專利名稱：音叉型振動(dòng)片、音叉型振動(dòng)子及音叉型振動(dòng)片的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及音叉型振動(dòng)片、其具備音叉型振動(dòng)片的音叉型振動(dòng)子及音叉型振動(dòng)片的制造方法。尤其是，本發(fā)明涉及到避免槽內(nèi)電極的斷線以及形成于振動(dòng)片表面的電極之間短路(short)等不良狀況所需的改善技術(shù)。
背景技術(shù)：
以往，作為壓電振動(dòng)器件的一種，易于尋求小型化的音叉型石英振動(dòng)子已為眾所周知。這種振動(dòng)子例如特開2002-76806號(hào)公報(bào)中所闡述的那樣，其結(jié)構(gòu)具備下述音叉型振動(dòng)片，并且在音叉型振動(dòng)片各腿部各自的表里面(腿部主表面)中央部模制出槽部，上述音叉型振動(dòng)片是對(duì)通過腐蝕加工模制成音叉型后的石英晶片利用光刻技術(shù)在表面上形成指定電極而制作出的。這樣，在腿部的表里面模制出槽部的情況下，即使將振動(dòng)片小型化也能抑制腿部的振動(dòng)損耗，可以有效控制CI值(晶體阻抗)使之變低。這種音叉型石英振動(dòng)子特別適合于裝載到鐘表等的精密設(shè)備中。
下面，具體說明這種音叉型振動(dòng)片的表面所形成的電極形狀。
圖9表示出一般的音叉型石英振動(dòng)子所具備的音叉型振動(dòng)片a。該音叉型振動(dòng)片a具備2條腿部b、c，并且在各腿部b、c上形成有第1激勵(lì)電極d1、d2及第2激勵(lì)電極e1、e2。在圖9中，給這些激勵(lì)電極d1、d2、e1、e2的形成部分附上斜線。
另外，音叉型振動(dòng)片a在作為各腿部b、c各自表里面的腿部主表面b1、c1上模制有矩形的槽部b2、c2。
而且，作為上述第1激勵(lì)電極，采用槽內(nèi)電極d1和側(cè)面電極d2來構(gòu)成，并且它們通過引導(dǎo)電極f相連接，該槽內(nèi)電極d1形成于一條腿部b表里面(腿部主表面)b1上所模制出的槽部b2內(nèi)部，該側(cè)面電極d2形成于另一條腿部c的側(cè)面c3上。
同樣，作為上述第2激勵(lì)電極，采用槽內(nèi)電極e1和側(cè)面電極e2來構(gòu)成，并且它們通過引導(dǎo)電極g相連接，該槽內(nèi)電極e1形成于另一條腿部c表里面(腿部主表面)c1上所模制出的槽部c2內(nèi)部，該側(cè)面電極e2形成于另一條腿部b的側(cè)面b3上。
這些電極例如是由鉻(Cr)的基礎(chǔ)電極層及金(Au)的上部電極層構(gòu)成的薄膜，并且在采用真空蒸鍍法等的工藝全面形成之后，利用光刻技術(shù)進(jìn)行金屬腐蝕，來形成為希望的形狀。
還有，由于通過真空蒸鍍方式來形成電極，因而具有下述之類的優(yōu)點(diǎn)，即能夠容易地進(jìn)行基礎(chǔ)電極層(鉻)和上部電極(金)的厚度管理，易于得到希望的電特性，并且通過蒸鍍裝置加以適當(dāng)管理能獲得優(yōu)良的膜質(zhì)。
可是，就上述的音叉型振動(dòng)片來說，由于槽內(nèi)電極從槽部的底面遍及形成到縱向壁(與腿部主表面正交方向的面)及腿部主表面，因而在槽部的邊緣附近(槽部和腿部主表面之間的邊界部附近)，槽內(nèi)電極和引導(dǎo)電極的連接不穩(wěn)定，易于發(fā)生斷線。尤其是，在通過真空蒸鍍方式來形成電極時(shí)，從底部方的槽部底面到縱向壁(與腿部主表面正交方向的面)上也因蒸鍍?cè)慈菀鬃兂申幱?，并且槽?nèi)電極和引導(dǎo)電極的連接不穩(wěn)定，易于發(fā)生斷線。
另外，在利用光刻技術(shù)于槽部上形成槽內(nèi)電極時(shí)，有時(shí)在槽部的邊緣附近(槽部和腿部主表面之間的邊界部附近)發(fā)生因抗蝕液表面張力的影響而引起的抗蝕液涌出現(xiàn)象，并且槽內(nèi)電極的加工精密度有所下降。這樣，在不能適當(dāng)?shù)玫讲蹆?nèi)電極外緣形狀的狀況下，有可能槽內(nèi)電極和引導(dǎo)電極產(chǎn)生斷線，或者在上述音叉型振動(dòng)片的交叉部分上槽內(nèi)電極接觸到引導(dǎo)電極和側(cè)面電極而發(fā)生短路。
這些問題所在在近年不斷開發(fā)的超小型石英振動(dòng)子(例如，腿部的橫向尺寸為120μm左右的器件)之中，這類問題顯著表現(xiàn)出來。
