)真空燒結(jié)系統(tǒng)，每一真空燒結(jié)系統(tǒng)包括燒結(jié)爐、及電連接至該燒結(jié)爐的真空控制單元與溫度控制單元。
2.如權(quán)利要求1所述的連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置，其特征在于該真空控制單元包括擴(kuò)散泵、油泵及破真空開關(guān)。
3.如權(quán)利要求2所述的連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置，其特征在于上述多個(gè)真空燒結(jié)系統(tǒng)至少為七個(gè)。
4.如權(quán)利要求1所述的連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置，其特征在于該裝置進(jìn)一步包括對應(yīng)上述多個(gè)真空燒結(jié)系統(tǒng)的多個(gè)監(jiān)控模塊。
5.如權(quán)利要求4所述的連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置，其特征在于上述多個(gè)監(jiān)控模塊以遙控方式聯(lián)系上述多個(gè)真空燒結(jié)系統(tǒng)及該輸送單元。
6.如權(quán)利要求4所述的連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置，其特征在于上述多個(gè)監(jiān)控模塊電連接以及機(jī)械連接于上述多個(gè)真空燒結(jié)系統(tǒng)及該輸送單元之間。
7.如權(quán)利要求4所述的連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置，其特征在于該裝置進(jìn)一步包括緊急斷電回路。
8.如權(quán)利要求4所述的連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置，其特征在于該裝置進(jìn)一步包括不斷電系統(tǒng)。
9.如權(quán)利要求1所述的連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置，其特征在于每一真空燒結(jié)系統(tǒng)包括裝設(shè)有該真空控制單元與該溫度控制單元的臺車，該燒結(jié)爐設(shè)置于該臺車之上。
10.如權(quán)利要求9所述的連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置，其特征在于每一真空燒結(jié)系統(tǒng)包括封閉該燒結(jié)爐的玻璃蓋板。
專利摘要一種連續(xù)量產(chǎn)式真空燒結(jié)裝置，包括輸送單元、及利用該輸送單元傳送的多個(gè)真空燒結(jié)系統(tǒng)，每一真空燒結(jié)系統(tǒng)包括燒結(jié)爐、及電連接至該燒結(jié)爐的真空控制單元與溫度控制單元。其中，上述多個(gè)真空燒結(jié)系統(tǒng)分別對應(yīng)多個(gè)狀態(tài)控制階段；每一階段間隔一預(yù)定時(shí)間；每一真空燒結(jié)系統(tǒng)各自獨(dú)立，且每一真空燒結(jié)系統(tǒng)的壓力與溫度狀態(tài)均不互相影響。通過每一真空燒結(jié)系統(tǒng)在輸送單元上具有不同程度的燒結(jié)狀態(tài)，以便監(jiān)控產(chǎn)品的燒結(jié)進(jìn)度與產(chǎn)量。
文檔編號H05B33/04GK2705989SQ20042005117
公開日2005年6月22日 申請日期2004年5月20日 優(yōu)先權(quán)日2004年5月20日
發(fā)明者蕭俊彥, 李裕安, 蔡金龍, 鄭奎文 申請人:東元奈米應(yīng)材股份有限公司