一種射頻濾波器及半導(dǎo)體加工設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體設(shè)備制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種射頻濾波器及半導(dǎo)體加工設(shè) 備。
【背景技術(shù)】
[0002] 在半導(dǎo)體器件的制造過程中，通常采用靜電吸盤（Electrostatic化uck，W下簡 稱ESC)產(chǎn)生靜電引力來吸附位于其上的半導(dǎo)體晶片，W實現(xiàn)在作為基片的該半導(dǎo)體晶片表 面上進(jìn)行沉積、刻蝕等工藝過程。
[000引具體地，在ESC內(nèi)設(shè)置有下電極，且該下電極與直流電源DC電連接，直流電源DC用于向下電極提供一定的直流偏壓，W使ESC產(chǎn)生靜電引力吸附基片；并且，由于在基片的 表面上進(jìn)行沉積、刻蝕等工藝過程是在等離子體的環(huán)境中進(jìn)行的，因此借助射頻功率源RF 通過匹配器10與下電極電連接W激發(fā)形成等離子體。然而，由于直流電源DC和射頻功率 源RF均與下電極電連接，為了防止射頻功率源RF輸出的射頻信號回流至直流電源DC中對 其造成損壞，如圖1所示，通常在直流電源DC的輸出端串接射頻濾波器11，W對射頻功率源 RF回流至直流電源DC的射頻信號進(jìn)行濾波。
[0004] 目前，射頻濾波器11通常采用空氣芯電感和電容組成。并且，在實際應(yīng)用中，射 頻功率源RF往往不僅輸出高頻功率信號，而且還輸出低頻功率信號，W借助高頻功率信號 (例如，40MHz、60MHz)來產(chǎn)生等離子體，借助低頻功率信號(例如，20MHz)來控制等離子體入 射至基片表面的能量，因此，該射頻濾波器11需要同時對兩路或者多路頻率相差很大的射 頻信號進(jìn)行濾波，但由于空氣芯電感本身的特性，增大空氣芯電感的電感值可W對低頻的 射頻信號濾波，但會使得射頻濾波器的自諧振頻率降低，自諧振頻率降低使得該射頻濾波 器不能對高頻的射頻信號濾波；減小空氣芯電感的電感值可W使得射頻濾波器的自諧振頻 率增大，自諧振頻率增大使得該射頻濾波器可W對高頻的射頻信號濾波，但由于減小空氣 芯電感的電感值不能對低頻的射頻信號濾波。
[0005] 由上可知，采用空氣芯電感的射頻濾波器不能同時對兩路或者多路頻率相差很大 的射頻信號進(jìn)行濾波。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 本發(fā)明旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題，提供了一種射頻濾波器及半導(dǎo)體加 工設(shè)備，可W在對低頻的射頻信號濾波同時可W對高頻的射頻信號濾波，從而可W同時對 兩路或者多路頻率相差很大的射頻信號濾波，進(jìn)而可W提高射頻濾波器的適用性。
[0007]本發(fā)明提供一種射頻濾波器，用于對與靜電卡盤相連接的射頻功率源向與靜電卡 盤相連接的直流電源回流的射頻信號進(jìn)行濾波，包括電感元件和電容元件，所述電感元件 為磁芯電感。
[000引其中，所述磁芯電感包括磁芯環(huán)狀電感和磁芯柱狀電感。
[0009]其中，所述電感元件的數(shù)量為兩個或者多個時，每個所述磁芯電感為磁芯環(huán)狀電 感。
[0010] 其中，所述電感元件的數(shù)量為一個時，所述磁芯電感為磁芯環(huán)狀電感或磁芯柱狀 電感。
[0011] 其中，當(dāng)所述射頻功率源輸出單一低頻的射頻信號時，或者，當(dāng)所述射頻功率源輸 出兩路或者多路頻率相差不大的低頻信號時，所述電感元件為低頻磁芯電感。
[0012] 其中，當(dāng)所述射頻功率源輸出單一高頻的射頻信號時，或者，當(dāng)所述射頻功率源輸 出兩路或者多路頻率相差不大的高頻信號時，所述電感元件為高頻磁芯電感。