這樣，在腿部具備槽部且在其內(nèi)部形成有槽內(nèi)電極的音叉型振動(dòng)片之中，有可能發(fā)生因存在槽部和槽內(nèi)電極而引起的電極斷線及電極之間的短路等電氣上的不良狀況。因此，在這種音叉型振動(dòng)片中人們正在尋求構(gòu)造上的進(jìn)一步改善。
本發(fā)明是鑒于這樣的問題所在而做出的，其目的在于，對(duì)于在腿部具備槽部且在其內(nèi)部形成有激勵(lì)電極(槽內(nèi)電極)的音叉型振動(dòng)片及音型振動(dòng)子，避免因振動(dòng)片表面所形成的電極而引起的電氣上的不良狀況。

發(fā)明內(nèi)容
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的音叉型振動(dòng)片的特征為，音叉型振動(dòng)片具備底部和從該底部按同一方向平行延長(zhǎng)的多個(gè)腿部，在各腿部主表面形成有槽部，并且同時(shí)在該槽部?jī)?nèi)部和在腿部的側(cè)面分別形成槽內(nèi)電極和側(cè)面電極，上述槽內(nèi)電極和上述側(cè)面電極的各自通過形成于底部的底部電極相連接；在這種音叉型振動(dòng)片中形成槽延伸電極和槽側(cè)面電極，該槽延伸電極從上述槽部的槽內(nèi)電極遍及到與上述槽部的上述底部相向的縱向壁和上述槽部側(cè)面的縱向壁至少之一的縱向壁以及腿部前端方主表面，該槽側(cè)面電極用來將上述槽延伸電極沿著上述槽部側(cè)面的上述腿部主表面引向上述底部電極。此時(shí)，槽側(cè)面電極也可以脫離上述槽部的邊緣。
根據(jù)本發(fā)明，由于形成槽延伸電極和槽側(cè)面電極，因而可以避免因該音叉型振動(dòng)片表面所形成的電極而引起的電氣上的不良狀況。也就是說，由于上述槽內(nèi)電極和上述側(cè)面電極的各自從上述槽部的上述槽內(nèi)電極，介由上述槽延伸電極和上述槽側(cè)面電極引向上述底部電極，因而能確實(shí)連接。例如，假設(shè)上述槽部的上述槽內(nèi)電極從底部方端部引向上述底部電極來構(gòu)成第1導(dǎo)通路，并且從槽部的上述槽內(nèi)電極介由上述槽延伸電極和上述槽側(cè)面電極引向上述底部電極來構(gòu)成第2導(dǎo)通路，則上述槽內(nèi)電極和上述側(cè)面電極的各自通過這些第1導(dǎo)通路和第2導(dǎo)通路，更為確實(shí)地連接。由于存在多個(gè)這些導(dǎo)通路，因而在上述槽部的邊緣附近(槽部和腿部主表面之間的邊界部附近)，可以減少上述槽內(nèi)電極和上述底部電極的連接不穩(wěn)定以及發(fā)生斷線的危險(xiǎn)性。還有，由于在該音叉型振動(dòng)片中只構(gòu)成上述第2導(dǎo)通路，因而可以避免因該音叉型振動(dòng)片表面所形成的電極而引起的電氣上的不良狀況，并且由于在該音叉型振動(dòng)片中構(gòu)成上述第1導(dǎo)通路和上述第2導(dǎo)通路，因而可以更令人滿意的避免因該音叉型振動(dòng)片表面所形成的電極而引起的電氣上的不良狀況。
這樣，對(duì)于在腿部具備槽部且在其內(nèi)部形成有槽內(nèi)電極的音叉型振動(dòng)片，即便進(jìn)行小型化也可以抑制腿部的振動(dòng)損耗，并且控制CI值(晶體阻抗)使之較低，與此同時(shí)可以改善因存在槽部和槽內(nèi)電極而引起的電極斷線和電極之間的短路等電氣上的不良狀況。
另外，在上述結(jié)構(gòu)中，上述槽延伸電極至少形成于上述槽部側(cè)面的縱向壁上，并且上述槽側(cè)面電極也可以與上述槽延伸電極形成一體。
這種情況下，除上述的作用及效果之外，由于上述槽延伸電極至少形成于上述槽部側(cè)面的縱向壁上，并且上述槽側(cè)面電極與上述槽延伸電極形成一體，因而可以使電極形狀單一化，提高生產(chǎn)性，并且使槽內(nèi)電極和底部電極之間的電極連接更為穩(wěn)定。
另外，在上述結(jié)構(gòu)中，形成于上述多個(gè)各腿部上的槽部從該腿部的中心線向上述腿部主表面的橫方向偏心形成的同時(shí)，上述槽側(cè)面電極也可以向與所偏心形成的上述槽部相對(duì)方的橫方向偏心形成。
這種情況下，由于形成于上述多個(gè)各腿部上的槽部從該腿部的中心線向上述腿部主表面的橫方向偏心形成的同時(shí)，上述槽側(cè)面電極向與所偏心形成的上述槽部相對(duì)方的橫方向偏心形成，因而可以確保上述槽側(cè)面電極的形成區(qū)域。
