本實(shí)用新型涉及低溫等離子體技術(shù)領(lǐng)域，具體的說(shuō)是一種低溫等離子體發(fā)生器。

背景技術(shù)：

低溫等離子體加工產(chǎn)業(yè)始于20世紀(jì)30年代。20世紀(jì)50年代，自由電子束技術(shù)被廣泛應(yīng)用于醫(yī)療器械，化妝品和醫(yī)藥產(chǎn)品的滅菌。自此，低溫等離子體技術(shù)在工業(yè)應(yīng)用中被廣泛推廣，如熱固性樹(shù)脂固化，半導(dǎo)體增強(qiáng)，和食品加工。一些關(guān)于低溫等離子體在環(huán)境領(lǐng)域的應(yīng)用，如空氣及水處理，特別是污水處理，理論上被證明是可行的，但是由于產(chǎn)生低溫等離子體的設(shè)備十分昂貴，使該應(yīng)用成本過(guò)高。此外，電子在與空氣的接觸過(guò)程中會(huì)失去一部分能量，所以多數(shù)電子束的操作需在真空中完成。

當(dāng)氣體中產(chǎn)生自由電子，氣體分子將離子化。這種離子化(通常大于1％被離子化)的氣體被稱為低溫等離子體。低溫等離子體在一個(gè)大氣壓及溫度為10-40℃的條件下，被認(rèn)為是冷等離子體。

當(dāng)電流穿過(guò)電介質(zhì)氣體或液體(一種不導(dǎo)電材料)時(shí)將會(huì)產(chǎn)生等離子體。電勢(shì)差和電場(chǎng)使電子流向正極(帶正電)，原子流向負(fù)極(帶負(fù)電)。隨著電壓的增加，電壓超過(guò)介質(zhì)(電極化)的極限負(fù)荷將擊穿介質(zhì)，產(chǎn)生電火花。這時(shí)介質(zhì)會(huì)從絕緣體變成導(dǎo)體(隨著電離化的加強(qiáng))。

最常見(jiàn)的產(chǎn)生低溫等離子體的方法叫做電暈放電。電暈放電是一種在接近大氣壓條件下產(chǎn)生的相對(duì)低能量的放電。導(dǎo)體邊緣的強(qiáng)電場(chǎng)可以產(chǎn)生電暈放電，比如，小半徑的曲率材料(如回形針)上的電極。直流電不能作為平行板電極。此類電暈放電取決于尖銳電極的極性，且可以據(jù)此區(qū)分正極或負(fù)極電暈。多點(diǎn)-板的電極構(gòu)造更加具有實(shí)用性，這種構(gòu)造中，單位體積產(chǎn)生的電荷密度比單點(diǎn)電極要高，加工復(fù)雜。

低溫等離子體是近年開(kāi)始開(kāi)發(fā)的，盡管一些文獻(xiàn)提到了幾種產(chǎn)生方法，但并沒(méi)有更加深入的了解它。目前它的用途主要限于少數(shù)低功率應(yīng)用，如等離子電視，復(fù)印機(jī)，和空氣凈化器。使用自由電子束及低溫等離子體最主要的缺點(diǎn) 是產(chǎn)品必須直接置于放電路徑中。此外，能量無(wú)法儲(chǔ)存也是一個(gè)限制方面。目前由于缺乏可靠，低成本，易操作的方法來(lái)產(chǎn)生低溫等離子體，故其尚未有大規(guī)模工業(yè)應(yīng)用。

在等離子體生產(chǎn)中，通常需要將外部的氣體導(dǎo)入到等離子體腔內(nèi)進(jìn)行處理。然而，直接將外部氣體通入到等離子體腔內(nèi)常常會(huì)引起氣體的不均勻分布，會(huì)出現(xiàn)氣體局部集中或者出現(xiàn)氣體死區(qū)(沒(méi)有氣體流入)等情況，嚴(yán)重影響了等離子體腔內(nèi)處理效果和反應(yīng)效率。從而影響等離子體的產(chǎn)生效率，造成資源上的浪費(fèi)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了彌補(bǔ)以上不足，本實(shí)用新型提供了一種低溫等離子體發(fā)生器，以解決上述背景技術(shù)中高成本，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，物品需放入放電路徑中，等離子體產(chǎn)生效率低，無(wú)法形成規(guī)模工業(yè)化，對(duì)氣體的供應(yīng)要求比較嚴(yán)格，需要有固定的氣源的問(wèn)題。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：