[0013] 其中，當(dāng)所述射頻功率源輸出兩路或者多路頻率相差較大的射頻信號時，所述電 感元件為高頻磁芯電感。
[0014] 其中，所述直流電源輸出一路正偏壓、一路負(fù)偏壓和一路基準(zhǔn)電壓，所述射頻濾波 器的數(shù)量為H個，且對應(yīng)設(shè)置在所述直流電源的每路的輸出端。
[0015] 其中，每個所述射頻濾波器中的所述電感元件為磁芯環(huán)狀電感。
[0016] 本發(fā)明還提供一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，包括靜電卡盤、射頻功率源、直流電源和射頻 濾波器，所述靜電卡盤分別與所述射頻功率源、所述直流電源電連接，所述射頻濾波器用于 對所述射頻功率源向所述直流電源回流的射頻信號進(jìn)行濾波，所述射頻濾波器采用本發(fā)明 提供的上述射頻濾波器。
[0017] 本發(fā)明具有下述有益效果：
[0018] 本發(fā)明提供的射頻濾波器，其電感元件為磁芯電感，用于對與靜電卡盤相連接的 射頻功率源向與靜電卡盤相連接的直流電源回流的射頻信號進(jìn)行濾波。由于磁芯電感本身 的特性，使得其與現(xiàn)有技術(shù)中的空氣芯電感在相同的電感值的情況下，具有磁芯電感的射 頻濾波器的自諧振頻率增大，因而可W在對低頻的射頻信號濾波同時可W對高頻的射頻信 號濾波，從而可W同時對兩路或者多路頻率相差很大的射頻信號濾波，進(jìn)而可W提高該射 頻濾波器的適用性。
[0019] 本發(fā)明提供的半導(dǎo)體加工設(shè)備，其采用本發(fā)明提供的射頻濾波器，可W同時對兩 路或者多路頻率相差很大的射頻信號濾波，從而可W提高半導(dǎo)體加工設(shè)備的穩(wěn)定性。
【附圖說明】
[0020] 圖1為具有射頻濾波器的ESC的連接示意圖；
[0021] 圖2為本發(fā)明實施例提供的射頻濾波器的一種濾波電路的電路圖；
[0022] 圖3為圖2所示的濾波電路中的電感元件的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023] 圖4為具有本發(fā)明實施例提供的射頻濾波器的ESC的連接示意圖擬及
[0024]圖5為采用本實施例提供的射頻濾波器對射頻信號衰減的曲線圖。
【具體實施方式】
[0025]為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明提 供的射頻濾波器及半導(dǎo)體加工設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0026] 圖2為本發(fā)明實施例提供的射頻濾波器的一種濾波電路的電路圖。圖3為圖2所 示的濾波電路中的電感元件的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為具有本發(fā)明實施例提供的射頻濾波器的 ESC的連接示意圖。請一并參閱圖2、圖3和圖4,本發(fā)明實施例提供的射頻濾波器30,用于 將對與靜電卡盤ESC相連接的射頻功率源RF向與靜電卡盤ESC相連接的直流電源DC回流 的射頻信號進(jìn)行濾波，包括電感元件L1和L2,還包括電容元件C1、C2和C3,每個電容元件 采用ATC電容；濾波電路的一端P連接與靜電卡盤ESC相連接的射頻功率源RF，另一端Q 與靜電卡盤ESC相連接的直流電源DC;電感元件L1和L2為磁芯電感20,磁芯電感20包括 磁芯21和電感線圈22,磁芯電感20不僅包括磁芯環(huán)狀電感和磁芯柱狀電感，而且還包括 其他結(jié)構(gòu)的磁芯電感20,其中，磁芯環(huán)狀電感如圖3所示，磁芯環(huán)狀電感的磁芯21為閉合 的環(huán)狀結(jié)構(gòu)，電感線圈22環(huán)繞該環(huán)狀磁芯21且沿該環(huán)狀磁芯21的周向纏繞；另外，磁芯柱 狀電感的磁芯21為柱形結(jié)構(gòu)，電感線圈22環(huán)繞設(shè)置在該磁芯21