另外，在上述結(jié)構(gòu)中，上述槽部從該腿部的中心線向與并行設(shè)置的其他腿部分離的方向偏心形成的同時(shí)，上述槽側(cè)面電極也可以從該腿部的中心線向與并行設(shè)置的其他腿部接近的方向偏心形成。
這種情況下，除上述作用及效果之外，由于該槽部的位置偏心形成于遠(yuǎn)離內(nèi)側(cè)側(cè)面電極的位置上，因而即便成為因上述槽部邊緣的影響而不能適當(dāng)獲得槽內(nèi)電極到腿部主表面的迂回尺寸的狀況，也可以抑制槽內(nèi)電極接觸到內(nèi)側(cè)的側(cè)面電極和內(nèi)側(cè)的引導(dǎo)電極，避免短路等電氣上的不良狀況。
另外，由于向該各腿部的內(nèi)側(cè)擴(kuò)大主表面區(qū)域，因而可以在該擴(kuò)大后的主表面區(qū)域上形成槽側(cè)面電極，因此能夠形成不發(fā)生斷線且更為穩(wěn)定的電極膜，并且使從槽內(nèi)電極到底部電極的電極連接得到大幅度的穩(wěn)定。另外，由于不只是該槽內(nèi)電極，還可以將槽側(cè)面電極作為激勵(lì)電極加以靈活使用，因而能夠進(jìn)一步抑制腿部的振動(dòng)損耗，使CI值(晶體阻抗)得到提高。
另外，在上述結(jié)構(gòu)中，也可以對(duì)于上述槽部的底部方邊緣所形成的電極，較厚地形成上述槽延伸電極的邊緣所形成的電極。
這種情況下，由于對(duì)于上述槽部底部方的邊緣所形成的電極，較厚地形成上述槽延伸電極的邊緣所形成的電極，因而除上述作用及效果之外，還不發(fā)生第2導(dǎo)通路中槽部的邊緣附近(槽部和腿部主表面之間的邊界部附近)上的斷線，因此使從槽內(nèi)電極到底部電極的電極連接可靠性得以大幅度提高。
另外，在上述結(jié)構(gòu)中，上述槽部的壁面也可以對(duì)上述腿部主表面形成為直角或銳角。
這種情況下，由于上述槽部的壁面對(duì)上述腿部主表面形成為直角或銳角，因而例如在使用蒸鍍裝置于上述槽部形成電極時(shí)，有時(shí)因蒸鍍?cè)炊苯涌床坏讲鄄康谋诿?成為陰影的情形)。但是，根據(jù)本發(fā)明，即使存在成為陰影的上述槽部的壁面(例如，底部方上述槽部的縱向壁)，也能形成穩(wěn)定的電極膜。
另外，為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的音叉型振動(dòng)子的特征為，將上述結(jié)構(gòu)的音叉型振動(dòng)片安裝到封裝件內(nèi)來構(gòu)成。
本發(fā)明的音叉型石英振動(dòng)子因?yàn)榫邆渖鲜鲆舨嫘驼駝?dòng)片，并且該音叉型振動(dòng)片安裝到封裝件內(nèi)來構(gòu)成，所以音叉型石英振動(dòng)子也是本發(fā)明技術(shù)構(gòu)思的范疇。也就是說，根據(jù)本解決方式，可以提供一種音叉型石英振動(dòng)子，該音叉型石英振動(dòng)子因?yàn)椴话l(fā)生電極之間的短路和斷線，所以可靠性較高，并能獲得作為形成槽部的效果的良好CI值。
另外，為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的音叉型振動(dòng)片制造方法的特征為，音叉型振動(dòng)片具備底部和從該底部按同一方向平行延長(zhǎng)的多個(gè)腿部，在各腿部主表面形成有槽部的同時(shí)，在該槽部?jī)?nèi)部和在腿部的側(cè)面分別形成槽內(nèi)電極和側(cè)面電極，上述槽內(nèi)電極和上述側(cè)面電極的各自通過形成于底部的底部電極相連接，在這種音叉型振動(dòng)片的制造方法中，上述音叉型振動(dòng)片從蒸鍍?cè)锤糸_一定間隔，使音叉型振動(dòng)片底部方的端部比腿部方的端部接近蒸鍍?cè)矗舨嫘驼駝?dòng)片的腿部主表面在對(duì)蒸鍍?cè)磧A斜的狀態(tài)下配置到工件夾具上，并且從上述蒸鍍?cè)词闺姌O材料蒸發(fā)而在上述音叉型振動(dòng)片上附著電極材料，形成槽延伸電極和槽側(cè)面電極，該槽延伸電極遍及到與上述槽部的上述底部相向的縱向壁和上述槽部側(cè)面的縱向壁至少之一的縱向壁以及腿部前端方主表面，該槽側(cè)面電極用來將上述槽延伸電極沿著上述槽部側(cè)面的上述腿部主表面引向上述底部電極。