一種低溫等離子體發(fā)生器，包括機(jī)架和外部電源，所述機(jī)架內(nèi)包括空氣過(guò)濾裝置、干燥裝置、風(fēng)機(jī)和等離子箱，所述機(jī)架底部設(shè)有可鎖萬(wàn)向輪，所述空氣過(guò)濾裝置通過(guò)管道連通風(fēng)機(jī)，所述空氣過(guò)濾裝置和風(fēng)機(jī)之間設(shè)有干燥裝置，所述風(fēng)機(jī)通過(guò)絕緣管與所述等離子箱的進(jìn)風(fēng)口連通，所述等離子箱內(nèi)進(jìn)風(fēng)口處設(shè)有絕緣的半球狀分流器，所述半球狀分流器開(kāi)設(shè)有若干個(gè)分流孔，所述等離子箱內(nèi)設(shè)有至少兩個(gè)電級(jí)，相鄰的電極之間設(shè)有絕緣的隔離介質(zhì)，所述等離子箱的出氣口連接有柔性絕緣管，所述相鄰的兩個(gè)電極分別連接到所述外部電源的兩極。

作為一種優(yōu)選方案，所述電極為耐腐蝕材質(zhì)的電極，所述電極為片狀、棒狀、絲狀或者網(wǎng)狀其中的一種。

作為一種優(yōu)選的方案，所述機(jī)架側(cè)面開(kāi)設(shè)有維修門(mén)。

作為一種優(yōu)選的方案，所述干燥裝置為吸附式除濕箱，所述吸附式除濕箱底部開(kāi)設(shè)有抽拉門(mén)。

作為一種優(yōu)選的方案，所述柔性絕緣管遠(yuǎn)離所述等離子箱一端設(shè)有絕緣的軟管接頭。

作為一種優(yōu)選的方案，所述半球狀分流器為半球狀分流網(wǎng)。

作為一種優(yōu)選的方案，所述等離子箱為PVC材質(zhì)的等離子箱。

由于采用了上述技術(shù)方案，一種低溫等離子體發(fā)生器，包括機(jī)架和外部電源，所述機(jī)架內(nèi)包括空氣過(guò)濾裝置、干燥裝置、風(fēng)機(jī)和等離子箱，所述機(jī)架底部設(shè)有可鎖萬(wàn)向輪，所述空氣過(guò)濾裝置通過(guò)管道連通風(fēng)機(jī)，所述空氣過(guò)濾裝置和風(fēng)機(jī)之間設(shè)有干燥裝置，所述風(fēng)機(jī)通過(guò)絕緣管與所述等離子箱的進(jìn)風(fēng)口連通，所述等離子箱內(nèi)進(jìn)風(fēng)口處設(shè)有絕緣的半球狀分流器，所述半球狀分流器開(kāi)設(shè)有若干個(gè)分流孔，所述等離子箱內(nèi)設(shè)有至少兩個(gè)電級(jí)，相鄰的電極之間設(shè)有絕緣的隔離介質(zhì)，所述等離子箱出氣口連接有柔性絕緣管，所述相鄰的兩個(gè)電極分別連接到所述外部電源的兩極，該實(shí)用新型可以在任意環(huán)境下進(jìn)行工作，且不需要其他供氣裝置，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，價(jià)格低廉，移動(dòng)方便，等離子體可以用于離產(chǎn)生源較遠(yuǎn)的地方使用，可以在工業(yè)領(lǐng)域中廣泛應(yīng)用，從而使等離子體應(yīng)用更具有規(guī)模化，氣體能夠均勻快速進(jìn)入等離子箱內(nèi)，氣體會(huì)在電極與介質(zhì)形成的間隙中穿過(guò)，并接觸電極表面，產(chǎn)出等離子體，避免氣體的部分集中，或者出現(xiàn)無(wú)氣區(qū)，從而提高了等離子體的產(chǎn)生效率。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型半球狀分流器的結(jié)構(gòu)示意圖；