根據(jù)本發(fā)明，由于形成上述槽延伸電極和上述槽側(cè)面電極，因而可以避免因該音叉型振動(dòng)片表面所形成的電極而引起的電氣上的不良狀況。也就是說，由于上述槽內(nèi)電極和上述側(cè)面電極的各自從上述槽部的上述槽內(nèi)電極，介由上述槽延伸電極和上述槽側(cè)面電極引向上述底部電極(上述第2導(dǎo)通路)，因而能確實(shí)地連接。例如，上述槽內(nèi)電極和上述側(cè)面電極的各自通過上述第1導(dǎo)通路和第2導(dǎo)通路，更為確實(shí)地連接。還有，由于在該音叉型振動(dòng)片中只構(gòu)成上述第2導(dǎo)通路，因而可以避免因該音叉型振動(dòng)片表面所形成的電極而引起的電氣上的不良狀況，并且由于在該音叉型振動(dòng)片中構(gòu)成上述第1導(dǎo)通路和上述第2導(dǎo)通路，因而可以更為優(yōu)選地避免因該音叉型振動(dòng)片表面所形成的電極而引起的電氣上的不良狀況。
由于構(gòu)成該第2導(dǎo)通路的槽延伸電極使音叉型振動(dòng)片底部方的端部比腿部方的端部接近蒸鍍?cè)矗舨嫘驼駝?dòng)片的腿部主表面在對(duì)蒸鍍?cè)磧A斜的狀態(tài)下配置到工件夾具上，并在這種狀態(tài)下從上述槽部的槽內(nèi)電極遍及到槽部的縱向壁及腿部前端方主表面來形成，因而腿部前端方的槽部邊緣附近不面對(duì)上述蒸鍍?cè)醋兂申幱?，而形成穩(wěn)定的電極膜。另外，由于對(duì)于槽部底部方的邊緣所形成的電極，較厚地形成上述槽延伸電極的邊緣所形成的電極，因而不發(fā)生第2導(dǎo)通路中槽部的邊緣附近(槽部和腿部主表面之間的邊界部附近)上的斷線。
也就是說，構(gòu)成第2導(dǎo)通路的槽側(cè)面電極也同樣不成為上述蒸鍍?cè)吹年幱岸纬煞€(wěn)定的電極膜，并且通過使形成了相互穩(wěn)定的電極膜的槽延伸電極和槽側(cè)面電極組合，可以提供沒有槽內(nèi)電極和底部電極之間斷線的危險(xiǎn)性、電極連接穩(wěn)定且可靠性更高的音叉型振動(dòng)片。
再者，由于交叉部分的電極結(jié)構(gòu)使音叉型振動(dòng)片底部方的端部比腿部方的端部接近蒸鍍?cè)?，音叉型振?dòng)片的腿部主表面在對(duì)蒸鍍?cè)磧A斜的狀態(tài)下配置到工件夾具上，因而可以防止該音叉型振動(dòng)片的交叉部分因上述蒸鍍?cè)醋兂申幱啊⒃诟魍炔康慕徊娌糠稚闲纬蔁o用的電極以及各側(cè)面電極發(fā)生短路。
這樣，對(duì)于在腿部具備槽部且在其內(nèi)部形成有槽內(nèi)電極的音叉型振動(dòng)片，即便進(jìn)行小型化也可以抑制腿部的振動(dòng)損耗，并且控制CI值(晶體阻抗)使之較低，與此同時(shí)可以改善因存在槽部和槽內(nèi)電極而引起的電極斷線和電極之間的短路等電氣上的不良狀況。


圖1是表示本實(shí)施方式所涉及的音叉型振動(dòng)片的平面圖。
圖2是沿著圖1中的I-I線的剖面圖。
圖3是沿著圖1中的A-A線的剖面圖。
圖4是將槽側(cè)面電極形成一體時(shí)的圖1的等效圖。
圖5是沿著圖4中的II-II線的剖面圖。
圖6是表示形成了與圖1、圖4所示的引導(dǎo)電極不同方式的引導(dǎo)電極后的音叉型振動(dòng)片的平面圖。
圖7是表示本實(shí)施方式變形例所涉及的音叉型振動(dòng)片的平面圖。
圖8是沿著圖7中的III-III線的剖面圖。
圖9是表示以往示例所涉及的音叉型振動(dòng)片的平面圖。
圖10是真空蒸鍍裝置的模式圖。
具體實(shí)施例方式
下面，根據(jù)附圖來說明本發(fā)明的實(shí)施方式。本方式將對(duì)于在具備2條腿部的音叉型石英振動(dòng)子中使用本發(fā)明的情形，予以說明。圖1是表示本方式所涉及的音叉型石英振動(dòng)子中具備的音叉型振動(dòng)片1的平面圖。另外，圖2是沿著圖1中的I-I線的剖面圖，圖3是沿著圖1中的A-A線的剖面圖。
該音叉型振動(dòng)片1具備底部17和2條腿部11、12，該腿部從該底部17按同一方向平行延長(zhǎng)，在各腿部11、12內(nèi)形成有第1激勵(lì)電極13a、13b及第2激勵(lì)電極14a、14b。在圖1中，給這些激勵(lì)電極13a、13b、14a及14b的形成部分附上斜線。
另外，音叉型振動(dòng)片1在作為各腿部11、12各自表里面的腿部主表面11a、12a上模制成矩形的槽部11c、12c。這些各槽部11c、12c的形狀(橫向尺寸、長(zhǎng)度尺寸、深度尺寸)為相互相同的形狀。另外，槽部11c、12c的縱向壁如圖1、圖2、圖3所示，對(duì)腿部主表面形成為直角。此處所說的直角并不只限定為對(duì)腿部主表面的絕對(duì)直角，也可以稍微傾斜。
這樣在各腿部11、12的表里面模制出槽部11c、12c時(shí)，即使對(duì)音叉型振動(dòng)片1進(jìn)行小型化，也能抑制腿部11、12的振動(dòng)損耗，并可以有效控制CI值(晶體阻抗)使之較低。在此，將各槽部11c、12c形成為相同的形狀，其原因是抑制腿部11、12的振動(dòng)損耗，并控制CI值(晶體阻抗)使之較低。因此，各槽部11c、12c的形狀并不限定于此，也可以形成為任意的形狀。
還有，音叉型振動(dòng)片的外形形狀(2條腿部和底部等)、各腿部的槽部，由于使用光刻技術(shù)在石英晶片希望的區(qū)域上形成抗蝕膜，進(jìn)行濕法腐蝕，因而可以容易地進(jìn)行制作。
而且，作為上述第1激勵(lì)電極，采用槽內(nèi)電極13a和側(cè)面電極13b構(gòu)成，并且它們通過引導(dǎo)電極(底部電極)15相連接，該槽內(nèi)電極形成于一條腿部11的表里面(腿部主表面)11a上所模制出的槽部11c內(nèi)部，該側(cè)面電極形成于另一條腿部12的側(cè)面12b上。
同樣，作為上述第2激勵(lì)電極，采用槽內(nèi)電極14a和側(cè)面電極14b構(gòu)成，并且它們通過引導(dǎo)電極(底部電極)16相連接，該槽內(nèi)電極形成于另一條腿部12的表里面(腿部主表面)12a上所模制出的槽部12c內(nèi)部，該側(cè)面電極形成于一條腿部11的側(cè)面11b上。
另外，形成于各槽部11c、12c內(nèi)部的槽內(nèi)電極13a、14a已形成槽延伸電極13c、14c，該槽延伸電極遍及到槽部的縱向壁(與腿部主表面正交方向的面)以及腿部前端方主表面。該槽延伸電極13c、14c在各腿部的內(nèi)側(cè)，利用沿著槽部側(cè)面的腿部主表面所形成的槽側(cè)面電極13d、14d引向上述引導(dǎo)電極(底部電極)15、16。在本方式中，例如在腿部11、12各自的橫向尺寸是120μm并且上述槽部11c、12c的寬度為60μm時(shí)，由于到該腿部主表面11a、12a的槽延伸電極13c、14c的迂回尺寸W形成為10～30μm左右，槽側(cè)面電極13d、14d的橫向尺寸W1形成為10μm左右，因而使電極膜得以穩(wěn)定形成，不會(huì)降低導(dǎo)通電阻，因與側(cè)面電極和引導(dǎo)電極接近而引起的短路危險(xiǎn)也較少。
這些電極例如是由鉻(Cr)的基礎(chǔ)電極層及金(Au)的上部電極構(gòu)成的薄膜，并且在采用真空蒸鍍法形成到音叉型振動(dòng)片的全面上之后，利用光刻技術(shù)在上述全面電極希望的區(qū)域上形成抗蝕膜，并進(jìn)行金屬蝕刻來形成為希望的形狀。其膜厚例如設(shè)定為0.2μm。
作為槽部11c、12c及槽內(nèi)電極13a、14a的形成位置，該槽部11c、12c以及槽內(nèi)電極13a、14a的橫方向中心位置T1與腿部11、12的橫方向中心位置T相比，更偏心形成于與并行設(shè)置的另一條腿部分離的方向(遠(yuǎn)離音叉型振動(dòng)片中心線的一側(cè)，例如20μm左右)。上述槽側(cè)面電極13d、14d與腿部11、12的橫方向中心位置相比，更偏心形成于與并行設(shè)置的另一條腿部接近的方向(靠近振動(dòng)中心位置的一側(cè))。
按照這種結(jié)構(gòu)，可以確保槽部11c、12c和槽內(nèi)電極13a、14a的內(nèi)側(cè)邊緣以及腿部11、12的內(nèi)側(cè)邊緣之間的距離使之增大?？梢詳U(kuò)大槽側(cè)面電極的橫向尺寸、到腿部11a、12a的側(cè)面電極13b、134b的迂回尺寸以及引導(dǎo)電極16到腿部主表面11a、12a的迂回尺寸之自由量。在圖1所示的示例中，已設(shè)計(jì)成擴(kuò)大后的腿部主表面區(qū)域以便在寬闊的狀態(tài)下形成槽側(cè)面電極13d、14d，并且可以形成不發(fā)生斷線且更為穩(wěn)定的電極膜。