其中：1-機(jī)架；2-空氣過(guò)濾裝置；3-干燥裝置；4-風(fēng)機(jī)；5-等離子箱；6-柔性絕緣管；7-電極；8-隔離介質(zhì)；9-進(jìn)風(fēng)口；10-出氣口；11-絕緣管；12-半球狀分流器；13-外部電源；14-可鎖萬(wàn)向輪；15-分流孔。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例進(jìn)一步說(shuō)明本實(shí)用新型。

如圖1和圖2所示，一種低溫等離子體發(fā)生器，包括機(jī)架1和外部電源13，所述機(jī)架1內(nèi)包括空氣過(guò)濾裝置2、干燥裝置3、風(fēng)機(jī)4和等離子箱5，所述機(jī)架1底部設(shè)有可鎖萬(wàn)向輪14，所述空氣過(guò)濾裝置2通過(guò)管道連通風(fēng)機(jī)4，所述空氣過(guò)濾裝置1和風(fēng)機(jī)4之間設(shè)有干燥裝置3，直接使用環(huán)境中的空氣作為氣源， 省去了固定氣源連接步驟，簡(jiǎn)化了工作程序，提高了工作效率，同時(shí)經(jīng)過(guò)空氣過(guò)濾裝置2和干燥裝置3對(duì)空氣中含有的雜質(zhì)和潮濕度比較高的空氣進(jìn)行除雜和排濕，避免了空氣中含有的雜質(zhì)和水分腐蝕機(jī)器，造成機(jī)器的損壞，所述風(fēng)機(jī)4通過(guò)絕緣管11與所述等離子箱5的進(jìn)風(fēng)口9連通，所述等離子箱5內(nèi)進(jìn)風(fēng)口9處設(shè)有絕緣的半球狀分流器12，所述半球狀分流器12開(kāi)設(shè)有若干個(gè)分流孔15，所述風(fēng)機(jī)4進(jìn)來(lái)的空氣通過(guò)半球狀分流器12穿過(guò)分流孔15進(jìn)行多方向均勻分流，避免了氣體分布不均勻無(wú)法穿過(guò)電極7或者出現(xiàn)氣體死區(qū)現(xiàn)象，從而提高了等離子體生產(chǎn)效率，所述等離子箱5內(nèi)設(shè)有至少兩個(gè)電級(jí)7，相鄰的電極7之間設(shè)有絕緣的隔離介質(zhì)8，所述等離子箱5的出氣口10連接有柔性絕緣管6，所產(chǎn)生的等離子體經(jīng)過(guò)柔性絕緣管6輸送給消耗設(shè)備，達(dá)到遠(yuǎn)程輸送的目的，所述相鄰的兩個(gè)電極7分別連接到所述外部電源13的兩極。

所述電極7為耐腐蝕材質(zhì)的電極7，所述電極7為片狀、棒狀、絲狀或者網(wǎng)狀其中的一種，增加及其使用壽命。

所述機(jī)架1側(cè)面開(kāi)設(shè)有維修門(mén)，方便檢修。

所述干燥裝置3為吸附式除濕箱，所述吸附式除濕箱底部開(kāi)設(shè)有抽拉門(mén)，方便維護(hù)和更換吸附劑。

所述柔性絕緣管6遠(yuǎn)離所述等離子箱5一端設(shè)有絕緣的軟管接頭，方便與消耗設(shè)備連接。

所述半球狀分流器12為半球狀分流網(wǎng)。

所述等離子箱5為PVC材質(zhì)的等離子箱。

以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理、主要特征及本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說(shuō)明書(shū)中描述的只是說(shuō)明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書(shū)及其等效物界定。