在本方式中，將槽側(cè)面電極13d、14d形成于遠(yuǎn)離上述槽部11c、12c的側(cè)面部分上，但是如圖4、圖5所示，通過將槽延伸電極13c、14c形成于槽部11c、12c的縱向壁(與腿部主表面正交方向的面及側(cè)面)上，并將槽側(cè)面電極13d、14d同槽延伸電極13c、14c形成一體，而可以使電極形狀單一化，提高生產(chǎn)性，并且使槽內(nèi)電極和底部電極之間的電極連接更為穩(wěn)定。在本方式中，例如在腿部11、12各自的橫向尺寸是120μm并且上述槽部11c、12c的寬度是60μm時(shí)，由于到該腿部主表面11a、12a的槽延伸電極13c、14c的迂回尺寸W形成為10～30μm左右，槽側(cè)面電極13d、14d的迂回尺寸W2形成為15μm左右，因而使電極膜得以穩(wěn)定形成，不會(huì)降低導(dǎo)通電極，因與側(cè)面電極和引導(dǎo)電極接近而引起的短路危險(xiǎn)也較少。
另外，在圖4、圖5所示的音叉型振動(dòng)片1中，將槽延伸電極13c、14c形成于槽部11c、12c的縱向壁(與腿部主表面正交方向的面及側(cè)面)上，并將槽側(cè)面電極13d、14d同槽延伸電極13c、14c形成一體，但是并不限定于此，也可以將槽延伸電極13c、14c只形成于槽部11c、12c側(cè)面的縱向壁上，并將槽側(cè)面電極13d、14d同槽延伸電極13c、14c形成一體。
另外，在本方式中如圖1、圖4所示，形成了引導(dǎo)電極15、16，但是并不限定于此，也可以如圖6所示形成引導(dǎo)電極15、16。也就是說，其構(gòu)成也可以為只與槽側(cè)面電極13d、14d連接。
另外，在本方式中，各腿部11、12上所形成的槽部11c、12c例如形成到圖1、圖2所示的位置上，但這是為了抑制槽內(nèi)電極接觸到內(nèi)側(cè)的側(cè)面電極和內(nèi)側(cè)的引導(dǎo)電極所示的最佳示例，并且不限定于此。也就是說，各腿部上所形成的槽部從腿部的中心線向上述腿部主表面的橫方向偏心形成，與此同時(shí)槽側(cè)面電極可以按與所偏心形成的槽部相反方的橫方向偏心形成，并且也可以在與圖1、圖2所示的位置相反方的位置(接近音叉型振動(dòng)片中心的位置)上形成槽部。即使在這種情況下，也可以確保槽側(cè)面電極的形成區(qū)域。
通過將這種結(jié)構(gòu)的音叉型振動(dòng)片1安裝到未圖示的封裝件內(nèi)，來構(gòu)成音叉型石英振動(dòng)子。
下面，與圖10的真空蒸鍍裝置模式圖一起，說明在上述音叉型振動(dòng)片上利用真空蒸鍍方式形成全面電極的方法。
音叉型振動(dòng)片以石英晶片的狀態(tài)被放入未圖示的掩蔽模具中，并且在從蒸鍍?cè)碕隔開一定間隔的狀態(tài)下固定到工件夾具H上。該工件夾具H安裝于在蒸鍍?cè)瓷厦孢M(jìn)行水平旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)盤I四周的多個(gè)處所，各工件夾具H的構(gòu)成為可以對(duì)上述轉(zhuǎn)盤I進(jìn)行自轉(zhuǎn)。各工件夾具H例如在下述狀態(tài)下進(jìn)行定位，該狀態(tài)為將對(duì)上述轉(zhuǎn)盤I的仰角設(shè)為45°，并且對(duì)于各工件夾具H的自轉(zhuǎn)軸也在水平面上從工件夾具H所正對(duì)的狀態(tài)使之傾斜45°。而且，固定于工件夾具H上的石英晶片的各音叉型振動(dòng)片使音叉型振動(dòng)片底部方的端部比腿部方的端部接近蒸鍍?cè)?，并且音叉型振?dòng)片的腿部主表面對(duì)蒸鍍?cè)磧A斜45°。
另外，由于上述各工件夾具H的構(gòu)成為，例如在轉(zhuǎn)盤I每次旋轉(zhuǎn)120°時(shí)，只是自轉(zhuǎn)90°就再次進(jìn)行定位，因而通過使上述轉(zhuǎn)盤I旋轉(zhuǎn)，與此同時(shí)將從上述蒸鍍?cè)碕所蒸發(fā)出的電極材料供應(yīng)給石英晶片，可以在上述各音叉型振動(dòng)片的表里面和兩個(gè)側(cè)面上全面附著電極材料。
由于按上述方法形成電極，因而可以防止該音叉型振動(dòng)片的交叉部分因上述蒸鍍?cè)醋兂申幱?、在各腿部的交叉部分上形成無用的電極以及各側(cè)面電極產(chǎn)生短路。尤其是，在對(duì)石英進(jìn)行濕法腐蝕來形成音叉型振動(dòng)片時(shí)，由于在交叉部分上形成微小的突起，并且若在該部分上形成電極則對(duì)抗蝕膜進(jìn)行感光時(shí)感光光束不易到達(dá)，難以高精度地進(jìn)行金屬腐蝕，因而雖然有時(shí)各側(cè)面電極產(chǎn)生短路，但是不會(huì)引起它們的不良狀況。另外，如圖3所示，上述槽延伸電極13c、14c(只圖示出13c)的邊緣附近不面對(duì)上述蒸鍍?cè)醋兂申幱?，而形成穩(wěn)定的電極膜。另外，由于對(duì)于槽部底部方的邊緣E2上所形成的電極，上述槽延伸電極13c、14c的邊緣E1(槽部的腿部方邊緣)上所形成的電極被較厚地形成，因而不會(huì)發(fā)生斷線。
另外，在本方式中如圖1所示，即使槽部11c、12c的縱向壁對(duì)腿部主表面形成為直角，也不會(huì)發(fā)生斷線，而可以形成穩(wěn)定的電極膜。另外，不僅僅是直角，槽部11c、12c的縱向壁也可以對(duì)腿部主表面形成為銳角，即使在這種情況下，也不會(huì)發(fā)生斷線，而可以形成穩(wěn)定的電極膜。
變形例下面，根據(jù)

本發(fā)明的變形例。圖7是表示本方式的變形例所涉及的音叉型石英振動(dòng)子所具備的音叉型振動(dòng)片1的平面圖。另外，圖8是沿著圖7中的III-III線的剖面圖。
在本示例中表示出，槽部11c、12c及槽側(cè)面電極13d、14d形狀的變形例。槽部11c、12c及槽內(nèi)電極13a、14a形成于各腿部11、12的腿部主表面11a、12a的橫方向中央，各槽部11c、12c內(nèi)部所形成的槽內(nèi)電極13a、14a如同形成遍及到整個(gè)槽部11c、12c內(nèi)部的槽內(nèi)電極13a、14a那樣，在圖7所示的平面圖中設(shè)定為，與槽部11c、12c的面積相比槽內(nèi)電極13a、14a的面積稍大。因此，實(shí)際上也如圖8所示，槽內(nèi)電極13a、14a從各槽部11c、12c的底面遍及形成到縱向壁及腿部主表面11a、12a。繞到槽部11c、12c的腿部前端方之槽內(nèi)電極以及繞到槽部11c、12c的兩個(gè)側(cè)面之槽內(nèi)電極成為槽延伸電極13c、14c，并且該槽延伸電極13c、14c同槽側(cè)面電極13d、14d形成一體。在本方式中，例如在腿部11、12各自的橫向尺寸是120μm并且上述槽部11c、12c的寬度為60μm時(shí)，到該腿部主表面11a、12a的槽內(nèi)電極13a、14a的迂回尺寸W3是10μm左右。
該槽延伸電極13c、14c通過沿著各槽部?jī)蓚€(gè)側(cè)面的腿部主表面所形成的槽側(cè)面電極13d、14d，引向上述引導(dǎo)電極(底部電極)15、16。
根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，由于繞到槽部11c、12c的腿部前端方之槽內(nèi)電極以及繞到槽部11c、12c的兩個(gè)側(cè)面之槽延伸電極13c、14c同槽側(cè)面電極13d、14d形成為一體，因而可以使電極形狀單一化，提高生產(chǎn)性，并且使槽內(nèi)電極和底部電極之間的電極連接更為穩(wěn)定。
在本發(fā)明的實(shí)施方式中，雖然說明了在具備2條腿部11、12的音叉型振動(dòng)片1中使用本發(fā)明的情形，但是本發(fā)明不限于此，還可以使用于具備3條以上腿部的音叉型振動(dòng)片。再者，在上述實(shí)施方式中，雖然說明了作為壓電材料使用石英的情形，但是此外對(duì)于使用鈮酸鋰和鉭酸鋰等的振動(dòng)片也可以使用。
還有，本發(fā)明可以在不脫離其宗旨或主要特征的狀況下，以其他各種各樣的形式加以實(shí)施。因此，上述實(shí)施方式在所有方面只不過是一個(gè)示例，并且不能以局限的方式進(jìn)行解釋。本發(fā)明的范圍通過權(quán)利要求的范圍來表示，并且不受說明書正文中的任何限制。再者，屬于權(quán)利要求范圍的同一范圍的變形和變更全都在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
另外，本申請(qǐng)用來主張根據(jù)特愿2003-200079號(hào)的優(yōu)先權(quán)，該特愿2003-200079號(hào)是2003年7月22日在日本提出的。由于涉及到此，因而其全部?jī)?nèi)容被編入本申請(qǐng)。
本發(fā)明所涉及的音叉型振動(dòng)片、其具備音叉型振動(dòng)片的音叉型振動(dòng)子及音叉型振動(dòng)片的制造方法特別優(yōu)選的是，使用壓電材料。
權(quán)利要求
1.一種音叉型振動(dòng)片，其特征為音叉型振動(dòng)片具備底部和從該底部按同一方向平行延長(zhǎng)的多個(gè)腿部，在各腿部主表面形成有槽部，同時(shí)在該槽部?jī)?nèi)部和在腿部的側(cè)面分別形成槽內(nèi)電極和側(cè)面電極，上述槽內(nèi)電極和上述側(cè)面電極的各個(gè)通過形成于底部的底部電極相連接，該音叉型振動(dòng)片形成有槽延伸電極和槽側(cè)面電極，該槽延伸電極從上述槽部的槽內(nèi)電極遍及到與上述槽部的上述底部相向的縱向壁和上述槽部側(cè)面的縱向壁至少之一的縱向壁以及腿部前端方主表面，該槽側(cè)面電極用來將上述槽延伸電極沿著上述槽部側(cè)面的上述腿部主表面引向上述底部電極。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的音叉型振動(dòng)片，其特征為上述槽延伸電極至少形成于上述槽部側(cè)面的縱向壁上，上述槽側(cè)面電極與上述槽延伸電極形成一體。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的音叉型振動(dòng)片，其特征為形成于上述多個(gè)各腿部上的槽部從該腿部的中心線向上述腿部主表面的寬方向偏心形成，同時(shí)上述槽側(cè)面電極按與所偏心形成的上述槽部相對(duì)方的寬方向偏心形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的音叉型振動(dòng)片，其特征為上述槽部從該腿部的中心線向與并行設(shè)置的另一條腿部分離的方向偏心形成，同時(shí)上述槽側(cè)面電極從該腿部的中心線向與并行設(shè)置的另一條腿部接近的方向偏心形成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的音叉型振動(dòng)片，其特征為相對(duì)于上述槽部底部方的邊緣上所形成的電極，上述槽延伸電極的邊緣上所形成的電極被較厚地形成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的音叉型振動(dòng)片，其特征為上述槽部的縱向壁對(duì)上述腿部主表面形成為直角或銳角。
7.一種音叉型振動(dòng)子，其特征為其構(gòu)成包括，權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的音叉型振動(dòng)片，并且該音叉型振動(dòng)片安裝于封裝件內(nèi)。
8.一種音叉型振動(dòng)片的制造方法，其特征為音叉型振動(dòng)片包括底部和從該底部按同一方向平行延長(zhǎng)的多個(gè)腿部，在各腿部主表面形成有槽部，同時(shí)在該槽部?jī)?nèi)部和在腿部的側(cè)面分別形成槽內(nèi)電極和側(cè)面電極，上述槽內(nèi)電極和上述側(cè)面電極的各個(gè)通過形成于底部的底部電極相連接，在這種音叉型振動(dòng)片的制造方法中，上述音叉型振動(dòng)片從蒸鍍?cè)锤糸_一定間隔，使音叉型振動(dòng)底部方的端部比腿部方的端部接近蒸鍍?cè)?，音叉型振?dòng)片的腿部主表面在對(duì)蒸鍍?cè)磧A斜的狀態(tài)下配置到工件夾具上，從上述蒸鍍?cè)词闺姌O材料蒸發(fā)而在上述音叉型振動(dòng)片上附著電極材料，形成槽延伸電極和槽側(cè)面電極，該槽延伸電極遍及到與上述槽部的上述底部相向的縱向壁和上述槽部側(cè)面的縱向壁至少之一的縱向壁以及腿部前端方主表面，該槽側(cè)面電極用來將上述槽延伸電極沿著上述槽部側(cè)面的上述腿部主表面引向上述底部電極。
全文摘要
音叉型振動(dòng)片具備底部和從該底部延伸的腿部，在各腿部主表面形成有槽部的同時(shí)，在該槽部?jī)?nèi)部和在腿部的側(cè)面分別形成槽內(nèi)電極和側(cè)面電極，上述槽內(nèi)電極和上述側(cè)面電極的各個(gè)通過形成于底部的底部電極相連接，在這種音叉型振動(dòng)片中形成有槽延伸電極和槽側(cè)面電極，該槽延伸電極從上述槽部的槽內(nèi)電極遍及到與上述底部相向槽部的縱向壁以及腿部前端方主表面，該槽側(cè)面電極用來將上述槽延伸電極沿著上述槽部側(cè)面的上述腿部主表面引向上述底部電極。
文檔編號(hào)H03H9/21GK1701508SQ200480000829
公開日2005年11月23日 申請(qǐng)日期2004年7月20日 優(yōu)先權(quán)日2003年7月22日
發(fā)明者佐藤俊介, 藤井智 申請(qǐng)人:株式會(huì)社大真空